JPH0915131A - 質量変化量測定装置 - Google Patents

質量変化量測定装置

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JPH0915131A
JPH0915131A JP16205195A JP16205195A JPH0915131A JP H0915131 A JPH0915131 A JP H0915131A JP 16205195 A JP16205195 A JP 16205195A JP 16205195 A JP16205195 A JP 16205195A JP H0915131 A JPH0915131 A JP H0915131A
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章 西尾
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料容器の高さや形状等が変わっても、搬送
装置の変更を要さず、かつ、搬送装置の駆動部に耐熱性
の材料等を用いる必要がなく、安価で使いやすい質量変
化量測定装置を提供する。 【構成】 搬送装置4が試料容器Cを下からすくい上げ
て搬送する構造を採用することで、試料容器Cを把持す
るためのチャックを不要とし、試料容器Cの高さや形状
の変化に対して搬送具43を含めて搬送装置4を変更す
る必要がなく、搬送装置4の駆動部の全てを加熱乾燥室
1外に配置することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定試料に含まれる
水分をはじめとする揮発分の量ないしは率を測定すべ
く、被測定試料の加熱乾燥処理と、乾燥後の試料重量の
測定とを、所定のシーケンスのもとに自動的に行うこと
により、乾燥前後の試料重量の差または率を求める、い
わゆる質量変化量測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】被測定試料を加熱乾燥させた後にその試
料の重量を測定し、試料の当初重量との差または率を算
出することによって、被測定試料に含まれている水分等
の揮発分の量または率を求めることは、例えば医薬品の
原材料や製品の品質管理、ラテックス、パウダ、ペレッ
ト等の樹脂製品等に使用される原材料の製造ラインにお
ける品質管理において多用されている。
【0003】このような試料の質量変化量ないしは率を
自動的に測定する装置として、質量変化量測定装置ある
いは乾燥減量測定装置と称される装置が実用化されてい
る。この種の装置では、通常、すくなくとも被測定試料
の加熱乾燥処理と、加熱乾燥後の試料の重量測定を自動
的に行うべく、図5に縦断面図でその構成を例示するよ
うに、自動開閉扉51aを備えた加熱乾燥室51と、そ
の自動開閉扉51aを介して加熱乾燥室51に隣接配置
され、加熱乾燥後の試料を放冷するための放冷室52、
放冷後の試料重量を測定するための電子天びん等の計量
器53、および加熱乾燥室51と放冷室52間、およ
び、放冷室52と計量器53間で試料を移送する搬送装
置54を備えている。
【0004】ここで、試料Wは一般に容器C内に収容さ
れた状態で各部間を移送され、搬送装置54は、例えば
エアによって開閉され、容器Cに収容された試料Wを把
持可能なチャック54aと、そのチャック54aを加熱
乾燥室51、放冷室52および計量器53間で移動させ
る送りねじ機構等からなる水平移動機構54bと、チャ
ック54aを上下動させるための同じく送りねじ機構等
からなる垂直移動機構54cによって構成される。
【0005】また、加熱乾燥室51内および放冷室52
内には、それぞれターンテーブル51bおよび52aが
配置され、複数の試料をむらなく加熱乾燥ないしは放冷
できるように考慮されており、搬送機構54は、制御装
置(図示せず)からの指令に基づき、各ターンテーブル
51b,52aの回動位置との関連において、あらかじ
め設定された時間および順序のもとに、加熱乾燥室51
内のターンテーブル51b上の試料を個別に放冷室52
内のターンテーブル52a上に移送し、また、放冷室5
