JPH09155674A

JPH09155674A - 位置決め装置

Info

Publication number: JPH09155674A
Application number: JP31439095A
Authority: JP
Inventors: Kengo Ito; 健吾伊藤; Michihiko Sakamoto; 道彦坂本; Akitaka Hiruta; 顕隆蛭田
Original assignee: Sony Precision Technology Inc
Current assignee: Sony Manufacturing Systems Corp
Priority date: 1995-12-01
Filing date: 1995-12-01
Publication date: 1997-06-17

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】高精度の位置決めを容易に行うことができる
ようにする。【解決手段】剛体ブロック２０の被移動体７の移動方
向に交わる第１の面２０Ｚａ方向に、第１の面２０Ｚａ
に弾性変形可能な厚さに接近した所定位置に貫通して形
成した第１及び第２の貫通孔２２ａ及び２２ｂと、剛体
ブロック２０の被移動体７の移動方向と交わる第２の面
２０Ｚｂ方向に、第２の面２０Ｚｂに弾性変形可能な厚
さに接近した所定位置に貫通して形成した第３及び第４
の貫通孔２２ｃ及び２２ｄと、第１、第２、第３及び第
４の貫通孔が互に連通すると共に剛性を保持する如く形
成したスリット２２ｅとを設けると共に剛体ブロック２
０の被移動体７側に荷重供給手段２３ａ，２３ｂを設
け、第１、第２、第３及び第４の貫通孔を互に平行とす
る如くし、荷重供給手段２３ａ，２３ｂにより荷重をか
けることにより被移動体７を所定量平行移動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は例えば非球面加工機
等の被加工物を加工する刃物の精密な位置を調整するの
に使用して好適な位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一般
に、例えば非球面加工機においては、被加工物を加工す
る刃物をこの非球面加工機の加工基準となる位置に正確
に固定する必要があり、精密な位置決め装置を必要とし
ていた。

【０００３】従来、斯る刃物の精密な位置決め装置とし
て、例えばアリ溝機構を使用し、溝方向に摺動するよう
にしたものが提案されている。斯るアリ溝機構を使用し
た位置決め装置においては、数ミクロン程度の精度の位
置決めは可能であるが、このアリ溝機構の位置決め装置
においては、摺動を可能とするため、必ずすき間が存在
しこのすき間によるバックラッシ、不感帯があり、０．
０１ミクロン程度の精度の位置決めは、極めて困難であ
った。

【０００４】また、一方及び他方の剛体を板ばねで、連
結し、一方の剛体を固定し、他方の剛体に刃物を固定
し、この他方の剛体に荷重をかけて所定量平行移動する
ようにした機構が提案されているが、斯る機構において
は剛体と板ばねとの締結部分の不安定な応力特性や、ま
た、異種金属を用いた場合、各々異なった材料特性（例
えば、熱膨張率等）等がこの位置決め精度に悪影響を及
ぼし、０．０１ミクロン程度の精度の位置決めは、極め
て困難であった。

【０００５】本発明は、斯る点に鑑み、０．０１ミクロ
ン程度の高精度の位置決めを容易に行うことができるよ
うにすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明位置決め装置は、
一側を固定部とすると共に他側に被移動体を配した剛体
ブロックを有し、この剛体ブロックの固体部とこの被移
動体との間において、この剛体ブロックのこの被移動体
の移動方向に交わる第１の面方向に、この第１の面に弾
性変形可能な厚さに接近した所定位置に貫通して形成し
た第１及び第２の貫通孔と、この剛体ブロックのこの被
移動体の移動方向と交わる第２の面方向に、この第２の
面に弾性変形可能な厚さに接近した所定位置に貫通して
形成した第３及び第４の貫通孔と、この第１、第２、第
３及び第４の貫通孔が互に連通すると共にこの第１、第
２、第３及び第４の貫通孔間においては剛性を保持する
如く形成したスリットとを設けると共にこの剛体ブロッ
クのこの被移動体側に荷重供給手段を設け、この第１、
第２、第３及び第４の貫通孔を互に平行とする如くし、
この荷重供給手段により荷重をかけることによりこの被
移動体を所定量平行移動するようにしたものである。

