JPH09236452A - リニアスケール - Google Patents
リニアスケールInfo
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- JPH09236452A JPH09236452A JP4497096A JP4497096A JPH09236452A JP H09236452 A JPH09236452 A JP H09236452A JP 4497096 A JP4497096 A JP 4497096A JP 4497096 A JP4497096 A JP 4497096A JP H09236452 A JPH09236452 A JP H09236452A
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Abstract
できるリニアスケールを提供する。 【解決手段】 原点の存在する領域を示すマーク5の画
像があるかどうかチェックし、斜線の画像に対して所定
の領域を設定して重心を計算し、その値があらかじめ設
定されている重心Aを越えるのを検出し、その重心Aを
越える前後の重心の値をレジスタ(メモリ)に保持す
る。Aを越える直前の重心の値をgn-1 、そのときのク
ロックをn−1、Aを越えた直後の重心の値をgn 、そ
のときのクロックをnとし、重心Aとともに横軸にクロ
ック、縦軸に重心をとると選択図のようになる。この図
から分かるように、重心Aの値の前後の重心の位置から
直線近似でAに対応するクロックの位置aを求める。こ
のaをクロック上の原点とし、Aを位置の原点とする。
それゆえ、このときの走査速度はn−aの時間でgn −
Aの距離移動したことから決定することができる。
Description
ル、特に、光学的リニアスケールに関する。
ーム社から出版された「サーボセンサの基礎と応用」
(大島康次郎、秋山勇治共著)〔昭和63年2月20日
発行〕が知られている。この刊行物に記載された技術を
図12ないし図14を参照して説明する。
てポジションスケールを例に挙げている。例に挙げられ
たリニアスケール100は、図12に示すように全く等
しいピッチの明暗の格子をもった2枚1組のメインスケ
ール101とインデックススケール102とからなるガ
ラススケール103と、そのスケール103を照明する
LEDからなる光源104と、光源104から出射され
た光をスケール102側に導くミラー106及びコリメ
ータレンズ107と、スケール103を透過した光を検
知するフォトダイオード105から構成される、通常は
インデックスケール102が固定され、メインスケール
101が移動するが、その移動につれてフォトダイオー
ド105の出力が変化する。
透過部が一致したとき、出力は最大となり、透過部とク
ロム烝着された不透明部が重なったときには、出力は理
想状態では0となる。したがって、その出力波形は理想
的には図13(b)に示したような光量変化となるが、
実際には明暗の格子ピッチが8μmと小さいため、光の
回折の影響やクロム烝着面での反射の影響がり、図13
(c)に示すような出力波形のように近似正弦波の形で
出力される。この出力波形の山の間隔がスケールのピッ
チに相当するので、山の数を数えることにより移動量を
知ることができる。これがポジションスケールの基本原
理であるが、実際には図12のフォトダイオードA,
B,/A,/B105(なお、「/」は反転を示す。)
の4個を用いて各種の処理が行われている。
インデックススケール102の格子は、0°、90°、
180°、270°の位相関係になっている。これをA
と/A、Bと/Bを組み合わせて差動方式で検出し、ス
ケール102の汚れや光量変化に対して強くなるように
設定し、信頼性を高めている。このようにして得られた
信号をおのおの改めてA、Bとし、さらに電気的に反転
された信号をそれぞれ/A、/Bとする。そして、これ
らの信号を用いてさらに細かい寸法まで読み取るための
処理が実行されている。
