JPH09147597A - メモリ集積回路チップ、その製造方法及びその試験方法 - Google Patents

メモリ集積回路チップ、その製造方法及びその試験方法

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JPH09147597A
JPH09147597A JP7311706A JP31170695A JPH09147597A JP H09147597 A JPH09147597 A JP H09147597A JP 7311706 A JP7311706 A JP 7311706A JP 31170695 A JP31170695 A JP 31170695A JP H09147597 A JPH09147597 A JP H09147597A
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memory
data
memory cells
address
memory array
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JP7311706A
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English (en)
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E Ong Adrian
イー. オング アドリアン
K Waller William
ケネス ウォラー ウィリアム
Paul S Zagar
エス. ザガー ポール
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Micron Technology Inc
Original Assignee
Micron Technology Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 効率良く試験が行えるメモリセル、および複
雑な回路トポロジーを有する半導体ICを試験するため
方法を提供する。 【解決手段】 予め規定された回路トポロジーのメモリ
集積回路チップはオンチップのトポロジー論理ドライバ
を有する。トポロジー論理ドライバは、メモリアレイの
回路トポロジー内でのアドレスされたメモリセルの位置
に基づいて、メモリIC内のアドレスされたメモリセル
に書き込まれ及びメモリセルから読み出されたデータを
選択的に反転する。トポロジー論理ドライバは好ましく
は、回路トポロジーを規定するブール関数を具現化する
論理回路である。このようなメモリICsを試験し製造
するための方法も開示されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、オンチップのトポ
ロジー復号化回路を有するメモリ集積回路に関するもの
である。本発明はまた、このような回路を試験および製
造するための方法に関するものである。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】メモリ集積回路(IC
s)は、2進値データを示す電荷を蓄積するために使用
される数百万ものメモリセルからなるメモリアレイを有
している。例えば、メモリセル内にける電荷の存在は一
般的には2進値の「1」の値と同じであり、また電荷が
無いことは一般的には2進値の「0」の値と等しいもの
である。メモリセルは列ラインと行ライン上でアドレス
信号を介してアクセスされる。アクセスされた場合、デ
ジットないしビットラインを介してアドレスされたメモ
リセルにデータが書き込まれ又はこれからデータが読み
出される。メモリアレイ内のメモリセル、列ライン、お
よび行ラインは、通常は回路「トポロジー」と称される
特定のレイアウトないし形状で配列されている。回路ト
ポロジーは種々の設計されたメモリICsの間で大きく
異なっている。多くのメモリ回路トポロジーの内で見出
だされた1つの共通のデザインは「折り返しビットライ
ン(folded bit line)」構造である。
折り返しビットライン構造においては、ビットラインは
対で配列され、各対には相補的な2進値信号が割り当て
られる。例えば、対内の1つのビットラインは2進値信
号DATA専用であり、他のビットラインは相補的な2
進値信号DATA* 専用である。(アスタリスク*符号
は2進値補数を示すために使用される。)
【0003】メモリセルは折り返し対内のビットライン
のいずれかに接続されている。読み出しおよび書き込み
動作の間において、ビットラインは、メモリセルに書き
込まれまたはこれから読み出されるデータ内容に応じて
対向する電圧レベルで駆動される。説明の便宜上、以下
の説明では2進値「1」を示す電荷を保持したメモリセ
ルの読み出し動作について説明する。対内の両ビットラ
インの電位は最初は、2.5ボルトのような中間電圧レ
ベルにされる。次いで、アドレスされたメモリセルがア
クセスされそこに保持された電荷はビットラインの1つ
に転送され、そのビットラインの電圧を対の一方より僅
かに上に上げる。センス増幅器、あるいは同様な回路
が、ビットライン対上の電圧差を感知し、また最初のビ
ットライン上の電圧を例えば5ボルトに増大し、また2
番目のビットライン上の電圧を例えば0ボルトに減少す
ることにより、この電圧差を増大させている。折り返し
ビットラインへこれにより相補的な形態でデータを出力
する。
【0004】折り返しビットライン構造の1つの例が撚
りビットライン構造である。図1は、アレイを横切る接
続点20においてフリップないし撚られたビット対D0
/D0* −D3/D3* を有する撚りビットライン構造
を示したものである。メモリセルはアレイを通じてビッ
トライン対に接続されている。ビットライン対D0/D
* に接続された代表的なメモリセル22a−22nお
よび24a−24nを示した。撚りビットライン構造
は、チップ動作の間におけるビット−ライン干渉ノイズ
を低減する技術から派生したものである。このようなノ
イズはメモリサイズの増大とともに一層問題となってい
る。よって、撚りビットライン構造は、64メガDRA
M(Dynamic Random Access M
emory)のような、大型のメモリに使用されてい
る。
【0005】撚りビットライン構造は単純な折り返しビ
ットライン構造よりも複雑なトポロジーを持っている。
図1のレイアウトのメモリセルにアクセスすることはよ
り複雑となる。例えば、撚り接続点20のいずれか側上