【０００７】本発明によれば、荷重供給手段により荷重
をかけたときには、第１、第２、第３及び第４の貫通孔
の薄肉部分が、この荷重に応じて弾性変形し、被移動体
を所定量平行移動することができる。

【０００８】本発明によれば、この弾性変形する第１、
第２、第３及び第４の貫通孔の部分は固定部及び被移動
体が配された部分と一体であり、かつこの第１、第２、
第３及び第４の貫通孔間は剛性を保持しているのでバッ
クラッシ、不感帯はなく精度良く例えば０．０１ミクロ
ン程度の精度で位置決めすることができる。

【０００９】更に本発明によれば一体構造なので、例え
ば熱膨張率の相異等の不安定要素が無く、精度良く位置
決めすることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明位
置決め装置の一実施例を非球面加工機に適用した例につ
き説明しよう。図２は、非球面加工機の例を示し、この
図２において、１は所定位置に固定されたフレームを示
し、このフレーム１上に外部からの振動を吸収する空気
ばね装置２を介して石定盤３を配する。

【００１１】この石定盤３上に非球面を形成する被加工
物４を固定し、この被加工物４を回転する主軸を有する
被加工物回転ユニット６を所定位置に固定すると共にこ
の石定盤３上に、この被加工物を加工する刃物７を精密
送りする精密送りユニット８を所定位置に固定する。

【００１２】この精密送りユニット８は、直交２軸（Ｘ
軸及びＺ軸）スライド装置９上に回転軸（Ｂ軸）により
回転する回転盤１０が設けられ、この回転盤１０上の所
定位置に本例による位置決め装置１１を固定すると共
に、この位置決め装置１１に刃物７が固定されている。

【００１３】この直交２軸（Ｘ軸，Ｚ軸）及び回転軸
（Ｂ軸）は各々が独立した駆動源を有しており、自由曲
面を加工することができる如くなされている。

【００１４】本例による位置決め装置１１は図１Ａ及び
Ｂに示す如く構成する。この図１Ａ，Ｂ例においては、
１つのステンレススチール、黄銅等より成る剛体ブロッ
ク２０に刃物７のＺ軸方向の位置を決めるＺ軸位置決め
装置１１Ｚ、Ｘ軸方向の位置を決めるＸ軸位置決め装置
１１Ｘ及びＹ軸方向の位置を決めるＹ軸位置決め装置１
１Ｙの３つの位置決め装置を積み上げる如く形成したも
のである。

【００１５】このＺ軸位置決め装置１１Ｚ、Ｘ軸位置決
め装置１１Ｘ及びＹ軸位置決め装置１１Ｙは夫々実質的
には同一の構成である。

【００１６】図１Ａ，Ｂにおいて、２１は回転盤１０に
取付固定される剛体より成る箱状のフレームを示し、こ
の箱状のフレーム２１の底部に剛体ブロック２０のＺ軸
位置決め装置１１Ｚ部の一側即ち底面を固定する如くす
る。この剛体ブロック２０の底面の大きさを例えば７１
ｍｍ×７１ｍｍとする。この剛体ブロック２０のＺ軸位
置決め装置１１Ｚ部の他側即ち上側に刃物７をＸ軸方向
に移動するＸ軸位置決め装置１１Ｘを設ける如くする。

【００１７】本例においては、図１Ａに示す如く剛体ブ
ロック２０の底部とＸ軸位置決め装置１１Ｘ部との間に
おいて、即ち剛体ブロック２０のＺ軸位置決め装置１１
Ｚ部の刃物７の移動方向即ちＺ軸方向に交わる相対向す
る側面２０Ｚａ及び２０Ｚｂを互に平行な面とする。