ようにA信号とB信号のどちらの信号の位相が進んでい
るかを知ることで判定できる。スケール102のピッチ
よりも細かく読む手法としてはA信号だけ用いると基準
レベルを下からよぎるときと上からよぎるときの両方を
とらえて4μm単位で読める。さらにB信号を用いると
2μmまで読める。これ以上細かく読むためにはA、B
の信号を用いて45°位相差の信号、Bと/Aの信号か
ら135°位相差の信号を作る必要がある。
なリニアスケールでは、光源(LED)の発する光をコ
リメートレンズで平行光線にしてメインスケールとイン
デックススケールの重なりを通過してくる光を受光素子
で検出するようにしているので、微細かつ高精度のメイ
ンスケール、インデックススケール、および精密なコリ
メータレンズが必要となり、その結果、コストも高くな
る。また、この種のリニアスケールでは、原点マークを
設け、その原点を基準に位置信号を出力するような機能
を設定したものがあり、このような機能を備えたもので
は、安価で高分解能のリニアスケールが望まれていた。
れたもので、その第1の目的は、簡単な構成で高精度に
原点位置を得ることができるリニアスケールを提供する
ことにある。
え、しかも、原点位置の精度が高いリニアスケールを提
供することにある。
め、第1の手段は、複数の直線をスケールの長手方向に
対して傾けて平行に形成した線のパターンをあらかじめ
設定された一定の間隔で領域を移動させながら読み取
り、領域が設定されるたびにその領域における前記直線
の位置を演算して読み取り誤差、読み取り速度および読
み取り位置の少なくとも1つを検出するためのリニアス
ケールにおいて、前記線のパターンの形成領域外に特定
の直線の存在する位置を示すマークと、このマークを読
み取って得られた画像データと、前記特定の直線の重心
の位置のデータとから原点位置を決定する手段とを備え
ていることを特徴とする。
ルにおいて、前記パターンを構成する直線の1つを指定
するアドレスを保持する手段と、前記アドレスによって
指定された直線の重心の位置のデータから原点位置を決
定する手段とを備えていること特徴とする。
いて、前記原点位置を決定する手段は、前記マークが存
在する条件下、または前記アドレスにより指定された直
線の重心を計算しているときに、前記ラインセンサの移
動方向と直交する方向の重心の値と、前記設定された領
域の重心が、当該重心の値を越える前後の重心の値を補
間して前記設定された領域の重心の位置を決定すること
を特徴とする。
いて、前記直線のアドレスの指定を受け取る手段と、受
け取ったアドレスを不揮発性メモリに保持する手段とを
備えていることを特徴とする。
直線のアドレスのデフォルトは、直線の繰り返しで構成
されたパターンの両端部にある直線のいずれか一方であ
ることを特徴とする。
いて、原点の位置を示す直線の重心の位置の指定を受け
取る手段と、受け取った重心の位置を不揮発性メモリに
保持する手段とをさらに備えてることを特徴とする。
の直線をスケールの長手方向に対して傾けて平行に形成
した線とこの線の形成領域外に設けられ、特定の直線の
存在する位置を示すマークを含むパターンと、このパタ
ーンと対向し、前記スケールの長手方向に直交する方向
に伸びたラインセンサと、前記パターンの画像をあらか
じめ設定された一定の間隔で読み取る手段と、前記読み
取った画像データの前記直線とその周辺の地肌部に対応
する連続した領域を設定する手段と、前記領域を画素の
整数個分ずつ順次移動させて設定し直す手段と、前記直
線の位置があらかじめ設定した位置にきたとき、前記連
続した領域を所定画素分ラインセンサの長さ方向に移動
させて隣接して配置されている前記直線の画像を含む領
域に再設定する手段と、領域が設定されるごとにその領
域における前記直線の位置を演算する手段と、領域の移
動前後における前記直線の移動量を演算する手段と、前
記直線の位置の移動方向から前記ラインセンサの前記パ
ターンに対する移動方向を決定する手段と、前記マーク
の画像データと直線の位置のデータとから原点位置を決
