JPH09236153A - 空圧アクティブマウント装置 - Google Patents
空圧アクティブマウント装置Info
- Publication number
- JPH09236153A JPH09236153A JP8067466A JP6746696A JPH09236153A JP H09236153 A JPH09236153 A JP H09236153A JP 8067466 A JP8067466 A JP 8067466A JP 6746696 A JP6746696 A JP 6746696A JP H09236153 A JPH09236153 A JP H09236153A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pneumatic
- active mount
- inspection
- pneumatic active
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 緊急時に備え、遮断バルブが常に作動し得る
ようにする。 【解決手段】 空圧により除振または制振動作を行なう
空圧アクティブマウント１と、この空圧アクティブマウ
ントへ空圧を供給するための管路４〜７と、この管路に
設けた遮断バルブ９により前記空圧の供給を遮断して前
記空圧アクティブマウントの動作を停止させる停止手段
１２、１３、９とを有する空圧アクティブマウント装置
において、前記遮断バルブの動作を所定のタイミングで
点検する点検手段１１、１２、１５、１６、２０を具備
する。
ようにする。 【解決手段】 空圧により除振または制振動作を行なう
空圧アクティブマウント１と、この空圧アクティブマウ
ントへ空圧を供給するための管路４〜７と、この管路に
設けた遮断バルブ９により前記空圧の供給を遮断して前
記空圧アクティブマウントの動作を停止させる停止手段
１２、１３、９とを有する空圧アクティブマウント装置
において、前記遮断バルブの動作を所定のタイミングで
点検する点検手段１１、１２、１５、１６、２０を具備
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、露光装置等のマウ
ントに使用される空圧アクティブマウント装置に関す
る。
ントに使用される空圧アクティブマウント装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、空圧により除振または制振動作を
行なう空圧アクティブマウントを備えた空圧アクティブ
マウント装置として、空圧アクティブマウントへ空圧を
供給するための管路に遮断バルブを有し、異常発生時に
このバルブを閉じて、マウント装置の動作を緊急停止さ
せるようにしたものが知られている。
行なう空圧アクティブマウントを備えた空圧アクティブ
マウント装置として、空圧アクティブマウントへ空圧を
供給するための管路に遮断バルブを有し、異常発生時に
このバルブを閉じて、マウント装置の動作を緊急停止さ
せるようにしたものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この緊急停止機能は異
常が発生したときにのみ作動するものであり、通常の稼
働状態において遮断バルブを作動させることはない。し
たがって、この遮断バルブが故障していたり、バルブを
駆動する機能に障害があれば、緊急停止機能を保証する
ことはできない。
常が発生したときにのみ作動するものであり、通常の稼
働状態において遮断バルブを作動させることはない。し
たがって、この遮断バルブが故障していたり、バルブを
駆動する機能に障害があれば、緊急停止機能を保証する
ことはできない。
【０００４】そこで本発明の目的は、空圧アクティブマ
ウント装置において、緊急時に備え、遮断バルブが常に
作動し得るようにすることにある。
ウント装置において、緊急時に備え、遮断バルブが常に
作動し得るようにすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、空圧により除振または制振動作を行なう空
圧アクティブマウントと、この空圧アクティブマウント
へ空圧を供給するための管路と、この管路に設けた遮断
バルブにより前記空圧の供給を遮断して前記空圧アクテ
ィブマウントの動作を停止させる停止手段とを有する空
圧アクティブマウント装置において、前記遮断バルブの
動作を所定のタイミングで点検する点検手段を具備する
ことを特徴とする。前記点検手段は例えば、前記遮断バ
ルブを駆動させる手段と、前記遮断バルブの開閉状態を
検出する手段とで構成することができる。また、前記点
検手段による点検タイミングを決定する方法を選択する
ための選択手段を有するようにしてもよい。
本発明では、空圧により除振または制振動作を行なう空
圧アクティブマウントと、この空圧アクティブマウント
へ空圧を供給するための管路と、この管路に設けた遮断
バルブにより前記空圧の供給を遮断して前記空圧アクテ
ィブマウントの動作を停止させる停止手段とを有する空
圧アクティブマウント装置において、前記遮断バルブの
動作を所定のタイミングで点検する点検手段を具備する
ことを特徴とする。前記点検手段は例えば、前記遮断バ
ルブを駆動させる手段と、前記遮断バルブの開閉状態を
検出する手段とで構成することができる。また、前記点
検手段による点検タイミングを決定する方法を選択する
ための選択手段を有するようにしてもよい。
【０００６】これによれば、平常時に点検手段による点
検を行なうことにより、緊急時における遮断バルブの動
作が保証される。
検を行なうことにより、緊急時における遮断バルブの動
作が保証される。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態に係る
