JPH09213868A - マイクロ波半導体集積回路用リ−ドフレ−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フルモ−ルドパッケ−ジにおいて、信号端子
間のアイソレ−ションを向上させ、高周波でもフルモ−
ルドパッケ−ジを使用し得るマイクロ波半導体集積回路
用リ−ドフレ−ムを提供すること。 【解決手段】 信号端子1，4，6，8，9，12，13，15，1
7，20のうち8，9及び12，13は、パッケ−ジ内で１本に
なっており、マイクロ波帯での入力インピ−ダンスが得
られるように構成されている。また、信号端子8，9及び
12，13は、接地端子である7，10及び11，14で囲み、そ
して、そのうちの接地端子10と11は最外端子となってい
る。一方、半導体チップ22は、マウントアイランド21に
マウント材で接着されており、ボンディングワイヤ23で
リ−ドと接続されており、これらをモ−ルド材で封入し
てなるリ−ドフレ−ム。このように、同一の信号端子を
パッケ−ジ内でマウントアイランドと一体の接地用リ−
ドで挟み、その接地端子を最外端子に構成することで、
信号端子間のアイソレ−ションを向上させることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置用リ−
ドフレ−ムに係り、特に信号端子と接地端子とを有する
マイクロ波半導体集積回路用リ−ドフレ−ムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体装置用リ−ドフレ−ムにつ
いては、例えば特開昭64−84626号公報や特開昭63−202
948号公報に記載のリ−ドフレ−ムが知られている。以
下、これらの従来の半導体装置用リ−ドフレ−ムについ
て図面を参照して説明するが、本明細書において、特開
昭64−84626号公報に記載の半導体装置用リ−ドフレ−
ムを“従来例１”と称し、特開昭63−202948号公報に記
載のそれを“従来例２”と称する。

【０００３】（従来例１）図３は、従来例１の半導体装
置用リ−ドフレ−ムを説明する図であって、そのうち
(Ａ)は、インナ−リ−ド部の拡大図であり、(Ｂ)は、
(Ａ)のＡ−Ａ線断面図である。図中、31はポリイミドフ
イルム、32はインナ−リ−ド(リ−ド端子)、33はスル−
ホ−ル、34は共通のパタ−ン、35は半導体チップ、36は
ボンディングパット、37はバンプ、38はフイルムキャリ
ア側のパタ−ンである。

【０００４】従来例１における信号端子(インナ−リ−
ド32)は、接地ラインで挟み、所定のインピ−ダンスに
なる様に設計されており、更に、信号ラインを接地用ラ
インで挟んでいることで、信号ライン間のアイソレ−シ
ョンの向上を図っている。また、半導体チップ35のマウ
ントは、ボンディングワイヤの影響を避けるため、ボン
ディングワイヤレス直接ソルダ−にて、信号ラインとボ
ンディングパット36とを接続している。

【０００５】（従来例２）図４は、従来例２の半導体装
置用リ−ドフレ−ムを示す図であって、図４中の41〜50
はリ−ド端子、51は突出部、52は半導体チップ、53はボ
ンディングワイヤである。

【０００６】従来例２において、半導体チップ52は、マ
ウントアイランドにマウント材にてマウントしており、
突出部51は、半導体チップ52の端面近くのマウントアイ
ランドに形成され、ボンディングワイヤ53にて接続され
ている。また、接地用リ−ド端子は、マウントアイラン
ドと一体化しているので、組立構造によるア−ス電位上
昇や寄生インダクタンスによる電気特性の低下を低減し
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来例
１の半導体装置用リ−ドフレ−ムでは、ボンディングワ
イヤレスのため、組立工程時の歩留まりが低下するとい
う問題点を有している。その理由は、ボンディングワイ
ヤレスのものであり、図３(Ａ)，(Ｂ)に示したように、
ボンディングパッド36とリ−ド(インナ−リ−ド32)とを
バンプ37により直接的に接続する構成からなるため、マ
ウント工程時の位置精度が必要とされるからである。

【０００８】一方、前記従来例２の半導体装置用リ−ド
フレ−ムでは、モ−ルドにおいてはリ−ドでのロスが大
きく、10ＧＨｚを超える周波数ではモ−ルドは実現でき
ないという欠点を有している。その理由は、信号用のリ
−ドは、図４に示したように、各１本づつであるため、
封止材による寄生容量等による影響を受けるからであ
る。

