JPH09232904A - Sawフィルタ用セラミックパッケージ - Google Patents
Sawフィルタ用セラミックパッケージInfo
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- JPH09232904A JPH09232904A JP8041194A JP4119496A JPH09232904A JP H09232904 A JPH09232904 A JP H09232904A JP 8041194 A JP8041194 A JP 8041194A JP 4119496 A JP4119496 A JP 4119496A JP H09232904 A JPH09232904 A JP H09232904A
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- Japan
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- saw filter
- ceramic package
- package
- metal pad
- saw
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
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- H03H9/46—Filters
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- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
- H03H9/1071—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the SAW device
-
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- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パターン面とパッケージの底面に設けられた
金属パッド間に空隙を設け、インピーダンスの調整が容
易なSAWフィルタ用セラミックパッケージを提供す
る。 【解決手段】 SAWフィルタ用セラミックパッケージ
において、セラミックパッケージ10の底面に形成され
る金属パッド17と、前記セラミックパッケージ10の
底面に空隙を介して伝送路部33が対向するように配置
されるSAWフィルタチップ31とを配置する。
金属パッド間に空隙を設け、インピーダンスの調整が容
易なSAWフィルタ用セラミックパッケージを提供す
る。 【解決手段】 SAWフィルタ用セラミックパッケージ
において、セラミックパッケージ10の底面に形成され
る金属パッド17と、前記セラミックパッケージ10の
底面に空隙を介して伝送路部33が対向するように配置
されるSAWフィルタチップ31とを配置する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、SAWフィルタ用
セラミックパッケージに関するものである。
セラミックパッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、SAWフィルタでは、図11に示
すように、ウエハチップ3をパッケージ1に固定するの
に、接着マスクのパターン面4を上にして、接着剤5等
で固定し、ボンディングワイヤ7でパッケージ本体1の
パッド2とSAWフィルタの電極6とを接続するように
していた。なお、ここでは、パッケージ本体1には、蓋
(図示なし)が取り付けられ、半田によって封止され
る。
すように、ウエハチップ3をパッケージ1に固定するの
に、接着マスクのパターン面4を上にして、接着剤5等
で固定し、ボンディングワイヤ7でパッケージ本体1の
パッド2とSAWフィルタの電極6とを接続するように
していた。なお、ここでは、パッケージ本体1には、蓋
(図示なし)が取り付けられ、半田によって封止され
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のSAWフィルタの構成では、パターン面4がパ
ッケージ内部に密封されており、また、パターン自体も
LiTaO3 等の壊れ易い材質上にパターンが印刷され
ているため、調整が非常に困難であった。本発明は、上
記問題点を除去し、パターン面とパッケージの底面に設
けられた金属パッド間に空隙を設け、インピーダンスの
調整が容易なSAWフィルタ用セラミックパッケージを
提供することを目的とする。
た従来のSAWフィルタの構成では、パターン面4がパ
ッケージ内部に密封されており、また、パターン自体も
LiTaO3 等の壊れ易い材質上にパターンが印刷され
ているため、調整が非常に困難であった。本発明は、上
記問題点を除去し、パターン面とパッケージの底面に設
けられた金属パッド間に空隙を設け、インピーダンスの
調整が容易なSAWフィルタ用セラミックパッケージを
提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 (1)SAWフィルタ用セラミックパッケージにおい
て、セラミックパッケージの底面に形成される金属パッ
ドと、前記セラミックパッケージの底面に空隙を介して
伝送路部が対向するように配置されるSAWフィルタチ
ップとを設けるようにしたものである。
成するために、 (1)SAWフィルタ用セラミックパッケージにおい
て、セラミックパッケージの底面に形成される金属パッ
ドと、前記セラミックパッケージの底面に空隙を介して
伝送路部が対向するように配置されるSAWフィルタチ
