JPH09214029A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JPH09214029A JPH09214029A JP4786896A JP4786896A JPH09214029A JP H09214029 A JPH09214029 A JP H09214029A JP 4786896 A JP4786896 A JP 4786896A JP 4786896 A JP4786896 A JP 4786896A JP H09214029 A JPH09214029 A JP H09214029A
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- Japan
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- electric field
- discharge
- preionization
- insulator
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
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- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 6
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- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガスレーザの予備電離のために、紫外線を放
射する放電を発生させるのに使用する予備電離ピンが、
電界集中により激しく消耗することのないようにする目
的とする。 【解決手段】 予備電離ピンの端面における電界が集中
されるのが予想されるエッジ部を、絶縁物で覆う。エッ
ジ部が絶縁物で覆われることにより、放電が集中するよ
うなことはなくなる。絶縁物で覆われていない部分での
電界強度は平等であり、この平等な電界の箇所において
放電が発生する。そのため集中放電は回避され、予備電
離ピンの消耗は回避される。
射する放電を発生させるのに使用する予備電離ピンが、
電界集中により激しく消耗することのないようにする目
的とする。 【解決手段】 予備電離ピンの端面における電界が集中
されるのが予想されるエッジ部を、絶縁物で覆う。エッ
ジ部が絶縁物で覆われることにより、放電が集中するよ
うなことはなくなる。絶縁物で覆われていない部分での
電界強度は平等であり、この平等な電界の箇所において
放電が発生する。そのため集中放電は回避され、予備電
離ピンの消耗は回避される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ装置、特に紫
外線予備電離放電励起形のガスレーザ装置に関する。
外線予備電離放電励起形のガスレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種装置において、容量移行自動予備
電離方式がよく知られている。これは高電圧電源によっ
て充電された第１のコンデンサの電荷を、予備電離ピン
を経由して第２のコンデンサに移行し、これにより予備
電離ピン間でアーク放電が形成され、このアーク放電に
よって発生する紫外線により主電極間隙を予備的に電離
し、続いて主電極間でグロー放電が開始され、ガスが励
起されてレーザ発振が発振されるようになっている。
電離方式がよく知られている。これは高電圧電源によっ
て充電された第１のコンデンサの電荷を、予備電離ピン
を経由して第２のコンデンサに移行し、これにより予備
電離ピン間でアーク放電が形成され、このアーク放電に
よって発生する紫外線により主電極間隙を予備的に電離
し、続いて主電極間でグロー放電が開始され、ガスが励
起されてレーザ発振が発振されるようになっている。
【０００３】図４はその構成を示し、１はレーザチャン
バーで、内部に主電極２を有し、予備電離ピン３とコン
デンサ４の直列回路が主電極２の両側に多数配置されて
ある。５はガス循環ファン、６は熱交換器で、これらは
予備電離ピン３、コンデンサ４とともにレーザチャンバ
ー１内に設置されている。
バーで、内部に主電極２を有し、予備電離ピン３とコン
デンサ４の直列回路が主電極２の両側に多数配置されて
ある。５はガス循環ファン、６は熱交換器で、これらは
予備電離ピン３、コンデンサ４とともにレーザチャンバ
ー１内に設置されている。
【０００４】７は高電圧電源、８はコンデンサ、９はサ
イラトロンのようなスイッチ、１０は可飽和リアクトル
のような磁気スイッチである。高電圧電源７によって充
電されたコンデンサ８の電荷は、スイッチ９をオンとす
ることにより、予備電離ピン３を経由してコンデンサ４
に移行する。この移行によって予備電離ピン３に電流が
流れると、アーク放電が形成され、このアーク放電から
放射される紫外線により、主電極１間は予備的に電離さ
れる。
イラトロンのようなスイッチ、１０は可飽和リアクトル
のような磁気スイッチである。高電圧電源７によって充
