JPH09129700A - 基板の保持方法及びそれを用いた搬送装置 - Google Patents
基板の保持方法及びそれを用いた搬送装置Info
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- JPH09129700A JPH09129700A JP7282986A JP28298695A JPH09129700A JP H09129700 A JPH09129700 A JP H09129700A JP 7282986 A JP7282986 A JP 7282986A JP 28298695 A JP28298695 A JP 28298695A JP H09129700 A JPH09129700 A JP H09129700A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリア内での基板間隔を小さくしても、他
の基板と干渉することなく基板を取り出せる基板の保持
方法、及びその方法を用いた搬送装置を提案すること。 【解決手段】 基板を保持する工程に、該基板に外力を
加えると共にその外力の大きさを調節する工程を付加し
た。
の基板と干渉することなく基板を取り出せる基板の保持
方法、及びその方法を用いた搬送装置を提案すること。 【解決手段】 基板を保持する工程に、該基板に外力を
加えると共にその外力の大きさを調節する工程を付加し
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示デ
バイス用基板の製造における基板搬送に用いられる、基
板の保持方法、及びその方法を用いた搬送装置に関す
る。特に、大寸法の基板に好適に用いられる。
バイス用基板の製造における基板搬送に用いられる、基
板の保持方法、及びその方法を用いた搬送装置に関す
る。特に、大寸法の基板に好適に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】最近、液晶表示デバイスが多く用いられ
るようになり、且つその寸法は大寸法化している。それ
に伴って、製造工程において、液晶表示デバイス用基板
自身の自重による変形が問題になってきた。即ち、基板
の自重変形のためにキャリア内の基板収納数が制限され
ること、収納スペースに自重変形量を考慮すると装置が
大型化すること、液晶パターンを転写する時のレチクル
及び感光基板の撓みに起因して分解能が低下することな
どである。本発明で言う基板とは、前記レチクル及び感
光基板を含むものであり、半導体製造用のレチクル及び
ウェハーをも含む。
るようになり、且つその寸法は大寸法化している。それ
に伴って、製造工程において、液晶表示デバイス用基板
自身の自重による変形が問題になってきた。即ち、基板
の自重変形のためにキャリア内の基板収納数が制限され
ること、収納スペースに自重変形量を考慮すると装置が
大型化すること、液晶パターンを転写する時のレチクル
及び感光基板の撓みに起因して分解能が低下することな
どである。本発明で言う基板とは、前記レチクル及び感
光基板を含むものであり、半導体製造用のレチクル及び
ウェハーをも含む。
【０００３】従来技術を図６〜図８により説明する。図
６は従来の方法による装置の概念図である。同図におい
て、１はキャリア、２はキャリア１内に格納された基
板、３は前記キャリア１を載置し駆動機構４・５により
上下方向（図のＺ方向）に移動可能なキャリアエレベー
タである。アーム６が案内機構７及び駆動機構８・９に
よって左右方向（図のＸ方向）に移動可能である。キャ
リア１はアーム６側に開口を有する。アーム６を左に移
動するとアーム６はキャリア１の内部に進入する。アー
ム６を右に移動するとアーム６はキャリア１から離脱す
る。アーム６の左右移動とキャリアエレベータ３の上下
移動とにより、基板２をキャリア１から取り出し、図示
しない装置、例えば露光装置に供給する。
６は従来の方法による装置の概念図である。同図におい
て、１はキャリア、２はキャリア１内に格納された基
