JPH09186079A - 露光装置におけるｃｃｄカメラを用いた整列装置 - Google Patents
露光装置におけるｃｃｄカメラを用いた整列装置Info
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- JPH09186079A JPH09186079A JP8254590A JP25459096A JPH09186079A JP H09186079 A JPH09186079 A JP H09186079A JP 8254590 A JP8254590 A JP 8254590A JP 25459096 A JP25459096 A JP 25459096A JP H09186079 A JPH09186079 A JP H09186079A
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- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
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- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】簡単な構成で容易に正確な整列位置を把握する
ことができる露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整
列装置を提供する。 【解決手段】露光装置において、ワークピース上に形成
されている整列マークに該当する整列光を出力する多数
の整列光学系と、それから出力される整列光をそれぞれ
反射させてスクリーン上に出力するプリズムと、ワーク
ピースの整列位置に該当する基準マークが形成されてい
るスクリーンと、それを通過して出力される基準マーク
と整列マークに該当する光を結像する結像レンズと、そ
れを通じて入射される光を映像情報に変化処理して出力
するＣＣＤカメラと、それから出力される映像情報に従
いワークピースの位置変化に該当する信号を出力する画
像処理手段と、それから出力される信号に応じて情報を
表示する情報表示手段と、ワークピースが置かれている
ステージを正確な位置に移動させるステージ制御手段と
を含む。
ことができる露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整
列装置を提供する。 【解決手段】露光装置において、ワークピース上に形成
されている整列マークに該当する整列光を出力する多数
の整列光学系と、それから出力される整列光をそれぞれ
反射させてスクリーン上に出力するプリズムと、ワーク
ピースの整列位置に該当する基準マークが形成されてい
るスクリーンと、それを通過して出力される基準マーク
と整列マークに該当する光を結像する結像レンズと、そ
れを通じて入射される光を映像情報に変化処理して出力
するＣＣＤカメラと、それから出力される映像情報に従
いワークピースの位置変化に該当する信号を出力する画
像処理手段と、それから出力される信号に応じて情報を
表示する情報表示手段と、ワークピースが置かれている
ステージを正確な位置に移動させるステージ制御手段と
を含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は露光装置におけるＣ
ＣＤカメラを用いた整列装置に係り、より詳しくは、露
光装置においてプリズムを用いて多数の整列光学系から
出力される整列光をズームレンズを通じて倍率を変化さ
せて一つのＣＣＤカメラに結像させて正確な整列位置を
把握するための露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた
整列装置に関する。
ＣＤカメラを用いた整列装置に係り、より詳しくは、露
光装置においてプリズムを用いて多数の整列光学系から
出力される整列光をズームレンズを通じて倍率を変化さ
せて一つのＣＣＤカメラに結像させて正確な整列位置を
把握するための露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた
整列装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レチクル上のパターンを半導体
ウェハ上や液晶表示装置基板上に刻む露光装置におい
て、露光させようとするパターンを正確な位置に整列さ
せるために多数個のＣＣＤカメラを用いている。
ウェハ上や液晶表示装置基板上に刻む露光装置におい
て、露光させようとするパターンを正確な位置に整列さ
せるために多数個のＣＣＤカメラを用いている。
【０００３】前記のように多数のＣＣＤカメラを用いる
場合には、それぞれ別途の整列光学系を多数個装着して
用いなければならないので、露光させようとするパター
ンを正確な位置に位置させるための整列マークを探すた
めには、最初にＣＣＤカメラのレンズを低倍率にして整
列マークの位置を探した後、レンズの倍率を再び高倍率
に変換して正確な整列マークの位置を探す必要がある。
場合には、それぞれ別途の整列光学系を多数個装着して
用いなければならないので、露光させようとするパター
ンを正確な位置に位置させるための整列マークを探すた
めには、最初にＣＣＤカメラのレンズを低倍率にして整
列マークの位置を探した後、レンズの倍率を再び高倍率
に変換して正確な整列マークの位置を探す必要がある。
【０００４】このとき、ＣＣＤカメラに取り付けられた
レンズの倍率変化をさせるためには整列光学系内に倍率
変換用レンズをさらに装着して用いている。例えば、ニ
コン社の場合、像の倍率変化を与えるため、別途の倍率
変換用レンズを着脱する動作により倍率変化を与える方
式を採用している。
レンズの倍率変化をさせるためには整列光学系内に倍率
変換用レンズをさらに装着して用いている。例えば、ニ
コン社の場合、像の倍率変化を与えるため、別途の倍率
変換用レンズを着脱する動作により倍率変化を与える方
式を採用している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来
は、前記のように多数のＣＣＤカメラを用いる場合、そ
れぞれのＣＣＤカメラに別途の倍率変換用レンズがさら
に装着されて用いるため、生産費用が増加しカメラの構
成が複雑になるという短所がある。
は、前記のように多数のＣＣＤカメラを用いる場合、そ
れぞれのＣＣＤカメラに別途の倍率変換用レンズがさら
に装着されて用いるため、生産費用が増加しカメラの構
成が複雑になるという短所がある。
【０００６】従って、本発明は、従来の装置における前
述した短所を解決するためのものであって、その目的
は、露光装置においてプリズムを用いて多数の整列光学
系から出力される整列光をズームレンズを通じて倍率変
化を与えて一つのＣＣＤカメラに結像させることによ