電されたコンデンサ８の電荷は、スイッチ９をオンとす
ることにより、予備電離ピン３を経由してコンデンサ４
に移行する。この移行によって予備電離ピン３に電流が
流れると、アーク放電が形成され、このアーク放電から
放射される紫外線により、主電極１間は予備的に電離さ
れる。
【０００５】磁気スイッチ１０がオン状態となっていく
のにともなって、コンデンサ４は次第に充電され、これ
により主電極２間に十分高い電圧が加わると、主電極２
間に均一なグロー放電が発生する。この放電によってエ
キシマが生成され、レーザ発振が行なわれる。
のにともなって、コンデンサ４は次第に充電され、これ
により主電極２間に十分高い電圧が加わると、主電極２
間に均一なグロー放電が発生する。この放電によってエ
キシマが生成され、レーザ発振が行なわれる。
【０００６】ところでこのようなレーザ装置において使
用される予備電離ピン３は、棒状または板状に形成され
ているので、互いに向き合う端部には電界が集中するエ
ッジ部が存在しており、そのためこのエッジ部、突起部
において放電が発生する。その具体例を示したのが図３
である。
用される予備電離ピン３は、棒状または板状に形成され
ているので、互いに向き合う端部には電界が集中するエ
ッジ部が存在しており、そのためこのエッジ部、突起部
において放電が発生する。その具体例を示したのが図３
である。
【０００７】ここに示すように、棒状に形成されている
一対の予備電離ピン３には、その向かい合う端部にエッ
ジ部１１が存在しているので、予備電離のために電圧が
印加されるときは、図に示すように電界強度の強いエッ
ジ部１１に電気力線１２が集中するようになる。放電電
流は電気力線１２に沿って流れるので、電流集中が起こ
り、エッジ部１１の温度が上昇し、消耗が激しくなるた
め、予備電離ピンの寿命は短い。
一対の予備電離ピン３には、その向かい合う端部にエッ
ジ部１１が存在しているので、予備電離のために電圧が
印加されるときは、図に示すように電界強度の強いエッ
ジ部１１に電気力線１２が集中するようになる。放電電
流は電気力線１２に沿って流れるので、電流集中が起こ
り、エッジ部１１の温度が上昇し、消耗が激しくなるた
め、予備電離ピンの寿命は短い。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、予備電離放
電励起形のガスレーザ装置において、予備電離ピンの消
耗を低減し、その長寿命化を図ることを目的とする。
電励起形のガスレーザ装置において、予備電離ピンの消
耗を低減し、その長寿命化を図ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、対となって互
いに向かい合う予備電離ピンの、エッジ部のような向か
い合う端部の電界集中部を、絶縁物で覆うことを特徴と
する。
いに向かい合う予備電離ピンの、エッジ部のような向か
い合う端部の電界集中部を、絶縁物で覆うことを特徴と
する。
【００１０】電界強度の強いエッジ部を絶縁物で覆って
いるので、その部分での放電は発生しないようになり、
結果として両予備電離ピン間の電気力線が集中していな
い箇所で予備電離のための放電が発生することとなる。
そのため予備電離ピンのエッジ部には電流が流れなくな
り、この部分の温度上昇は回避され、消耗は低減し、長
寿命化が図られるようになる。
いるので、その部分での放電は発生しないようになり、
結果として両予備電離ピン間の電気力線が集中していな
い箇所で予備電離のための放電が発生することとなる。
そのため予備電離ピンのエッジ部には電流が流れなくな
り、この部分の温度上昇は回避され、消耗は低減し、長
寿命化が図られるようになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１により
説明する。本発明にしたがい、棒状または板状に形成さ
れている予備電離ピン３の、互いに向かい合っている端
面１３全体から側面１４にかけて、絶縁物１５で覆う。
これにより電界集中部であるエッジ部１１は、絶縁物１
５で覆い隠される。
説明する。本発明にしたがい、棒状または板状に形成さ
れている予備電離ピン３の、互いに向かい合っている端
面１３全体から側面１４にかけて、絶縁物１５で覆う。
これにより電界集中部であるエッジ部１１は、絶縁物１
５で覆い隠される。
【００１２】そのため予備電離ピン３間に予備電離用の
電圧が印加された場合、エッジ部１１には電界は集中す
るようなことはなくなる。その結果、放電はエッジ部１
１では発生せず、絶縁物１５で覆われていない平坦な箇
所である電界強度が平等に近い箇所、すなわち電気力線
が集中しない平坦な側面１４間で生じるようになる。
電圧が印加された場合、エッジ部１１には電界は集中す
るようなことはなくなる。その結果、放電はエッジ部１
１では発生せず、絶縁物１５で覆われていない平坦な箇
所である電界強度が平等に近い箇所、すなわち電気力線
が集中しない平坦な側面１４間で生じるようになる。
【００１３】このように予備電離ピン３間での放電は、
エッジ部１１のように電界が集中するような箇所では発