定する手段と、前記移動量と移動方向から前記ラインセ
ンサの前記原点位置に対する相対的な位置または速度に
変換する手段とを備えていることを特徴とする。
ルの長手方向に対して傾けて平行に形成したパターン
と、このパターンと対向し、前記スケールの長手方向に
直交する方向に伸びたラインセンサと、前記パターンの
画像をあらかじめ設定された一定の間隔で読み取る手段
と、前記読み取った画像データの前記直線とその周辺の
地肌部に対応する連続した領域を設定する手段と、前記
領域を画素の整数個分ずつ順次移動させて設定し直す手
段と、前記直線の位置があらかじめ設定した位置にきた
とき、前記連続した領域を所定画素分ラインセンサの長
さ方向に移動させて隣接して配置されている前記直線の
画像を含む領域に再設定する手段と、領域が設定される
ごとにその領域における前記直線の位置を演算する手段
と、領域の移動前後における前記直線の位置の移動量を
演算する手段と、前記直線の位置の移動方向から前記ラ
インセンサの前記パターンに対する移動方向を決定する
手段と、前記パターンを構成する直線の1つを指定する
アドレスを保持する手段と、前記アドレスにより指定さ
れた直線の重心の位置のデータから原点位置を決定する
手段と、前記移動量と移動方向から前記ラインセンサの
前記原点位置に対する相対的な位置または速度に変換す
る手段とを備えていることを特徴とする。
実施の形態について説明する。
斜線パターン4が形成された本発明の前提となるスケー
ル1を示す。斜線3の繰り返しは、後述の『3.測定原
理』で説明するように、後述のラインセンサの長さ方向
で見たときに重なりを持つようにして所定のサイズのウ
インドウが斜線3間をジャンプしても連続した位置また
は速度を測定できるようにしている。斜線3の傾きは任
意のもので測定可能であるが、測定上の計算を簡略化す
るためには、45°または135°が都合がよい。斜線
の幅はラインセンサの読み取ったビットマップデータに
所定の運動を設定して、ウインドウ内の斜線3の重心を
求めるので、ラインセンサの画素の一辺のサイズの数倍
から数十倍程度が望ましい。このように比較的大きなパ
ターンを読むことで微細な位置の変化を読み取るので、
装置を構成するレンズの分解能をあまり高くする必要も
なく、パターンのエッジのスムーズさに対する要求も重
心を計算する過程で影響が小さくなるので高くない。
ために原点マーク5が併せて形成されている。原点マー
ク5も斜線3と同様に読み取ったデータの重心の位置を
原点とするので、原点の精度を上げるために微細なマー
クを設けて、その微細なマークを読み取るために高分解
能のレンズ、受光素子を設ける必要がない。原点マーク
5は図1に示すように、ラインセンサが斜線3を読み取
らない位置に設けてある。このため原点用の特別のセン
サを設ける必要がなく、斜線3を読み取るためのライン
センサをそのまま原点の位置を求めるためのセンサとし
ても使えるようにしている。
図である。図のスケール1は図1のスケール1の短辺を
手前にした断面に相当し、このスケール1を挟んで光源
6、レンズ7、ラインセンサと制御基板とが一体になっ
たユニット8がスケール1の長手方向に移動できるよう
にしてある。通常はスケール1を固定し、位置または速
度を得たい対象物をユニット8と結合して一体化し、測
定を行う。この例では、スケール1の画像をラインセン
サで読み取るのでスケール1と光源6との間に拡散板9
を設け、光量の均一化を図っている。なお、拡散板9を
設ける代わりに斜線3のパターンを拡散板9に形成する
こともできる。また、拡散板9を移動するユニット8側
に設けることもできる。ラインセンサは図2の上下方向
に延びており、レンズ7によってセンサに結像する斜線
3のパターンの画像を読み取る。ラインセンサおよびユ
ニット8では、レンズのコサイン4乗則によるレンズの
周辺光量の低下、センサの位置による照明光量のばらつ
き、ラインセンサの受光素子間の感度のばらつきなどを
補正するためシェーディング補正を行う。シェーディン
