JPH09143718A - 連続真空蒸着装置のスプラッシュ監視装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置のスプラッシュ監視装置Info
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- JPH09143718A JPH09143718A JP29956595A JP29956595A JPH09143718A JP H09143718 A JPH09143718 A JP H09143718A JP 29956595 A JP29956595 A JP 29956595A JP 29956595 A JP29956595 A JP 29956595A JP H09143718 A JPH09143718 A JP H09143718A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スプラッシュの発生を未然に防止することが
でき、スプラッシュによるロールの損傷や鋼板の板切れ
を防止することができる真空蒸着におけるスプラッシュ
監視装置を提供する。 【解決手段】 成膜室６に設けられた監視窓１２と、監
視窓を通してルツボ５内の溶湯４を監視するＣＣＤカメ
ラ１４と、ＣＣＤカメラの画像を画像処理してスプラッ
シュの発生直前を検出し電子銃３の出力を制御する制御
装置１６とを備える。制御装置１６により、ＣＣＤカメ
ラ１４の画像から溶湯４の温度変化又は溶湯の波立ちを
検出し、電子銃３の出力を低減する。
でき、スプラッシュによるロールの損傷や鋼板の板切れ
を防止することができる真空蒸着におけるスプラッシュ
監視装置を提供する。 【解決手段】 成膜室６に設けられた監視窓１２と、監
視窓を通してルツボ５内の溶湯４を監視するＣＣＤカメ
ラ１４と、ＣＣＤカメラの画像を画像処理してスプラッ
シュの発生直前を検出し電子銃３の出力を制御する制御
装置１６とを備える。制御装置１６により、ＣＣＤカメ
ラ１４の画像から溶湯４の温度変化又は溶湯の波立ちを
検出し、電子銃３の出力を低減する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続真空蒸着装置のス
プラッシュ監視装置に関する。
プラッシュ監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空蒸着装置は、真空中で金属を加熱し
て蒸発させ、蒸発金属を基板（鋼板）の表面に凝固させ
て被膜を作る成膜プロセスである。かかる成膜プロセス
において蒸着用金属を加熱するために電子ビームを用い
薄板状の連続した走行鋼板に金属を蒸着させる連続真空
蒸着装置が従来から知られている。この連続真空蒸着装
置は、通常の湿式メッキでは扱えない高融点金属、窒化
物、炭化物、酸化物及びセラミックスの蒸着が可能であ
り、かつ付着速度が大きい等の長所を有している。
て蒸発させ、蒸発金属を基板（鋼板）の表面に凝固させ
て被膜を作る成膜プロセスである。かかる成膜プロセス
において蒸着用金属を加熱するために電子ビームを用い
薄板状の連続した走行鋼板に金属を蒸着させる連続真空
蒸着装置が従来から知られている。この連続真空蒸着装
置は、通常の湿式メッキでは扱えない高融点金属、窒化
物、炭化物、酸化物及びセラミックスの蒸着が可能であ
り、かつ付着速度が大きい等の長所を有している。
【０００３】かかる従来の連続真空蒸着装置は、例えば
図２に示すように、入側と出側の真空シール装置、予備
加熱室、成膜室、等からなり、大気圧下でアンコイラー
から巻き戻された鋼板（ストリップ）を入側の真空シー
ル装置で真空中に通し、予備加熱室で予備加熱した後、
成膜室で成膜し、成膜後の鋼板を出側の真空シール装置
で大気圧中に取り出しリコイラーで巻き取るようになっ
ている。
図２に示すように、入側と出側の真空シール装置、予備
加熱室、成膜室、等からなり、大気圧下でアンコイラー
から巻き戻された鋼板（ストリップ）を入側の真空シー
ル装置で真空中に通し、予備加熱室で予備加熱した後、
成膜室で成膜し、成膜後の鋼板を出側の真空シール装置
で大気圧中に取り出しリコイラーで巻き取るようになっ
ている。
【０００４】成膜室には、電子ビームを放射する電子銃
と、溶解した蒸着材料を収容するルツボとを備え、電子