り、簡単な構成で容易に正確な整列位置を把握すること
ができる露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装
置を提供することにある。
述した短所を解決するためのものであって、その目的
は、露光装置においてプリズムを用いて多数の整列光学
系から出力される整列光をズームレンズを通じて倍率変
化を与えて一つのＣＣＤカメラに結像させることによ
り、簡単な構成で容易に正確な整列位置を把握すること
ができる露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装
置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、露光装置において、ワークピース上に形
成されている整列マークに該当する整列光をそれぞれの
光経路を通じて出力する多数の整列光学系と、ワークピ
ースの整列位置に該当する基準マークが形成されている
スクリーンと、多数の反射面が形成されて多数の整列光
学系から出力される整列光をそれぞれ反射させてスクリ
ーン上に出力するプリズムと、該スクリーンを通過して
出力される基準マークと整列マークに該当する光を結像
する結像レンズと、結像レンズを通じて入射される光を
該当する映像情報に変化処理して出力するＣＣＤカメラ
と、ＣＣＤカメラから出力される映像情報に従い基準マ
ークと整列マークの差異を計算し、整列マークが刻まれ
たワークピースの位置変化を感知して、位置変化に該当
する信号を出力する画像処理手段と、該画像処理手段か
ら出力される信号に応じて該当する情報を表示する情報
表示手段と、画像処理手段から出力される信号に応じて
ワークピースが置かれているステージを正確な位置に移
動させるステージ制御手段とを含むことを特徴とする。
め、本発明は、露光装置において、ワークピース上に形
成されている整列マークに該当する整列光をそれぞれの
光経路を通じて出力する多数の整列光学系と、ワークピ
ースの整列位置に該当する基準マークが形成されている
スクリーンと、多数の反射面が形成されて多数の整列光
学系から出力される整列光をそれぞれ反射させてスクリ
ーン上に出力するプリズムと、該スクリーンを通過して
出力される基準マークと整列マークに該当する光を結像
する結像レンズと、結像レンズを通じて入射される光を
該当する映像情報に変化処理して出力するＣＣＤカメラ
と、ＣＣＤカメラから出力される映像情報に従い基準マ
ークと整列マークの差異を計算し、整列マークが刻まれ
たワークピースの位置変化を感知して、位置変化に該当
する信号を出力する画像処理手段と、該画像処理手段か
ら出力される信号に応じて該当する情報を表示する情報
表示手段と、画像処理手段から出力される信号に応じて
ワークピースが置かれているステージを正確な位置に移
動させるステージ制御手段とを含むことを特徴とする。
【０００８】さらに、本発明の別の態様によれば、露光
装置において、それぞれの作動状態が選択的に可変され
てワークピース上に形成されている整列マークに該当す
る整列光を同一の光経路を通じて出力する多数の整列光
学系と、ワークピースの整列位置に該当する基準マーク
が形成されているスクリーンと、同一の光経路を通じて
出力される整列光学系の整列光を反射させてスクリーン
上に出力するミラーと、スクリーンを通過して出力され
る基準マークと整列マークに該当する光を結像する結像
レンズと、結像レンズを通じて入射される光を該当する
映像情報に変化処理して出力するＣＣＤカメラと、ＣＣ
Ｄカメラから出力される映像情報に従い基準マークと整
列マークの差異を計算し、整列マークが刻まれたワーク
ピースの位置変化を感知した後、位置変化に該当する信
号を出力する画像処理手段と、画像処理手段から出力さ
れる信号に応じて該当する情報を表示する情報表示手段
と、画像処理手段から出力される信号に応じてワークピ
ースが置かれているステージを正確な位置に移動させる
ステージ制御手段とを含む。
装置において、それぞれの作動状態が選択的に可変され
てワークピース上に形成されている整列マークに該当す
る整列光を同一の光経路を通じて出力する多数の整列光
学系と、ワークピースの整列位置に該当する基準マーク
が形成されているスクリーンと、同一の光経路を通じて
出力される整列光学系の整列光を反射させてスクリーン
上に出力するミラーと、スクリーンを通過して出力され
る基準マークと整列マークに該当する光を結像する結像
レンズと、結像レンズを通じて入射される光を該当する
映像情報に変化処理して出力するＣＣＤカメラと、ＣＣ
Ｄカメラから出力される映像情報に従い基準マークと整
列マークの差異を計算し、整列マークが刻まれたワーク
ピースの位置変化を感知した後、位置変化に該当する信
号を出力する画像処理手段と、画像処理手段から出力さ
れる信号に応じて該当する情報を表示する情報表示手段
と、画像処理手段から出力される信号に応じてワークピ
ースが置かれているステージを正確な位置に移動させる
ステージ制御手段とを含む。
【０００９】さらに、本発明の他の様態によれば、露光
装置において、それぞれの作動状態が選択的に可変され
てワークピース上に形成されている整列マークに該当す
る整列光をそれぞれの光経路を通じて出力する多数の整
列光学系と、ワークピースの整列位置に該当する基準マ
ークが形成されているスクリーンと、前記多数の整列光
学系から出力される整列光を一つの光経路を通じてスク
リーン上に出力するペンタプリズムと、スクリーンを通
過して出力される基準マークと整列マークに該当する光
を結像する結像レンズと、結像レンズを通じて入射され
る光を該当する映像情報に変化処理して出力するＣＣＤ
カメラと、ＣＣＤカメラから出力される映像情報に従い
基準マークと整列マークの差異を計算し、整列マークが
刻まれたワークピースの位置変化を感知して、位置変化
に該当する信号を出力する画像処理手段と、該画像処理
手段から出力される信号に応じて該当する情報を表示す
る情報表示手段と、画像処理手段から出力される信号に
応じてワークピースが置かれているステージを正確な位
置に移動させるステージ制御手段とを含む。
装置において、それぞれの作動状態が選択的に可変され
てワークピース上に形成されている整列マークに該当す
る整列光をそれぞれの光経路を通じて出力する多数の整
列光学系と、ワークピースの整列位置に該当する基準マ
ークが形成されているスクリーンと、前記多数の整列光
学系から出力される整列光を一つの光経路を通じてスク
リーン上に出力するペンタプリズムと、スクリーンを通
過して出力される基準マークと整列マークに該当する光
を結像する結像レンズと、結像レンズを通じて入射され
る光を該当する映像情報に変化処理して出力するＣＣＤ
カメラと、ＣＣＤカメラから出力される映像情報に従い
基準マークと整列マークの差異を計算し、整列マークが
