JPH09211069A - 再選別用ストッカをもつオートハンドラ - Google Patents
再選別用ストッカをもつオートハンドラInfo
- Publication number
- JPH09211069A JPH09211069A JP8034364A JP3436496A JPH09211069A JP H09211069 A JPH09211069 A JP H09211069A JP 8034364 A JP8034364 A JP 8034364A JP 3436496 A JP3436496 A JP 3436496A JP H09211069 A JPH09211069 A JP H09211069A
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- Japan
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3404—Storage means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＩＣ搬送器１０が循環するオートハンドラに
おいて、収容ローダから供給ローダにトレイ２０を再搭
載することのないオートハンドラを提供する。 【解決手段】 供給部１１ではＩＣ搬送器１０にＩＣ１
が供給され、ＩＣ搬送器１０は測定部１３に移動し、Ｉ
Ｃ搬送器１０は分類部１４に移動し、前記ＩＣ搬送器１
０内のＩＣ１を複数のトレイ２０に分類移載し、前記Ｉ
Ｃ搬送器１０は供給部１１に移動する。ストッカ１５は
複数のＩＣ１を収容する凹部１５Ａをもち、分類部１４
から供給部１１へのＩＣ搬送器１０の移送経路間にスト
ッカ１５を配置し、分類部１４における不良品判定のＩ
Ｃ１はストッカ１５に収容され、ストッカ１５にＩＣ１
が満杯になると、分類部１４から供給部１１に移動する
空のＩＣ搬送器１０に前記不良品判定のＩＣ１を移載す
る。
おいて、収容ローダから供給ローダにトレイ２０を再搭
載することのないオートハンドラを提供する。 【解決手段】 供給部１１ではＩＣ搬送器１０にＩＣ１
が供給され、ＩＣ搬送器１０は測定部１３に移動し、Ｉ
Ｃ搬送器１０は分類部１４に移動し、前記ＩＣ搬送器１
０内のＩＣ１を複数のトレイ２０に分類移載し、前記Ｉ
Ｃ搬送器１０は供給部１１に移動する。ストッカ１５は
複数のＩＣ１を収容する凹部１５Ａをもち、分類部１４
から供給部１１へのＩＣ搬送器１０の移送経路間にスト
ッカ１５を配置し、分類部１４における不良品判定のＩ
Ｃ１はストッカ１５に収容され、ストッカ１５にＩＣ１
が満杯になると、分類部１４から供給部１１に移動する
空のＩＣ搬送器１０に前記不良品判定のＩＣ１を移載す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、再選別用ストッ
カをもつオートハンドラについてのものである。特に、
複数のＩＣを搭載するＩＣ搬送器が装置内部を循環する
水平搬送式のオートハンドラについてのものである。
カをもつオートハンドラについてのものである。特に、
複数のＩＣを搭載するＩＣ搬送器が装置内部を循環する
水平搬送式のオートハンドラについてのものである。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来の技術によるオートハンドラ
の構成を図２により説明する。図２アはオートハンドラ
の平面図であり、図２イは正面図である。図２の１０は
ＩＣ搬送器、１１は供給部、１２は予熱部、１３は測定
部、１４は分類部である。また、２０はトレイ、２１は
供給ローダ、２２〜２４は収容ローダ、２５は待機部で
ある。
の構成を図２により説明する。図２アはオートハンドラ
の平面図であり、図２イは正面図である。図２の１０は
ＩＣ搬送器、１１は供給部、１２は予熱部、１３は測定
部、１４は分類部である。また、２０はトレイ、２１は
供給ローダ、２２〜２４は収容ローダ、２５は待機部で
ある。
【０００３】図２では、ＩＣ１が複数搭載されたトレイ
２０は供給ローダ２１に多段枚搭載される。供給ハンド
３１は供給ローダ２１の最上段のトレイ２０からＩＣ１
を供給部１１のＩＣ搬送器１０に逐次移送する。供給部
１１のＩＣ搬送器１０への搬送動作が完了すると、空の
トレイ２０は移動機構で搬送され、待機部２５に収納さ
れる。
２０は供給ローダ２１に多段枚搭載される。供給ハンド
３１は供給ローダ２１の最上段のトレイ２０からＩＣ１
を供給部１１のＩＣ搬送器１０に逐次移送する。供給部