2内のターンテーブル52a上の試料についても個別に
計量器53上に移送する。更に、計量器53により計量
を完了した試料については、これを容器Cごとすべり台
55等を介して廃棄部56内に投入する。なお、加熱乾
燥前の試料重量の測定と、その試料の加熱乾燥室51内
への挿入を自動的に行うべく、当初重量測定用の計量器
と、その計量器と加熱乾燥室間での試料移送を司る搬送
機構を別途備えた装置もある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来の質量変化量測定装置においては、試料容器Cが
変わると(特に高さや形状が変わると)、搬送機構54
のチャック54aの形状を変更する必要が生じるばかり
でなく、搬送機構54そのものを変更する必要が生じる
場合がある。また、チャック54aはその駆動機構ごと
加熱乾燥室51内に挿入される関係上、耐高温性の材料
並びに機構を使用する必要があり、構造が複雑で高価な
ものとなるという問題がある。更に、試料容器Cには、
図6に断面図で示すように蓋C′を装着する場合がある
が、このような場合、チャック54aで把持しつつ移送
する際に、容器Cと蓋C′とが分離して落下する場合も
あり、また、容器Cがガラス製などすべりやすい材質で
ある場合には容器Cごとすべり落ちることもあるという
問題があった。
【0007】また、従来の質量変化量測定装置では、加
熱乾燥室51と放冷室52並びに計量器53が横に並ん
で配置されているため、扉51aを開放した際に加熱乾
燥室51内の熱が放冷室52内に侵入し、その一部が計
量器53の周囲に伝わる。図中の白抜き矢印はこの熱の
流れを示し、これによって対流が生じる。このような対
流が存在すると、計量器53による計量値が不安定とな
る。また、放冷室52では試料は計量器53の秤量皿近
傍の雰囲気と同程度の温度にまで放冷されないと、容器
C中の空気が温かいままとなって浮力差による測定誤差
が生じる。例えば容器Cが直径50mm×高さ20mm
の場合、容器C内の気温と計量器53の近傍の雰囲気温
度が1°Cだけ違うだけで、計量値には0.1mgの誤
差が生じる。しかし、上記のような対流の存在下におい
ては、放冷室52と計量器53の近傍の雰囲気の温度差
をなくすことは困難である。更に、横方向に各室等が並
んでいるため、設置スペースが大きく、また、加熱乾燥
室51内に試料Wを人手によって挿入する場合には、そ
の作業性を向上させるために、装置を架台57上に載せ
て、加熱乾燥室51を所定の高さにする必要があり、そ
の場合、設置場所の床面振動が架台57で拡大され、計
量器53に大きな振動が伝わって計量値が変動するとい
う問題が生じる。
【0008】本発明は以上のような実情に鑑みてなされ
たもので、その第1の目的は、試料容器Cが変化しても
搬送機構を殆ど一切変更を要することなく、確実に試料
容器を移送することが可能で、かつ、搬送機構の駆動部
に耐高温性の材料や機構等を用いる必要がなく、もって
安価で容器の変化等に柔軟に対処可能な質量変化量測定
装置を提供することにある。
【0009】また、本発明の第2の目的は、加熱乾燥室
の熱や空気の対流が放冷室や計量器に影響しにくく、か
つ、架台等を用いることなく良好な作業性を保つことが
でき、更には計量器への振動も伝わりにくく、もって正
確な質量変化量の測定が可能であり、しかも設置スペー
スが小さくてすむ質量変化量測定装置を提供することに
ある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記した第1の目的を達
成するため、第1発明の質量変化量測定装置は、被測定
試料Wを出し入れするための自動開閉扉1aを備えた加
熱乾燥室1と、加熱乾燥後の試料を放冷するための放冷
室2と、放冷後の試料重量を測定するための計量器3
と、加熱乾燥室1と放冷室2間、および放冷室2と計量
器3間で被測定試料Wを移送する搬送機構4を備えた質
量変化量測定装置において、搬送機構4は、試料Wの移
送に際しては試料Wをその下からすくい上げて搬送する
構造を有していることによって特徴づけられる。