のメモリセルに対して異なるアドレスが使用される。メ
モリICsにおけるメモリ容量の増大、さらにはサイズ
の維持ないし減少とともに、その他のノイズ問題やレイ
アウト上の制約によってより複雑な形状とせざるを得な
くなっている。この結果、これらの回路のトポロジーは
より一層複雑となり、また各層の複雑さがトポロジーを
表示する等式に別の項を付加することから数学的に表現
することがより困難となる。これがアドレス機構をより
複雑なものとしている。
【0006】メモリICsに対しての1つの問題は試験
手順である。複雑なトポロジーを有するメモリICsを
試験することがますます困難になっている。ICsを試
験するために、メモリ製造業者は、メモリICのトポロ
ジーを表す複雑なブール関数で製造業者によりプログラ
ムされた試験装置を用いている。このブール関数は製造
業者により作られたものである。従来の試験装置は6ビ
ットアドレスまで取り扱う能力がある。トポロジーがよ
り複雑となるのに伴い、いくつかの試験パターンに対し
ては6ビットアドレスでは個々のセルを十分にアドレス
することができない。これにより試験装置が有効でなく
なってしまう。さらに、ユーザがある期間の使用後に特
定のメモリデバイスを修理する場合、製造業者に問い合
わせることなしに試験装置に必要なブール関数を入力す
ることが非常に困難となる。
【0007】試験期間を早めるために、試験の間に圧縮
の形態が使用されたときには、試験上の問題はより一層
明白となる。すべての「1」または「0」の試験パター
ンをメモリセルのグループに対して同時に書き込むこと
は一般的なことである。図1の撚りビットライン対内の
メモリセルへの次の例のようなすべて「1」の試験パタ
ーンを書き込む場合について考察する。試験の圧縮の際
には、すべての4つのビットライン対D0/D0* 、D
1/D1* 、D2/D2* 、およびD3/D3* に対し
て1ビットが使用される。このような従来のアドレス機
構においては、メモリセルが、「1」を受けるために、
メモリセルに接続されたビットライン上に置かれた2進
値「1」または「0」を持つ必要があるかどうかが単一
のアドレスビットから識別することができないことか
ら、すべてのメモリセル内に「1」を置くことは不可能
である。したがって、複雑なトポロジーのメモリICs
に対して試験装置は十分に試験をすることができない。
逆に、試験期間が長すぎることからセル単位でメモリI
Cを試験することは望ましくない。
【0008】本発明の目的は、このような試験を効率良
く行うことができるメモリセル、並びに複雑な回路トポ
ロジーを有する半導体ICsを試験するための方法を提
供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、組込み型の、
オンチップのトポロジー回路を有する半導体メモリIC
を提供するものである。このメモリICは、複数のメモ
リセルおよび関連するメモリセルに接続された多数のア
クセスラインを有する、予め規定された回路トポロジー
のメモリアレイを含んでいる。アドレスデコーダはメモ
リアレイ内の1つまたはそれより多くのメモリセルを選
択的にアクセスするためのアドレスを提供する。またI
/Oバッファは、メモリアレイ内のメモリセルに書き込
まれ及びメモリセルから読み出されたデータを一時的に
保持する。読み出し/書き込み制御器は、データの書き
込み動作とデータの読み出し動作を管理し、I/Oバッ
ファとアドレスされたメモリセルとの間でデータを転送
する。
【0010】オンチップのトポロジー論理ドライバは、
アドレスされたメモリセルに書き込まれ及びメモリセル
から読み出されたデータを選択的に反転する。このトポ
ロジー論理ドライバはメモリアレイの回路トポロジー内
でのアドレスされたメモリセルの位置に基づいて、特定
のアドレスされたメモリセルに対するデータを選択的に
反転し、他のアドレスされたメモリセルに対するデータ
を反転しない。好ましい実施の形態においては、トポロ
ジー論理ドライバは、アドレス内の選択されたビットの
ブール関数を具現化する論理ゲートの組み合わせを含
み、これによりブール関数によりメモリアレイの回路ト
ポロジーが規定される。
【0011】本発明はまたこのようなメモリを試験し製
造するための方法も提供する。
【0012】
【発明の実施の形態】図2は、本発明にしたがって構成
された半導体メモリICチップ30を示したものであ
る。メモリIC30は、メモリアレイ32、データI/
Oバッファ34、アドレスデコーダ36、並びに読み出
し/書き込み制御器38を含んでいる。メモリアレイ3
2は、予め規定された回路トポロジーで配列された多く
のメモリセルから構成される。これらのメモリセルは、
列アドレス信号CA0−CAJおよび行アドレス信号R
A0−RAKを経てアドレス可能である。アドレスデコ
ーダ36は外部ソース(マイクロプロセッサやコンピュ
ータ)からの行アドレスと列アドレスを受け、またチッ
プ上で使用するためのアドレスをデコードする。内部行
及び列アドレスはアドレスバス40を経て運ばれる。ア
ドレスデコーダ36はこのようにして、メモリアレイ内
の1つまたはそれより多くのメモリセルを選択的にアク
セスするためのアドレス(行アドレスと列アドレス)を
提供する。データI/Oバッファ34はメモリアレイ内
のメモリセルから読み出されまたはこれに書き込まれる
データを一時的に保持する。DQバッファとも称される
ことのある、データI/Oバッファは、データD0−D
Lを運ぶデータバス42を経てメモリアレイ32に接続
されている。読み出し/書き込み制御器38は、I/O
バッファ34とメモリセルとの間のデータ伝送をするデ
ータ書き込みおよびデータ読み出し動作を管理するため
に使用されるタイミングと制御信号を発生するために、
メモリアレイ32とデータI/Oバッファ34に接続さ
れている。このようにして、データI/Oバッファと読
み出し/書き込み制御器38は選択されたビットライン
とのデータ読み出しおよび書き込みのためのデータI/
O手段を効率的に形成している。
【0013】メモリIC30はまた、アドレスバス40
およびメモリセル32に接続されたオンチップのトポロ
ジー論理ドライバ50を有している。トポロジー論理ド
ライバは、ICの回路トポロジーにおける複雑さを考慮
して、I/Oデータバス42上で書き込まれおよび読み
出されたデータを選択的に反転する、1つまたはそれよ
り多くの反転信号を出力する。トポロジー論理ドライバ
は、メモリアレイの回路トポロジー内でのアドレスされ
たメモリセルの位置に基づいて特定のアドレスされたメ