１１のＩＣ搬送器１０への搬送動作が完了すると、空の
トレイ２０は移動機構で搬送され、待機部２５に収納さ
れる。
【０００４】供給部１１のＩＣ搬送器１０は予熱部１２
に移動し、ＩＣ搬送器１０内のＩＣ１が一定時間加熱さ
れる。一定時間経過後、ＩＣ搬送器１０は測定部１３に
移動し、ＩＣ１が試験される。なお、図２は高温ハンド
ラであり、予熱部１２と測定部１３は高温槽に内蔵され
る。低温ハンドラの場合は、予熱部１２は予冷部とな
り、予冷部と測定部は低温槽に内蔵される。
に移動し、ＩＣ搬送器１０内のＩＣ１が一定時間加熱さ
れる。一定時間経過後、ＩＣ搬送器１０は測定部１３に
移動し、ＩＣ１が試験される。なお、図２は高温ハンド
ラであり、予熱部１２と測定部１３は高温槽に内蔵され
る。低温ハンドラの場合は、予熱部１２は予冷部とな
り、予冷部と測定部は低温槽に内蔵される。
【０００５】ＩＣ１が試験完了後のＩＣ搬送器１０は分
類部１４に移動する。分類部１４では、試験結果と予め
設定された分類条件にしたがって、収容ハンド３２はＩ
Ｃ１を収容ローダのトレイ２０に分類移載する。空のＩ
Ｃ搬送器１０は供給部１１に戻る。
類部１４に移動する。分類部１４では、試験結果と予め
設定された分類条件にしたがって、収容ハンド３２はＩ
Ｃ１を収容ローダのトレイ２０に分類移載する。空のＩ
Ｃ搬送器１０は供給部１１に戻る。
【０００６】図２では、収容ローダは３つ用意されてい
る。第１の収容ローダ２２はＩＣが収容されるのトレイ
２０が多段枚搭載可能であるが、ＩＣ１が収容不足の場
合は、既に空であることが確認されたトレイ２０を待機
部２５から供給する。第２の収容ローダ２３には、待機
部２５から空のトレイ２０が移載される。第３の収容ロ
ーダ２４には空のトレイ２０が複数段搭載される。第３
の収容ローダ２４はＩＣ１を例えば、不良品収容として
使用される。なお、図２と技術的に同様の構成は特願平
7− 91795号明細書に開示されている。
る。第１の収容ローダ２２はＩＣが収容されるのトレイ
２０が多段枚搭載可能であるが、ＩＣ１が収容不足の場
合は、既に空であることが確認されたトレイ２０を待機
部２５から供給する。第２の収容ローダ２３には、待機
部２５から空のトレイ２０が移載される。第３の収容ロ
ーダ２４には空のトレイ２０が複数段搭載される。第３
の収容ローダ２４はＩＣ１を例えば、不良品収容として
使用される。なお、図２と技術的に同様の構成は特願平
7− 91795号明細書に開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図２では、分類された
ＩＣの中で不良品として分類されたＩＣを再選別する場
合がある。例えば、１ロットにおける歩どまりが想定す
る歩どまりと異なる場合に、不良品のＩＣを収容するこ
とに設定した収容ローダから、トレイ２０を引き出し、
前記トレイ２０を供給ローダ２１に搭載する。
ＩＣの中で不良品として分類されたＩＣを再選別する場
合がある。例えば、１ロットにおける歩どまりが想定す
る歩どまりと異なる場合に、不良品のＩＣを収容するこ
とに設定した収容ローダから、トレイ２０を引き出し、
前記トレイ２０を供給ローダ２１に搭載する。
【０００８】この発明は、ＩＣ搬送器が内部循環するオ
ートハンドラにおいて、分類部から供給部へのＩＣ搬送
器の移送経路間に再選別用のストッカを配置し、収容ロ
ーダから供給ローダにトレイを再搭載することなく、前
記オートハンドラ内部で再選別するオートハンドラを提
供することを目的とする。
ートハンドラにおいて、分類部から供給部へのＩＣ搬送
器の移送経路間に再選別用のストッカを配置し、収容ロ
ーダから供給ローダにトレイを再搭載することなく、前
記オートハンドラ内部で再選別するオートハンドラを提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、供給部１１ではＩＣ搬送器１０にＩＣ
１が逐次供給され、前記ＩＣ搬送器１０は測定部１３に
移動して複数のＩＣ１が一括して試験され、試験終了後
の前記ＩＣ搬送器１０は分類部１４に移動し、前記分類
部１４では前記試験結果に基づき前記ＩＣ搬送器１０内
のＩＣ１を分類してＩＣ１を複数のトレイ２０に分類移
載し、前記ＩＣ搬送器１０は供給部１１に移動するＩＣ
搬送器が循環するオートハンドラであって、ストッカ１
５は複数のＩＣ１を収容する凹部１５Ａをもち、分類部
１４から供給部１１へのＩＣ搬送器１０の移送経路間に
ストッカ１５を配置し、分類部１４における不良品判定
のＩＣ１はストッカ１５に収容され、ストッカ１５にＩ