グ補正ではラインセンサがスケール1の斜線3のない部
分を読んでいるときのデータをメモリに保存し、そのと
きのデータが一様になるように各画素の感度を補正す
る。このデータは所定のモードで読み取って不揮発性の
メモリに保持し、補正を行う際に常に使用される。
る。光電変換装置は、ラインCCD20で、CCDの受
光部に結像された原稿の画像と、測定用パターン4の画
像が電気信号に変換される。電気信号に変換された画像
はA/D変換器21で、デジタルの多値の画像データに
変換される。変換されたデータは照明の不均一さ、レン
ズ周辺光量の低下、光電変換装置の画素間の感度の違い
などを補正するシェーディング補正をシェーディング補
正部22で行う。シェーディング補正には、光電変換装
置が読み取った基準濃度板のデータが使用される。シェ
ーディング補正された画像データはメモリ23を介して
位置誤差演算回路24に入力され、後述の『4.位置誤
差測定処理』で説明するような処理により、副走査方向
の読み取りラインごとにライン間の位置誤差を測定し、
測定結果を位置誤差演算部に出力する。位置誤差演算部
24は画像データ(ビデオ信号)とともに位置誤差信号
を受け取り、補正に必要な所定ライン数の画像データ
と、それらの隣接するライン間の誤差信号を順次メモリ
23に保持させ、当該メモリ23のデータを使用し、補
正を行う対象のラインの前後の画像データと誤差データ
により、本来あるべき位置の画像データを読み取った画
像の値を基にした補間法によってライン上の画素ごとの
値を計算し、補正したラインの画像データをライン毎に
ビデオ信号として出力する。処理が済んでデータが不要
になったメモリ23は次のデータを保持し、順次処理を
繰り返すことによって原稿の全面の画像を処理して出力
する。それぞれの機能ブロックは制御部25によってタ
イミングの制御、動作条件の設定などがなされ、相互に
関連して動作する。なお、図中、26は後述の外部イン
タフェースである。
用しているが、この他にフォトダイオードアレイなどを
使用することができる。CCD20を使用することのメ
リットは価格が安いことである。高速性やS/Nの点で
はフォトダイオードアレイの方が好ましい。
ための図である。図の主走査と書いた矢印31は線順次
で画像を読み取る装置が同時に読み取る1ラインの画像
の画素の並びと、この並列のデータを直線のデータに変
換したときの時間軸上の順序を示す。図の副走査と書い
た矢印32は主走査の1列が読み取る範囲を順次移動さ
せながら読み取って行く方向を示している。移動する手
段としては、原稿の画像を光電変換素子に投影するミラ
ー、照明ランプなどを機械的に移動させるもの、原稿を
移動させるもの、光電変換素子とその結像光学系を一体
にして移動させるものなどがある。ここではこの主走査
方向と副走査方向に平行な線で囲まれたそれぞれの4角
形を画素ということにする。画素によって構成される平
面は、原稿の画像を電気信号に変換されたデータが原稿
の画像の写像がそのまま並んでいるというイメージでと
らえることができ、ビットマップということもある。読
み取り装置からリアルタイムで出力されるときには、主
走査、副走査の方向が時間的な順序を示すが、出力され
たデータをメモリに取り込んだ状態では、それぞれの画
素を任意にアクセスすることも可能であり、主走査、副
走査、時間の順序にとらわれない扱いも可能になる。
い場合で、副走査方向の走査速度が変動するときと、一
定速度で45°の斜線を読み取るときに光電変換装置に
投影されるが、像を全く劣化のないかたちでビットマッ
プに対応させて示したものである。すなわち、aは副走
査方向の読み取りのタイミングを制御するクロックに対
応する所定の一定速度で走査したときで、ビットマップ
にも45°の像ができる。bは速度が変動するときの像
で、速度に応じて傾きが異なってくる。つまり、A−B
は副走査方向の走査速度が0のときで、副走査方向の読
み取りのタイミングを制御するクロックにより副走査方
向のビットマップのアドレスが進んでも原稿を読み取っ