【００１８】この一方の側面２０Ｚａに平行に、この一
方の側面２０Ｚａに弾性変形可能な厚さ例えば０．２ｍ
ｍに接近した所定位置例えば底面から４５ｍｍ及び１０
ｍｍの位置に例えば直径３ｍｍの第１及び第２の貫通孔
２２ａ及び２２ｂを夫々形成すると共にこの他方の側面
２０Ｚｂに平行にこの他方の側面２０Ｚｂに弾性変形可
能な厚さ例えば０．２ｍｍに接近した所定位置例えば底
面から４５ｍｍ及び１０ｍｍの位置に例えば直径３ｍｍ
の第３及び第４の貫通孔２２ｃ及び２２ｄを夫々形成す
る。

【００１９】この場合、第１、第２、第３及び第４の貫
通孔２２ａ，２２ｂ，２３ｃ及び２２ｄは互に平行であ
り、この第１、第２、第３及び第４の貫通孔２２ａ，２
２ｂ，２２ｃ及び２２ｄにより夫々生ずる屈曲線が互に
平行となる如くする。

【００２０】この第１、第２、第３及び第４の貫通孔２
２ａ，２２ｂ，２２ｃ及び２２ｄの４つの貫通孔を互に
連通するように略Ｘ字状のスリット２２ｅを形成する。
このスリット２２ｅの幅は略Ｘ字状のスリットが交差し
ている部分の幅を例えば２ｍｍとし、その他の部分の幅
を例えば１ｍｍとする。

【００２１】この場合、第１の貫通孔２２ａと第２の貫
通孔２２ｂとの間、第３の貫通孔２２ｃと第４の貫通孔
２２ｄとの間、第１の貫通孔２２ａと第３の貫通孔２２
ｃとの間及び第２の貫通孔２２ｂと第４の貫通孔２２ｄ
との間の剛性は保持されたまである。

【００２２】また図１Ａに示す如く、この一方の面２０
Ｚａ及び他方の面２０Ｚｂに夫々対向するフレーム２１
の側壁２１Ｚａ及び２１Ｚｂの第１及び第３の貫通孔２
２ａ及び２２ｃよりも刃物７側即ち本例ではＸ軸位置決
め装置１１Ｘ部側に、夫々つまみを有する雄螺子２３ａ
及び２３ｂを夫々通すための雌螺子を形成し、この雌螺
子につまみを有する雄螺子２３ａ及び２３ｂを通し、こ
の雄螺子２３ａ及び２３ｂのつまみを回転することによ
り、この剛体ブロック２０の一方及び他方の面２０Ｚａ
及び２０ＺｂにＺ軸方向の荷重をかける如くする。

【００２３】また、剛体ブロック２０のＸ軸位置決め装
置１１Ｘ部はその一側をＺ軸位置決め装置１１Ｚ部に一
体に固定され、この剛体ブロック２０のＸ軸位置決め装
置１１Ｘ部の他側即ち上側に刃物７をＹ軸方向に移動す
るＹ軸位置決め装置１１Ｙを設ける如くする。

【００２４】本例においては、図１Ｂに示す如く剛体ブ
ロック２０のこのＺ軸位置決め装置１１Ｚ部とＹ軸位置
決め装置１１Ｙ部との間において、即ち剛体ブロック２
０のＸ軸位置決め装置１１Ｘ部の刃物７の移動方向即ち
Ｘ軸方向に交わる相対向する側面２０Ｘａ及び２０Ｘｂ
を互に平行な面とする。

【００２５】この一方の側面２０Ｘａに平行に、この一
方の側面２０Ｘａに弾性変形可能な厚さ例えば０．２ｍ
ｍに接近した所定位置例えば剛体ブロック２０の底面か
ら９０ｍｍ及び５５ｍｍの位置に例えば直径３ｍｍの第
１及び第２の貫通孔２４ａ及び２４ｂを夫々形成すると
共にこの他方の側面２０Ｘｂに平行に、この他方の側面
２０Ｘｂに弾性変形可能な厚さ例えば０．２ｍｍに接近
した所定位置例えば底面から９０ｍｍ及び５５ｍｍの位
置に例えば直径３ｍｍの第３及び第４の貫通孔２４ｃ及
び２４ｄを夫々形成する。

【００２６】この場合、第１、第２、第３及び第４の貫
通孔２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄは互に平行であ
り、この第１、第２、第３及び第４の貫通孔２４ａ，２
４ｂ，２４ｃ及び２４ｄより夫々生ずる屈曲線を互に平
行とする如くする。