【0011】また、第2の目的を達成するため、第2発
明の質量変化量測定装置は、上記と同様に、被測定試料
を出し入れするための自動開閉扉を備えた加熱乾燥室1
と、加熱乾燥後の試料を放冷するための放冷室2と、放
冷後の試料重量を測定するための計量器3と、加熱乾燥
室1と放冷室2間、および放冷室2と計量器3間で被測
定試料Wを移送する搬送機構4を備えた質量変化量測定
装置において、放冷室は2加熱乾燥室1の下方に設けら
れ、かつ、計量器3はその放冷室2の下方もしくは放冷
室2と同じ高さに設けられていることによって特徴づけ
られる。
【0012】
【作用】第1発明において、搬送装置4が試料Wを下か
らすくい上げて搬送する構造を採用すると、試料Wない
しは試料容器Cを把持するためのチャックが不要とな
り、搬送装置4の駆動機構は、水平方向駆動機構4aと
垂直方向駆動機構4bのみでよく、従ってこの搬送装置
4のその駆動機構の全てを加熱乾燥室1外に配置するこ
とが可能となる。また、試料Wないしは容器Cを下から
すくい上げることでこれらを移送する搬送装置4の採用
により、試料容器Cの高さや形状等が変わっても特に搬
送装置4を特に変更する必要がなく、ガラス製の容器や
蓋付きの容器でも、チャックにより把持する方式に比し
て落下等の恐れが少なくなる。
【0013】第2発明において、加熱乾燥室1の下方に
放冷室2並びに計量器3を設けた構造によると、加熱乾
燥室1内からの熱は上方に伝わる関係上、その熱が放冷
室2および計量器3に伝わる恐れが少なく、また、対流
が生じたとしても計量器3の設置位置においてはごく僅
かであり、かつ、加熱乾燥室1が放冷室2の上に位置す
ることから、架台等を用いることなく、加熱乾燥室1の
高さを必然的に良好な作業性が得られる程度に高くで
き、架台を用いることによる計量器3への振動の拡大伝
達も解消できる。また、加熱乾燥室1,放冷室2および
計量器3を横に並べた従来の構造に比して、設置スペー
スが小さくなる。
【0014】
【実施例】図1は本発明実施例の縦断面図である。加熱
乾燥室1は例えば200°C程度の恒温状態に保たれ、
その周囲は断熱材によって覆われているとともに、その
側壁部分に自動開閉扉1aが設けられている。この加熱
乾燥室1の下方には、自動開閉扉1aと同じ側の側面に
開口部2aを備えた放冷室2が配設されており、更にこ
の放冷室2の下方には、被計量物を載せるための試料皿
3aが上方に位置する、いわゆる上皿式の電子天びん等
の計量器3が配置されている。この計量器3はベース1
0上に載せられており、そのベース10上には、計量器
3に隣接してすべり台5および廃棄部6が配置されてい
る。そして、そのベース10の周囲には、上述の加熱乾
燥室1、放冷室2、計量器、すべり台5、廃棄部6、お
よび後述する搬送装置4を含めた装置全体を覆うケース
11が取り付けられている。
【0015】加熱乾燥室1と放冷室2には、それぞれタ
ーンテーブル1bおよび2bが配設されており、これら
のターンテーブル1b,2bは共通の回転軸7aを有
し、1個のモータ7によって回転が与えられる。
【0016】搬送装置4は、送りねじ機構を用いた垂直
駆動機構41と、その垂直駆動機構41によって垂直方
向に変位が与えられ、かつ、同じく送りねじ機構を用い
た水平駆動機構42によって水平方向への変位が与えら
れる搬送具43によって構成されている。垂直駆動機構
41について詳細に説明すると、ベース10上に垂直に
回動自在に支承され、モータを含む回転駆動機構41a
によって回転が与えられる垂直ねじ軸41bと、その垂
直ねじ軸41bと螺合し、かつ、回り止め用のコラム4
1cによって回転が規制されたナット41dによって構
成されている。水平駆動機構42は、前記したように垂
直駆動機構41と同様に公知の送りねじ機構を用いた機
構であり、その詳細については省略するが、要は水平ね
じ軸とその回転駆動機構、およびその水平ねじ軸の回転
により水平方向に変位するナット等によって構成され、
そのナットに搬送具43が固定されているとともに、こ
の水平駆動機構42の全体が垂直駆動機構41のナット
41dに支承されている。