モリセルに対するデータを選択的に反転し他のメモリセ
ルに対するデータを反転しない。
【0014】本発明の種々の特徴を説明するための、例
示した実施の形態においては、トポロジー論理ドライバ
50は、2つの相補的な信号のセットEVINV/EV
INV* およびODINV/ODINV* の形式で反転
信号を出力する。相補的なEVINV/EVINV*
号は、データバス42上をメモリアレイへおよびこれに
伝送されたデータの偶数ビットを交互に反転ないし反転
しないようにするために使用される。同様に、相補的な
ODINV/ODINV* 信号は、データの奇数ビット
を交互に反転ないし反転しないようにするために使用さ
れる。これらの相補的な信号は以下により詳細に説明す
る。
【0015】トポロジー論理ドライバ50は異なるIC
レイアウトに対して特別に設計される。つまり、トポロ
ジー論理ドライバ50は、メモリICの特定のトポロジ
ーデザインを特別に考慮して構成される。したがって、
トポロジー論理ドライバ50は種々のメモリICsに対
して異なるように構成される。論理ドライバは好ましく
は、与えられたメモリアレイの回路トポロジーを規定す
るブール関数を表現する論理回路として構成される。メ
モリICチップ上にトポロジー論理ドライバを設計する
ことで、異なるメモリICのテスト毎に複雑なブール関
数でメモリICsを試験するために試験装置を特別にプ
ログラムする必要がなくなる。メモリICは、製造者ま
たはユーザが考慮することなしにトポロジー調節を自動
的に実現することができる。
【0016】次に、一例として64メガDRAMの内容
について、本発明を説明する。併せて、トポロジー論理
ドライバ50の好ましい構成を詳細に説明する。
【0017】図3は図2のメモリアレイ32の一部を示
したものである。メモリ部分は、第1のメモリブロック
52と第2のメモリブロック54から構成される。各メ
モリブロックは、行アクセスラインと列アクセスライン
の交点に接続された多数のアレイ状のメモリセルを有し
ている。第1のメモリブロック52は、低電圧の、Nと
Pのセンス増幅器56と58の2つのセット間に接続さ
れている。同様に、第2のメモリブロック54は、Nと
Pのセンス増幅器56と60の2つのセット間に接続さ
れている。センス増幅器は、ビットないしデジットライ
ンとも称される、列アクセスライン62に接続されてい
る。列アクセスライン62は、アドレスデコーダ36
(図2)から受信した列アドレスを領域的にデコードす
る、列デコード回路64により選択される。
【0018】各メモリブロック52と54は、奇数列デ
コード回路66と68および偶数列デコード回路70と
72にそれぞれ接続されている。これらのデコード回路
は、ワードラインとも称される、行アクセスライン74
に接続されている。行デコード回路は、アドレスデコー
ダ36から受信したアドレスに基づいて、メモリアレイ
ブロック内のメモリセルにアクセスするために、行ライ
ン74を選択する。
【0019】図4にメモリアレイブロック52をより詳
細に示した。メモリアレイブロックは、行アクセスライ
ン74と列アクセスライン62の交点に作動的に接続さ
れた、複数のメモリセル(小さい箱により示された)を
有している。列アクセスラインはビットライン対を形成
するために対で配置されている。4ビットライン対の2
つのセットは、各セットがビットライン対D0/D
* 、D1/D1* 、D2/D2* 、およびD3/D3
* を含むようにして例示されている。上側ないし第1の
ビットライン対のセットは列アドレスビットCA2=0
により選択され、また下側ないし第2のビットライン対
のセットは列アドレスビットCA2=1により選択され
る。
【0020】偶数ビットライン対D0/D0* とD2/
D2* は左側ないし偶数の第1のセンス増幅器56に接
続されている。奇数ビットライン対D1/D1* とD3
/D3* は右側ないし奇数の第1のセンス増幅器58に
接続されている。偶数または奇数のセンス増幅器は列ア
ドレスCA0の最下位ビットにより交互に選択される。
なお、CA=0は偶数の第1のセンス増幅器56を選択
し、またCA=1は奇数の第1のセンス増幅器58を選
択する。4つの偶数ビットライン対D0/D0* とD2
/D2* はさらに、第2のDCセンス増幅器80の前に
ある2つのセットのI/Oラインに接続されている。同
様に、4つの奇数ビットライン対D1/D1* とD3/
D3* はさらに、第2のDCセンス増幅器82に接続さ
れている異なる2つのセットのI/Oラインに接続され
ている。第2のDCセンス増幅器80と82は同じデー
タラインを経てデータI/Oバッファ(図4では省略し
た)に接続されている。
【0021】DCセンス増幅器80は入来する反転信号
INV0およびINV1を有し、またDCセンス増幅器
82は反転信号INV2およびINV3を受信するため
に接続されている。これらの信号はトポロジー論理ドラ
イバ50(図2)により発生される。これらの独立した
反転信号は、ビットラインD0/D0* 、D1/D
* 、D2/D2* 、およびD3/D3* 上のデータを
別々に反転することができる。他の実施の形態例とし
て、4つより少ない反転信号を用いるようにしても良
い。以下に図5を参照してより詳細に説明する、例示し
た回路トポロジーでは、偶数のビットラインD0とD2
上に置かれた偶数データビットはアレイ中で同一であ
り、また奇数のビットラインD1とD3上に置かれた奇
数データビットは同一であることが判る。よって、2つ
の反転信号、偶数反転EVINVと奇数反転ODINV
を4つの示した反転信号INVO−INV3に代えて用
いることができる。
【0022】個々のビットライン対は撚りライン構造で
あり、ビットライン対内のビットラインは、メモリアレ
イブロックの中間内の撚り接続76において他のビット
ライン対内の他のビットラインに交差している。好まし
くは、2つのビットライン対からのビットラインの重ね
合わせを含む撚り構成とすることができる。
【0023】行ライン74は、選択された行に接続され
た個々のメモリセルにアクセスするために使用される。
偶数行512、514、…768、770…などは偶数
行デコーダ回路70に接続され、また奇数行513、5
15、…769、771…などは行デコーダ回路66に
接続されている。撚り接続76の左側のメモリセルは、
行アドレスビットRA8=0を経てアドレスされ、また
撚り接続76の右側のメモリセルは、行アドレスビット
RA8=1を経てアドレスされる。アレイブロック内の
いくつかのメモリセルは、予備のメモリセルである。例