ップとを設けるようにしたものである。
【0005】このように、パッケージに金属パッドを設
けたことにより、この金属パッドの形状により、容易に
容量を変えることができ、その結果、インピーダンスや
位相を変えることができる。よって、SAWフィルタの
特性を高性能化することができる。 (2)上記(1)記載のSAWフィルタ用セラミックパ
ッケージにおいて、前記セラミックパッケージとSAW
フィルタチップとの接続にバンプ構造を設けるようにし
たものである。
けたことにより、この金属パッドの形状により、容易に
容量を変えることができ、その結果、インピーダンスや
位相を変えることができる。よって、SAWフィルタの
特性を高性能化することができる。 (2)上記(1)記載のSAWフィルタ用セラミックパ
ッケージにおいて、前記セラミックパッケージとSAW
フィルタチップとの接続にバンプ構造を設けるようにし
たものである。
【0006】このように、バンプによる実装構造にした
ので、SAWフィルタチップを容易に実装することがで
き、コストを低減することができる。 (3)上記(1)記載のSAWフィルタ用セラミックパ
ッケージにおいて、前記セラミックパッケージにSAW
フィルタチップの周辺に臨む段差を設けるようにしたも
のである。
ので、SAWフィルタチップを容易に実装することがで
き、コストを低減することができる。 (3)上記(1)記載のSAWフィルタ用セラミックパ
ッケージにおいて、前記セラミックパッケージにSAW
フィルタチップの周辺に臨む段差を設けるようにしたも
のである。
【0007】このように、セラミックパッケージにSA
Wフィルタチップの周辺に臨む段差を設けるようにした
ので、SAWフィルタチップの実装を容易にし、自動化
を図ることができる。 (4)上記(1)記載のSAWフィルタ用セラミックパ
ッケージにおいて、前記金属パッドと前記SAWフィル
タの伝送路部を有するパターン面間に容量を付加するよ
うにしたものである。
Wフィルタチップの周辺に臨む段差を設けるようにした
ので、SAWフィルタチップの実装を容易にし、自動化
を図ることができる。 (4)上記(1)記載のSAWフィルタ用セラミックパ
ッケージにおいて、前記金属パッドと前記SAWフィル
タの伝送路部を有するパターン面間に容量を付加するよ
うにしたものである。
【0008】このように、容量が付加されることによ
り、インピーダンスが変化し、フィルタの周波数を調整
することができる。
り、インピーダンスが変化し、フィルタの周波数を調整
することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の第
1実施例を示すSAWフィルタ用セラミックパッケージ
の構成図であり、図1(a)はそのSAWフィルタ用セ
ラミックパッケージの平面図、図1(b)はそのSAW
フィルタ用セラミックパッケージの正面図、図1(c)
はそのSAWフィルタ用セラミックパッケージの裏面図
である。図2はそのSAWフィルタ用セラミックパッケ
ージの他の例を示す平面図であり、その正面図及び裏面
図は図1(b)及び図1(c)と同様である。
て図を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の第
1実施例を示すSAWフィルタ用セラミックパッケージ
の構成図であり、図1(a)はそのSAWフィルタ用セ
ラミックパッケージの平面図、図1(b)はそのSAW
フィルタ用セラミックパッケージの正面図、図1(c)
はそのSAWフィルタ用セラミックパッケージの裏面図
である。図2はそのSAWフィルタ用セラミックパッケ
ージの他の例を示す平面図であり、その正面図及び裏面
図は図1(b)及び図1(c)と同様である。
【0010】図1(a)に示すように、パッケージ本体
10には入出力端子11,12と接地用端子13〜16
があり、図1(b)及び図1(c)に示すように、それ
ぞれがパッケージ本体10の外側端子11A〜16Aと
接続されている。また、パッケージ本体10はセラミッ
ク製である。さらに、入出力端子11,12、接地用端
子13〜16に囲まれるように、金属パッド17が設け
られている。この金属パッド17は任意の形状であり、
位置も自由に設定できる。
10には入出力端子11,12と接地用端子13〜16
があり、図1(b)及び図1(c)に示すように、それ
ぞれがパッケージ本体10の外側端子11A〜16Aと
接続されている。また、パッケージ本体10はセラミッ
ク製である。さらに、入出力端子11,12、接地用端
子13〜16に囲まれるように、金属パッド17が設け
られている。この金属パッド17は任意の形状であり、
位置も自由に設定できる。
【0011】さらに、図1に示すような独立のタイプ
と、図2に示すように、接地用端子13〜16に接続配
線18〜21で接続されているタイプの2通りがある。
なお、点線で示される31はSAWフィルタチップ、3
2はそれが接続されるバンプである。図3は本発明の第
1実施例を示すセラミックパッケージへのSAWフィル
タの実装構造を示す断面図、図4は図3のA部拡大断面
図である。
と、図2に示すように、接地用端子13〜16に接続配
線18〜21で接続されているタイプの2通りがある。
なお、点線で示される31はSAWフィルタチップ、3
2はそれが接続されるバンプである。図3は本発明の第
1実施例を示すセラミックパッケージへのSAWフィル
タの実装構造を示す断面図、図4は図3のA部拡大断面
図である。
【0012】この図に示すように、パッケージ本体10
とSAWフィルタチップ31はバンプ32で接続されて
おり、そのためSAWフィルタの伝送路部33となるパ
ターン面は下向きとなっている。また、その伝送路部3