【０００９】本発明は、上記問題点及び欠点に鑑み成さ
れたものであって、その目的とするところは、フルモ−
ルドパッケ−ジにおいて、信号端子間のアイソレ−ショ
ンを向上させ、高周波でもフルモ−ルドパッケ−ジを使
用し得る半導体装置用リ−ドフレ−ム、特に信号端子と
接地端子とを有するマイクロ波半導体集積回路用リ−ド
フレ−ムを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係るリ−ドフレ
−ムは、信号端子と接地端子とを有するマイクロ波半導
体集積回路用リ−ドフレ−ムであって、その信号端子を
マウントアイランドと一体の接地端子で挟み、端子の最
外端子にその接地端子を構成することを特徴とし、これ
により前記目的とするマイクロ波半導体集積回路用リ−
ドフレ−ムを提供するものである。

【００１１】即ち、本発明に係るリ−ドフレ−ムは、
「対向する辺に信号端子を持ち、マウントアイランドと
一体化された接地端子を最外周の信号端子よりも外側に
配置し、信号端子の周りに接地端子を設け、リ−ド間の
アイソレ−ションを向上させることを特徴とするマイク
ロ波半導体集積回路用リ−ドフレ−ム。」(請求項１)を
要旨とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明に係るリ−ドフレ−ムは、
具体的には、フルモ−ルドパッケ−ジにおいて、信号端
子間のアイソレ−ションを20ｄＢ以上取るため、マウン
トアイランドと一体の接地用端子で挟み、端子の最外端
子にその接地端子を構成し、高周波でもフルモ−ルドパ
ッケ−ジを使用することができるようにしたものであ
る。即ち、例えば10ＧＨｚを超える信号を扱う製品のモ
−ルドパッケ−ジとして、信号端子間のアイソレ−ショ
ンを取るため、信号端子を接地端子で囲み、端子の最外
端子にその接地端子を構成する構造からなるものであ
る。

【００１３】

【作用】本発明に係るリ−ドフレ−ムは、同一の信号端
子をパッケ−ジ内でマウントアイランドと一体の接地用
リ−ドで挟み、その接地端子を最外端子に構成すること
で、信号端子間のアイソレ−ションを向上させることが
できる作用が生じる。

【００１４】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例により限
定されるものではなく、前記した本発明の要旨を逸脱し
ない範囲内で種々の変形、変更が可能なものである。

【００１５】（実施例）図１は、本発明の一実施例であ
るリ−ドフレ−ムを示す図である。図１中の1〜20はリ
−ド端子、21はマウントアイランド、22は半導体チッ
プ、23はボンディングワイヤである。

【００１６】本実施例において、1，4，6，8，9，12，1
3，15，17，20は信号端子であって、そのうち8，9及び1
2，13は、パッケ−ジ内で１本になっており、マイクロ
波帯での入力インピ−ダンスが得られるように構成され
ている。

【００１７】上記信号端子8，9及び12，13は、接地端子
である7，10及び11，14で囲み、そして、そのうちの接
地端子10と11は最外端子となっている。一方、半導体チ
ップ22は、マウントアイランド21にマウント材で接着さ
れており、ボンディングワイヤ23でリ−ドと接続されて
おり、これらをモ−ルド材で封入し、気密を図ってい
る。

【００１８】本実施例に係るリ−ドフレ−ムの用途とし
ては、例えば２入力２出力のＤＢＳ用ＭＭＩＣに好適で
ある。この場合、信号端子8，9のピンを第１のＲＦ信号
の入力端子、信号端子6のピンを第１のロ−カル信号入
力端子、信号端子１のピンを第１のＩＦ信号出力端子と
し、一方、信号端子12，13を第２のＲＦ信号入力端子、
信号端子15のピンを第２のロ−カル信号入力端子、信号
端子20のピンを第２のＩＦ信号出力端子とすることがで
きる。

【００１９】ところで、ＲＦ周波数は10〜13ＧＨｚであ
り、第１と第２のＲＦ信号入力端子間は、20ｄＢ以上の
アイソレ−ションを必要とするので、本実施例に係るリ
−ドフレ−ムのように信号端子の両側を接地端子で囲
み、その接地端子は最外端子に構成する必要がある。ま
た、ＩＦ周波数は0.9〜2.2ＧＨｚであるので、従来の技
術で20ｄＢ以上のアイソレ−ションが得られる。