えば、行512と768に接続されたメモリセルは予備
のメモリセルである。このようなセルは、試験の間に検
出されたアレイ内の欠陥のあるメモリセルの代わりに使
用される。オンチップトポロジー論理ドライバを有す
る、1つの好ましいメモリICの試験方法を次に説明す
る。欠陥のあるメモリセルを予備のメモリセルに置き換
えるためのプロセスは、従来の、公知の技術を使用して
行われる。
【0024】図4のICレイアウトは64メガDRAM
の回路トポロジーの特定の例を示したものである。この
回路トポロジーを与えることで、トポロジー論理ドライ
バ50はこのDRAMに対して派生することができる。
DRAMの特別な派生を図5−8を参照して詳細に説明
する。
【0025】図5は、アレイブロック52の回路トポロ
ジーを示した表である。この表は撚りの左側に行R51
2、R513、R514およびR515を、また撚りの
右側に行R768、R769、R770およびR771
を含んでいる。表は、メモリセル位置についての回路ト
ポロジーの検証、およびアレイブロック52内の全ての
メモリセルに対して2進値「1」が書き込まれたとこと
の仮定により発生される。
【0026】メモリセルが行R512に接続されている
ものと考える。この行はRA8=0、RA1=0、およ
びRA0=0によりアドレスされる。ビットライン対の
セットの上側はCA2=0によりアドレスされる。ビッ
トライン対D1/D1* に対しては、アレイブロック5
2(図4)内の行R512上のメモリセルはビットライ
ンD1に接続されている。よって、表では、メモリセル
内に「1」のデータ値を置くためにビットラインD1に
2進値「1」を書き込まなければならない。ビットライ
ン対D0/D0* に対しては、行R512上のメモリセ
ルがビットラインD0* に接続されている。よって、表
では、メモリセル内に「1」のデータ値を置くためにビ
ットラインD0に2進値「0」を書き込まなければなら
ない(つまり、これは相補的なビット線D0* に2進値
「1」を書き込むことと同じである)。このようにして
表が出来上がっている。
【0027】ここで、表に入ったいくつかのデータは試
験パターンが全て「1」であっても2進値「0」であ
る。これは、所望のセル内に2進値「1」を記憶させる
ために「0」の入力、あるいは2進値「1」の相補的な
反転が必要である、与えられた回路トポロジーによるも
のである。
【0028】この回路トポロジーにより、偶数のビット
ラインD0およびD2上に置かれる偶数データビットは
アレイを通して同じである。同様に、奇数のビットライ
ンD1およびD3上に置かれる奇数データビットはアレ
イを通して同じである。したがって、メモリセルへの入
力に対して、データの偶数および奇数ビットを選択的に
反転するために、2つの相補的な信号の対を使用するこ
とができる。これらの相補的な反転信号は、図2に示し
たようにEVINV/EVINV* およびODINV/
ODINV* であり、EVINV/EVINV* は偶数
ビットを反転するために、またODINV/ODINV
* は奇数ビットを反転するためにそれぞれ使用される。
【0029】図4の例示的なトポロジー回路に対する反
転信号EVINVとODINVのブール関数は図5の表
から次のように派生することができる。
【0030】
【表1】 EVINV = [(RA8* × RA0* × RA1*)+ (RA8* × RA0 × RA1) +(RA8 × RA0*× RA1*)+ (RA8 × RA0 × RA1)]× CA2* + [(RA8* × RA0 × RA1*)+ (RA8* × RA0* × RA1) +(RA8 × RA0 × RA1*)+ (RA8 × RA0* × RA1)]× CA2 = (RA0* × RA1* + RA0 × RA1) × CA2* + (RA0 × RA1* + RA0* × RA1) × CA2* ODINV = [(RA8* × RA0 × RA1*)+ (RA8* × RA0* × RA1) +(RA8 × RA0*× RA1*)+ (RA8 × RA0 × RA1)]× CA2* + [(RA8* × RA0* × RA1*)+ (RA8* × RA0 × RA1) +(RA8 × RA0 × RA1*)+ (RA8 × RA0* × RA1)]× CA2 = [RA8* × (RA0 + RA1) + RA8 × (RA0 + RA1)*] × CA2* + [RA8* × (RA0 + RA1)* + RA8 × (RA0 + RA1)]× CA2
【0031】図6と図7は、行アドレスと列アドレスに
基づいて、反転信号EVINVとODINVを発生する
ためのこれらのブール関数を具現化するための回路を示
したものである。これらの回路は、上記した64メガD
RAMに対するトポロジー論理ドライバ50の一部であ
る。トポロジー論理ドライバは、全体又は汎用トポロジ
ー復号化回路100(図6)、および汎用トポロジー復
号化回路100に接続された多数の領域トポロジー復号
化回路110(図7)を含んでいる。
【0032】図6の汎用トポロジー復号化回路100
は、好ましくは、メモリアレイの中心に位置される。こ
の回路は、行アドレス信号RA0、RA0* 、RA1、
RA1* 、RA8、RA8* の関数に基づいて、可能性
のあるデータ変換に対して、メモリアレイ内でメモリセ
ルの領域を識別指定する。汎用トポロジー復号化回路1
00は、2つの最下位ビットRA0、RA1およびこれ
らの補数値(信号)を受信するために、排他的OR(X
OR)ゲート102を有している。これらの行アドレス
ビットは特定の行ラインを選択するために使用される。
XOR機能の出力は、汎用偶数ビット変換信号GEVI
NVを生成するために反転される。ANDゲート104
の組み合わせにより、XOR機能により得られたものが
アドレスビットRA8とRA8* に結合される。これら
の行アドレスビットは撚り接合76のいずれかの側でメ
モリセルを選択するために使用される。この論理の結果
は汎用奇数ビット反転信号GODINVである。
【0033】図7の回路110のような、多数の領域ト
ポロジー復号化回路が、アレイを通して可能性のあるデ
ータ変換に対してメモリセルの特定の領域を識別するた
めに設けられている。各領域トポロジー復号化回路11
0は2つのXORゲート112と114からなり、これ
らは汎用反転信号GEVINVとGODINVおよび列
アドレス信号CA2とCA2* のXOR機能を達成す
る。列アドレス信号CA2とCA2* は、ビットライン