刻まれたワークピースの位置変化を感知して、位置変化
に該当する信号を出力する画像処理手段と、該画像処理
手段から出力される信号に応じて該当する情報を表示す
る情報表示手段と、画像処理手段から出力される信号に
応じてワークピースが置かれているステージを正確な位
置に移動させるステージ制御手段とを含む。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施例を
添付図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実
施例１に従う露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整
列装置の斜視図であり、図２Ａは本発明の上記実施例に
おいて整列装置に用いられる整列マークの平面図であ
り、図２Ｂは本発明の上記実施例において整列装置に用
いられる整列マークの断面図であり、図３は本発明の上
記実施例による整列装置に用いられるプリズムと基準マ
ークが刻まれたマスクを示す。また、図４は本発明の実
施例に従う整列装置に用いられる基準マークと整列マー
クが重畳されたマスクの平面図であり、図５は本発明の
実施例２に従うプリズムの代わりにシャッターを用いた
整列装置の斜視図であり、図６は本発明の実施例３に従
うＣＣＤカメラとペンタプリズムを用いた整列装置の斜
視図である。図１に示すように、本発明の実施例１に従
う露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装置の構
成は、多数の整列光学系１０、２０、３０と、多数の反
射面が形成されて前記多数の整列光学系１０、２０、３
０から出力されて各反射面に入射される多数の整列光を
反射させて出力するプリズム４０と、基準マークが形成
されており、該プリズム４０から出射される整列光が結
像されるスクリーン５０と、該スクリーン５０を通過し
た光を結像させる結像レンズ６０と、該結像レンズ６０
を通じて出力される光を電気的な信号に変換させて画像
信号を出力するＣＣＤカメラ７０と、ＣＣＤカメラ７０
から出力される画像信号を処理して該当する画像データ
を出力し、処理された画像データに従い該当する位置情
報を出力する画像処理装置８３と、画像処理装置８３か
ら出力される画像データをディスプレイするモニタ８０
と、印加される位置情報に従いステージ１９の装着位置
を可変させるステージ制御部８５とからなる。
添付図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実
施例１に従う露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整
列装置の斜視図であり、図２Ａは本発明の上記実施例に
おいて整列装置に用いられる整列マークの平面図であ
り、図２Ｂは本発明の上記実施例において整列装置に用
いられる整列マークの断面図であり、図３は本発明の上
記実施例による整列装置に用いられるプリズムと基準マ
ークが刻まれたマスクを示す。また、図４は本発明の実
施例に従う整列装置に用いられる基準マークと整列マー
クが重畳されたマスクの平面図であり、図５は本発明の
実施例２に従うプリズムの代わりにシャッターを用いた
整列装置の斜視図であり、図６は本発明の実施例３に従
うＣＣＤカメラとペンタプリズムを用いた整列装置の斜
視図である。図１に示すように、本発明の実施例１に従
う露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装置の構
成は、多数の整列光学系１０、２０、３０と、多数の反
射面が形成されて前記多数の整列光学系１０、２０、３
０から出力されて各反射面に入射される多数の整列光を
反射させて出力するプリズム４０と、基準マークが形成
されており、該プリズム４０から出射される整列光が結
像されるスクリーン５０と、該スクリーン５０を通過し
た光を結像させる結像レンズ６０と、該結像レンズ６０
を通じて出力される光を電気的な信号に変換させて画像
信号を出力するＣＣＤカメラ７０と、ＣＣＤカメラ７０
から出力される画像信号を処理して該当する画像データ
を出力し、処理された画像データに従い該当する位置情
報を出力する画像処理装置８３と、画像処理装置８３か
ら出力される画像データをディスプレイするモニタ８０
と、印加される位置情報に従いステージ１９の装着位置
を可変させるステージ制御部８５とからなる。
【００１１】本発明のこの実施例における多数の整列光
学系は、上述のように第１整列光学系１０と、第２整列
光学系２０と、第３整列光学系３０とからなり、これら
の光学系１０、２０、３０は同一の構成からなる。
学系は、上述のように第１整列光学系１０と、第２整列
光学系２０と、第３整列光学系３０とからなり、これら
の光学系１０、２０、３０は同一の構成からなる。
【００１２】整列光学系１０は、光源１１と、光源１１
から出力される光を伝達する光ファイバ１２と、感光物
質を感光させない光のみを通過させるフィルター１３
と、該フィルター１３によりフィルターリングされた光
を適当な大きさに拡大する第１レンズ１４と、装着状態
に従い第１レンズ１４から出力される光を通過させる光
分周器１５と、該光分周器１５を通じて出力される光を
集光する第２レンズ１６と、ステージ１９上に位置し、
前記第２レンズ１６で集光される光で照明されるワーク
ピース１７とからなる。ワークピース１７には図２Ａ，
Ｂに示す整列マーク１０１が刻まれている。
から出力される光を伝達する光ファイバ１２と、感光物
質を感光させない光のみを通過させるフィルター１３
と、該フィルター１３によりフィルターリングされた光
を適当な大きさに拡大する第１レンズ１４と、装着状態
に従い第１レンズ１４から出力される光を通過させる光
分周器１５と、該光分周器１５を通じて出力される光を
集光する第２レンズ１６と、ステージ１９上に位置し、
前記第２レンズ１６で集光される光で照明されるワーク
ピース１７とからなる。ワークピース１７には図２Ａ，
Ｂに示す整列マーク１０１が刻まれている。
【００１３】上述のように構成されたこの発明の実施例
１に従う露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装
置の作用を説明すると、次のようである。光源１１から
射出された光は光ファイバ１２を経由してフィルター１
３に入射され、該フィルター１３を通過する際に感光物
質を感光する成分の光がフィルターリングされ、このフ
ィルターリングされた光は、第１レンズ１４に入射され
て光分周器１５に出力される。
１に従う露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装
置の作用を説明すると、次のようである。光源１１から