【0017】試料Wを収容する試料容器Cは、搬送装置
4の搬送具43によって下からすくい上げられた状態
で、加熱乾燥室1内のターンテーブル1b〜放冷室2内
のターンテーブル2b〜計量器3の試料皿3a〜すべり
台5間を搬送される。この試料容器Cの搬送具43によ
るすくい上げを可能とすべく、各ターンテーブル1b,
2bおよび試料皿3a上には、それぞれ試料容器Cを載
せるための容器支え具Sが設けられている。
【0018】図2は容器支え具Sと搬送具43との関係
を示す要部斜視図である。容器支え具Sは、試料容器C
が載せられる水平の横板部Hと、その横板部Hをターン
テーブル1b,2bもしくは試料皿3aの上面に対して
一定の寸法だけ持ち上げた状態で支え、かつ、下辺が水
平に屈曲してターンテーブル1b等に固着される縦板部
Vによって構成され、横板部Hには略十字状のくり抜き
Uが形成され、試料容器Cは、図中黒塗り部で示す横板
部Hのくり抜きUの周辺においてその底面が支承され
る。搬送具43は、くり抜き部Uを上下に貫通し得る略
十字形状をしており、その上面に試料容器Cの底面を載
せた状態ですくい上げるように構成されている。例えば
加熱乾燥室1内のターンテーブル1b上の容器支え具S
上に載せられている試料容器Cを持ち上げるときには、
搬送具43を図1において左動させて横板部Hとターン
テーブル1bとの間に形成された空隙内のくり抜きUの
直下に位置決めした後に上昇させることで、くり抜きU
を介して試料容器Cをすくい上げる。この状態で試料容
器Cを放冷室2内のターンテーブル2b上の容器支え具
S上に移送するときには、搬送具43を図1において右
動〜下降させた後、ターンテーブル2bと容器支え具S
間の空隙に搬送具43を挿入すべく左動させ、くり抜き
Uの直下で位置決めした後に下降させる。このような動
作により、試料容器Cを搬送具43によってすくい上
げ、加熱乾燥室1内のターンテーブル1b〜放冷室2内
のターンテーブル2b〜計量器3の試料皿3a間で搬送
することが可能である。なお、すべり台5についても、
その斜面に各容器支え具Sと同様なくり抜きUを形成し
ておけば、搬送具43の同等の動作により試料容器Cを
廃棄部6に導くことができる。
【0019】以上の実施例において特に注目すべき点の
第1は、搬送装置4が、搬送具43により試料容器Cを
下からすくい上げることで、加熱乾燥室1〜放冷室3〜
計量器3〜廃棄部6間を搬送する点であり、これによ
り、試料容器Cの形状や高さが変化しても、搬送具43
を含めて搬送装置4を殆ど変更する必要がなく、また、
図6に示したような蓋C′を持つ試料容器Cでも、搬送
途中で分離するような不具合は発生しにくく、更に、チ
ャックを使用しない関係上、駆動部を加熱乾燥室1内に
挿入する必要がなく、耐高温性の駆動部を一切使用する
必要がなくなる。
【0020】また、以上の実施例における第2の注目点
は、加熱乾燥室1の下方に放冷室2が置かれ、更にその
下に計量器3が置かれているというレイアウトの点であ
り、これにより、加熱乾燥室1内の熱は放冷室2および
計量器3にまで伝達されにくく、また、その熱による対
流も計量器3の周辺にまでは至りにくく、その結果とし
て、放冷室2内で試料Wを十分に放冷することが可能と
なると同時に、計量器3による計量結果にも対流による
変動が生じないという利点が生じる。また、このレイア
ウトにより、加熱乾燥室1の位置が必然的に高くなるた
め、作業性を向上させるべく装置を架台等の上に載せる
必要がなくなり、計量器3に床面の振動が拡大されて伝
わるといった不具合が解消され、常に正確な計量結果を
得ることが可能となる。更に、このレイアウトによっ
て、図5に示した各部を横に並べる従来のレイアウトに
比して装置の占有面積が縮小されるという利点もある。
更にまた、このレイアウトの採用によって、加熱乾燥室
1と放冷室2の各ターンテーブル1bと2bを共通の回
転軸7a上に固定し、一つのモータ7を用いて両者を回
転させることができるという利点もある。
【0021】そして、上記した第1と第2の注目すべき
構成の組み合わせ、つまり、試料容器Cを搬送具43で