板、３は前記キャリア１を載置し駆動機構４・５により
上下方向（図のＺ方向）に移動可能なキャリアエレベー
タである。アーム６が案内機構７及び駆動機構８・９に
よって左右方向（図のＸ方向）に移動可能である。キャ
リア１はアーム６側に開口を有する。アーム６を左に移
動するとアーム６はキャリア１の内部に進入する。アー
ム６を右に移動するとアーム６はキャリア１から離脱す
る。アーム６の左右移動とキャリアエレベータ３の上下
移動とにより、基板２をキャリア１から取り出し、図示
しない装置、例えば露光装置に供給する。
【０００４】図７（ａ）は図６の要部のＡ矢視図であ
る。キャリア１の左右の内面には突起部１ａ、１ｂが等
間隔で多数設けられている。基板２が、その両端部を突
起部１ａ、１ｂに支持され、収納されている。基板２
は、その自重によって中凹に変形している。キャリア１
には多数枚の基板が収納されているが、収納された全て
の基板が同様に変形しているので、各基板の間隔は何処
でも（基板の端部でも、中央部でも）ほぼ等間隔であ
る。
る。キャリア１の左右の内面には突起部１ａ、１ｂが等
間隔で多数設けられている。基板２が、その両端部を突
起部１ａ、１ｂに支持され、収納されている。基板２
は、その自重によって中凹に変形している。キャリア１
には多数枚の基板が収納されているが、収納された全て
の基板が同様に変形しているので、各基板の間隔は何処
でも（基板の端部でも、中央部でも）ほぼ等間隔であ
る。
【０００５】アーム６は図８のように先端が別れ、左右
２本の試料保持部６ａ、６ｂを有する。前記保持部６
ａ、６ｂはそれぞれ真空吸着部６ｃ、６ｄを有する。真
空吸着部６ｃ、６ｄは真空源（不図示）に弁（不図示）
を介して接続されており、前記弁を開くことによって真
空吸着部６ｃ、６ｄの上に載置された基板２を吸着し保
持する。
２本の試料保持部６ａ、６ｂを有する。前記保持部６
ａ、６ｂはそれぞれ真空吸着部６ｃ、６ｄを有する。真
空吸着部６ｃ、６ｄは真空源（不図示）に弁（不図示）
を介して接続されており、前記弁を開くことによって真
空吸着部６ｃ、６ｄの上に載置された基板２を吸着し保
持する。
【０００６】基板をキャリアから取り出す、従来の方法
による手順は以下の通りである。 キャリアエレベータ３を移動し、アーム６の保持部６
ａ、６ｂをキャリア１から取り出す基板２ａとその下の
基板２ｂの間に差し込めるようにキャリアエレベータ１
の高さを調整する。 アーム６を前進させ、保持部６ａ、６ｂを基板２ａと
２ｂの間に差し込む。（図７（ａ）） キャリアエレベータ１を基板２ａが試料保持部の真空
吸着部６ｃ、６ｄに接する迄下げると共に、前記弁を開
いて基板２ａを真空吸着部６ｃ、６ｄに吸着する。
による手順は以下の通りである。 キャリアエレベータ３を移動し、アーム６の保持部６
ａ、６ｂをキャリア１から取り出す基板２ａとその下の
基板２ｂの間に差し込めるようにキャリアエレベータ１
の高さを調整する。 アーム６を前進させ、保持部６ａ、６ｂを基板２ａと
２ｂの間に差し込む。（図７（ａ）） キャリアエレベータ１を基板２ａが試料保持部の真空
吸着部６ｃ、６ｄに接する迄下げると共に、前記弁を開
いて基板２ａを真空吸着部６ｃ、６ｄに吸着する。
【０００７】アーム６を後退させる。基板２ａをキャ
リア１に収納する場合は、上記手順を逆にたどる。
リア１に収納する場合は、上記手順を逆にたどる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】前記の方法において
は、手順において基板２ａがキャリアの突起部１ａ、
１ｂから離れた時点で、基板２ａを支持する点がキャリ
アの突起部１ａ、１ｂ、即ち基板２ａの両端からアーム
の真空吸着部６ｃ、６ｄに変化する。その結果、基板２
ａの支持点がより内側になるので、基板２ａの自重によ
る変形状態が図７（ｂ）のように、最大変形量が減少す
るように変化し、直上の基板２ｃとの間隔が狭くなる。
この時点では、基板２ａの両端とキャリアの突起部１
ａ、１ｂの間隔は極小であり、基板２ａを安全にキャリ
ア１から引き出すことはできない。