【００２７】この第１、第２、第３及び第４の貫通孔２
４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄの４つの貫通孔を互に
連通するように略Ｘ字状のスリット２４ｅを形成する。
このスリット２４ｅの幅は略Ｘ字状のスリットが交差し
ている部分の幅を例えば２ｍｍとし、その他の部分の幅
を例えば１ｍｍとする。

【００２８】この場合、第１の貫通孔２４ａと第２の貫
通孔２４ｂとの間、第３の貫通孔２４ｃと第４の貫通孔
２４ｄとの間、第１の貫通孔２４ａと第３の貫通孔２４
ｃとの間及び第２の貫通孔２４ｂと第４の貫通孔２４ｄ
との間の剛性は保持されたままとする。

【００２９】また、図１Ｂに示す如く、この一方の面２
０Ｘａ及び他方の面２０Ｘｂに夫々対向するフレーム２
１の側壁２１Ｘａ及び２１Ｘｂの第１及び第３の貫通孔
２４ａ及び２４ｃよりも刃物７側即ち本例ではＹ軸位置
決め装置１１Ｙ部側に夫々つまみを有する雄螺子２５ａ
及び２５ｂを夫々通すための雌螺子を形成し、この雌螺
子につまみを有する雄螺子２５ａ及び２５ｂを通し、こ
の雄螺子２５ａ及び２５ｂのつまみを回転することによ
り、この剛体ブロック２０の一方及び他方の側面２０Ｘ
ａ及び２０Ｘｂの上側にＸ軸方向の荷重をかける如くす
る。

【００３０】また、この剛体ブロック２０のＹ軸位置決
め装置１１Ｙ部はその一側をＸ軸位置決め装置１１Ｘ部
に一体に固定され、このＹ軸位置決め装置１１Ｙの他側
に刃物７を固定する。この場合、図１Ａ，Ｂに示す如
く、このＹ軸位置決め装置１１Ｙの他側に所定深さのＺ
軸方向の溝２６を形成し、この溝２６部の所定位置に刃
物７を挟む如くして固定する。

【００３１】本例においては、図１Ｂに示す如く、剛体
ブロック２０のＹ軸位置決め装置１１Ｙの固定部即ちＸ
軸位置決め装置１１Ｘ部と一体に結合している部分と刃
物７との間において、刃物７の移動方向即ちＹ軸方向に
交わる相対向する面２０Ｙａ及び２０Ｙｂを互に平行な
面とする。

【００３２】この一方の面２０Ｙａに平行に、この一方
の面２０Ｙａに弾性変形可能な厚さ例えば０．２ｍｍに
接近した所定位置例えばこのＹ軸位置決め装置１１Ｙ部
の固定側端面より、４１ｍｍ及び１６ｍｍの位置に例え
ば直径３ｍｍの第１及び第２の貫通孔２７ａ及び２７ｂ
を夫々形成すると共にこの他方の面２０Ｙｂに平行にこ
の他方の面２０Ｙｂに弾性変形可能な厚さ例えば０．２
ｍｍに接近した所定位置例えば、このＹ軸位置決め装置
１１Ｙ部の固定側端面より、４１ｍｍ及び１６ｍｍの位
置に例えば直径３ｍｍの第３及び第４の貫通孔２７ｃ及
び２７ｄを夫々形成する。

【００３３】この場合、第１、第２、第３及び第４の貫
通孔２７ａ，２７ｂ，２７ｃ及び２７ｄは互に平行であ
り、第１、第２、第３及び第４の貫通孔２７ａ，２７
ｂ，２７ｃ及び２７ｄにより夫々生ずる屈曲線が互に平
行となる如くする。

【００３４】この第１、第２、第３及び第４の貫通孔２
７ａ，２７ｂ，２７ｃ及び２７ｄの４つの貫通孔を互に
連通するように略Ｘ字状のスリット２７ｅを形成する。
このスリット２７ｅの幅を例えば１ｍｍとし、このＸ字
状のスリット２７ｅが交差する部分を所定径の円形とす
る。