銃により電子ビームを放射し、磁界で電子ビームの方向
を曲げてルツボ内に当て、蒸着材料を加熱・蒸発させ、
蒸発金属を鋼板の表面に凝固させて被膜を作るようにな
っている。
と、溶解した蒸着材料を収容するルツボとを備え、電子
銃により電子ビームを放射し、磁界で電子ビームの方向
を曲げてルツボ内に当て、蒸着材料を加熱・蒸発させ、
蒸発金属を鋼板の表面に凝固させて被膜を作るようにな
っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した連続真空蒸着
装置では、電子銃を熱源とする場合にルツボ溶湯の極小
部に電子ビームのエネルギーが集中すると、スプラッシ
ュが発生して蒸着膜に悪影響を与えてしまう問題点があ
った。すなわち、スプラッシュとは、溶湯が液滴のまま
で飛散する現象であり、局部的な沸騰に起因する。この
スプラッシュにより飛散した液滴が鋼板に付着するとそ
の部分に数ミリ厚の突起部ができ、この突起部が真空シ
ール装置の狭い隙間と干渉し、真空シール装置のロール
に傷を付けたり、鋼板が薄い（例えば、約０．３ｍｍ
厚）場合には、鋼板が引き切れる、等の問題点があっ
た。
装置では、電子銃を熱源とする場合にルツボ溶湯の極小
部に電子ビームのエネルギーが集中すると、スプラッシ
ュが発生して蒸着膜に悪影響を与えてしまう問題点があ
った。すなわち、スプラッシュとは、溶湯が液滴のまま
で飛散する現象であり、局部的な沸騰に起因する。この
スプラッシュにより飛散した液滴が鋼板に付着するとそ
の部分に数ミリ厚の突起部ができ、この突起部が真空シ
ール装置の狭い隙間と干渉し、真空シール装置のロール
に傷を付けたり、鋼板が薄い（例えば、約０．３ｍｍ
厚）場合には、鋼板が引き切れる、等の問題点があっ
た。
【０００６】連続真空蒸着装置では、２００〜５００ｍ
／ｍｉｎの高速で成膜を行い、しかも、数百時間連続し
て操業する。このため、スプラッシュによりロールの損
傷や鋼板の板切れが生じると、運転再開に長時間かかり
稼働率が大幅に低下する。そのため、従来は、運転員が
常時ルツボを監視し、経験的にスプラッシュの発生直前
を判断して電子銃の出力制御やルツボ上部に設けたシャ
ッター等を閉じていた。しかし、この監視は長時間連続
して行う必要があり、運転員の負担が大きく、かつ判断
を誤ることも多かった。
／ｍｉｎの高速で成膜を行い、しかも、数百時間連続し
て操業する。このため、スプラッシュによりロールの損
傷や鋼板の板切れが生じると、運転再開に長時間かかり
稼働率が大幅に低下する。そのため、従来は、運転員が
常時ルツボを監視し、経験的にスプラッシュの発生直前
を判断して電子銃の出力制御やルツボ上部に設けたシャ
ッター等を閉じていた。しかし、この監視は長時間連続
して行う必要があり、運転員の負担が大きく、かつ判断
を誤ることも多かった。
【０００７】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、スプ
ラッシュの発生を未然に防止することができ、スプラッ
シュによるロールの損傷や鋼板の板切れを防止すること
ができる連続真空蒸着装置のスプラッシュ監視装置を提
供することにある。
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、スプ
ラッシュの発生を未然に防止することができ、スプラッ
シュによるロールの損傷や鋼板の板切れを防止すること
ができる連続真空蒸着装置のスプラッシュ監視装置を提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、真空中
を連続的に走行する鋼板に蒸発材料を蒸着するための成
膜室と、該成膜室内に電子ビームを放射する電子銃と、
電子ビームの方向を曲げてルツボ内に向ける磁界を発生
させる磁界発生装置と、を備えた連続真空蒸着装置にお
いて、成膜室に設けられた監視窓と、該監視窓を通して
ルツボ内の溶湯を監視するＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカ
メラの画像を画像処理してスプラッシュの発生直前を検
出し電子銃の出力を制御する制御装置と、を備えたこと
を特徴とする真空蒸着におけるスプラッシュ監視装置が
提供される。前記制御装置は、ＣＣＤカメラの画像から