Ｃ１が満杯になると、分類部１４から供給部１１に移動
する空のＩＣ搬送器１０に前記不良品判定のＩＣ１を移
載する。
め、この発明は、供給部１１ではＩＣ搬送器１０にＩＣ
１が逐次供給され、前記ＩＣ搬送器１０は測定部１３に
移動して複数のＩＣ１が一括して試験され、試験終了後
の前記ＩＣ搬送器１０は分類部１４に移動し、前記分類
部１４では前記試験結果に基づき前記ＩＣ搬送器１０内
のＩＣ１を分類してＩＣ１を複数のトレイ２０に分類移
載し、前記ＩＣ搬送器１０は供給部１１に移動するＩＣ
搬送器が循環するオートハンドラであって、ストッカ１
５は複数のＩＣ１を収容する凹部１５Ａをもち、分類部
１４から供給部１１へのＩＣ搬送器１０の移送経路間に
ストッカ１５を配置し、分類部１４における不良品判定
のＩＣ１はストッカ１５に収容され、ストッカ１５にＩ
Ｃ１が満杯になると、分類部１４から供給部１１に移動
する空のＩＣ搬送器１０に前記不良品判定のＩＣ１を移
載する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施の形態を説明する。図１はこの発明によるオート
ハンドラの一実施の形態を示す構成図であり、図１アは
平面図、図１イは正面図である。なお、図１において図
２と同じ符号は同一構成品であるので、特に必要が無い
限り、説明を省略する。
一実施の形態を説明する。図１はこの発明によるオート
ハンドラの一実施の形態を示す構成図であり、図１アは
平面図、図１イは正面図である。なお、図１において図
２と同じ符号は同一構成品であるので、特に必要が無い
限り、説明を省略する。
【００１１】図１において、１５はストッカであり、ス
トッカ１５は複数のＩＣ１を収容する凹部１５Ａを縦横
に配置する。分類部１４から供給部１１へのＩＣ搬送器
１０の移送経路間にストッカ１５は配置される。
トッカ１５は複数のＩＣ１を収容する凹部１５Ａを縦横
に配置する。分類部１４から供給部１１へのＩＣ搬送器
１０の移送経路間にストッカ１５は配置される。
【００１２】分類部１４における不良品判定のＩＣ１は
収容ハンド３２により、ストッカ１５に収容される。ス
トッカ１５にＩＣ１が満杯になると、分類部１４から供
給部１１に移動する空のＩＣ搬送器１０に前記不良品判
定のＩＣ１を移載する。すなわち、図１において、スト
ッカ１５の左側に空間が設けられ、前記空間に空のＩＣ
搬送器１０が待機し、収容ハンド３２により、再選別用
のＩＣ１が移載される。なお、再選別用のＩＣ搬送器１
０の循環形態は、通常選別と同じである。
収容ハンド３２により、ストッカ１５に収容される。ス
トッカ１５にＩＣ１が満杯になると、分類部１４から供
給部１１に移動する空のＩＣ搬送器１０に前記不良品判
定のＩＣ１を移載する。すなわち、図１において、スト
ッカ１５の左側に空間が設けられ、前記空間に空のＩＣ
搬送器１０が待機し、収容ハンド３２により、再選別用
のＩＣ１が移載される。なお、再選別用のＩＣ搬送器１
０の循環形態は、通常選別と同じである。
【００１３】
【発明の効果】この発明は、ＩＣ搬送器が内部循環する
オートハンドラにおいて、分類部から供給部へのＩＣ搬
送器の移送経路間に再選別用のストッカを配置している
ので、収容ローダから供給ローダにトレイを再搭載する
ことなく、前記オートハンドラ内部で自動的に再選別す
ることができる。
オートハンドラにおいて、分類部から供給部へのＩＣ搬
送器の移送経路間に再選別用のストッカを配置している
ので、収容ローダから供給ローダにトレイを再搭載する
ことなく、前記オートハンドラ内部で自動的に再選別す
ることができる。
【図１】この発明の一実施の形態によるオートハンドラ
の構成図である。
の構成図である。
【図２】従来の技術によるオートハンドラの構成図であ
る。
る。
１ ＩＣ １０ ＩＣ搬送器 １１ 供給部 １２ 予熱部 １３ 測定部 １４ 分類部 １５ ストッカ １５Ａ 凹部
Claims (1)
- 【請求項１】 供給部(11)ではＩＣ搬送器(10)にＩＣ
(1) が逐次供給され、前記ＩＣ搬送器(10)は測定部(13)
に移動して複数のＩＣ(1) が一括して試験され、試験終
了後の前記ＩＣ搬送器(10)は分類部(14)に移動し、前記
分類部(14)では前記試験結果に基づき前記ＩＣ搬送器(1
0)内のＩＣ(1) を分類してＩＣ(1) を複数のトレイ(20)
に分類移載し、前記ＩＣ搬送器(10)は供給部(11)に移動
するＩＣ搬送器が循環するオートハンドラであって、 ストッカ(15)は複数のＩＣ(1) を収容する凹部(15A)を
