JPH09202423A - 直線移動装置 - Google Patents
直線移動装置Info
- Publication number
- JPH09202423A JPH09202423A JP2843496A JP2843496A JPH09202423A JP H09202423 A JPH09202423 A JP H09202423A JP 2843496 A JP2843496 A JP 2843496A JP 2843496 A JP2843496 A JP 2843496A JP H09202423 A JPH09202423 A JP H09202423A
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- pulleys
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- pulley
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 バックラッシュの生じない２倍ストロークの
直線移動装置を提供する。 【解決手段】 モータの回転運動を往復運動に変換する
クランクスライダ機構と、このクランクスライダ機構の
先端に突設した支軸に支持した複数のプーリー５と、こ
の一方のプーリー５に支承する固定側の一次側ワイヤー
ロープ４と、他方のプーリーに支承する二次側ワイヤー
ロープ６とより構成する。そしてこの二次側ワイヤロー
プ６を可動側の移動体に張設支承することにより、移動
体を一次側ワイヤロープ４に対し２倍のストロークで移
動させる。
直線移動装置を提供する。 【解決手段】 モータの回転運動を往復運動に変換する
クランクスライダ機構と、このクランクスライダ機構の
先端に突設した支軸に支持した複数のプーリー５と、こ
の一方のプーリー５に支承する固定側の一次側ワイヤー
ロープ４と、他方のプーリーに支承する二次側ワイヤー
ロープ６とより構成する。そしてこの二次側ワイヤロー
プ６を可動側の移動体に張設支承することにより、移動
体を一次側ワイヤロープ４に対し２倍のストロークで移
動させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、直線移動装置、特
にクリーンな周囲環境において、半導体ウェハや液晶の
基板用カセットなどの取り扱いに注意を要する搬送物
を、円滑な動作で２位置間の移動を２倍のストロークで
移動し、正確な位置で確実に停止を行うための直線移動
装置に関するものである。
にクリーンな周囲環境において、半導体ウェハや液晶の
基板用カセットなどの取り扱いに注意を要する搬送物
を、円滑な動作で２位置間の移動を２倍のストロークで
移動し、正確な位置で確実に停止を行うための直線移動
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、２位置間の移動、停止を得る技術
は、その使用目的に応じて種々の方法が用いられてい
る。たとえば、駆動側のストロークに対して２倍のスト
ロークが得られる直線移動機構として図２に示すダブル
ラック・ピニオン機構が知られている。（日刊工業新聞
社（昭和６０年４月初版１１刷）発行の「制御回路つき
自動化機構３００選」の２３ページ、熊谷卓編、ＩＳＢ
Ｎ４−５２６−００８６５−６）図２に示す従来技術に
おいては、エアシリンダ１２によって出入りするロッド
１３の先端に、回転可能なごとく係合されたピニオン１
４を配設し、該ピニオン１４に対して固定側ラック１５
と可動側ラック１６を回転中心の対称位置にかみ合うよ
うに配設し、かつ、可動側ラック１６が固定側ラック１
５に対して平行移動可能なるように直線ガイド１７を設
けて構成し、これによってエアシリンダ１２の出入りす
るロッド１３のストロークＳが直線ガイド１７には２倍
のストローク２Ｓで直線移動を得るようにしたものであ
る。すなわち、エアシリンダ１２のロッド１３の出入り
によって得られる直線移動（１次側ストローク）を与え
られたピニオン１４が固定側ラック１５とかみ合いなが
ら回転すると、同時にピニオン１４とかみ合った可動側
ラック１６がピニオンの直線移動ストローク分と、ピニ
オン１４の回転による直線運動変換されたストローク分
とが加算されることによって２倍のストロークの直線移
動を行うものである。
は、その使用目的に応じて種々の方法が用いられてい
る。たとえば、駆動側のストロークに対して２倍のスト
ロークが得られる直線移動機構として図２に示すダブル
ラック・ピニオン機構が知られている。（日刊工業新聞
社（昭和６０年４月初版１１刷）発行の「制御回路つき
自動化機構３００選」の２３ページ、熊谷卓編、ＩＳＢ
Ｎ４−５２６−００８６５−６）図２に示す従来技術に
おいては、エアシリンダ１２によって出入りするロッド
１３の先端に、回転可能なごとく係合されたピニオン１
４を配設し、該ピニオン１４に対して固定側ラック１５
と可動側ラック１６を回転中心の対称位置にかみ合うよ
うに配設し、かつ、可動側ラック１６が固定側ラック１
５に対して平行移動可能なるように直線ガイド１７を設
けて構成し、これによってエアシリンダ１２の出入りす
るロッド１３のストロークＳが直線ガイド１７には２倍
のストローク２Ｓで直線移動を得るようにしたものであ
る。すなわち、エアシリンダ１２のロッド１３の出入り
によって得られる直線移動（１次側ストローク）を与え
られたピニオン１４が固定側ラック１５とかみ合いなが
ら回転すると、同時にピニオン１４とかみ合った可動側
ラック１６がピニオンの直線移動ストローク分と、ピニ