溶湯の温度変化又は溶湯の波立ちを検出し、電子銃の出
力を低減することで、スプラッシュ発生を防止するよう
になっている。
を連続的に走行する鋼板に蒸発材料を蒸着するための成
膜室と、該成膜室内に電子ビームを放射する電子銃と、
電子ビームの方向を曲げてルツボ内に向ける磁界を発生
させる磁界発生装置と、を備えた連続真空蒸着装置にお
いて、成膜室に設けられた監視窓と、該監視窓を通して
ルツボ内の溶湯を監視するＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカ
メラの画像を画像処理してスプラッシュの発生直前を検
出し電子銃の出力を制御する制御装置と、を備えたこと
を特徴とする真空蒸着におけるスプラッシュ監視装置が
提供される。前記制御装置は、ＣＣＤカメラの画像から
溶湯の温度変化又は溶湯の波立ちを検出し、電子銃の出
力を低減することで、スプラッシュ発生を防止するよう
になっている。
【０００９】この構成により、溶湯の温度変化（例え
ば、溶湯の赤色から白色への変化）或いは溶湯の波立ち
（例えば、画像処理による正常時の記憶画像との相違部
分の拡大）等をＣＣＤカメラの画像から制御装置が検知
し、電子銃の出力を制御することによりスプラッシュの
発生を抑えることができる。
ば、溶湯の赤色から白色への変化）或いは溶湯の波立ち
（例えば、画像処理による正常時の記憶画像との相違部
分の拡大）等をＣＣＤカメラの画像から制御装置が検知
し、電子銃の出力を制御することによりスプラッシュの
発生を抑えることができる。
【００１０】本発明の好ましい実施形態によれば、ＣＣ
Ｄカメラは、ルツボへの電子ビーム照射領域を監視する
ように、少なくとも２台設けられる。この構成により、
ルツボの上部を走行する鋼板に影響されずに、電子ビー
ムが照射されるルツボの鋼板の幅方向両端部を監視し、
的確にスプラッシュの発生を未然に防止することができ
る。
Ｄカメラは、ルツボへの電子ビーム照射領域を監視する
ように、少なくとも２台設けられる。この構成により、
ルツボの上部を走行する鋼板に影響されずに、電子ビー
ムが照射されるルツボの鋼板の幅方向両端部を監視し、
的確にスプラッシュの発生を未然に防止することができ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通
する部分には同一の符号を付して使用する。図１は、本
発明によるスプラッシュ監視装置を備えた連続真空蒸着
装置の成膜室斜視図（成膜室の外胴部を除いた図）であ
る。この図において、連続真空蒸着装置は、真空中を連
続的に走行する鋼板１に蒸発材料を蒸着するための成膜
室６と、成膜室６内に電子ビーム２を放射する電子銃３
と、電子ビーム２の方向を曲げてルツボ５内に向ける磁
界を発生させる磁界発生装置７と、を備えている。
を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通
する部分には同一の符号を付して使用する。図１は、本
発明によるスプラッシュ監視装置を備えた連続真空蒸着
装置の成膜室斜視図（成膜室の外胴部を除いた図）であ
る。この図において、連続真空蒸着装置は、真空中を連
続的に走行する鋼板１に蒸発材料を蒸着するための成膜
室６と、成膜室６内に電子ビーム２を放射する電子銃３
と、電子ビーム２の方向を曲げてルツボ５内に向ける磁
界を発生させる磁界発生装置７と、を備えている。
【００１２】鋼板１は、通常の炭素鋼鋼板或いはステン
レス鋼板であり、例えば、０．３〜３．２ｍｍ厚の比較
的薄い鋼板（ストリップ）を用いる。蒸着材料は、例え
ばアルミニウム又はアルミ系合金であり、合金膜を成膜
する場合には、図１に示すように２つ以上のルツボ５を
設け、それぞれに異なる蒸着材料を図示しない供給装置
により供給する。成膜室６の内部は、図示しない真空装
置により排気され、蒸着に適した真空度（例えば１０-3
〜１０-5ｔｏｒｒ程度）に保持されている。電子銃３
は、各ルツボ毎にこの図では２台設けられ、それぞれル
ツボ５の鋼板幅方向両端部に電子ビーム２を照射するよ
うになっている。磁界発生装置７は、各ルツボ毎にこの
図では２台設けられ、それぞれ磁界電極７ａ，７ｂを有
し、それぞれの電子ビーム２の方向を曲げてそれぞれの
ルツボ５内に向けるようになっている。
レス鋼板であり、例えば、０．３〜３．２ｍｍ厚の比較