射出された光は光ファイバ１２を経由してフィルター１
３に入射され、該フィルター１３を通過する際に感光物
質を感光する成分の光がフィルターリングされ、このフ
ィルターリングされた光は、第１レンズ１４に入射され
て光分周器１５に出力される。
【００１４】この光分周器１５を通過した光は、第２レ
ンズ１６を通じて集光されてワークピース１７上に照明
される。
ンズ１６を通じて集光されてワークピース１７上に照明
される。
【００１５】ワークピース１７上に形成された整列マー
クは、図２Ｂに示されているように、凹凸の断面形状を
有する。
クは、図２Ｂに示されているように、凹凸の断面形状を
有する。
【００１６】ワークピース１７上に照明された光は、図
２に示すような整列マーク１０１が形成されているワー
クピース１７により反射され、第２レンズ１６を通って
さらに光分周器１５に入射される。
２に示すような整列マーク１０１が形成されているワー
クピース１７により反射され、第２レンズ１６を通って
さらに光分周器１５に入射される。
【００１７】光分周器１５に入射されたワークピース１
７からの反射光は、該光分周器１５により横方向に反射
され、この反射光１００はプリズム４０に入射される。
７からの反射光は、該光分周器１５により横方向に反射
され、この反射光１００はプリズム４０に入射される。
【００１８】第２整列光学系２０と第３整列光学系３０
は第１整列光学系１０と同一の作用を行い、それぞれの
独立した光経路を通じて該当する整列光２００、３００
をプリズム４０に向けて出力する。
は第１整列光学系１０と同一の作用を行い、それぞれの
独立した光経路を通じて該当する整列光２００、３００
をプリズム４０に向けて出力する。
【００１９】多数の整列光学系１０、２０、３０から出
力された整列光１００、２００、３００はプリズム４０
の各該当反射面に入射される。換言すると、多数の整列
光学系１０、２０、３０から出力された光、すなわち、
ワークピースに形成された整列マーク１０１、２０１、
３０１に該当する整列光１００、２００、３００が図１
に示されているように、プリズム４０の各反射面に入射
する。
力された整列光１００、２００、３００はプリズム４０
の各該当反射面に入射される。換言すると、多数の整列
光学系１０、２０、３０から出力された光、すなわち、
ワークピースに形成された整列マーク１０１、２０１、
３０１に該当する整列光１００、２００、３００が図１
に示されているように、プリズム４０の各反射面に入射
する。
【００２０】この発明の実施例においては、プリズム４
０は、図３に示すように、三角柱において片側の断面を
斜めに切った形状のものである。
０は、図３に示すように、三角柱において片側の断面を
斜めに切った形状のものである。
【００２１】図３に示すように、３方向に装着された整
列光学系１０、２０、３０から出力された整列光１０
０、２００、３００は、プリズム４０の各反射面により
反射されて上側に位置したスクリーン５０に結像され
る。
列光学系１０、２０、３０から出力された整列光１０
０、２００、３００は、プリズム４０の各反射面により
反射されて上側に位置したスクリーン５０に結像され
る。
【００２２】このとき、プリズム４０に反射されてスク
リーン５０に結像された整列マーク１０１、２０１、３
０１は、図４に示すように、もとのスクリーン５０に形
成されている基準マーク５１、５３、５５と重畳されて
結像される。
リーン５０に結像された整列マーク１０１、２０１、３
０１は、図４に示すように、もとのスクリーン５０に形
成されている基準マーク５１、５３、５５と重畳されて
結像される。
【００２３】図４において、点線で示すマークが、整列
光学系１０、２０、３０から出力された整列光１００、
２００、３００が結像された整列マーク１０１、２０
１、３０１であり、実線で示す三つの基準マーク５１、
５３、５５とそれぞれ重畳されて結像される。
光学系１０、２０、３０から出力された整列光１００、
２００、３００が結像された整列マーク１０１、２０
１、３０１であり、実線で示す三つの基準マーク５１、
５３、５５とそれぞれ重畳されて結像される。
【００２４】スクリーン５０上に結像された光は、結像
レンズ６０を通じてＣＣＤカメラ７０に入力される。す
なわち、スクリーン５０上に結像された整列マーク１０
１、２０１、３０１と基準マーク５１、５３、５５に該
当する像を有する結像光はＣＣＤカメラ７０に入力され
て電気的な信号に変換された後、画像処理過程に従い処
理される。
レンズ６０を通じてＣＣＤカメラ７０に入力される。す
なわち、スクリーン５０上に結像された整列マーク１０
１、２０１、３０１と基準マーク５１、５３、５５に該
当する像を有する結像光はＣＣＤカメラ７０に入力され
て電気的な信号に変換された後、画像処理過程に従い処
理される。
【００２５】画像処理装置８３は、ＣＣＤカメラ７０か
ら出力される信号に応じて入力される結像光における基
準マーク５１、５３、５５と整列マーク１０１、２０
１、３０１との位置の差を計算し、計算した結果に従い
整列マークが刻まれているワークピースの現在の位置を
把握し、基準となるべき正確な位置に該当する座標から
の位置の変位を検知する。
ら出力される信号に応じて入力される結像光における基
準マーク５１、５３、５５と整列マーク１０１、２０
１、３０１との位置の差を計算し、計算した結果に従い
整列マークが刻まれているワークピースの現在の位置を
把握し、基準となるべき正確な位置に該当する座標から
の位置の変位を検知する。
【００２６】この場合、スクリーン５０上に結像された
光が結像レンズ６０を通じてＣＣＤカメラ７０に入力さ
れる過程において、ＣＣＤカメラ７０に結像される整列
マークのより精密な観察が可能となるように入力される
像の倍率を可変させる。
光が結像レンズ６０を通じてＣＣＤカメラ７０に入力さ
れる過程において、ＣＣＤカメラ７０に結像される整列
マークのより精密な観察が可能となるように入力される
像の倍率を可変させる。
【００２７】この発明の実施例においては、ＣＣＤカメ
ラ７０に結像される像の倍率を変化させるため、従来と
は異なりズームレンズを用いて倍率変化を行う。
ラ７０に結像される像の倍率を変化させるため、従来と
は異なりズームレンズを用いて倍率変化を行う。
【００２８】顕微鏡において最初には低倍率で物体を観
察し、より精密に観察するため漸次高倍率に変化させる
原理のように、スクリーン５０を通過する像をＣＣＤカ
メラ７０に結像させる結像レンズ６０をズームレンズで
構成し、低倍率で観察すべき画像領域を定めた後、精密
な整列のため高倍率に変換させて整列を行う。
察し、より精密に観察するため漸次高倍率に変化させる
原理のように、スクリーン５０を通過する像をＣＣＤカ
メラ７０に結像させる結像レンズ６０をズームレンズで
構成し、低倍率で観察すべき画像領域を定めた後、精密
な整列のため高倍率に変換させて整列を行う。