オン１４の回転による直線運動変換されたストローク分
とが加算されることによって２倍のストロークの直線移
動を行うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この機構はストローク
が２倍になると同時に動作速度も２倍となるので、円滑
な動作をさせるにはラック及びピニオンの歯形形状精度
やラック相互の平行度、すなわち組立精度など、精密な
製作を必要とするとともに、歯車機構として不可避なか
み合いスキマ（バックラッシュ）の影響を考慮する必要
が生じるという問題点があった。。
が２倍になると同時に動作速度も２倍となるので、円滑
な動作をさせるにはラック及びピニオンの歯形形状精度
やラック相互の平行度、すなわち組立精度など、精密な
製作を必要とするとともに、歯車機構として不可避なか
み合いスキマ（バックラッシュ）の影響を考慮する必要
が生じるという問題点があった。。
【０００４】本発明は、前述した従来技術の問題点を解
決し、バックラッシの生じない２倍ストロークの直線移
動装置を提供することを目的とする。
決し、バックラッシの生じない２倍ストロークの直線移
動装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の直線移動装置は、モータの回転運動を往復
運動に変換するクランクスライダ機構と、このクランク
スライダ機構の先端に突設した支軸に支持した複数のプ
ーリーと、この一方のプーリーに支承する固定側の一次
側ワイヤーロープと、他方のプーリーに支承する二次側
ワイヤーロープとよりなり、この二次側ワイヤロープを
可動側の移動体に張設支承することにより、移動体を一
次側ワイヤロープに対し２倍のストロークで移動させる
ことを特徴とする。
め、本発明の直線移動装置は、モータの回転運動を往復
運動に変換するクランクスライダ機構と、このクランク
スライダ機構の先端に突設した支軸に支持した複数のプ
ーリーと、この一方のプーリーに支承する固定側の一次
側ワイヤーロープと、他方のプーリーに支承する二次側
ワイヤーロープとよりなり、この二次側ワイヤロープを
可動側の移動体に張設支承することにより、移動体を一
次側ワイヤロープに対し２倍のストロークで移動させる
ことを特徴とする。
【０００６】上記構成からなる本発明の直線移動装置
は、互いに平行して張架した２対のワイヤロープを夫々
同軸上に配設したプーリーにて係合して回動させること
によりバックラッシのない運動伝達を行うことができ、
これにより不正な振動要因を回避し、かつ、２つのプー
リーを備えた１次側の直線移動をクランクスライダ機構
で行うことにより、サイン曲線の滑らかな運動変化で、
しかも移動ストロークを２倍として動作させることがで
きる。
は、互いに平行して張架した２対のワイヤロープを夫々
同軸上に配設したプーリーにて係合して回動させること
によりバックラッシのない運動伝達を行うことができ、
これにより不正な振動要因を回避し、かつ、２つのプー
リーを備えた１次側の直線移動をクランクスライダ機構
で行うことにより、サイン曲線の滑らかな運動変化で、
しかも移動ストロークを２倍として動作させることがで
きる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の直線移動装置の実
施の形態を図面に基づいて説明する。図１に示すよう
に、本発明の直線移動装置はモータ１の回転を旋回アー
ム２およびロッド３により直線運動に変換するクランク
スライダ機構２０と、１次側ワイヤロープ４と、この一
部を係止したプーリ５ａ、およびプーリ５ｂに係止して
張架した２次側ワイヤロープ６による２倍ストローク機
構６０、および二次側ワイヤロープ６と平行に配設した
２次側の直線ガイド７、移動テーブル８とから構成され
る。
施の形態を図面に基づいて説明する。図１に示すよう
に、本発明の直線移動装置はモータ１の回転を旋回アー
ム２およびロッド３により直線運動に変換するクランク
スライダ機構２０と、１次側ワイヤロープ４と、この一
部を係止したプーリ５ａ、およびプーリ５ｂに係止して
張架した２次側ワイヤロープ６による２倍ストローク機
構６０、および二次側ワイヤロープ６と平行に配設した
２次側の直線ガイド７、移動テーブル８とから構成され
る。
【０００８】モータ１のモータ軸端には旋回アーム２の
基端部を係着し、この旋回アーム２の先端部にロッド３
の基端側を枢着するとともに、このロッド３の先端部に
支軸３Ｓを突設する。この支軸３Ｓは、ロッド３に対し
ベアリング等の軸受を介して回動自在に支持され、かつ
ロッド先端部上方へ突出するようになっている。
基端部を係着し、この旋回アーム２の先端部にロッド３
の基端側を枢着するとともに、このロッド３の先端部に
支軸３Ｓを突設する。この支軸３Ｓは、ロッド３に対し
ベアリング等の軸受を介して回動自在に支持され、かつ
ロッド先端部上方へ突出するようになっている。
【０００９】そしてこの支軸３Ｓには、２つのプーリー
５ａ，５ｂを同軸上にして設けるが、この２つのプーリ
ー５ａ，５ｂは図示のように同径とするか、もしくは異
径とし、この同軸上に取り付けたプーリー５ａ，５ｂに
は夫々平行に張架した一次側と二次側のワイヤロープ４
と５の一部を係止する。
５ａ，５ｂを同軸上にして設けるが、この２つのプーリ
ー５ａ，５ｂは図示のように同径とするか、もしくは異
径とし、この同軸上に取り付けたプーリー５ａ，５ｂに
は夫々平行に張架した一次側と二次側のワイヤロープ４
と５の一部を係止する。
【００１０】モータ１及び一次側ワイヤロープ４は、固