【００３５】この場合、第１の貫通孔２７ａと第２の貫
通孔２７ｂとの間、第３の貫通孔２７ｃと第４の貫通孔
２７ｄとの間、第１の貫通孔２７ａと第３の貫通孔２７
ｃとの間及び第２の貫通孔２７ｂと第４の貫通孔２７ｄ
との間の剛性は保持されたままとする。

【００３６】また本例においては、図１Ａ，Ｂに示す如
く剛体ブロック２０のＸ軸位置決め装置１１Ｘ部の上部
で且つＹ軸位置決め装置１１Ｙの他側に形成した溝２６
部に対応する位置に下方に向って雌螺子２９を形成し、
つまみを有する雄螺子２８ａをこの溝２６部を貫通する
と共にナット２８ｂを通して、この雌螺子２９に通す如
くし、このつまみを有する雄螺子２８ａ及びナット２８
ｂによりＹ軸位置決め装置１１Ｙの他側にＹ軸方向の荷
重をかける如くする。

【００３７】本例は上述の如く構成されており、この非
球面加工機より被加工物４を加工する場合、この刃物７
を、この非球面加工機の加工基準となる位置に正確に固
定するのであるが、この刃物７をある程度の正確さ例え
ば１ｍｍ程度の精度で、この非球面加工機の回転盤１０
上に固定しておく。

【００３８】その後このＺ軸位置決め装置１１Ｚ、Ｘ軸
位置決め装置１１Ｘ及びＹ軸位置決め装置１１Ｙによ
り、この刃物７のＺ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の微
小な位置調整を行う如くする。

【００３９】即ち、刃物７を、例えばＺ軸方向におい
て、もう少し、側面２０Ｚａ側に平行移動したいときは
雄螺子２３ａのつまみをゆるむ方向に適量回転し、次に
雄螺子２３ｂのつまみを刃物７を移動したい位置にくる
まで、他方の側面２０Ｚｂの上側を押す方向（荷重をか
ける方向）に回転する。

【００４０】この刃物７が移動したい位置まできたとこ
ろで、雄螺子２３ａのつまみを締まる方向へ動かなくな
るまで回せば、刃物７は、Ｚ軸方向のその位置で保持さ
れる。また、Ｚ軸方向のこの逆方向へ平行移動したいと
きは上述の逆の操作をすれば良い。

【００４１】この場合、Ｚ軸方向の平行移動は第１、第
２、第３及び第４の貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃ及び
２２ｄとスリット２２ｅとの部分の薄肉部分の弾性変形
によって行うことができる。

【００４２】また、この場合、この弾性変形する第１、
第２、第３及び第４の貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃ及
び２２ｄは固定側及び平行移動側と一体であり、かつこ
の第１、第２、第３及び第４の貫通孔２２ａ，２２ｂ，
２２ｃ及び２２ｄとスリット２２ｅとの部分以外は全て
剛体であり、この平行移動において、バックラッシ、不
感帯はなく精度良く例えば０．０１ミクロン程度の精度
で位置決めすることができる。

【００４３】また、この場合、一体構造なので、例えば
熱膨張率の相異等の不安定要素が無く精度良く位置決め
することができる。

【００４４】また、同様にして、刃物７を例えばＸ軸方
向において、もう少し側面２０Ｘａ側に平行移動したい
ときは雄螺子２５ａのつまみをゆるむ方向に適量回転
し、次に雄螺子２５ｂのつまみを刃物７を移動したい位
置にくるまで、他方の側面２０Ｘｂの上側を押す方向
（荷重をかける方向）に回転する。

【００４５】この刃物７が移動したい位置まできたとこ
ろで、雄螺子２５ａのつまみを締まる方向へ動かなくな
るまで回せば、刃物７はＸ軸方向のその位置で保持され
る。また、Ｘ軸方向の、この逆方向へ平行移動したいと
きは、上述の逆の操作をすれば良い。

【００４６】この場合、Ｘ軸方向の平行移動は第１、第
２、第３及び第４の貫通孔２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び
２４ｄとスリット２４ｅとの部分の薄肉部分の弾性変形
によって行うことができる。