的薄い鋼板（ストリップ）を用いる。蒸着材料は、例え
ばアルミニウム又はアルミ系合金であり、合金膜を成膜
する場合には、図１に示すように２つ以上のルツボ５を
設け、それぞれに異なる蒸着材料を図示しない供給装置
により供給する。成膜室６の内部は、図示しない真空装
置により排気され、蒸着に適した真空度（例えば１０-3
〜１０-5ｔｏｒｒ程度）に保持されている。電子銃３
は、各ルツボ毎にこの図では２台設けられ、それぞれル
ツボ５の鋼板幅方向両端部に電子ビーム２を照射するよ
うになっている。磁界発生装置７は、各ルツボ毎にこの
図では２台設けられ、それぞれ磁界電極７ａ，７ｂを有
し、それぞれの電子ビーム２の方向を曲げてそれぞれの
ルツボ５内に向けるようになっている。
【００１３】本発明のスプラッシュ監視装置１０は、更
に、成膜室６に設けられた監視窓１２と、監視窓１２を
通してルツボ５内の溶湯４をルツボ毎に監視するＣＣＤ
カメラ１４と、ＣＣＤカメラ１４の画像を画像処理して
スプラッシュの発生直前を検出し電子銃３の出力を制御
する制御装置１６と、を備えている。この図に示すよう
に、ルツボ毎にＣＣＤカメラ１４を２台、制御装置１６
を１台設けるのがよい。
に、成膜室６に設けられた監視窓１２と、監視窓１２を
通してルツボ５内の溶湯４をルツボ毎に監視するＣＣＤ
カメラ１４と、ＣＣＤカメラ１４の画像を画像処理して
スプラッシュの発生直前を検出し電子銃３の出力を制御
する制御装置１６と、を備えている。この図に示すよう
に、ルツボ毎にＣＣＤカメラ１４を２台、制御装置１６
を１台設けるのがよい。
【００１４】制御装置１６は、ＣＣＤカメラ１４の画像
から溶湯４の温度変化又は溶湯の波立ちを検出し、電子
銃の出力を低減するようになっている。例えば、溶湯の
色は通常は赤色であるがスプラッシュが発生する部分で
は温度が更に上昇して白色に変化する。従って、ＣＣＤ
カメラ１４の画像からこの溶湯の温度変化を検知してス
プラッシュの発生直前を検出することができる。また、
スプラッシュが発生する部分では、内部で発生した気泡
等により、溶湯に波立ちが生じる。この波立ちは、例え
ば、画像処理による正常時の記憶画像との相違部分の拡
大から検知することができる。従って、ＣＣＤカメラ１
４の画像から制御装置１６によりこれらを検知した時
に、電子銃３の出力を制御（出力低減）することにより
スプラッシュの発生を抑えることができる。
から溶湯４の温度変化又は溶湯の波立ちを検出し、電子
銃の出力を低減するようになっている。例えば、溶湯の
色は通常は赤色であるがスプラッシュが発生する部分で
は温度が更に上昇して白色に変化する。従って、ＣＣＤ
カメラ１４の画像からこの溶湯の温度変化を検知してス
プラッシュの発生直前を検出することができる。また、
スプラッシュが発生する部分では、内部で発生した気泡
等により、溶湯に波立ちが生じる。この波立ちは、例え
ば、画像処理による正常時の記憶画像との相違部分の拡
大から検知することができる。従って、ＣＣＤカメラ１
４の画像から制御装置１６によりこれらを検知した時
に、電子銃３の出力を制御（出力低減）することにより
スプラッシュの発生を抑えることができる。
【００１５】ＣＣＤカメラ１４は、ルツボ５の鋼板の幅
方向両端部を監視するように、図に示すように少なくと
も２台設けるのがよい。この構成により、ルツボ５の上
部を走行する鋼板１に影響されずに、電子ビーム２が照
射されるルツボ５の鋼板の幅方向両端部を監視し、的確
にスプラッシュの発生を未然に防止することができる。
方向両端部を監視するように、図に示すように少なくと
も２台設けるのがよい。この構成により、ルツボ５の上
部を走行する鋼板１に影響されずに、電子ビーム２が照
射されるルツボ５の鋼板の幅方向両端部を監視し、的確
にスプラッシュの発生を未然に防止することができる。
【００１６】また、監視窓１２の内面に、エンドレスに
移動する半透明フィルム（図示せず）を備えることが好
ましい。この構成により、監視窓１２の光透過性をほぼ
一定に保持することができる。
移動する半透明フィルム（図示せず）を備えることが好
ましい。この構成により、監視窓１２の光透過性をほぼ
一定に保持することができる。
【００１７】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】上述したように、本発明の構成により、