3となるパターン面とパッケージ本体10に隙間を作る
ため、パッケージ本体10にはバンプ接続に影響のない
程度の高さで固定できるような段差部34が形成されて
いる。
とSAWフィルタチップ31はバンプ32で接続されて
おり、そのためSAWフィルタの伝送路部33となるパ
ターン面は下向きとなっている。また、その伝送路部3
3となるパターン面とパッケージ本体10に隙間を作る
ため、パッケージ本体10にはバンプ接続に影響のない
程度の高さで固定できるような段差部34が形成されて
いる。
【0013】また、セラミックパッケージ本体10の上
部はリッドで、パッケージを封止する。以下、本発明の
SAWフィルタ用セラミックパッケージの動作について
説明する。図3より明らかなように、パッケージ本体1
0にSAWフィルタチップ31を装着すると、図4に示
すように、伝送路部33と金属パッド部17の間に容量
Cが発生する。
部はリッドで、パッケージを封止する。以下、本発明の
SAWフィルタ用セラミックパッケージの動作について
説明する。図3より明らかなように、パッケージ本体1
0にSAWフィルタチップ31を装着すると、図4に示
すように、伝送路部33と金属パッド部17の間に容量
Cが発生する。
【0014】この容量により、伝送路のインピーダンス
や位相の調整を行う。 (1)第1のSAWフィルタ用セラミックパッケージの
場合(図1の場合) 一例として、3段のSAWフィルタを用いたとすると、
通常は、図5に示すような回路図となる。ここで、図1
のSAWフィルタ用セラミックパッケージを用いること
により、図6における容量C1 や図7における容量
C2 、最大で図8における容量C3 〜C11を付加するこ
とができる。
や位相の調整を行う。 (1)第1のSAWフィルタ用セラミックパッケージの
場合(図1の場合) 一例として、3段のSAWフィルタを用いたとすると、
通常は、図5に示すような回路図となる。ここで、図1
のSAWフィルタ用セラミックパッケージを用いること
により、図6における容量C1 や図7における容量
C2 、最大で図8における容量C3 〜C11を付加するこ
とができる。
【0015】(2)第2のSAWフィルタ用セラミック
パッケージの場合(図2の場合) 同様に3段のSAWフィルタを用いたとすると、図9に
示すような並列接続で容量C12を加えることができる。
また、図10に示すように、複数の並列接続で容量C13
〜C15を付加することができる。
パッケージの場合(図2の場合) 同様に3段のSAWフィルタを用いたとすると、図9に
示すような並列接続で容量C12を加えることができる。
また、図10に示すように、複数の並列接続で容量C13
〜C15を付加することができる。
【0016】どちらの場合も、容量が付加されることに
より、インピーダンスが変化し、フィルタの周波数を調
整することができる。なお、上記実施例では、SAWフ
ィルタ用パッケージについて説明したが、チップウエハ
を一体型モジュールに変えれば、バンプを用いたRFモ
ジュールにも適用可能である。
より、インピーダンスが変化し、フィルタの周波数を調
整することができる。なお、上記実施例では、SAWフ
ィルタ用パッケージについて説明したが、チップウエハ
を一体型モジュールに変えれば、バンプを用いたRFモ
ジュールにも適用可能である。
【0017】また、SAWフィルタの表面は下向きとな
っているので、SAWフィルタ用パッケージの封止時の
半田飛びによる問題もない。本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変
形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するも
のではない。
っているので、SAWフィルタ用パッケージの封止時の
半田飛びによる問題もない。本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変
形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するも
のではない。
【0018】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、パッケージに金属
パッドを設けたことにより、この金属パッドの形状によ
り、容易に容量を変えることができ、その結果、インピ
ーダンスや位相を変えることができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、パッケージに金属
パッドを設けたことにより、この金属パッドの形状によ
り、容易に容量を変えることができ、その結果、インピ
ーダンスや位相を変えることができる。
【0019】(2)請求項2記載の発明によれば、バン
プによる実装構造にしたことにより、SAWフィルタチ
ップを容易に実装することができ、コストを低減するこ
とができる。 (3)請求項3記載の発明によれば、セラミックパッケ
ージにSAWフィルタチップの周辺に臨む段差を設ける
ようにしたので、SAWフィルタチップの実装を容易に
し、自動化を図ることができる。
プによる実装構造にしたことにより、SAWフィルタチ
ップを容易に実装することができ、コストを低減するこ
とができる。 (3)請求項3記載の発明によれば、セラミックパッケ
ージにSAWフィルタチップの周辺に臨む段差を設ける
ようにしたので、SAWフィルタチップの実装を容易に
し、自動化を図ることができる。
【0020】(4)請求項4記載の発明によれば、容量
が付加されることにより、インピーダンスが変化し、フ
ィルタの周波数を調整することができる。
が付加されることにより、インピーダンスが変化し、フ