定側に設置または張架する。このワイヤロープ４の両端
は、ワイヤ係止具９，１０にて固定され、予め設定され
た張力を得るようにしている。そして旋回アーム２の揺
動角を検出してその揺動角を制御するために、旋回アー
ム側にストライカ２Ｓを、また旋回アームの旋回外周部
の軌跡上に一センサ９を夫々設ける。
定側に設置または張架する。このワイヤロープ４の両端
は、ワイヤ係止具９，１０にて固定され、予め設定され
た張力を得るようにしている。そして旋回アーム２の揺
動角を検出してその揺動角を制御するために、旋回アー
ム側にストライカ２Ｓを、また旋回アームの旋回外周部
の軌跡上に一センサ９を夫々設ける。
【００１１】一次側ワイヤロープ４と平行して二次側ワ
イヤロープ６は、可動側例えば移動テーブル８にワイヤ
係止具１０を介して張架するとともに、この二次側ワイ
ヤロープ６の一部をワイヤホルダ１１を介してプーリー
５ｂに、また一次側ワイヤロープ４はワイヤホルダを介
してプーリー５ａに夫々係止する。この移動テーブル８
には、二次側ワイヤロープ６を平行に配設した直線ガイ
ド（ガイドロッド）７を貫通して移動テーブル８は予め
定めたコースを直線的に、かつ所定の移動範囲内で往復
運動を行うようにする。
イヤロープ６は、可動側例えば移動テーブル８にワイヤ
係止具１０を介して張架するとともに、この二次側ワイ
ヤロープ６の一部をワイヤホルダ１１を介してプーリー
５ｂに、また一次側ワイヤロープ４はワイヤホルダを介
してプーリー５ａに夫々係止する。この移動テーブル８
には、二次側ワイヤロープ６を平行に配設した直線ガイ
ド（ガイドロッド）７を貫通して移動テーブル８は予め
定めたコースを直線的に、かつ所定の移動範囲内で往復
運動を行うようにする。
【００１２】従って上述のごとく構成するクランクスラ
イダ機構２０は、モータ１の半回転によりロッド３の先
端に係合されたプーリ５ａ，５ｂの直線移動として得ら
れるので、モータ１の半回転停止をさせるために位置セ
ンサ９を配置している。この時、プーリ５ａを１次側ワ
イヤロープ４で支持する必要があるので、ワイヤ止具
（ワイヤテンショナ）１０を用いている。なお、図示は
省略するが、プーリ５ａを直線ガイド機構で支えて１次
側ワイヤロープ４の作用を補助することも有効である。
イダ機構２０は、モータ１の半回転によりロッド３の先
端に係合されたプーリ５ａ，５ｂの直線移動として得ら
れるので、モータ１の半回転停止をさせるために位置セ
ンサ９を配置している。この時、プーリ５ａを１次側ワ
イヤロープ４で支持する必要があるので、ワイヤ止具
（ワイヤテンショナ）１０を用いている。なお、図示は
省略するが、プーリ５ａを直線ガイド機構で支えて１次
側ワイヤロープ４の作用を補助することも有効である。
【００１３】２倍ストローク機構は緊張した１次側ワイ
ヤロープ４と２次側ワイヤロープ６をそれぞれ巻き付け
たプーリ５ａ，５ｂの回動作用によって行われるので、
スリップしないようにワイヤの巻き付きをワイヤホルダ
１１でプーリ５ａ，５ｂにそれぞれ固定している。これ
により、プーリ５ａは１次側ワイヤロープ４との巻き付
き作用で、１次側ストロークの直線移動に伴って回転を
与えられる。この回転により２次側ワイヤロープ６に巻
き付いているプーリ５ｂも同時に回転するので、結果的
に、２次側ワイヤロープ６が２倍の直線移動をすること
になる。このとき、２次側の直線移動は直線ガイド７で
支えて移動テーブル８の２位置間の移動、停止作用とし
て得る。
ヤロープ４と２次側ワイヤロープ６をそれぞれ巻き付け
たプーリ５ａ，５ｂの回動作用によって行われるので、
スリップしないようにワイヤの巻き付きをワイヤホルダ
１１でプーリ５ａ，５ｂにそれぞれ固定している。これ
により、プーリ５ａは１次側ワイヤロープ４との巻き付
き作用で、１次側ストロークの直線移動に伴って回転を
与えられる。この回転により２次側ワイヤロープ６に巻
き付いているプーリ５ｂも同時に回転するので、結果的
に、２次側ワイヤロープ６が２倍の直線移動をすること
になる。このとき、２次側の直線移動は直線ガイド７で
支えて移動テーブル８の２位置間の移動、停止作用とし
て得る。
【００１４】直線ガイド７は図１に示した２本ロッドの
形態の他、図示を省略するが、１本の回り止め付きガイ
ドレール形態でもこの作用が得られる。なお、すべての
軸受やガイド部分はコロガリ接触構造の機械要素を用い
ることにより、本作用を有効に発揮することができる。
形態の他、図示を省略するが、１本の回り止め付きガイ
ドレール形態でもこの作用が得られる。なお、すべての
軸受やガイド部分はコロガリ接触構造の機械要素を用い
ることにより、本作用を有効に発揮することができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の直線移動装置によれば、クラン
プスライダ機構と、このクランプスライダ機構先端に突
設したプーリーに、２条のワイヤロープを係止して巻き
付けているので、バックラッシの生じない滑かな運動の
直線移動を得ることができるとともに、移動テーブルの
ストロークを２倍とすることができる。
プスライダ機構と、このクランプスライダ機構先端に突
設したプーリーに、２条のワイヤロープを係止して巻き
付けているので、バックラッシの生じない滑かな運動の
直線移動を得ることができるとともに、移動テーブルの
ストロークを２倍とすることができる。
【図１】本発明の直線移動装置の一実施例を示す斜視図
である。
である。
【図２】従来の直線移動装置を示す説明図である。