対D0/D0* −D3/D3* の特定のセットを選択す
るために使用される。回路110は、領域のアレイブロ
ック内で使用される反転信号EVINVとODINVを
出力する。
【0034】図8は、メモリアレイ内でEVINV/E
VINV* 信号を内部の偶数ビットライン対(つまり、
D0/D0* とD2/D2* )にインターフェースする
ための偶数ビット反転I/O回路120を示したもので
ある。反転I/O回路120は、説明の便宜上、ビット
ライン対D0/D0* に接続して示した。この回路は、
ビットライン対D0/D0* で読み出しおよび書き込ま
れたデータを反転するように機能する。ODINV/O
DINV* 信号を内部の奇数ビットライン対(つまり、
D1/D1* とD3/D3* )にインターフェースする
ための奇数ビット反転I/O回路も同様であるため、回
路120だけをここでは詳細に説明する。なお、反転I
/O回路120はトポロジー論理ドライバ50の一部で
ある。
【0035】偶数ビット反転I/O回路120は、領域
トポロジー復号化回路110からのENINVとEVI
NV* 信号を受信するXORゲート124を有してい
る。I/O回路120は、クロスオーバートランジスタ
配列ないしデータインバータ126と書き込みドライバ
128を含んでいる。I/O回路120はDCセンス増
幅器122に接続されている。データは、データ読み出
しラインDR/DR* およびセンス増幅器122を経
て、ビットライン対D0/D0* へまたはこれから伝送
される。データ読み出しラインDR/DR* はデータI
/Oバッファ34(図2)に接続されている。データ
は、XORゲート124への入力であるデータ書き込み
制御信号DWに依存して書き込まれまたは読み出され
る。XORゲート124の出力は書き込みドライバ12
8を制御している。
【0036】EVINV/EVINV* 信号はクロスオ
ーバトランジスタ配列ないしデータインバータ126に
接続されている。データが反転される場合には、EVI
NV信号がハイ且つEVINV信号がローとなる。これ
によりデータインバータ126はデータラインD0/D
* へまたはこれからのデータをフリップする。逆に、
データが反転されない場合には、EVINV* 信号がロ
ー且つEVINV信号がハイとなる。これによりデータ
インバータ126は同じデータを反転しないでそのまま
保持する。
【0037】汎用トポロジー回路100(図6)、領域
トポロジー回路110(図7)、および反転I/O回路
120(図8)を含む、オンチップのトポロジー論理ド
ライバは、行アドレスと列アドレスの関数に依存して、
特定のメモリセルに対して効率的にデータを反転する。
上記の例では、論理ドライバは行ビットRA0、RA0
* 、RA1、RA1* 、RA8、RA8* と列ビットC
A2、CA2* の関数に基づいて動作する。アドレスビ
ットを用いることで、論理ドライバは、撚りビットライ
ン構造を含む、あらゆる回路トポロジーを考慮すること
ができる。このようにして、トポロジー論理ドライバ
は、他の手段を具現化することができるが、メモリアレ
イの回路トポロジー内のアドレスされたメモリセルの位
置に基づいて、アドレスされたメモリセルからデータを
読み出されまたはこれへ書き込まれるデータを効率的に
反転することができる、データ反転手段を規定する。
【0038】上記では64メガDRAMについての特定
の好ましい実施の形態を説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、他のすべての回路トポロジーに
使用できるものである。例えば、回路トポロジーが、撚
り行ライン構造、あるいは複雑なメモリブロックのミラ
ー構成、あるいはより複雑な撚りビットラインアーキテ
クチャなどにである場合にも同様に適用できる。
【0039】また、本発明は、オンチップのトポロジー
論理ドライバを有するメモリ集積回路チップを製造する
ための方法に関するものである。本方法は、第1に、予
め規定された回路トポロジーの集積回路チップを選定・
設計することを含んでいる。次いで、修正回路の回路ト
ポロジーを表すブール関数が求められる。その後、求め
られたブール関数を具現化するトポロジー論理回路が集
積回路チップ上に形成される。
【0040】本発明のメモリICは、組み込まれた、オ
ンチップのトポロジー回路を有する点において従来技術
のメモリICsより勝っている。オンチップのトポロジ
ー論理ドライバは、メモリアレイの回路トポロジー内の
アドレスされたメモリセルの位置に基づいてアドレスさ
れたメモリセルに書き込まれまたはそれから読み出され
たデータを選択的に反転する。この予め規定されたトポ
ロジー回路に使用により、製造業者やユーザにおける特
定のメモリICに対してブール関数で試験装置をプログ
ラムする必要がなくなる。その代わり、各メモリIC
は、あらゆる複雑な回路トポロジーを考慮したそれ自身
の内部アドレスデコーダを有している。試験装置では、
トポロジーの理由によりデータが反転されるかどうかを
考慮することなく、メモリアレイに試験パターンのデー
タを書き込むだけで良い。
【0041】新規なオンチップのトポロジー復号化回路
による他の利点は、メモリアレイの試験が容易となるこ
とである。オンチップのトポロジー回路は、多くの試験
ビットがアレイ内のメモリセルに同時に書き込みおよび
読み出しがされる試験の圧縮モードに特に有用である。
よって、本発明の他の特徴は、予め定められた回路トポ
ロジーおよびオンチップのトポロジー復号化回路を有す
るメモリ集積回路チップを試験するための方法に関する
ものである。本方法を、図4−図8に示した64メガD
RAMの特定の実施の形態を参照して説明する。
【0042】図9は、本発明の試験方法を例示したもの
である。第1のステップ200はメモリアレイ内のメモ
リセルのグループにアクセスすることである。メモリセ
ルの1つの可能性のあるグループは図4においてメモリ
アレイブロック52である。次いで、試験データの選択
されたビット数が試験パターンにしたがってアクセスさ
れたメモリセルのグループに同時に書き込まれる(ステ
ップ202)。試験パターンの例としては、全て2進値
「1」、全て2進値「0」、「1」と「0」が交互にあ
るチェッカーボードパターン、あるいは他の可能性のあ
る「1」と「0」の組み合わせである。
【0043】オンチップのトポロジー論理ドライバは同
時に書き込まれた大量のデータビットを収容することが
できる。例えば、128倍圧縮(つまり、128ビット
を同時に書き込む)あるいはそれより大きいものを本発