ている位置が変わらないため、副走査方向に平行な線に
なってしまう。B−Cは副走査方向の走査速度が所定の
速度の1/2のときで、ビットマップのアドレスが進ん
でも、その半分しか進まない位置の画像を読んでいるこ
とになり、画像の副走査方向の線との角度はtanθ=
0.5から、約26.57°である。C−Dは所定の速
度で走査しているときで、傾きは45°である。同様に
D−以降は走査速度が1.5倍の場合で、その角度は約
56.31°である。つまり、走査速度によって像の傾
きが異なること、言い換えれば斜線3の主走査方向への
移動量が、副走査方向の移動速度に対応することを測定
原理として副走査方向の移動速度のムラ、ミラー、レン
ズ、光電変換装置の振動などに起因するビットマップ画
像の画素の位置誤差を計測するものである。
使用した場合で説明したが、画素が正方形でなく、例え
ば、主走査の分解能400dpi、副走査の分解能60
0dpiといった読み取り装置の画像データに適用する
こともでき、45°以外の斜線3を用いても同様に、斜
線3の画像の主走査方向への移動量が副走査方向の読み
取り方向の速度に依存するという関係は成立するので、
画素の位置誤差を計測することができる。
があるときの位置誤差の測定を行うときの処理を説明す
るためのものである。W1 は画像データの位置を求める
ための演算を行う11×3のウインドウである。ウイン
ドウ内のデータの位置を求めるため、主走査方向におけ
る重心を演算する。この演算では、順次ウインドウの位
置をW2,W3 ・・・と移動させながら重心を求める。重
心の主走査方向の位置は45°の線の場合、画素の位置
がなんらかの誤差要因で移動することがなければ、ウイ
ンドウを図のように移動させた場合、主走査方向に1画
素分ずつ移動するはずである。画素の移動量が1画素分
と異なる場合は、何らかの原因で画素の位置が変動した
ことになり、位置誤差を求められる。位置誤差の主要な
要因が副走査方向の走査速度のムラによることが分かっ
ている場合には、位置誤差のデータか速度ムラにデータ
を変換することは容易である。
む多数の画素データを使っているので、CCD固有のノ
イズを始めとしてさまざまなノイズが画像データに含ま
れるが、重心を求める過程でノイズの影響が軽減され、
S/Nの高い測定が可能になっている。通常、ウインド
ウの画素の数が多いほどS/Nは高くなる。
めることから、主走査側に大きいことが望ましい。副走
査方向は1としても測定可能である。
使用して位置誤差を測定する場合のウインドウの移動と
それに伴う処理を説明するものである。図5の例と同様
にウインドウを順次移動させ、あらかじめ設定したおい
たWn に達したとき、その次のウインドウとしてWn+1
に移動させる。移動する前後の斜線のパターンa1 とa
2 の間隔は測定用チャートを作成する段階で決めてお
き、その間隔の値を主走査方向の重心の移動を計算する
ときに補正する。Wn+1 、Wn+2 、Wn+3 ・・・と移動
させる。パターン間の間隔を画素サイズの整数倍に設定
しておくと、ウインドウをジャンプさせたときの補正が
簡単であり、測定に先立って測定装置にこの補正量を入
力するときにも便利である。
せているが、画素の位置誤差を起こす原因となる振動な
どの周波数帯域が低い場合は、ウインドウを2画素以上
ずつ移動させても良い。このようにすることによって測
定に要する時間短くすることができる。
するようにすれば、読み取り装置の読み取り範囲が縦長
であっても副走査方向の全域にわたっての測定が可能に
なる。さらに、主走査方向の狭い幅のなかだけで測定す
るようにすれば、主走査方向における中央部とか、手前
とか、奥側とかに分けて位置誤差を測定することも可能
になる。
は高い分解能で位置誤差を測定する場合でも、それに応
じて斜線のパターンを細くする必要は全くなく、システ
ムのMTFの制約の影響を受けない幅の広いパターンを
使うことができるという特徴がある。幅の広いパターン
を使えば、それに応じてウインドウも大きくなり、結果