ィルタの周波数を調整することができる。
【図1】本発明の実施例を示すSAWフィルタ用セラミ
ックパッケージの構成図である。
ックパッケージの構成図である。
【図2】本発明の他の実施例を示すSAWフィルタ用セ
ラミックパッケージの平面図である。
ラミックパッケージの平面図である。
【図3】本発明のセラミックパッケージへのSAWフィ
ルタの実装構造を示す断面図である。
ルタの実装構造を示す断面図である。
【図4】図3のA部拡大断面図である。
【図5】従来のSAWフィルタ用セラミックパッケージ
の等価回路図である。
の等価回路図である。
【図6】本発明の実施例を示すSAWフィルタ用セラミ
ックパッケージの第1の等価回路図である。
ックパッケージの第1の等価回路図である。
【図7】本発明の実施例を示すSAWフィルタ用セラミ
ックパッケージの第2の等価回路図である。
ックパッケージの第2の等価回路図である。
【図8】本発明の実施例を示すSAWフィルタ用セラミ
ックパッケージの第3の等価回路図である。
ックパッケージの第3の等価回路図である。
【図9】本発明の他の実施例を示すSAWフィルタ用セ
ラミックパッケージの第1の等価回路図である。
ラミックパッケージの第1の等価回路図である。
【図10】本発明の他の実施例を示すSAWフィルタ用
セラミックパッケージの第2の等価回路図である。
セラミックパッケージの第2の等価回路図である。
【図11】従来のSAWフィルタ用セラミックパッケー
ジの構成図である。
ジの構成図である。
10 パッケージ本体 11,12 入出力端子 13〜16 接地用端子 11A〜16A 外側端子 17 金属パッド 18〜21 接続配線 31 SAWフィルタチップ 32 バンプ 33 伝送路部 34 段差部 C,C1 〜C15 容量
Claims (4)
- 【請求項1】 SAWフィルタ用セラミックパッケージ
において、(a)セラミックパッケージの底面に形成さ
れる金属パッドと、(b)前記セラミックパッケージの
底面に空隙を介して伝送路部が対向するように配置され
るSAWフィルタチップとを具備することを特徴とする
SAWフィルタ用セラミックパッケージ。 - 【請求項2】 請求項1記載のSAWフィルタ用セラミ
ックパッケージにおいて、前記セラミックパッケージと
SAWフィルタチップとの接続にバンプ構造を設けたこ
とを特徴とするSAWフィルタ用パッケージ。 - 【請求項3】 請求項1記載のSAWフィルタ用セラミ
ックパッケージにおいて、前記セラミックパッケージに
SAWフィルタチップの周辺に臨む段差を設けたことを
特徴とするSAWフィルタ用パッケージ。 - 【請求項4】 請求項1記載のSAWフィルタ用セラミ
ックパッケージにおいて、前記金属パッドと前記SAW
フィルタの伝送路部を有するパターン面間にインピーダ
ンスを付加することを特徴とするSAWフィルタ用パッ
ケージ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8041194A JPH09232904A (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Sawフィルタ用セラミックパッケージ |
| DE69738146T DE69738146T2 (de) | 1996-02-28 | 1997-02-07 | In Keramikpackung eingekapseltes akustisches Oberflächenwellenfilter mit darin eingebauter Kapazität |
| EP97300812A EP0793340A3 (en) | 1996-02-28 | 1997-02-07 | Saw filter encapsulated in a ceramic package with capacitance incorporated therein |
| EP05110513A EP1653613B1 (en) | 1996-02-28 | 1997-02-07 | Saw filter encapsulated in a ceramic package with capacitance incorporated therein |
| US08/798,165 US5949305A (en) | 1996-02-28 | 1997-02-10 | Saw filter encapsulated in a ceramic package with capacitance incorporated therein |
| KR1019970004103A KR100326904B1 (ko) | 1996-02-28 | 1997-02-12 | 세라믹패키지내부에밀봉된saw필터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8041194A JPH09232904A (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Sawフィルタ用セラミックパッケージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09232904A true JPH09232904A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=12601622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8041194A Withdrawn JPH09232904A (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Sawフィルタ用セラミックパッケージ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5949305A (ja) |