明の回路を使用して行うことができる。この試験性能は
試験装置の能力を越えるものである。4つの第2の増幅
器が1つのデータラインに接続されているので、試験装
置は第2の増幅器80と82において全ての4つの書き
込みドライバに同じデータを書き込むことができる。し
かしながら、図5の表からは、D1とD3が実際にメモ
リセルに同じデータが書き込まれるのに対して、D0と
D2は反対の状態でなければならない。よって、4つの
I/Oラインの2つの上のデータを反転しなければなら
ない。外部の試験装置はこのような状態を扱うことがで
きない。本発明のオンチップのトポロジー回路は、しか
しながら、この状態を取り扱うことができ、さらには全
ての読み出し/書き込みドライバを同時に選択する最大
の試験アドレス圧縮を容易に収容することができる。
【0044】次のステップ204は、メモリアレイの与
えられた回路トポロジーに試験パターンを行うために反
転データを受信しなければならないアクセスされたグル
ープ内の特定のメモリセルを内部で位置決めすることで
ある。図5の表において、行R512(CA2=0)内
の上部ビットラインD0とD2に印加されたデータは、
全て「1」の試験パターンが実際にメモリセルに書き込
まれることを保証するために、反転されなければならな
い。ステップ206において、特定のメモリセルに書き
込まれた試験データのビットは、回路トポロジー内のそ
れらの位置に基づいて選択的に反転される。他のメモリ
セル(行R512内の上部ビットラインD1とD3のよ
うな)に書き込まれた試験データの残りのビットは、反
転されない。
【0045】書き込みおよび反転ステップに続いて、試
験データは次いで、アクセスされたメモリセルのグルー
プから読み出される(ステップ208)。先に反転され
て特定の指定されたメモリセルに書き込まれた試験デー
タは、それらの所望の状態に戻すためにオンチップで再
度選択的に反転される(ステップ210)。その後、メ
モリ集積回路が欠陥のメモリセルを持つかどうかを決定
するために、アクセスされたメモリセルのグループから
読み出された試験データのビットはアクセスされたメモ
リセルのグループに書き込まれた試験データのビットと
比較される。
【0046】
【発明の効果】以上、本発明によれば、効率良く試験が
行えるメモリセル、および複雑な回路トポロジーを有す
る半導体ICを効率よく試験するため方法が提供され
る。以上、本発明を特定の実施の形態について説明した
が、本発明はこれら特定の実施の形態に制限されるもの
ではない。本発明の範囲は、請求の範囲の記載に基づい
て規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】折り返しおよび撚りビットライン構造を有する
回路トポロジーの説明図である。
【図2】本発明にしたがって構成されたメモリ集積回路
のブロック図であり、メモリ集積回路はメモリアレイと
トポロジー論理ドライバを有している。
【図3】図2のメモリアレイにおける2つのメモリアレ
イブロックを例示したブロック図である。
【図4】本発明の1つの実施の形態による図3のメモリ
アレイブロックの好ましい回路トポロジーのブロック図
であり、好ましい撚りビットライン構造も示されてい
る。
【図5】図4のアレイブロックの回路トポロジーを示し
た表の説明図である。
【図6】データ反転のためにメモリアレイ内の特定の領
域を識別するため図2のトポロジー論理ドライバにおい
て使用される汎用復号化回路の説明図である。
【図7】データ反転のために選択された領域を起動する
ため図2のトポロジー論理ドライバにおいて使用される
領域復号化回路の説明図である。
【図8】図2の回路におけるトポロジー論理ドライバの
回路内のデータ反転I/O回路の説明図である。
【図9】本発明によるオンチップトポロジー論理ドライ
バを有するメモリ集積回路を試験するための方法を例示
したフローの説明図である。
【符号の説明】
30 半導体メモリICチップ 32 メモリアレイ 34 データI/Oバッファ 36 アドレスデコーダ 38 読み出し/書き込み制御器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウィリアム ケネス ウォラー アメリカ合衆国 83704 アイダホ州, ボイズ, マウンテン ヴュー ドライブ 2726 (72)発明者 ポール エス. ザガー アメリカ合衆国 83706 アイダホ州, ボイズ, ブルーステム レーン 2107

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 予め規定された回路トポロジーのメモリ
    アレイであり、該メモリアレイは複数のメモリセルおよ
    び関連したメモリセルに接続された多数のアクセスライ
    ンを有したメモリセルと、 メモリアレイ内の1つまたはそれより多くのメモリセル
    を選択的にアクセスするためのアドレスを提供するため
    のアドレスデコーダと、 メモリアレイ内のメモリセルに書き込まれ及びメモリセ
    ルから読み出されたデータを一時的に保持するためのI
    /Oバッファと、 データの書き込み動作とデータの読み出し動作を管理
    し、I/Oバッファとアドレスされたメモリセルとの間
    でデータを転送するための読み出し/書き込み制御器
    と、 アドレスされたメモリセルに書き込まれ及びメモリセル
    から読み出されたデータを選択的に反転するためのトポ
    ロジー論理ドライバであり、該トポロジー論理ドライバ
    はメモリアレイの回路トポロジー内でのアドレスされた
    メモリセルの位置に基づいて特定のアドレスされたメモ
    リセルに対するデータを選択的に反転し、且つ他のアド
    レスされたメモリセルに対するデータを反転しない、ト
    ポロジー論理ドライバとから構成されるメモリ集積回路
    チップ。
  2. 【請求項2】 前記トポロジー論理ドライバがアドレス
    内の選択されたビットのブール関数を具現化する論理ゲ
    ートの組み合わせを含み、ブール関数がメモリアレイの
    回路トポロジーを規定することを特徴とする請求項1記
    載のメモリ集積回路チップ。
  3. 【請求項3】 前記アクセスラインが、行ライン及び対
    で配列されたビットラインを含み、 前記アドレスデコーダが、行ラインを選択するための行
    アドレスとビットライン対を選択するための列アドレス
    を含むアドレスを提供し、 前記トポロジー論理ドライバが、行アドレスの関数にし