１ モータ ２ 旋回アーム ３ ロッド ４ １次側ワイヤロープ ５ プーリ ６ ２次側ワイヤロープ ７ 直線ガイド ８ 移動テーブル ９ 位置センサ １０ ワイヤテンショナ １１ ワイヤホルダ １２ エアシリンダ １３ ロッド １４ ピニオン １５ 固定側ラック １６ 可動側ラック １７ 直線ガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤井 浩 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 寺嶋 正樹 神奈川県海老名市上今泉2100番地 日立精 工エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 山本 賢 神奈川県海老名市上今泉2100番地 日立精 工エンジニアリング株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 モータの回転運動を往復運動に変換する
クランクスライダ機構と、このクランクスライダ機構の
先端に突設した支軸に支持した複数のプーリーと、この
一方のプーリーに支承する固定側の一次側ワイヤーロー
プと、他方のプーリーに支承する二次側ワイヤーロープ
とよりなり、この二次側ワイヤロープを可動側の移動体
に張設支承することにより、移動体を一次側ワイヤロー
プに対し２倍のストロークで移動させることを特徴とす
る直線移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02843496A JP3851676B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 直線移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02843496A JP3851676B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 直線移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09202423A true JPH09202423A (ja) | 1997-08-05 |
| JP3851676B2 JP3851676B2 (ja) | 2006-11-29 |
Family
ID=12248569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02843496A Expired - Fee Related JP3851676B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 直線移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3851676B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103043378A (zh) * | 2011-10-15 | 2013-04-17 | 四川制药制剂有限公司 | 带有连杆的胶囊板传送装置 |
| JP2015202962A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-16 | グライフォルス・ス・アー | 小瓶を輸送するための機構 |
| JP2018526593A (ja) * | 2015-08-31 | 2018-09-13 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｏｎｔｉｎｅｎｔａｌ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ ＧｍｂＨ | 弁 |
| CN109256895A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-22 | 中国科学技术大学 | 一种可紧急制动的直线运动装置 |
-
1996
- 1996-01-22 JP JP02843496A patent/JP3851676B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103043378A (zh) * | 2011-10-15 | 2013-04-17 | 四川制药制剂有限公司 | 带有连杆的胶囊板传送装置 |
| JP2015202962A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-16 | グライフォルス・ス・アー | 小瓶を輸送するための機構 |
| JP2018526593A (ja) * | 2015-08-31 | 2018-09-13 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｏｎｔｉｎｅｎｔａｌ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ ＧｍｂＨ | 弁 |
| CN109256895A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-22 | 中国科学技术大学 | 一种可紧急制动的直线运动装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3851676B2 (ja) | 2006-11-29 |
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