すくい上げて搬送する構成と、加熱乾燥室1の下方に放
冷室2および計量器3を設けた構成の組み合わせによ
り、搬送装置4の垂直移動機構41による搬送具43の
上下動を、試料容器Cの各部間の移送動作と、試料容器
Cの載せ下ろし動作の双方に兼用させることができ、チ
ャックを用いて試料容器を把持する従来の装置に比し
て、駆動機構を1つ削減することが可能となる。
【0022】なお、容器支え具Sの構造は、図2に例示
したもののほか、例えば図3(A)に示すように、ター
ンテーブル1bをはじめとして当該容器支え具Sを配置
すべき面上に、複数個のコマ状支え具S1〜S4を固着
し、その各コマ状支え具S1〜S4の図中黒塗り部で示
した部分で試料容器Cを支承してもく、この場合、図2
に示したものと同等の搬送具43を使用することができ
る。また、図3(B)に示すように、容器支え具Sを設
けず、ターンテーブル1bをはじめとする試料容器Cを
載せるべき部材の容器搭載位置に、例えば座ぐりPを形
成するとともに、その座ぐりPを部分的に切欠いてター
ンテーブル1b等の終縁にまで達するような切欠U′を
形成してもよい。この場合、搬送具43は同図に示すよ
うに、切欠U′を上下に通過できるような形状とすれば
よい。更に、これとは逆に、図3(C)示すように、タ
ーンテーブル1b等の試料容器を載せるべき部材に、そ
の終縁から外方に突出する突起Dを設け、その突起Dの
上面に試料容器Cを載せるようにし、かつ、この突起D
の幅寸法を、試料容器Cを搭載したときに容器Cの両側
が突起Dの両側縁からはみ出す程度にしておいてもよ
い。そしてこの場合、搬送具43は、同図に示すよう
に、突起Dが嵌まり込む程度の間隔の2本の指43a,
43bを有するフォーク状のもとすればよい。
【0023】また、搬送具43によって試料容器Cを下
からすくい上げて搬送することで、試料容器Cの形状や
高さが多少変わっても搬送具43を変更する必要がない
ものの、極端に直径の小さい容器を用いる場合等におい
ては、容器支え具Sのくり抜きUの寸法等の変更を必要
とする場合もある。このような場合、図4に示すよう
に、試料容器Cを容器台T上に載せ、この台Tごと試料
容器Cを搬送するように構成すれば、上記のような場合
でも全く寸法変更等の必要をなくすることができる。こ
のような容器台Tの使用を可能とするのは、搬送装置4
が搬送具43によって試料容器Cを下からすくい上げて
搬送する構成を採用したが故であることに留意すべきで
ある。
【0024】更に、以上の実施例では、計量器3を放冷
室2の下方に設けた例を示したが、計量器3を放冷室2
と同じ高さ、具体的には実質的に放冷室2内に配置して
も、加熱乾燥室1からの熱は計量器3の周囲には及びに
くく、上記の実施例と同等の効果を奏することができ
る。この場合、図1において計量器3を配置している部
屋が不要となる。
【0025】なお、以上の実施例では、搬送装置4の垂
直方向移動機構41および水平方向機構42に送りねじ
機構を用いたが、本発明はこれに限定されることなく、
例えばベルトドライブ機構やエアドライブ機構等の、公
知の直線運動機構を採用し得ることは勿論である。
【0026】また、水平移動機構42に変えて、搬送具
43を鉛直軸の回りを回動させる、いわゆるスイング機
構を採用してもよいことは言うまでもない。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の第1発明
によれば、容器に収容された試料を加熱乾燥室〜放冷室
〜計量器間で搬送する搬送装置を、容器を下からすくい
上げて搬送するように構成したから、その搬送装置の全
ての駆動部を加熱乾燥室外に配置することが可能とな
り、搬送装置の駆動部に耐熱性の材料ないしは機構を採
用する必要がなくなり、また、容器の高さや形状が多少
変わっても、容器を直接すくい上げる搬送具を含めて搬
送装置を変更する必要がなくなり、安価で使いやすい質
量変化量測定装置が得られる。
【0028】また、第2発明によれば、加熱乾燥室の下
方に放冷室を配置するとともに、その放冷室の下方もし
くは同じ高さに計量器を設けた構成を採用しているた
め、加熱乾燥室内の熱が放冷室および計量器の周囲に伝