【００４７】また、この場合、この弾性変形する第１、
第２、第３及び第４の貫通孔２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及
び２４ｄは固定側及び平行移動側と一体であり、かつ、
この第１、第２、第３及び第４の貫通孔２４ａ，２４
ｂ，２４ｃ及び２４ｄとスリット２４ｅとの部分以外は
全て剛体であり、この平行移動において、バックラッ
シ、不感帯はなく、精度良く、例えば０．０１ミクロン
程度の精度で位置決めすることができる。

【００４８】また、この場合一体構造なので、例えば熱
膨張率の相異等の不安定要素が無く精度良く位置決めす
ることができる。

【００４９】また、刃物７を例えばＹ軸方向において、
もう少し、他方の面２０Ｙｂ（下方向）側に平行移動し
たいときは、ナット２８ｂを回して下に適量下げ（ゆる
め）、次にこのナット２８ｂが回転しないように手で押
さえ、雄螺子２８ａのつまみを締まる方向に回す。

【００５０】刃物７が移動したい位置まできたら、今度
はこの雄螺子２８ａのつまみを回転しないように手で押
さえ、ナット２８ｂを上がる方向に動かなくなるまで、
回せば刃物７はＹ軸方向のその位置で保持される。ま
た、Ｙ軸方向のこの逆方向へ平行移動したいときは、上
述の逆の手順で操作をすれば良い。

【００５１】この場合、Ｙ軸方向の平行移動は第１、第
２、第３及び第４の貫通孔２７ａ，２７ｂ，２７ｃ及び
２７ｄとスリット２７ｅとの部分の薄肉部分の弾性変形
によって行うことができる。

【００５２】また、この場合、この弾性変形する第１、
第２、第３及び第４の貫通孔２７ａ，２７ｂ，２７ｃ及
び２７ｄは固定側及び平行移動側と一体であり、かつ、
この第１、第２、第３及び第４の貫通孔２７ａ，２７
ｂ，２７ｃ及び２７ｄとスリット２７ｅとの部分以外は
全て剛体であり、この平行移動において、バックラッ
シ、不感帯はなく、精度良く例えば０．０１ミクロン程
度の精度で位置決めすることができる。

【００５３】また、この場合、一体構造なので、例えば
熱膨張率の相異等の不安定要素が無く精度良く位置決め
することができる。

【００５４】上述において、Ｚ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ
軸方向の各々の移動を平行移動と述べたが、厳密には平
行移動といえないが、上述例ではこのＺ軸方向、Ｘ軸方
向及びＹ軸方向の移動量は例えば０．５ｍｍより小さ
く、かつこの誤差は、この移動量の１／１００よりも小
さいので、この誤差は無視し得るものである。

【００５５】また、この刃物７の位置を加工基準に正確
に固定するときは、所定のスケールを使用するのである
が、最終的には試作を行い、試行錯誤により、上述Ｚ軸
方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の刃物７の位置を決定す
る。

【００５６】本例によれば、バックラッシ、不感帯等が
ないので、作業者が狙った位置におさまりやすいので、
この刃物７をこの加工基準に短時間で精度良く調整でき
る利益がある。

【００５７】尚、上述実施例では、Ｚ軸方向、Ｘ軸方向
及びＹ軸方向の３軸方向の位置決めをする例につき述べ
たが、上述の１軸方向の位置決め装置を例えば原子間引
力顕微鏡（ＡＦＭ）、トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）等のよ
うな超微小の調整、位置決めを必要とする試料台、レー
ザー加工機等に、組み込まれている対物レンズの微小調
整位置決め等に適用でき、また、上述のＸ軸方向及びＹ
軸方向の２軸方向の位置決め装置を使用してＸＹテーブ
ル等の微小調整位置決め等に適用できる。

【００５８】また上述実施例においては、押して荷重を
かける如く述べたが引張って荷重をかけるようにしても
良いことはも勿論である。

【００５９】また、貫通孔２２ａ，‥‥２２ｄ，２４
ａ，‥‥２４ｄ，２７ａ，‥‥２７ｄは円形でなくと
も、楕円形等その他の形状でも良く、またスリット２２
ｅ，２４ｅ，２７ｅは剛性に影響しない連通孔であれば
良い。