【００２０】次に、本実施例に係るリ−ドフレ−ムの特
性について、図２に基づいて説明する。なお、図２は対
向する端子間のアイソレ−ションを示す図であって、そ
のうち(Ａ)は、信号端子１と信号端子20との間のアイソ
レ−ションを示し、(Ｂ)は、信号端子8，9と信号端子1
2，13との間のアイソレ−ションを示す。

【００２１】図２(Ａ)から、20ｄＢ以上のアイソレ−シ
ョンを得るには、５ＧＨｚが上限であり、それ以上の周
波数では十分な特性が得られていないことが理解でき
る。一方、図２(Ｂ)において、13ＧＨｚ程度まで20ｄＢ
以上のアイソレ−ションが得られている。

【００２２】本実施例に係るリ−ドフレ−ムの用途とし
て２入力２出力ＤＢＳ用ＭＭＩＣに適用した例では、前
記したように、第１のＲＦ信号端子を8，9のピン、第２
のＲＦ信号端子を12，13のピンにしており、図２(Ｂ)の
結果から、リ−ドフレ−ムによるアイソレ−ションへの
影響はない。また、第１のＩＦ信号端子を1のピン、第
２のＩＦ信号端子を20のピンにすることは、図２(Ａ)よ
り、リ−ドフレ−ムによるアイソレ−ションの影響はな
く、フルモ−ルドパッケ− ジでの実現が可能であるこ
とが理解できる。

【００２３】なお、従来技術では、端子間のアイソレ−
ションは、図２(Ａ)のような特性で、ＤＢＳ用ＭＭＩＣ
等の10ＧＨｚを超える信号を扱うフルモ−ルドパッケ−
ジのリ−ドフレ−ムには、本実施例に係るリ−ドフレ−
ムの構成を少なくとも１ケ所用いなければ実現しないこ
とが理解できる。

【００２４】

【発明の効果】本発明は、以上詳記したとおり、リ−ド
フレ−ムの信号端子をマウントアイランドと一体の接地
端子で挟み、端子の最外端子にその接地端子を構成する
ことを特徴とし、これにより、10ＧＨｚを超えてもアイ
ソレ−ションを十分取れるという効果が生じる。

【００２５】その結果、本発明によれば、10ＧＨｚを超
える信号をフルモ−ルドパッケ−ジで扱えるようになる
という顕著な効果が生じる。その理由は、10ＧＨｚを超
える信号が入力される端子は、接地端子で囲み、端子の
最外端子にその接地端子を構成しているからである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるリ−ドフレ−ムを示す
図。

【図２】対向する端子間のアイソレ−ションを示す本発
明の実施例の特性図であって、そのうち(Ａ)は、信号端
子1と信号端子20との間のアイソレ−ションを示し、
(Ｂ)は、信号端子8，9と端子12，13との間のアイソレ−
ションを示す図。

【図３】従来例１の半導体装置用リ−ドフレ−ムを説明
する図であって、そのうち(Ａ)は、インナ−リ−ド部の
拡大図であり、(Ｂ)は、(Ａ)のＡ−Ａ線断面図。

【図４】従来例２の半導体装置用リ−ドフレ−ムを示す
図。

【符号の説明】

１〜２０ リ−ド端子 ２１ マウンドアイランド ２２ 半導体チップ ２３ ボンディングワイヤ ３１ ポリイミドフイルム ３２ インナ−リ−ド(リ−ド端子) ３３ スル−ホ−ル ３４ 共通のパタ−ン ３５ 半導体チップ ３６ ボンディングパット ３７ バンプ ３８ フイルムキャリア側のパタ−ン ４１〜５０ リ−ド端子 ５１ 突出部 ５２ 半導体チップ ５３ ボンディングワイヤ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する辺に信号端子を持ち、マウント
   アイランドと一体化された接地端子を最外周の信号端子
   よりも外側に配置し、信号端子の周りに接地端子を設
   け、リ−ド間のアイソレ−ションを向上させることを特
   徴とするマイクロ波半導体集積回路用リ−ドフレ−ム。