溶湯の温度変化（例えば、溶湯の赤色から白色への変
化）或いは溶湯の波立ち（例えば、画像処理による正常
時の記憶画像との相違部分の拡大）等をＣＣＤカメラの
画像から制御装置が検知し、電子銃の出力を制御するこ
とによりスプラッシュの発生を抑えることができる。
溶湯の温度変化（例えば、溶湯の赤色から白色への変
化）或いは溶湯の波立ち（例えば、画像処理による正常
時の記憶画像との相違部分の拡大）等をＣＣＤカメラの
画像から制御装置が検知し、電子銃の出力を制御するこ
とによりスプラッシュの発生を抑えることができる。
【００１９】従って、本発明の連続真空蒸着装置のスプ
ラッシュ監視装置は、スプラッシュの発生を未然に防止
することができ、スプラッシュによるロールの損傷や鋼
板の板切れを防止することができる、等の優れた効果を
有する。
ラッシュ監視装置は、スプラッシュの発生を未然に防止
することができ、スプラッシュによるロールの損傷や鋼
板の板切れを防止することができる、等の優れた効果を
有する。
【図１】本発明によるスプラッシュ監視装置を備えた成
膜室の斜視図である。
膜室の斜視図である。
【図２】従来の連続真空蒸着装置の構成図である。
１ 鋼板 ２ 電子ビーム ３ 電子銃 ４ 溶湯 ５ ルツボ ６ 成膜室 ７ 磁界発生装置 ７ａ，７ｂ 磁界電極 １０ スプラッシュ監視装置 １２ 監視窓 １４ ＣＣＤカメラ １６ 制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野村 昭博 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社技術研究所内 (72)発明者 松田 至康 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニアリ ングセンター内
Claims (3)
- 【請求項１】 真空中を連続的に走行する鋼板に蒸発材
料を蒸着するための成膜室と、該成膜室内に電子ビーム
を放射する電子銃と、電子ビームの方向を曲げてルツボ
内に向ける磁界を発生させる磁界発生装置と、を備えた
連続真空蒸着装置において、 成膜室に設けられた監視窓と、該監視窓を通してルツボ
内の溶湯を監視するＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカメラの
画像を画像処理してスプラッシュの発生直前を検出し電
子銃の出力を制御する制御装置と、を備えたことを特徴
とする真空蒸着におけるスプラッシュ監視装置。 - 【請求項２】 前記制御装置は、ＣＣＤカメラの画像か
ら溶湯の温度変化又は溶湯の波立ちを検出し、電子銃の
出力を低減することで、スプラッシュ発生を防止する、
ことを特徴とする請求項１に記載のスプラッシュ監視装
置。 - 【請求項３】 前記ＣＣＤカメラは、ルツボへの電子ビ
ーム照射領域を監視するように、少なくとも２台設けら
れる、ことを特徴とする請求項１に記載の真空スプラッ
シュ監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29956595A JP3741161B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 連続真空蒸着装置のスプラッシュ監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29956595A JP3741161B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 連続真空蒸着装置のスプラッシュ監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09143718A true JPH09143718A (ja) | 1997-06-03 |
| JP3741161B2 JP3741161B2 (ja) | 2006-02-01 |
Family