    たがって、アドレスされたメモリセルから読み出されお
    よび書き込まれたデータを選択的に反転する、ことを特
    徴とする請求項1記載のメモリ集積回路チップ。
  4. 【請求項4】 前記アクセスラインが、行ライン及び対
    で配列されたビットラインを含み、 前記アドレスデコーダが、行ラインを選択するための行
    アドレスとビットライン対を選択するための列アドレス
    を含むアドレスを提供し、 前記トポロジー論理ドライバが、行アドレスと列アドレ
    スの両方の関数にしたがって、アドレスされたメモリセ
    ルから読み出されおよび書き込まれたデータを選択的に
    反転する、ことを特徴とする請求項1記載のメモリ集積
    回路チップ。
  5. 【請求項5】 予め規定された回路トポロジーのメモリ
    アレイであり、該メモリアレイは複数のメモリセルおよ
    び関連したメモリセルに接続された多数のアクセスライ
    ンを有したメモイアレイと、 メモリアレイ内の1つまたはそれより多くのメモリセル
    を選択的にアクセスするためのアドレスを提供するため
    のアドレスデコーダと、 メモリアレイ内のメモリセルに書き込まれ及びメモリセ
    ルから読み出されたデータを一時的に保持するためのI
    /Oバッファと、 データの書き込み動作とデータの読み出し動作を管理
    し、I/Oバッファとアドレスされたメモリセルとの間
    でデータを転送するための読み出し/書き込み制御器
    と、 アドレスされたメモリセルに書き込まれ及びメモリセル
    から読み出されたデータを選択的に反転するためのトポ
    ロジー論理ドライバであり、該トポロジー論理ドライバ
    はメモリアレイの回路トポロジー内でのアドレスされた
    メモリセルの位置に基づいて特定のアドレスされたメモ
    リセルに対するデータを選択的に反転し且つ他のアドレ
    スされたメモリセルに対するデータを反転せず、該トポ
    ロジー論理ドライバは可能性のあるデータ反転のための
    メモリアレイ内のメモリセルの領域を識別する汎用復号
    化回路を含み、該トポロジー論理ドライバは可能性のあ
    るデータ反転のためのメモリアレイ内のメモリセルの特
    定の領域を識別する多数の領域復号化回路を含む、トポ
    ロジー論理ドライバとから構成されたメモリ集積回路チ
    ップ。
  6. 【請求項6】 予め規定された回路トポロジーのメモリ
    アレイであり、該メモリアレイは複数のメモリセルおよ
    び関連したメモリセルに接続された多数のアクセスライ
    ンを有し、該アクセスラインは行ラインとビットライン
    を有し、ビットラインは対で配列されたメモリアレイ
    と、 メモリアレイ内の1つまたはそれより多くのメモリセル
    を選択的にアクセスするためのアドレスを提供するため
    のアドレスデコーダであり、該アドレスデコーダは行ラ
    インを選択するための行アドレスとビットライン対を選
    択するための列アドレスを含むアドレスを提供するアド
    レスデコーダと、 メモリアレイ内のメモリセルに書き込まれ及びメモリセ
    ルから読み出されたデータを一時的に保持するためのI
    /Oバッファと、 データの書き込み動作とデータの読み出し動作を管理
    し、I/Oバッファとアドレスされたメモリセルとの間
    でデータを転送するための読み出し/書き込み制御器
    と、 アドレスされたメモリセルに書き込まれ及びメモリセル
    から読み出されたデータを選択的に反転するためのトポ
    ロジー論理ドライバであり、該トポロジー論理ドライバ
    はメモリアレイの回路トポロジー内でのアドレスされた
    メモリセルの位置に基づいて特定のアドレスされたメモ
    リセルに対するデータを選択的に反転し且つ他のアドレ
    スされたメモリセルに対するデータを反転せず、該トポ
    ロジー論理ドライバは行アドレスの関数に基づいて可能
    性のあるデータ反転のためのメモリアレイ内のメモリセ
    ルの領域を識別する汎用復号化回路を含み、該トポロジ
    ー論理ドライバは汎用反転信号と列アドレスに基づいて
    可能性のあるデータ反転のためのメモリアレイ内のメモ
    リセルの特定の領域を識別する多数の領域復号化回路を
    含む、トポロジー論理ドライバとから構成されるメモリ
    集積回路チップ。
  7. 【請求項7】 複数のメモリセルおよび関連したメモリ
    セルに接続された多数の行ラインと列ラインを有するメ
    モリアレイであり、ビットラインは対で配列されまたビ
    ットライン対内のビットラインがメモリアレイ内の撚り
    接点においてビットライン対内で他のビットラインとク
    ロスした撚りライン構造を有したメモリアレイと、 メモリアレイ内の1つまたはそれより多くのメモリセル
    を選択的にアクセスするためのアドレスを提供するため
    のアドレスデコーダであり、該アドレスデコーダは行ラ
    インを選択するための行アドレスとビットライン対を選
    択するための列アドレスを含むアドレスを提供するアド
    レスデコーダと、 メモリアレイ内のメモリセルに書き込まれ及びメモリセ
    ルから読み出されたデータを一時的に保持するためのI
    /Oバッファと、 データの書き込み動作とデータの読み出し動作を管理
    し、I/Oバッファとアドレスされたメモリセルとの間
    でデータを転送するための読み出し/書き込み制御器
    と、 アドレスされたメモリセルに書き込まれ及びメモリセル
    から読み出されたデータを選択的に反転するためのトポ
    ロジー論理ドライバであり、該トポロジー論理ドライバ
    はメモリアレイ内でそれらの関連したビットライン対と
    撚り接点に関連したメモリセルの位置に基づいて特定の
    アドレスされたメモリセルに対するデータを選択的に反
    転し且つ他のアドレスされたメモリセルに対するデータ
    を反転しない、トポロジー論理ドライバとから構成され
    るメモリ集積回路チップ。
  8. 【請求項8】 前記トポロジー論理ドライバが、アドレ
    ス内の選択されたビットのブール関数を具現化する論理
    ゲートの組み合わせを含み、ブール関数がメモリアレイ
    の回路トポロジーを規定することを特徴とする請求項7
    記載のメモリ集積回路チップ。