わりにくく、また、その熱による対流の影響も受けにく
くなり、試料を十分に放冷して浮力の影響を避けること
ができると同時に、空気流による計量値の変動も生じに
くく、常に正確な質量を測定することが可能となる。ま
た、このような各部を縦に並べたレイアウトの採用によ
り、加熱乾燥室の高さが必然的に高くなり、従来の横に
並べるレイアウトのように、加熱乾燥室への試料の挿入
作業の作業性を向上させるべく装置を架台上に載せると
いった対策が不要となり、床面からの振動が拡大されて
計量器に伝達され、計量値を不安定なものにするという
不具合も生じないとともに、装置の占有面積が小さくな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施例の縦断面図
【図2】その容器支え具Sと搬送具43の関係を示す要
部拡大斜視図
【図3】本発明の他の実施例容器支え具Sの斜視図
(A)と、本発明の更に他の実施例の容器の支え部分と
搬送具43との関係を示す要部斜視図(B)、および本
発明の更にまた他の実施例の容器の支え部分と搬送具4
3との関係を示す要部斜視図(C)
【図4】本発明実施例において使用可能な試料容器Cと
容器台Tを示す縦断面図
【図5】従来の質量変化量測定装置の構成例を示す縦断
面図
【図6】質量変化量測定装置で使用される可能性のある
蓋付きの試料容器の説明図
【符号の説明】
1 加熱乾燥室 1a 自動開閉扉 1b ターンテーブル 2 放冷室 2b ターンテーブル 3 計量器 4 搬送装置 41 垂直移動機構 42 水平移動機構 43 搬送具 C 試料容器 S 容器支え具

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定試料を出し入れするための自動開
    閉扉を備えた加熱乾燥室と、加熱乾燥後の試料を放冷す
    るための放冷室と、放冷後の試料重量を測定するための
    計量器と、上記加熱乾燥室と放冷室間、および放冷室と
    計量器間で被測定試料を移送する搬送装置を備えた質量
    変化量測定装置において、上記搬送装置は、試料の移送
    に際しては試料をその下からすくい上げて搬送する構造
    を有していることを特徴とする質量変化量測定装置。
  2. 【請求項2】 被測定試料を出し入れするための自動開
    閉扉を備えた加熱乾燥室と、加熱乾燥後の試料を放冷す
    るための放冷室と、放冷後の試料重量を測定するための
    計量器と、上記加熱乾燥室と放冷室間、および放冷室と
    計量器間で被測定試料を移送する搬送装置を備えた質量
    変化量測定装置において、上記放冷室は加熱乾燥室の下
    方に設けられ、かつ、上記計量器はその放冷室の下方も
    しくは放冷室と同じ高さに設けられていることを特徴と
    する質量変化量測定装置。
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CN109470590A (zh) * 2017-09-07 2019-03-15 中冶长天国际工程有限责任公司 一种物料在线水分检测装置及其检测方法
KR20200039310A (ko) * 2018-10-05 2020-04-16 주식회사 포스코 시편 이송유닛 및 이를 포함하는 시편 오염측정장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109470590A (zh) * 2017-09-07 2019-03-15 中冶长天国际工程有限责任公司 一种物料在线水分检测装置及其检测方法
CN109470590B (zh) * 2017-09-07 2024-03-12 中冶长天国际工程有限责任公司 一种物料在线水分检测装置及其检测方法
KR20200039310A (ko) * 2018-10-05 2020-04-16 주식회사 포스코 시편 이송유닛 및 이를 포함하는 시편 오염측정장치

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