| EP (2) | EP1653613B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09232904A (ja) |
| KR (1) | KR100326904B1 (ja) |
| DE (1) | DE69738146T2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6388545B1 (en) | 1998-05-29 | 2002-05-14 | Fujitsu Limited | Surface-acoustic-wave filter having an improved suppression outside a pass-band |
| KR20030065950A (ko) * | 2002-02-02 | 2003-08-09 | 보성반도체 주식회사 | 메탈 범프를 이용한 초박형 세라믹 패키지의 제조방법 |
| KR100435042B1 (ko) * | 2002-04-27 | 2004-06-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 듀플렉스 패키지 제조방법 |
| KR100483042B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2005-04-15 | 삼성전기주식회사 | 표면 탄성파 필터의 세라믹 패키지 시일링방법 및 장치 |
| KR100519750B1 (ko) * | 2001-05-10 | 2005-10-07 | 삼성전자주식회사 | 저온소결 세라믹으로 실링된 칩 스케일 패키지 구조체 및그 제조방법 |
| KR100716155B1 (ko) * | 2001-03-08 | 2007-05-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 매칭회로가 내장된 표면탄성파 필터 패키지 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11127055A (ja) * | 1997-10-23 | 1999-05-11 | Murata Mfg Co Ltd | 複合電子部品 |
| DE69924225T2 (de) * | 1998-12-29 | 2006-03-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Akustische Oberflächenwellenanordnung |
| JP3726998B2 (ja) | 1999-04-01 | 2005-12-14 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| JP3860364B2 (ja) * | 1999-08-11 | 2006-12-20 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波装置 |
| US7434305B2 (en) | 2000-11-28 | 2008-10-14 | Knowles Electronics, Llc. | Method of manufacturing a microphone |
| US8623709B1 (en) | 2000-11-28 | 2014-01-07 | Knowles Electronics, Llc | Methods of manufacture of top port surface mount silicon condenser microphone packages |
| KR100455699B1 (ko) * | 2002-10-09 | 2004-11-06 | 주식회사 케이이씨 | 표면 탄성파 필터 장치 |
| US9374643B2 (en) | 2011-11-04 | 2016-06-21 | Knowles Electronics, Llc | Embedded dielectric as a barrier in an acoustic device and method of manufacture |
| US9078063B2 (en) | 2012-08-10 | 2015-07-07 | Knowles Electronics, Llc | Microphone assembly with barrier to prevent contaminant infiltration |
| US9794661B2 (en) | 2015-08-07 | 2017-10-17 | Knowles Electronics, Llc | Ingress protection for reducing particle infiltration into acoustic chamber of a MEMS microphone package |
| US10483248B2 (en) * | 2017-03-23 | 2019-11-19 | Skyworks Solutions, Inc. | Wafer level chip scale filter packaging using semiconductor wafers with through wafer vias |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2673993B2 (ja) * | 1990-07-02 | 1997-11-05 | 日本無線株式会社 | 表面弾性波装置 |