  9. 【請求項9】 前記トポロジー論理ドライバが、行アド
    レスの関数にしたがって、アドレスされたメモリセルで
    書き込まれたおよび読み出されたデータを選択的に反転
    することを特徴とする請求項7記載のメモリ集積回路チ
    ップ。
  10. 【請求項10】 前記トポロジー論理ドライバが、行ア
    ドレスと列アドレスの両方の関数にしたがって、アドレ
    スされたメモリセルで書き込まれたおよび読み出された
    データを選択的に反転することを特徴とする請求項7記
    載のメモリ集積回路チップ。
  11. 【請求項11】 トポロジー論理ドライバが、 可能性のあるデータ反転のためのメモリアレイ内のメモ
    リセルの領域を識別する汎用復号化回路と、 可能性のあるデータ反転のためのメモリアレイ内のメモ
    リセルの特定の領域を識別する多数の領域復号化回路を
    含むことを特徴とする請求項7記載のメモリ集積回路チ
    ップ。
  12. 【請求項12】 トポロジー論理ドライバが、 行アドレスの関数に基づいて可能性のあるデータ反転の
    ためのメモリアレイ内のメモリセルの領域を識別し、汎
    用反転信号を出力する汎用復号化回路と、 前記汎用反転信号と列アドレスの関数に基づいて可能性
    のあるデータ反転のためのメモリアレイ内のメモリセル
    の特定の領域を識別する多数の領域復号化回路を含むこ
    とを特徴とする請求項7記載のメモリ集積回路チップ。
  13. 【請求項13】 予め規定された回路トポロジーのメモ
    リアレイであり、該メモリアレイは折り返しビットライ
    ン構造で配列された複数のビットライン対および複数の
    行ラインを有し、該ビットライン対は撚りビットライン
    構造を有し、ビットライン対内のビットラインはメモリ
    アレイ内の撚り接点においてビットライン対内で他のビ
    ットラインとクロスし、メモリアレイがビットライン対
    の交点において接続された複数のメモリセルと行ライン
    を有するメモリアレイと、 メモリアレイ内のメモリセルを選択的にアクセスするべ
    く行ラインとビットライン対の多数のビットからなるア
    ドレスを提供するアドレスデコーダと、 選択されたビットライン対に対して読み出しおよび書き
    込みするためのデータI/O手段と、 メモリアレイの回路トポロジー内でアドレスされたメモ
    リセルの位置に基づいて、アドレスされたメモリセルに
    対して書き込まれおよび読み出されたデータを選択的に
    反転するためのデータ反転手段と、から構成され、 メモリ集積回路チップが、前記メモリアレイ内の選択さ
    れたビットライン対に接続されるすべてのメモリセルに
    同じ2進値のデータを書き込む試験モードで動作可能で
    あり、前記データ反転手段が、回路トポロジーを考慮す
    るために、選択されたビットライン対に接続された特定
    のメモリセルへ入力されたデータを選択的に反転し且
    つ、選択されたビットライン対に接続された他のメモリ
    セルに入力されたデータは反転しないことを特徴とする
    メモリ集積回路チップ。
  14. 【請求項14】 前記データが交互の偶数ビットと奇数
    ビットを含み、 前記データ反転手段が2つの相補的な信号EVINV/
    EVINV* およびODINV/ODINV* のセット
    を発生し、相補的なEVINV/EVINV*信号はデ
    ータの偶数ビットを選択的に反転するために使用され、
    相補的なODINV/ODINV* 信号はデータの奇数
    ビットを選択的に反転するために使用され、 メモリアレイの回路トポロジーが、データ反転手段によ
    る反転に続いて、同じ行ラインに接続されたアドレスさ
    れたメモリセルに実際に入力されたデータの全ての偶数
    のビットが同じであり、同じ行ラインに接続されたアド
    レスされたメモリセルに実際に入力されたデータの全て
    の奇数のビットが同じであるようなものであることを特
    徴とする請求項13記載のメモリ集積回路チップ。
  15. 【請求項15】 オンチップのトポロジー論理ドライバ
    を有するメモリ集積回路チップを製造するために方法に
    おいて、該方法は、 予め規定された回路トポロジーを有し、複数のメモリセ
    ルおよび関連するメモリセルに接続された多数のアクセ
    スラインを有するメモリアレイからなる集積回路チップ
    を提供する行程と、 集積回路の回路トポロジーを表すブール関数を求める行
    程と、 集積回路チップ上にブール関数を具現化するトポロジー
    論理回路を形成する行程と、から成るメモリ集積回路チ
    ップの製造方法。
  16. 【請求項16】 予め規定された回路トポロジーを有
    し、通常および予備のメモリセルからなる複数のメモリ
    セルおよび関連するメモリセルに接続された多数のアク
    セスラインを有するメモリアレイからなるメモリ集積回
    路チップを試験するための方法であって、該方法は、 メモリセルに対するアドレスにしたがってメモリアレイ
    内のメモリセルのグループをアクセスする行程と、 試験パターンにしたがってアクセスされたメモリセルの
    グループに選択された数の試験データのビットを同時に
    書き込む行程と、 メモリアレイの与えられた回路トポロジーに対する試験
    パターンを行うために反転したデータを受信するアクセ
    スされたグループ内の特定のメモリセルを内部で位置決
    めする行程と、 回路トポロジー内の位置に基づいて特定のメモリセルに
    書き込まれた試験データのビットをオンチップで選択的
    に反転し、且つ他のメモリセルに書き込まれた試験デー
    タのビットは反転しない行程と、 メモリセルのグループから試験データを読み出す行程
    と、 先に反転された特定のメモリセルからの試験データのビ
    ットをオンチップで選択的に反転する行程と、 メモリ集積回路が欠陥のあるメモリセルを有するかどう
    かを決定するために、アクセスされたメモリセルのグル
    ープから読み出された試験データのビットをアクセスさ
    れたメモリセルのグループに書き込まれた試験データの
    ビットと比較する行程と、から成るメモリ集積回路チッ
    プの試験方法。
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