は、手順において基板２ａがキャリアの突起部１ａ、
１ｂから離れた時点で、基板２ａを支持する点がキャリ
アの突起部１ａ、１ｂ、即ち基板２ａの両端からアーム
の真空吸着部６ｃ、６ｄに変化する。その結果、基板２
ａの支持点がより内側になるので、基板２ａの自重によ
る変形状態が図７（ｂ）のように、最大変形量が減少す
るように変化し、直上の基板２ｃとの間隔が狭くなる。
この時点では、基板２ａの両端とキャリアの突起部１
ａ、１ｂの間隔は極小であり、基板２ａを安全にキャリ
ア１から引き出すことはできない。
【０００９】そこで、キャリアエレベータ３を更に下
げ、基板２ａとキャリアの突起部１ａ、１ｂとの間隔を
適当量とする。この時、キャリアエレベータ３を下げ過
ぎると基板２ａが直上の基板２ｃに接触してしまう。基
板２ａの支持点が真空吸着部６ｃ、６ｄに移行してから
キャリアエレベータ３を下げることができる量は、基板
２ａの支持が基板支持部３ａ、３ｂに移行した時点での
直上の基板２ｃとの最小間隔である。これは収納状態
（図７（ａ））での基板間隔から支持点の移行による基
板の変形変化量を減じたものである。
げ、基板２ａとキャリアの突起部１ａ、１ｂとの間隔を
適当量とする。この時、キャリアエレベータ３を下げ過
ぎると基板２ａが直上の基板２ｃに接触してしまう。基
板２ａの支持点が真空吸着部６ｃ、６ｄに移行してから
キャリアエレベータ３を下げることができる量は、基板
２ａの支持が基板支持部３ａ、３ｂに移行した時点での
直上の基板２ｃとの最小間隔である。これは収納状態
（図７（ａ））での基板間隔から支持点の移行による基
板の変形変化量を減じたものである。
【００１０】従って、キャリア１からアーム６への受け
渡しによって支持点間隔が変化する従来の方法では、基
板２ａを他の基板と干渉することなく取り出すために、
キャリア１内での基板間隔を基板の変形量の変化を考慮
して大きくせざるを得ない。その結果、キャリア１に収
納可能な基板枚数が制限され、製造装置の連続自動運転
可能枚数が制限され、生産性が阻害されるという欠点が
あった。
渡しによって支持点間隔が変化する従来の方法では、基
板２ａを他の基板と干渉することなく取り出すために、
キャリア１内での基板間隔を基板の変形量の変化を考慮
して大きくせざるを得ない。その結果、キャリア１に収
納可能な基板枚数が制限され、製造装置の連続自動運転
可能枚数が制限され、生産性が阻害されるという欠点が
あった。
【００１１】本発明の課題は、キャリア内での基板間隔
を小さくしても、他の基板と干渉することなく基板を取
り出せる基板の保持方法、及びその方法を用いた搬送装
置を提案することである。
を小さくしても、他の基板と干渉することなく基板を取
り出せる基板の保持方法、及びその方法を用いた搬送装
置を提案することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第１は、複数枚の基板を所定の間隔で収納
するキャリアとの間で基板を収受する、基板の搬送装置
において、以下の工程を含む方法で基板を保持する（請
求項１）。
に、本発明の第１は、複数枚の基板を所定の間隔で収納
するキャリアとの間で基板を収受する、基板の搬送装置
において、以下の工程を含む方法で基板を保持する（請
求項１）。
【００１３】前後移動によって前記キャリアに挿脱自
在な保持部に基板を保持する、保持工程。 前記基板の、前記保持工程で保持された部分以外の位
置に外力を加え、前記基板を前記キャリア内に収納され
て自重変形した形状、又は変形が少ない形状にする、変
形工程。
在な保持部に基板を保持する、保持工程。 前記基板の、前記保持工程で保持された部分以外の位
置に外力を加え、前記基板を前記キャリア内に収納され
て自重変形した形状、又は変形が少ない形状にする、変
形工程。
【００１４】そして、第２に、数枚の基板を所定の間隔
で収納するキャリアとの間で基板を収受する基板の搬送
装置において、以下の工程を含む方法で基板を保持する
（請求項２）。 前後移動によって前記キャリアに挿脱自在な、先端が