空圧アクティブマウント装置の構成を示すブロック図で
ある。同図において、１は空圧によって除振および制振
機能を提供する空圧アクティブマウントの空圧回路、２
は空圧回路１を制御するマウント制御部、３は空圧回路
１に空圧を提供するための吸排気ポート、４は空圧回路
１に高圧の空気を供給するための一次吸気路、５は空圧
回路１からの排気を吸排気ポート３へ排気するための一
次排気路、８はマニホールド、９は空圧回路１に対する
吸排気を遮断するためのソレノイドバルブ、１０はソレ
ノイドバルブ９を駆動するソレノイド、１１はソレノイ
ドバルブ９がオープン状態かクローズ状態かを検知する
バルブ状態センサ、１９はバルブ状態センサ１１の状態
出力、７は空圧回路１へ接続される二次吸気路、６は空
圧回路１からの排気が接続される二次排気路、１２は空
圧アクティブマウントを緊急停止させるための停止制御
部１３が出力する停止出力１４および点検のための制御
を行う点検制御部１５の点検出力１７を受けてソレノイ
ド１０を駆動するソレノイドバルブドライバ、１６は点
検制御部１５による点検出力１７の出力タイミングの決
定方法を選択するための点検選択手段、１８は点検選択
手段１６によって選択された出力タイミングの決定方法
に従って点検制御部１５へ出力されるタイミング指令、
２０はソレノイドバルブ９の状態を表示する表示器であ
る。
空圧アクティブマウント装置の構成を示すブロック図で
ある。同図において、１は空圧によって除振および制振
機能を提供する空圧アクティブマウントの空圧回路、２
は空圧回路１を制御するマウント制御部、３は空圧回路
１に空圧を提供するための吸排気ポート、４は空圧回路
１に高圧の空気を供給するための一次吸気路、５は空圧
回路１からの排気を吸排気ポート３へ排気するための一
次排気路、８はマニホールド、９は空圧回路１に対する
吸排気を遮断するためのソレノイドバルブ、１０はソレ
ノイドバルブ９を駆動するソレノイド、１１はソレノイ
ドバルブ９がオープン状態かクローズ状態かを検知する
バルブ状態センサ、１９はバルブ状態センサ１１の状態
出力、７は空圧回路１へ接続される二次吸気路、６は空
圧回路１からの排気が接続される二次排気路、１２は空
圧アクティブマウントを緊急停止させるための停止制御
部１３が出力する停止出力１４および点検のための制御
を行う点検制御部１５の点検出力１７を受けてソレノイ
ド１０を駆動するソレノイドバルブドライバ、１６は点
検制御部１５による点検出力１７の出力タイミングの決
定方法を選択するための点検選択手段、１８は点検選択
手段１６によって選択された出力タイミングの決定方法
に従って点検制御部１５へ出力されるタイミング指令、
２０はソレノイドバルブ９の状態を表示する表示器であ
る。
【０００８】まず、上記構成における緊急停止時の動作
を説明する。通常動作においてはソレノイドバルブ９の
ソレノイド１０はアクティブであって管路はオープンで
あり、一次吸気路４は二次吸気路７と、一次排気路５は
二次排気路６と、それぞれ管路を形成しており、空圧回
路１に空圧が提供され、マウント制御部２によって空圧
アクティブマウントは稼働状態にある。ここで、緊急停
止のために、停止制御部１３が停止出力１４を出力する
と、ソレノイドドライバ１２はソレノイド１０をインア
クティブにして管路をクローズする。この時点で空圧回
路１に対する空気の流入および流出が途絶えて、空圧ア
クティブマウントの動作は停止する。このようにソレノ
イドバルブ９は緊急停止用の遮断バルブとして機能して
いる。
を説明する。通常動作においてはソレノイドバルブ９の
ソレノイド１０はアクティブであって管路はオープンで
あり、一次吸気路４は二次吸気路７と、一次排気路５は
二次排気路６と、それぞれ管路を形成しており、空圧回
路１に空圧が提供され、マウント制御部２によって空圧
アクティブマウントは稼働状態にある。ここで、緊急停
止のために、停止制御部１３が停止出力１４を出力する
と、ソレノイドドライバ１２はソレノイド１０をインア
クティブにして管路をクローズする。この時点で空圧回
路１に対する空気の流入および流出が途絶えて、空圧ア
クティブマウントの動作は停止する。このようにソレノ
イドバルブ９は緊急停止用の遮断バルブとして機能して
いる。
【０００９】ここで、ソレノイドバルブ９の動作を点検
するのが本発明の特徴であり、その点検動作は以下のよ
うに行われる。まず点検選択手段１６によって点検タイ
ミングの決定方法を選択する。選択肢としては、時刻指
定、間隔指定、外部装置同期、マニュアル等がある。点
検タイミングの決定方法が選択されると、点検選択手段
１６はタイミング指令１８を点検制御部１５へ出力し、
この指令に基づいて点検制御部１５は点検出力１７をオ
ン状態とする。このオン出力を受け取ると、ソレノイド
ドライバ１２はソレノイド１０の駆動を停止してソレノ
イドバルブ９をクローズする。この間、バルブ状態セン
サ１１は状態出力１９を点検制御部１５に出力して、ソ
レノイドバルブ９の状態を告知している。このときソレ
ノイドバルブ９が正常ならば、バルブ状態センサ１１の
出力１９はクローズ状態を示している。このようにして
バルブ状態センサ１１の出力１９をチェックした後、点
検制御部１５は出力１９に基づいてソレノイドバルブ９
の状態を表示器２０に表示する。その後、点検制御部１
５は点検出力１７をオフする。すると、これに基づきソ
レノイドドライバ１２はソレノイドバルブ９のソレノイ
ド１０を駆動して各管路をオープンする。これにより通
常動作に復帰する。
するのが本発明の特徴であり、その点検動作は以下のよ
うに行われる。まず点検選択手段１６によって点検タイ
ミングの決定方法を選択する。選択肢としては、時刻指
定、間隔指定、外部装置同期、マニュアル等がある。点
検タイミングの決定方法が選択されると、点検選択手段
１６はタイミング指令１８を点検制御部１５へ出力し、