生しないようになり、そのため予備電離ピンの消耗は従
来例に比較して低減されるようになる。なお絶縁物１５
としては、テフロン、セラミックスのような耐熱性を有
するとともに、使用するレーザガスに対して耐侵食性の
ものがよい。
エッジ部１１のように電界が集中するような箇所では発
生しないようになり、そのため予備電離ピンの消耗は従
来例に比較して低減されるようになる。なお絶縁物１５
としては、テフロン、セラミックスのような耐熱性を有
するとともに、使用するレーザガスに対して耐侵食性の
ものがよい。
【００１４】図２は本発明の他の実施の形態を示し、こ
れは向かい合う予備電離ピン３のエッジ部１１を含んで
端面１３の周縁から側面１４にかけて絶縁物１５で覆っ
た構成としてある。したがって予備電離ピン３の端面１
３の中央部分１３Ａは絶縁物１５で覆われることなく、
露呈している。
れは向かい合う予備電離ピン３のエッジ部１１を含んで
端面１３の周縁から側面１４にかけて絶縁物１５で覆っ
た構成としてある。したがって予備電離ピン３の端面１
３の中央部分１３Ａは絶縁物１５で覆われることなく、
露呈している。
【００１５】この構成においては、向かい合う中央部分
１４Ａにおいて放電が発生するが、この中央部分１４Ａ
は平坦とされているので、その間での電界強度は平等に
近いことにより電気力線は集中しない。そしてこの場合
でも電界集中部であるエッジ部において集中的な放電は
生じない。したがって放電による消耗は少なくなる。
１４Ａにおいて放電が発生するが、この中央部分１４Ａ
は平坦とされているので、その間での電界強度は平等に
近いことにより電気力線は集中しない。そしてこの場合
でも電界集中部であるエッジ部において集中的な放電は
生じない。したがって放電による消耗は少なくなる。
【００１６】なお前記した各実施の形態では、予備電離
ピン３の端面１３が平坦な形状であると説明したが、端
面１３が球状面である場合、その球面の頂点が電界集中
部となる。したがって球状の端面を絶縁物１５で覆うこ
とにより、電界の集中は回避できる。
ピン３の端面１３が平坦な形状であると説明したが、端
面１３が球状面である場合、その球面の頂点が電界集中
部となる。したがって球状の端面を絶縁物１５で覆うこ
とにより、電界の集中は回避できる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、予
備電離ピンによって紫外線による予備電離のためのアー
ク放電を発生させるにあたり、そのアーク放電が予備電
離ピン間の平等電界部で発生するように、電界集中部を
絶縁物で覆うようにしたので、電界集中に基づく予備電
離ピンの集中放電による消耗は低減されるようになり、
したがって予備電離ピンの長寿命化を図ることができる
効果を奏する。
備電離ピンによって紫外線による予備電離のためのアー
ク放電を発生させるにあたり、そのアーク放電が予備電
離ピン間の平等電界部で発生するように、電界集中部を
絶縁物で覆うようにしたので、電界集中に基づく予備電
離ピンの集中放電による消耗は低減されるようになり、
したがって予備電離ピンの長寿命化を図ることができる
効果を奏する。
【図１】本発明の実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示す断面図である。
【図３】従来例を示す断面図である。
【図４】エキシマレーザ装置の配置図である。
２ 主電極 ３ 予備電離ピン １１ エッジ部 １５ 絶縁物
Claims (1)
- 【請求項１】 対となって互いに向かい合う予備電離ピ
ン間での放電によって発生する紫外線により、主電極間
でエキシマ生成のための放電を励起するように、前記主
電極間を予備的に電離するレーザ装置において、前記予
備電離ピンにおける電界集中部を、絶縁物で覆ってなる
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4786896A JPH09214029A (ja) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4786896A JPH09214029A (ja) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09214029A true JPH09214029A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=12787363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4786896A Pending JPH09214029A (ja) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09214029A (ja) |
-
1996
- 1996-01-29 JP JP4786896A patent/JPH09214029A/ja active Pending
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