２本に分岐した保持部の、それぞれの分岐に少なくとも
１個設けられた真空吸着部に基板を吸着して保持する、
保持工程。
で収納するキャリアとの間で基板を収受する基板の搬送
装置において、以下の工程を含む方法で基板を保持する
（請求項２）。 前後移動によって前記キャリアに挿脱自在な、先端が
２本に分岐した保持部の、それぞれの分岐に少なくとも
１個設けられた真空吸着部に基板を吸着して保持する、
保持工程。
【００１５】前記基板の、前記保持工程で保持された
部分の中央に、前記保持部に対して、前記基板の垂直方
向に移動可能な第２基板保持部の真空吸着部に前記基板
を吸着し、前記第２基板保持部を前記基板の垂直方向に
移動させて、前記基板を前記キャリア内に収納されて自
重変形した形状、又は変形が少ない形状にする、変形工
程。
部分の中央に、前記保持部に対して、前記基板の垂直方
向に移動可能な第２基板保持部の真空吸着部に前記基板
を吸着し、前記第２基板保持部を前記基板の垂直方向に
移動させて、前記基板を前記キャリア内に収納されて自
重変形した形状、又は変形が少ない形状にする、変形工
程。
【００１６】そして、第３に、基板を保持する第１基板
保持部、該第１基板保持部に対して、前記基板の垂直方
向に移動可能に設けられた第２基板保持部、及び該第２
基板保持部を駆動する駆動部を備え、前記第２基板保持
部の動きによって前記基板の形状を前記キャリア内に収
納されて自重変形した形状、又は変形が少ない形状にす
る基板搬送装置とした（請求項３）。
保持部、該第１基板保持部に対して、前記基板の垂直方
向に移動可能に設けられた第２基板保持部、及び該第２
基板保持部を駆動する駆動部を備え、前記第２基板保持
部の動きによって前記基板の形状を前記キャリア内に収
納されて自重変形した形状、又は変形が少ない形状にす
る基板搬送装置とした（請求項３）。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の方法は、従来装置の基板
保持部６を改良した装置で用いられる。それ以外の部分
は従来装置と同様であるので説明を省略する。図１〜図
３は、本発明の方法の実施形態を説明する概念図であ
る。図４、図５はそれぞれ同実施形態のアームの平面図
及び縦断面図である。図４、図５に示すように、アーム
６０は先端が分岐し、それぞれ真空強着部６０ｄ、６０
ｅを有する第１試料保持部６０ａ、６０ｂを形成する。
第２試料保持部６０ｃが第１保持部６０ａ、６０ｂの中
央に、第１保持部６０ａ、６０ｂ対して、案内部６１に
沿って上下方向に移動可能に設けられ、駆動部６２によ
って駆動される。第２保持部６０ｃも真空吸着部６０ｆ
を備えている。真空吸着部６０ｄｃ〜６ｆは真空源（不
図示）に弁（不図示）を介して接続されており、前記弁
を開くことによって真空吸着部６０ｄ〜６ｆに載置され
た基板２０を吸着し保持する。かかる装置を用いて基板
２０ａをキャリア１０から取り出す、本発明の方法によ
る手順は以下の通りである（図１〜図３参照）。
保持部６を改良した装置で用いられる。それ以外の部分
は従来装置と同様であるので説明を省略する。図１〜図
３は、本発明の方法の実施形態を説明する概念図であ
る。図４、図５はそれぞれ同実施形態のアームの平面図
及び縦断面図である。図４、図５に示すように、アーム
６０は先端が分岐し、それぞれ真空強着部６０ｄ、６０
ｅを有する第１試料保持部６０ａ、６０ｂを形成する。
第２試料保持部６０ｃが第１保持部６０ａ、６０ｂの中
央に、第１保持部６０ａ、６０ｂ対して、案内部６１に
沿って上下方向に移動可能に設けられ、駆動部６２によ
って駆動される。第２保持部６０ｃも真空吸着部６０ｆ
を備えている。真空吸着部６０ｄｃ〜６ｆは真空源（不
図示）に弁（不図示）を介して接続されており、前記弁
を開くことによって真空吸着部６０ｄ〜６ｆに載置され
た基板２０を吸着し保持する。かかる装置を用いて基板
２０ａをキャリア１０から取り出す、本発明の方法によ
る手順は以下の通りである（図１〜図３参照）。
【００１８】駆動部６２のモーター６３を所定の方向