【００２９】しかしながら、場合によっては画像処理の
容易性のためのズームレンズ６０の倍率変化を不連続的
な一定数の段階に分け、段階的な倍率変化により画像処
理を単純化させることができる。これは、画像処理過程
を通じて整列マークの座標を求めようとするとき、倍率
変化が不連続的であると、画像処理から得た整列マーク
の座標変化と実際の整列マークの座標変化との関係を容
易に求めることができるが、連続的に倍率が変化する場
合には画像処理から得た整列マークの座標変化と実際整
列マークの座標変化との関係を簡単に求めることができ
ないからである。
容易性のためのズームレンズ６０の倍率変化を不連続的
な一定数の段階に分け、段階的な倍率変化により画像処
理を単純化させることができる。これは、画像処理過程
を通じて整列マークの座標を求めようとするとき、倍率
変化が不連続的であると、画像処理から得た整列マーク
の座標変化と実際の整列マークの座標変化との関係を容
易に求めることができるが、連続的に倍率が変化する場
合には画像処理から得た整列マークの座標変化と実際整
列マークの座標変化との関係を簡単に求めることができ
ないからである。
【００３０】すなわち、すべての場合について倍率値を
正確に知っていると画像処理結果から得た座標変化値を
実際整列マークの座標変化値に換算することができ、こ
れを通じてワークピース１７がステージ１９上に置かれ
るべき正しい位置に移ることができる。
正確に知っていると画像処理結果から得た座標変化値を
実際整列マークの座標変化値に換算することができ、こ
れを通じてワークピース１７がステージ１９上に置かれ
るべき正しい位置に移ることができる。
【００３１】前記のように、必要に応じて別途の倍率変
換用レンズを挿入したり引き出したりする動作なしに、
ズームレンズ６０を変倍させることにより倍率変化を行
わせることが可能になる。
換用レンズを挿入したり引き出したりする動作なしに、
ズームレンズ６０を変倍させることにより倍率変化を行
わせることが可能になる。
【００３２】前記した動作に従って、ＣＣＤカメラ７０
から測定した画像信号に応じて画像処理装置８３は計算
された結果をモニタ８０に伝送して表示し、結像された
整列マーク１０１、２０１、３０１と基準マーク５１、
５３、５５との差をモニタ８０を通じて表示して正確な
位置選定がなされるようにする。
から測定した画像信号に応じて画像処理装置８３は計算
された結果をモニタ８０に伝送して表示し、結像された
整列マーク１０１、２０１、３０１と基準マーク５１、
５３、５５との差をモニタ８０を通じて表示して正確な
位置選定がなされるようにする。
【００３３】また、処理結果によってステージ１９上の
ワークピース１７の位置に該当する位置情報をステージ
制御部８５に出力する。
ワークピース１７の位置に該当する位置情報をステージ
制御部８５に出力する。
【００３４】ステージ制御部８５は、画像処理装置８３
から出力される位置情報に従ってステージ１９の位置を
可変させ、ワークピース１７が正確な位置に置かれるよ
うにする。
から出力される位置情報に従ってステージ１９の位置を
可変させ、ワークピース１７が正確な位置に置かれるよ
うにする。
【００３５】この発明の実施例２に従う露光装置におけ
るＣＣＤカメラを用いた整列装置の構成を図５に示す。
この実施例による整列装置は、第１整列光学系１１０
と、第２整列光学系２１０と、第３整列光学系３１０と
を備える。整列光学系１１０、２１０、３１０からの出
射光すなわち整列光は、同一の光経路を通じてミラー４
４に向けられ、該ミラー４４によりスクリーン５０に向
けて反射される。スクリーン５０からの整列光は、ズー
ムレンズ６０を通り、ＣＣＤカメラ７０に結像される。
実施例１におけると同様に、モニタ８０と、画像処理装
置８３と、ステージ制御部８５とが設けられる。
るＣＣＤカメラを用いた整列装置の構成を図５に示す。
この実施例による整列装置は、第１整列光学系１１０
と、第２整列光学系２１０と、第３整列光学系３１０と
を備える。整列光学系１１０、２１０、３１０からの出
射光すなわち整列光は、同一の光経路を通じてミラー４
４に向けられ、該ミラー４４によりスクリーン５０に向
けて反射される。スクリーン５０からの整列光は、ズー
ムレンズ６０を通り、ＣＣＤカメラ７０に結像される。
実施例１におけると同様に、モニタ８０と、画像処理装
置８３と、ステージ制御部８５とが設けられる。
【００３６】この発明の実施例２に従う整列光学系１１
０、２１０、３１０は、同一の光源１１から出力されて
光ファイバ１２を通じて伝達される光によって該当する
整列光を出力し、光ファイバ１２を通じて出力される光
をフィルターリングするフィルター１３、２３、３３
と、フィルターリングされた光をオン／オフ状態に従い
通過させるシャッター１８、２８、３８と、第１レンズ
１４、２４、３４と、光分周器１５、２５、３５と、第
２レンズ１６、２６、３６と、ワークピース１７、２
７、３７とからなる。
０、２１０、３１０は、同一の光源１１から出力されて
光ファイバ１２を通じて伝達される光によって該当する
整列光を出力し、光ファイバ１２を通じて出力される光
をフィルターリングするフィルター１３、２３、３３
と、フィルターリングされた光をオン／オフ状態に従い
通過させるシャッター１８、２８、３８と、第１レンズ
１４、２４、３４と、光分周器１５、２５、３５と、第
２レンズ１６、２６、３６と、ワークピース１７、２
７、３７とからなる。
【００３７】上述した各構成要素の作用は、実施例１と
ほぼ同様であるが、プリズム４０の代わりにミラー４４
とシャッター１８、２８、３８を用いて整列光をスクリ
ーン５０上に結像させる。
ほぼ同様であるが、プリズム４０の代わりにミラー４４
とシャッター１８、２８、３８を用いて整列光をスクリ
ーン５０上に結像させる。
【００３８】実施例１との相違点は、実施例１において
はそれぞれの整列光学系が独立した光経路を形成してプ
リズムによりスクリーン上に整列マークを結像させてい
るのに対して、第２実施例においては多数の整列光学系
から出射される光の経路を同一に構成し、それぞれの整
列光学系１１０、２１０、３１０に別途装着されたシャ
ッター１８、２８、３８のオン／オフ動作を制御して、
多数の整列光学系１１０、２１０、３１０の中から一つ
を選択してスクリーン５０上に該当する整列マークが結
像されるようにすることである。
はそれぞれの整列光学系が独立した光経路を形成してプ
リズムによりスクリーン上に整列マークを結像させてい
るのに対して、第２実施例においては多数の整列光学系
から出射される光の経路を同一に構成し、それぞれの整
列光学系１１０、２１０、３１０に別途装着されたシャ
ッター１８、２８、３８のオン／オフ動作を制御して、
多数の整列光学系１１０、２１０、３１０の中から一つ
を選択してスクリーン５０上に該当する整列マークが結