| JPH04170811A (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-18 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波デバイス |
| JPH04360407A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面波デバイス用セラミックパッケージ |
| US5438305A (en) * | 1991-08-12 | 1995-08-01 | Hitachi, Ltd. | High frequency module including a flexible substrate |
| JPH0590873A (ja) * | 1991-09-28 | 1993-04-09 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPH05335878A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Meidensha Corp | 表面実装型弾性表面波素子 |
| JPH0697759A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-08 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波装置とその製造方法 |
| US5459368A (en) * | 1993-08-06 | 1995-10-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device mounted module |
| JPH07212180A (ja) * | 1994-01-10 | 1995-08-11 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 表面実装型圧電部品 |
| JPH07336183A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Japan Energy Corp | 弾性表面波装置 |
| JP3301262B2 (ja) * | 1995-03-28 | 2002-07-15 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波装置 |
-
1996
- 1996-02-28 JP JP8041194A patent/JPH09232904A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-02-07 DE DE69738146T patent/DE69738146T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-07 EP EP05110513A patent/EP1653613B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-07 EP EP97300812A patent/EP0793340A3/en not_active Ceased
- 1997-02-10 US US08/798,165 patent/US5949305A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-12 KR KR1019970004103A patent/KR100326904B1/ko not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6388545B1 (en) | 1998-05-29 | 2002-05-14 | Fujitsu Limited | Surface-acoustic-wave filter having an improved suppression outside a pass-band |
| KR100483042B1 (ko) * | 2000-11-29 | 2005-04-15 | 삼성전기주식회사 | 표면 탄성파 필터의 세라믹 패키지 시일링방법 및 장치 |
| KR100716155B1 (ko) * | 2001-03-08 | 2007-05-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 매칭회로가 내장된 표면탄성파 필터 패키지 |
| KR100519750B1 (ko) * | 2001-05-10 | 2005-10-07 | 삼성전자주식회사 | 저온소결 세라믹으로 실링된 칩 스케일 패키지 구조체 및그 제조방법 |
| KR20030065950A (ko) * | 2002-02-02 | 2003-08-09 | 보성반도체 주식회사 | 메탈 범프를 이용한 초박형 세라믹 패키지의 제조방법 |
| KR100435042B1 (ko) * | 2002-04-27 | 2004-06-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 듀플렉스 패키지 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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