ID=17874279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29956595A Expired - Fee Related JP3741161B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 連続真空蒸着装置のスプラッシュ監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3741161B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014017206A1 (ja) * | 2012-07-24 | 2014-01-30 | 東邦チタニウム株式会社 | 電子ビーム溶解炉およびこれを用いた電子ビーム溶解炉の運転方法 |
| JP2014198859A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 日立造船株式会社 | 電子ビーム蒸着装置 |
| RU173529U1 (ru) * | 2016-11-18 | 2017-08-30 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Иллюминатор вакуумной камеры |
| CN111499215A (zh) * | 2020-05-26 | 2020-08-07 | 深圳市锐欧光学电子有限公司 | 一种光学玻璃的表面防护镀膜真空镀膜智造装置 |
| CN113881919A (zh) * | 2021-09-23 | 2022-01-04 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 镀膜融料的加热方法及镀膜设备 |
-
1995
- 1995-11-17 JP JP29956595A patent/JP3741161B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014017206A1 (ja) * | 2012-07-24 | 2014-01-30 | 東邦チタニウム株式会社 | 電子ビーム溶解炉およびこれを用いた電子ビーム溶解炉の運転方法 |
| JP2014024066A (ja) * | 2012-07-24 | 2014-02-06 | Toho Titanium Co Ltd | 電子ビーム溶解炉およびこれを用いた電子ビーム溶解炉の運転方法 |
| US9773642B2 (en) | 2012-07-24 | 2017-09-26 | Toho Titanium Co., Ltd. | Electron beam melting furnace and method for operating same |
| JP2014198859A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 日立造船株式会社 | 電子ビーム蒸着装置 |
| RU173529U1 (ru) * | 2016-11-18 | 2017-08-30 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Иллюминатор вакуумной камеры |
| CN111499215A (zh) * | 2020-05-26 | 2020-08-07 | 深圳市锐欧光学电子有限公司 | 一种光学玻璃的表面防护镀膜真空镀膜智造装置 |
| CN111499215B (zh) * | 2020-05-26 | 2021-06-18 | 深圳市锐欧光学电子有限公司 | 一种光学玻璃的表面防护镀膜真空镀膜智造装置 |
| CN113881919A (zh) * | 2021-09-23 | 2022-01-04 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 镀膜融料的加热方法及镀膜设备 |
| CN113881919B (zh) * | 2021-09-23 | 2024-02-27 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 镀膜融料的加热方法及镀膜设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3741161B2 (ja) | 2006-02-01 |
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