像されるようにすることである。
【００３９】例えば、第１整列光学系１１０から出力さ
れる整列光をＣＣＤカメラに結像させようとする場合、
第１整列光学系１１０のシャッター１８を開放させて光
源１１から出力された光がシャッター１８を通じてワー
クピース１７上に照明されるようにし、その他の整列光
学系２１０、３１０のシャッター２８、３８は閉鎖させ
て光源１１から出力される光がワークピース２７、３７
上に照明されないようにする。
れる整列光をＣＣＤカメラに結像させようとする場合、
第１整列光学系１１０のシャッター１８を開放させて光
源１１から出力された光がシャッター１８を通じてワー
クピース１７上に照明されるようにし、その他の整列光
学系２１０、３１０のシャッター２８、３８は閉鎖させ
て光源１１から出力される光がワークピース２７、３７
上に照明されないようにする。
【００４０】前記において、第１整列光学系１１０から
出力された整列光は別途に追加装着されたミラー４４に
より反射されて基準マークが形成されているスクリーン
５０上に結像されてＣＣＤカメラ７０に入力される。
出力された整列光は別途に追加装着されたミラー４４に
より反射されて基準マークが形成されているスクリーン
５０上に結像されてＣＣＤカメラ７０に入力される。
【００４１】さらに、第３整列光学系３１０から出力さ
れた整列光を結像させようとする場合には、第３整列光
学系３１０のシャッター３８のみ開放させて光をワーク
ピース３７上に照明させる。
れた整列光を結像させようとする場合には、第３整列光
学系３１０のシャッター３８のみ開放させて光をワーク
ピース３７上に照明させる。
【００４２】前記ワークピース３７に照明された光は別
途に追加装着された光分周器２９に反射されてミラー４
４を通じてスクリーン５０に結像される。
途に追加装着された光分周器２９に反射されてミラー４
４を通じてスクリーン５０に結像される。
【００４３】前記ＣＣＤカメラ７０に結像され、整列マ
ークが形成されているワークピースの位置変化を感知す
る動作は、前記実施例１と同一である。
ークが形成されているワークピースの位置変化を感知す
る動作は、前記実施例１と同一である。
【００４４】この発明の実施例３を図６を参照してその
作用について説明する。この発明の実施例３に従う露光
装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装置の構成は、
多数の整列光学系１１０、２１０、３１０と、前記多数
の整列光学系１１０、２１０、３１０から出力される光
の経路を一体化させて出力するペンタプリズム４８と、
スクリーン５０と、ズームレンズ６０と、ＣＣＤカメラ
７０と、モニタ８０とからなる。
作用について説明する。この発明の実施例３に従う露光
装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装置の構成は、
多数の整列光学系１１０、２１０、３１０と、前記多数
の整列光学系１１０、２１０、３１０から出力される光
の経路を一体化させて出力するペンタプリズム４８と、
スクリーン５０と、ズームレンズ６０と、ＣＣＤカメラ
７０と、モニタ８０とからなる。
【００４５】この発明の実施例３に従う整列光学系１１
０、２１０、３１０の構成は、前記実施例２と同一であ
る。実施例２と対比した場合、実施例３は、多数の整列
光学系の光経路を一体化させてＣＣＤカメラに入力させ
ることにおいて同一であるが、多数の整列光学系１１
０、２１０、３１０から出射される光の経路はそれぞれ
独立的に構成した後、別途のペンタプリズム４８を用い
て独立した光経路を通じて入力される光の出力経路を一
体化させてＣＣＤカメラ７０に入力させることが相異し
ている。
０、２１０、３１０の構成は、前記実施例２と同一であ
る。実施例２と対比した場合、実施例３は、多数の整列
光学系の光経路を一体化させてＣＣＤカメラに入力させ
ることにおいて同一であるが、多数の整列光学系１１
０、２１０、３１０から出射される光の経路はそれぞれ
独立的に構成した後、別途のペンタプリズム４８を用い
て独立した光経路を通じて入力される光の出力経路を一
体化させてＣＣＤカメラ７０に入力させることが相異し
ている。
【００４６】従って、多数の整列光学系１１０、２１
０、３１０に装着されているシャッター１８、２８、３
８のオン／オフ動作を制御し、必要な整列光学系に該当
する整列光のみを出力されるようにし、前記多数の整列
光学系１１０、２１０、３１０のうち、どの一つの整列
光学系から出力された整列光はペンタプリズム４８を通
じて同一の出力経路に出力されてＣＣＤカメラ７０に結
像される。
０、３１０に装着されているシャッター１８、２８、３
８のオン／オフ動作を制御し、必要な整列光学系に該当
する整列光のみを出力されるようにし、前記多数の整列
光学系１１０、２１０、３１０のうち、どの一つの整列
光学系から出力された整列光はペンタプリズム４８を通
じて同一の出力経路に出力されてＣＣＤカメラ７０に結
像される。
【００４７】ＣＣＤカメラ７０に結像され、整列マーク
が形成されているワークピースの位置変化を感知する動
作は前記実施例と同一である。
が形成されているワークピースの位置変化を感知する動
作は前記実施例と同一である。
【００４８】また、この発明の他の実施例に従いこの発
明の実施例１ないし３におけるように、基準マークが形
成されているスクリーンを用い、これを基準に整列マー
クが形成されたワークピースの位置変化を感知すること
と異なり、基準マークが形成されたスクリーンなしにＣ
ＣＤカメラに装着されている画像処理装置に基準マーク
に該当するデータを貯蔵し、結像されて入力される整列
マークと貯蔵された基準マークを比較してワークピース
の位置変化を感知するように構成することもできる。
明の実施例１ないし３におけるように、基準マークが形
成されているスクリーンを用い、これを基準に整列マー
クが形成されたワークピースの位置変化を感知すること
と異なり、基準マークが形成されたスクリーンなしにＣ
ＣＤカメラに装着されている画像処理装置に基準マーク
に該当するデータを貯蔵し、結像されて入力される整列
マークと貯蔵された基準マークを比較してワークピース
の位置変化を感知するように構成することもできる。
【００４９】
【発明の効果】以上のように、この発明の実施例に従
い、露光装置におけるプリズムを用いて多数の整列光学
系から出力される整列光をズームレンズを通じて倍率変
化を与えて、一つのＣＣＤカメラに結像させることによ
り、簡単な構成で容易に正確な整列位置を把握できる効
果を有する露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列
装置を提供することができる。
い、露光装置におけるプリズムを用いて多数の整列光学
系から出力される整列光をズームレンズを通じて倍率変