もち、 分類部(14)から供給部(11)へのＩＣ搬送器(10)の移送経
路間にストッカ(15)を配置し、 分類部(14)における不良品判定のＩＣ(1) はストッカ(1
5)に収容され、 ストッカ(15)にＩＣ(1) が満杯になると、分類部(14)か
ら供給部(11)に移動する空のＩＣ搬送器(10)に前記不良
品判定のＩＣ(1) を移載することを特徴とする再選別用
ストッカをもつオートハンドラ
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8034364A JPH09211069A (ja) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | 再選別用ストッカをもつオートハンドラ |
| KR1019970000546A KR100260121B1 (ko) | 1996-01-29 | 1997-01-11 | 재 선별용 스톡커를 가지는 오토핸들러 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8034364A JPH09211069A (ja) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | 再選別用ストッカをもつオートハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09211069A true JPH09211069A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=12412119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8034364A Pending JPH09211069A (ja) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | 再選別用ストッカをもつオートハンドラ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09211069A (ja) |
| KR (1) | KR100260121B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002077655A1 (en) * | 2001-03-22 | 2002-10-03 | Vladimir Nikolaevich Davydov | Handler for electronic circuits |
| CN111776571A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-10-16 | 龙合智能装备制造有限公司 | 一种用于托盘更换的托盘回收方法及其设备 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100286046B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2001-11-02 | 윤종용 | 인쇄 회로 기판 검사 장치 |
-
1996
- 1996-01-29 JP JP8034364A patent/JPH09211069A/ja active Pending
-
1997
- 1997-01-11 KR KR1019970000546A patent/KR100260121B1/ko not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002077655A1 (en) * | 2001-03-22 | 2002-10-03 | Vladimir Nikolaevich Davydov | Handler for electronic circuits |
| CN111776571A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-10-16 | 龙合智能装备制造有限公司 | 一种用于托盘更换的托盘回收方法及其设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100260121B1 (ko) | 2000-08-01 |
| KR970060442A (ko) | 1997-08-12 |
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