【００６０】また、上述実施例においては一方の面２０
Ｚａ，２０Ｘａ及び２０Ｙａと他方の面２０Ｚｂ，２０
Ｘｂ及び２０Ｙｂとを平行面とする如く述べたが、之等
は平行面でなくとも良いが、夫々の４つの貫通孔２２ａ
〜２２ｄ，２４ａ〜２４ｄ及び２７ａ〜２７ｄは実質的
に互に平行であることを要する。

【００６１】また、本発明は上述実施例に限ることなく
本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が
採り得ることは勿論である。

【００６２】

【発明の効果】本発明によれば荷重供給手段により荷重
をかけたときには、第１、第２、第３及び第４の貫通孔
の薄肉部分が、この荷重に応じて弾性変形し、被移動体
を所定量平行移動することができる。

【００６３】また本発明によれば、この弾性変形する、
第１、第２、第３及び第４の貫通孔の部分は固定部及び
被移動体が配された部分と一体であり、かつこの第１、
第２、第３及び第４の貫通孔間は剛性を保持しているの
で、バックラッシ、不感帯はなく精度良く例えは０．０
１ミクロン程度の精度で位置決めすることができる。

【００６４】更に本発明によれば一体構造なので、例え
ば熱膨張率の相異等の不安定要素が無く、精度良く位置
決めすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明位置決め装置の一実施例を示し、Ａは正
面図、Ｂは側面図である。

【図２】非球面加工機の例を示す斜視図である。

【符号の説明】

４被加工物７刃物１１ＸＸ軸位置決め装置１１ＹＹ軸位置決め装置１１ＺＺ軸位置決め装置２０剛体ブロック２０Ｚａ，２０Ｚｂ平行面２０Ｘａ，２０Ｘｂ平行面２０Ｙａ，２０Ｙｂ平行面２１フレーム２１Ｘａ，２１Ｘｂ，２１Ｚａ，２１Ｚｂ側壁２２ａ〜２２ｄ，２４ａ〜２４ｄ，２７ａ〜２７ｄ貫
通孔２２ｅ，２４ｅ，２７ｅスリット２３ａ，２３ｂ，２５ａ，２５ｂ，２８ａつまみを有
する雄螺子２６溝２８ｂナット２９雌螺子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者蛭田顕隆東京都品川区西五反田３丁目９番17号東洋ビルソニーマグネスケール株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一側を固定部とすると共に他側に被移動
体を配した剛体ブロックを有し、前記剛体ブロックの固体部と前記被移動体との間におい
て、前記剛体ブロックの前記被移動体の移動方向に交わる第
１の面方向に、該第１の面に弾性変形可能な厚さに接近
した所定位置に貫通して形成した第１及び第２の貫通孔
と、前記剛体ブロックの前記被移動体の移動方向と交わる第
２の面方向に、該第２の面に弾性変形可能な厚さに接近
した所定位置に貫通して形成した第３及び第４の貫通孔
と、前記第１、第２、第３及び第４の貫通孔が互に連通する
と共に前記第１、第２、第３及び第４の貫通孔間におい
ては剛性を保持する如く形成したスリットとを設けると
共に前記剛体ブロックの前記被移動体側に荷重供給手段
を設け、前記第１、第２、第３及び第４の貫通孔を互に平行とす
る如くし、前記荷重供給手段により荷重をかけることにより前記被
移動体を所定量平行移動するようにしたことを特徴とす
る位置決め装置。
【請求項２】請求項１記載の位置決め装置において、
前記第１、第２、第３及び第４の貫通孔に夫々生ずる屈
曲線が互に平行であることを特徴とする位置決め装置。
【請求項３】１つの剛体ブロックにより、Ｘ，Ｙ及び
Ｚ軸方向に所定量平行移動できる如く、３個の請求項１
又は２記載の位置決め装置を設けたことを特徴とする位
置決め装置。