に回転（正転）させ、第２基板保持部６０ｃの真空吸着
部６０ｆ上面を少なくとも基板の自重による変形量だけ
第１基板保持部の真空吸着部６０ｄ、６０ｅの上面より
も下に下げる。 キャリアエレベータ３０を移動し、第１保持部６０
ａ、６０ｂ及び第２保持部６０ｃ（以下保持部６０ａ〜
６０ｃと言う）をキャリア１０から取り出す基板２０ａ
とその下の基板２０ｂの間に差し込めるようにキャリア
エレベータ３０の高さを調整する。
に回転（正転）させ、第２基板保持部６０ｃの真空吸着
部６０ｆ上面を少なくとも基板の自重による変形量だけ
第１基板保持部の真空吸着部６０ｄ、６０ｅの上面より
も下に下げる。 キャリアエレベータ３０を移動し、第１保持部６０
ａ、６０ｂ及び第２保持部６０ｃ（以下保持部６０ａ〜
６０ｃと言う）をキャリア１０から取り出す基板２０ａ
とその下の基板２０ｂの間に差し込めるようにキャリア
エレベータ３０の高さを調整する。
【００１９】アーム６０を前進させ、保持部６０ａ〜
６０ｃを基板２０ａと２０ｂの間に差し込む（図１）。 キャリアエレベータ３０を、基板２０ａの下面が第１
保持部の真空吸着部６０ｄ、６０ｅに接する迄下げると
共に、真空吸着部６０ｄ、６０ｅに接続された前記弁を
開いて基板２０ａを真空吸着部６０ｄ、６０ｅに吸着す
る（図２）（保持工程）。
６０ｃを基板２０ａと２０ｂの間に差し込む（図１）。 キャリアエレベータ３０を、基板２０ａの下面が第１
保持部の真空吸着部６０ｄ、６０ｅに接する迄下げると
共に、真空吸着部６０ｄ、６０ｅに接続された前記弁を
開いて基板２０ａを真空吸着部６０ｄ、６０ｅに吸着す
る（図２）（保持工程）。
【００２０】キャリアエレベータ３０を更に下げ、基
板２０ａをキャリアの突起部１０ａ、１０ｂから離脱さ
せる。 モーター６３を逆転させて第２保持部６０ｃを上昇さ
せ、その真空吸着部６０ｆが基板２０ａの下面に接する
ようにした後、真空吸着部６０ｆに接続された前記弁を
開いて基板２０ａを真空吸着する。
板２０ａをキャリアの突起部１０ａ、１０ｂから離脱さ
せる。 モーター６３を逆転させて第２保持部６０ｃを上昇さ
せ、その真空吸着部６０ｆが基板２０ａの下面に接する
ようにした後、真空吸着部６０ｆに接続された前記弁を
開いて基板２０ａを真空吸着する。
【００２１】モーター６３を正転させて第２保持部６
０ｃを所定量下に下げ、基板２０ａの形状がキャリア１
０に収納されている時の形状に近くなるようにする（図
３）（変形工程）。 アーム６０を後退させる。基板２０ａをキャリア１０
に収納する場合は、上記手順を逆にたどる。
０ｃを所定量下に下げ、基板２０ａの形状がキャリア１
０に収納されている時の形状に近くなるようにする（図
３）（変形工程）。 アーム６０を後退させる。基板２０ａをキャリア１０
に収納する場合は、上記手順を逆にたどる。
【００２２】上記手順ので、第２保持部６０ｃを所定
量下に下げることは基板２０に外力を加えることであ
る。又、ここで言う所定量は、基板２０ａがキャリア１
０に収納されている時の変形量と、第１保持部の真空吸
着部６０ｄ、６０ｅに保持されている時の変形量の差に
ほぼ等しく、実測しても良いが、理論計算で求めること
ができる。
量下に下げることは基板２０に外力を加えることであ
る。又、ここで言う所定量は、基板２０ａがキャリア１
０に収納されている時の変形量と、第１保持部の真空吸
着部６０ｄ、６０ｅに保持されている時の変形量の差に
ほぼ等しく、実測しても良いが、理論計算で求めること
ができる。
【００２３】又、手順において、第１保持部６０ａ、
６０ｂに対する第２保持部６０ｃの高さを適当に調整す
ることによって、基板の形状を変えることができ、例え
ば最大撓み量が最小になるようにすることができる。こ
れは、図９のように収納スペース９６に余裕が無い場合
や、基板の平面度を高く保ったまま、基板を収受したい
場合に有効である。図９の収納ケース９０の基板支持部
９５ａ、９５ｂは、支持された基板２の撓みが最小とな
る位置に配置されている。
６０ｂに対する第２保持部６０ｃの高さを適当に調整す