化を与えて、一つのＣＣＤカメラに結像させることによ
り、簡単な構成で容易に正確な整列位置を把握できる効
果を有する露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列
装置を提供することができる。
【図１】本発明の実施例１に従う露光装置におけるＣＣ
Ｄカメラを用いた整列装置の斜視図である。
Ｄカメラを用いた整列装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施例に従う整列装置に用いられる整
列マークを示すもので、Ａは平面図、Ｂは断面図であ
る。
列マークを示すもので、Ａは平面図、Ｂは断面図であ
る。
【図３】本発明の実施例に従う整列装置に用いられるプ
リズムと基準マークが刻まれたマスクを示す図である。
リズムと基準マークが刻まれたマスクを示す図である。
【図４】本発明の実施例に従う整列装置に用いられる基
準マークと整列マークが重畳されたマスクの平面図であ
る。
準マークと整列マークが重畳されたマスクの平面図であ
る。
【図５】本発明の実施例２に従うプリズムの代わりにシ
ャッターを用いた整列装置の斜視図である。
ャッターを用いた整列装置の斜視図である。
【図６】本発明の実施例３に従うＣＣＤカメラとペンタ
プリズムを用いた整列装置の斜視図である。
プリズムを用いた整列装置の斜視図である。
１０、２０、３０整列光学系 １１光源 １２光ファイバ １３フィルター １４、２４、３４第１レンズ １５光分周器 １６、２６、３６第２レンズ １７、２７、３７ワークピース １９ステージ ４０プリズム ５０スクリーン ６０結像レンズ（ズームレンズ） ７０ＣＣＤカメラ ８０モニタ ８３画像処理装置 ８５ステージ制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０７Ｌ
Claims (13)
- 【請求項１】 露光装置において、 ワークピース上に形成されている整列マークに該当する
整列光をそれぞれの光経路を通じて出力する多数の整列
光学系と、 ワークピースの整列位置に対応する位置を表す基準マー
クが形成されているスクリーンと、 多数の反射面が形成されて前記多数の整列光学系から出
力される整列光をそれぞれ反射させて前記スクリーン上
に出力するプリズムと、 前記スクリーンを通過して出力される基準マークと整列
マークに該当する光を結像する結像レンズと、 前記結像レンズを通じて入射される光を対応する映像情
報に変換処理して出力するＣＣＤカメラと、 前記ＣＣＤカメラから出力される映像情報に従い基準マ
ークと整列マークの差異を計算し、整列マークが刻まれ
たワークピースの位置変化を感知した後、位置変化に対
応する信号を出力する画像処理手段と、 前記画像処理手段から出力される信号に応じて該当する
情報を表示する情報表示手段と、 前記画像処理手段から出力される信号に応じてワークピ
ースが置かれているステージを正確な位置に移動させる
ステージ制御手段と、 を含むことを特徴とする露光装置におけるＣＣＤカメラ
を用いた整列装置。 - 【請求項２】 前記多数の整列光学系は、 一定の光を出力する光源と、 前記光源から出力される光を伝達する光ファイバと、 前記光ファイバを通じて伝達される光から感光物質を感
光させる成分をフィルターリングして出力するフィルタ
ーと、 前記フィルターリングして出力される光を適当な大きさ
に拡大するための第１レンズと、 前記第１レンズを通じて出力される光を集光する第２レ
ンズと、 前記第２レンズで集光される光で照明される整列マーク
が刻まれているワークピースと、 前記第２レンズを通じてワークピース上に照明され反射
される整列光を該当する光経路に出力する光分周器と、 からなることを特徴とする請求項１に記載の露光装置に
おけるＣＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項３】 前記結像レンズはズームレンズからなる
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置におけるＣ
ＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項４】 前記ズームレンズは不連続的に倍率が可
変されることを特徴とする請求項３に記載の露光装置に
おけるＣＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項５】 露光装置において、 それぞれの作動状態が選択的に可変されて、ワークピー
ス上に形成されている整列マークに該当する整列光を同
一の光経路を通じて出力する多数の整列光学系と、 ワークピースの整列位置に該当する基準マークが形成さ
れているスクリーンと、 前記スクリーンを通過して出力される基準マークと整列
マークとに該当する光を結像する結像レンズと、 前記結像レンズを通じて入射される光を該当する映像情
報に変換処理して出力するＣＣＤカメラと、 前記ＣＣＤカメラから出力される映像情報に従い基準マ
ークと整列マークの差異を計算し、整列マークが刻まれ
たワークピースの位置変化を感知して、その位置変化に
該当する信号を出力する画像処理手段と、 前記画像処理手段から出力される信号に応じて該当する
情報を表示する情報表示手段と、 前記画像処理手段から出力される信号に応じてワークピ
ースが置かれているステージを正確な位置に移動させる
ステージ制御手段と、 を含むことを特徴とする露光装置におけるＣＣＤカメラ
を用いた整列装置。 - 【請求項６】 前記多数の整列光学系は、 一定の光を出力する光源と、 前記光源から出力される光を伝達する光ファイバと、 前記光ファイバを通じて伝達される光から感光物質を感
光させる成分をフィルターリングさせて出力するフィル
ターと、 開閉状態に従い前記フィルターリングされて出力される
光を通過させるシャッターと、 前記シャッターを通じて出力されるフィルターリングさ
れた光を適当な大きさに拡大するための第１レンズと、 前記第１レンズを通じて出力される光を集光する第２レ
ンズと、 前記第２レンズで集光される光で照明される整列マーク
が刻まれているワークピースと、 前記第２レンズを通じてワークピース上に照明され反射
される整列光を同一の光経路に出力する光分周器と、 からなることを特徴とする請求項５に記載の露光装置に
おけるＣＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項７】 前記結像レンズはズームレンズからなる
ことを特徴とする請求項５に記載の露光装置におけるＣ
ＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項８】 前記ズームレンズは不連続的に倍率が可
変されることを特徴とする請求項７に記載の露光装置に
おけるＣＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項９】 整列装置は同一の光経路を通じて出力さ
れる整列光学系の整列光を反射させてスクリーン上に出
力するミラーをさらに含むことを特徴とする請求項５に
記載の露光装置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装
置。 - 【請求項１０】 露光装置において、 それぞれの作動状態が選択的に可変されてワークピース
上に形成されている整列マークに該当する整列光をそれ
ぞれの光経路を通じて出力する多数の整列光学系と、 ワークピースの整列位置に該当する基準マークが形成さ
れているスクリーンと、 前記多数の整列光学系から出力される整列光を一つの光
経路を通じてスクリーン上に出力するペンタプリズム
と、 前記スクリーンを通過して出力される基準マークと整列
マークに該当する光を結像する結像レンズと、 前記結像レンズを通じて入射される光を該当する映像情
報に変換処理して出力するＣＣＤカメラと、 ＣＣＤカメラから出力される映像情報に従い基準マーク
と整列マークの差異を計算し、整列マークが刻まれたワ
ークピースの位置変化を感知して、その位置変化に該当
する信号を出力する画像処理手段と、 前記画像処理手段から出力される信号に応じて該当する
情報を表示する情報表示手段と、 前記画像処理手段から出力される信号に応じてワークピ
ースが置かれているステージを正確な位置に移動させる
ステージ制御手段と、 を含んでなることを特徴とする露光装置におけるＣＣＤ
カメラを用いた整列装置。 - 【請求項１１】 前記多数の整列光学系は、 一定の光を出力する光源と、 前記光源から出力される光を伝達する光ファイバと、 前記光ファイバを通じて伝達される光から感光物質を感
光させる成分をフィルターリングさせて出力するフィル
ターと、 開閉状態に従い前記フィルターリングされて出力される
光を通過させるシャッターと、 前記シャッターを通じて出力されるフィルターリングさ
れた光を適当な大きさに拡大するための第１レンズと、 前記第１レンズを通じて出力される光を集光する第２レ
ンズと、 前記第２レンズで集光される光で照明される整列マーク
が刻まれているワークピースと、 前記第２レンズを通じてワークピース上に照明され反射
される整列光を同一の光経路に出力する光分周器と、 からなることを特徴とする請求項１０に記載の露光装置
におけるＣＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項１２】 前記結像レンズはズームレンズからな
ることを特徴とする請求項１０に記載の露光装置におけ
るＣＣＤカメラを用いた整列装置。 - 【請求項１３】 前記ズームレンズは不連続的に倍率が
可変されることを特徴とする請求項１２に記載の露光装
置におけるＣＣＤカメラを用いた整列装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR32437/1995 | 1995-09-28 | ||
| KR1019950032437A KR0174486B1 (ko) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 노광 장비에서 시시디 카메라를 이용한 정렬 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09186079A true JPH09186079A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=19428212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8254590A Pending JPH09186079A (ja) | 1995-09-28 | 1996-09-26 | 露光装置におけるｃｃｄカメラを用いた整列装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5790257A (ja) |
| JP (1) | JPH09186079A (ja) |
| KR (1) | KR0174486B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006157013A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Asml Netherlands Bv | 基板テーブル、基板の位置を測定する方法、及びリソグラフィ装置 |
| US8836943B2 (en) | 2010-10-25 | 2014-09-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Workpiece alignment device |
| KR101525923B1 (ko) * | 2013-07-18 | 2015-06-11 | 에버테크노 주식회사 | 인쇄회로기판용 노광장치의 정렬마크 감지장치 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10000469C2 (de) * | 2000-01-07 | 2003-07-03 | Schott Spezialglas Gmbh | Verfahren zum fortlaufenden Ablängen von Zuschnitten aus einem kontinuierlich bewegten Endlosmaterial und zugehörige Vorrichtung |
| US20040008352A1 (en) * | 2002-05-14 | 2004-01-15 | Satoshi Hirokawa | Precision size measuring apparatus |
| KR101273800B1 (ko) * | 2006-02-02 | 2013-06-11 | 엘지전자 주식회사 | 마스크리스 노광기의 정렬장치 |
| DE102006045283A1 (de) * | 2006-09-22 | 2008-04-10 | Carl Zeiss 3D Automation Gmbh | Vorbereitungsanordnung für bildgebende Meßvorrichtungen |
| US7702229B2 (en) * | 2006-10-18 | 2010-04-20 | Eastman Kodak Company | Lens array assisted focus detection |
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