この指令に基づいて点検制御部１５は点検出力１７をオ
ン状態とする。このオン出力を受け取ると、ソレノイド
ドライバ１２はソレノイド１０の駆動を停止してソレノ
イドバルブ９をクローズする。この間、バルブ状態セン
サ１１は状態出力１９を点検制御部１５に出力して、ソ
レノイドバルブ９の状態を告知している。このときソレ
ノイドバルブ９が正常ならば、バルブ状態センサ１１の
出力１９はクローズ状態を示している。このようにして
バルブ状態センサ１１の出力１９をチェックした後、点
検制御部１５は出力１９に基づいてソレノイドバルブ９
の状態を表示器２０に表示する。その後、点検制御部１
５は点検出力１７をオフする。すると、これに基づきソ
レノイドドライバ１２はソレノイドバルブ９のソレノイ
ド１０を駆動して各管路をオープンする。これにより通
常動作に復帰する。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
緊急停止のための遮断バルブに故障が発生した場合や、
バルブを駆動する機能に障害があった場合に、事前にこ
れを知ることができる。したがって、緊急時における緊
急停止動作を保証することができる。
緊急停止のための遮断バルブに故障が発生した場合や、
バルブを駆動する機能に障害があった場合に、事前にこ
れを知ることができる。したがって、緊急時における緊
急停止動作を保証することができる。
【図１】 本発明の一実施形態に係る空圧アクティブマ
ウント装置を示すブロック図である。
ウント装置を示すブロック図である。
１：空圧アクティブマウントの空圧回路、２：マウント
制御部、３：吸排気ポート、４：一次吸気路、５：一次
排気路、６：二次排気路、７：二次吸気路、８：マニホ
ールド、９：ソレノイドバルブ、１０：ソレノイド、１
１：バルブ状態センサ、１２：ソレノイドバルブドライ
バ、１３：停止制御部、１５：点検制御部、１６：点検
選択手段、２０：表示器。
制御部、３：吸排気ポート、４：一次吸気路、５：一次
排気路、６：二次排気路、７：二次吸気路、８：マニホ
ールド、９：ソレノイドバルブ、１０：ソレノイド、１
１：バルブ状態センサ、１２：ソレノイドバルブドライ
バ、１３：停止制御部、１５：点検制御部、１６：点検
選択手段、２０：表示器。
Claims (3)
- 【請求項１】 空圧により除振または制振動作を行なう
空圧アクティブマウントと、この空圧アクティブマウン
トへ空圧を供給するための管路と、この管路に設けた遮
断バルブにより前記空圧の供給を遮断して前記空圧アク
ティブマウントの動作を停止させる停止手段とを有する
空圧アクティブマウント装置において、前記遮断バルブ
の動作を所定のタイミングで点検する点検手段を具備す
ることを特徴とする空圧アクティブマウント装置。 - 【請求項２】 前記点検手段による点検タイミングの決
定方法を選択するための選択手段を有することを特徴と
する請求項１記載の空圧アクティブマウント装置。 - 【請求項３】 前記点検手段は、前記遮断バルブを駆動
させる手段と、前記遮断バルブの開閉状態を検出する手
段とを備えることを特徴とする請求項１または２記載の
空圧アクティブマウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067466A JPH09236153A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 空圧アクティブマウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067466A JPH09236153A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 空圧アクティブマウント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236153A true JPH09236153A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=13345768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8067466A Pending JPH09236153A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 空圧アクティブマウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236153A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114690577A (zh) * | 2020-12-31 | 2022-07-01 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机 |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP8067466A patent/JPH09236153A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114690577A (zh) * | 2020-12-31 | 2022-07-01 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机 |
| CN114690577B (zh) * | 2020-12-31 | 2024-10-25 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机 |
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