ることによって、基板の形状を変えることができ、例え
ば最大撓み量が最小になるようにすることができる。こ
れは、図９のように収納スペース９６に余裕が無い場合
や、基板の平面度を高く保ったまま、基板を収受したい
場合に有効である。図９の収納ケース９０の基板支持部
９５ａ、９５ｂは、支持された基板２の撓みが最小とな
る位置に配置されている。
【００２４】本発明の方法及び搬送装置は、前記基板に
限らず薄板形状の試料の搬送に適用し得る。
限らず薄板形状の試料の搬送に適用し得る。
【００２５】
【発明の効果】基板をアームで保持したときの変形状態
を任意に変えることができる。その結果、基板の間隔が
最小の状態で基板をキャリアから取り出すことができ
る。そして、キャリアに収納できる基板の枚数を増やす
ことができるので、製造装置の連続運転時間が長くな
り、生産性が向上する。また、基板を平面度良く保ちな
がら他の機器と収受する事ができるので、転写された像
の品質が良くなる。
を任意に変えることができる。その結果、基板の間隔が
最小の状態で基板をキャリアから取り出すことができ
る。そして、キャリアに収納できる基板の枚数を増やす
ことができるので、製造装置の連続運転時間が長くな
り、生産性が向上する。また、基板を平面度良く保ちな
がら他の機器と収受する事ができるので、転写された像
の品質が良くなる。
【図１】本発明の方法の実施形態を説明する概念図であ
り、基板がキャリアに収納されている状態を示す図。
り、基板がキャリアに収納されている状態を示す図。
【図２】図１において、基板の支持が第１保持部に移行
した時点の状態を示す図。
した時点の状態を示す図。
【図３】図１において、第２保持部で外力を加え基板の
変形状態を調整した状態を示す図。
変形状態を調整した状態を示す図。
【図４】図１のアームの平面図。
【図５】図４の縦断面図。
【図６】従来の方法の実施形態の概念図。
【図７】図６の要部を示すＡ矢視図。
【図８】保持部の平面図
【図９】他の収納ケースの断面図。
１、１０……キャリア １ａ、１ｂ、１０ａ、１０ｂ……突起部 ２、２０……基板 ２ａ、２０ａ……取り出す基板 ２ｂ、２０ｂ……その下の基板 ２ｃ……直上の基板 ３、３０……キャリアエレベータ ６、６０……アーム ６ａ、６ｂ……基板保持部 ６０ａ、６０ｂ……第１基板保持部 ６０ｃ……第２基板保持部 ６ｃ、６ｄ、６０ｄ、６０ｅ、６０ｆ……真空吸着部 ６２……駆動部 ９０……別の収納ケース ９５ａ、９５ｂ……基板支持部 ９６……スペース
Claims (3)
- 【請求項１】複数枚の基板を所定の間隔で収納するキャ
リアとの間で基板を収受する、基板の搬送装置におい
て、 以下の工程を含むことを特徴とする、基板の保持方法。 前後移動によって前記キャリアに挿脱自在な保持部に
基板を保持する、保持工程。 前記基板の、前記保持工程で保持された部分以外の位
置に外力を加え、前記基板を前記キャリア内に収納され
て自重変形した形状、又は変形が少ない形状にする、変
形工程。 - 【請求項２】複数枚の基板を所定の間隔で収納するキャ
リアとの間で基板を収受する基板の搬送装置において、 以下の工程を含むことを特徴とする、基板の保持方法。 前後移動によって前記キャリアに挿脱自在な、先端が
２本に分岐した保持部の、それぞれの分岐に少なくとも
１個設けられた真空吸着部に基板を吸着して保持する、
保持工程。 前記基板の、前記保持工程で保持された部分の中央
に、前記保持部に対して、前記基板の垂直方向に移動可
能な第２基板保持部の真空吸着部に前記基板を吸着し、
前記第２基板保持部を前記基板の垂直方向に移動させ
て、前記基板を前記キャリア内に収納されて自重変形し
た形状、又は変形が少ない形状にする、変形工程。 - 【請求項３】 基板を保持する第１基板保持部、該第１
基板保持部に対して、前記基板の垂直方向に移動可能に
設けられた第２基板保持部、及び該第２基板保持部を駆
動する駆動部を備え、前記第２基板保持部の動きによっ
て前記基板の形状を前記キャリア内に収納されて自重変
形した形状、又は変形が少ない形状にすることを特徴と
する基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7282986A JPH09129700A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 基板の保持方法及びそれを用いた搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7282986A JPH09129700A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 基板の保持方法及びそれを用いた搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09129700A true JPH09129700A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17659730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7282986A Pending JPH09129700A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 基板の保持方法及びそれを用いた搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09129700A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002289664A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Toray Ind Inc | 基板搬送用ハンドおよび基板搬送方法ならびにこれらを用いたカラーフィルター製造装置および製造方法 |
| JP2006264948A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移送装置 |
| JP2007049112A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-22 | Nidec Sankyo Corp | 基板搬出搬入補助装置 |
| KR100707008B1 (ko) * | 1999-12-21 | 2007-04-11 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시소자의 유리기판 수납 장치 |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP7282986A patent/JPH09129700A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100707008B1 (ko) * | 1999-12-21 | 2007-04-11 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시소자의 유리기판 수납 장치 |
| JP2002289664A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Toray Ind Inc | 基板搬送用ハンドおよび基板搬送方法ならびにこれらを用いたカラーフィルター製造装置および製造方法 |
| JP2006264948A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Toppan Printing Co Ltd | 基板移送装置 |
| JP2007049112A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-22 | Nidec Sankyo Corp | 基板搬出搬入補助装置 |
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