として測定の精度を上げることができる。なお、処理速
度、リアルタイム処理を行う場合は、バッファのサイ
ズ、回路規模の経済性などとのバランスでパターンの幅
を設定すればよい。
示すものである。ウインドウの各画素には斜線のパター
ンを読み取って得られる画像データの値が記入されてい
る。画像データの値は8ビットのデジタルデータで、1
0進法で表すと0〜255の値を取ることができる。図
の値は画像のデータを10進法で表記した値である。
とにデータの和を求める。これを右側からh0,h1,・・
・h10とすると、それぞれ14、37、150、34
5、562、590、427、202、50、18、1
3である。各画素の主走査方向の中心の座標を右から順
に0〜10とし、重心の主走査方向の位置をmとスル
ト、mの周りのモーメントは0となるので、 h0 (m−0)+h1 (m−1)+・・・h10(m−1
0)=0 が成り立ち、数値を入れて計算すると、 m=4.667 が得られる。
要とせず、演算の簡素化、高速化に有用である。画像の
位置を求めるのは、各列ごとのデータの和の並びから、
補間により所定の分解能のデータ列を得て、そのデータ
からピーク値の存在する位置を求める方法を使うことも
できる。
読み取れるものであれば問題ないが、画素が正方形で、
斜線の角度が45°であり、画像の走査速度を所定の目
標速度からのわずかなズレをより高精度で測定する場
合、斜線の主走査方向の幅を画素の整数倍にしておく
と、ウインドウを斜め方向に移動しても、斜線と画素の
関係は斜線の両側で同じになり、画像データの誤差要因
もバランスし、画像の位置を計算する精度を高めること
ができる。
走査方向の画素の位置誤差の関係 この実施形態では、副走査方向の画素の位置誤差を測定
するために、斜線を読み取った画像の主走査方向へ画像
の位置の移動を見ている。正方形の画素で45°の斜線
を使って測定する場合には、これまでの説明で明らかな
ように、主走査方向の移動量のウインドウ間における偏
差がそのまま、副走査方向の位置誤差になる。画素が正
方形でない場合、斜線の角度が45°でない場合には、
換算をして副走査方向の位置誤差を得る必要がある。
対的な移動方向によって斜線パターンの画像の重心の位
置の移動方向が異なる。例えば図1に示したスケールに
対してラインセンサが右に移動すれば斜線重心は上方に
動く。左に移動すれば斜線重心は下に移動する。これは
前後のウインドウの重心を移動するときに符号をみれば
容易に判別することができる。この符号は斜線の傾きが
90°を越えるか否かで異なるが、設計上、いずれかに
決めれば、符号と移動方向の関係は一義的に決定され
る。したがって、前述の従来例のように方向を判別する
ための特別の受光素子などは不要である。
ターンを示す斜視図である。この実施形態では、原点の
ある領域を示すマーク5を斜線3の脇に設けている。原
点そのものは、斜線3を読み取ったデータに対して所定
の領域を設定して重心を求めたときの重心の値として図
に示すようにAを与える。Aは単なる値であり、位置を
示す実体ではない。重心の値がAである位置は、繰り返
される斜線3のそれぞれに存在するが、その中のどれを
原点位置とするかを指定するのが斜線3の形成領域外に
設けた原点のある位置を示すマーク5である。このマー
ク5は原点であることを示すための条件を与えるもので
あり、条件を検出することができればよいので、マーク
5の精度が悪くてもかまわない。また、読み取ったデー
タに対して重心を計算するなどの処理も不要である。マ
ーク5の位置を変更することにより原点の位置も容易に
変更できる。例えば、まず斜線3の繰り返しだけのパタ
ーンを作り、所望の原点位置に応じてマーク5を後から
書き込んだり、張り付けたりすることもマーク5には位
置の精度を要求されないので可能である。
処理手順を示すフローチャートである。この処理では、
まず、原点の存在する領域を示すマーク5の画像がある
かどうかチェックし(ステップ901)、存在すれば原
点の位置を決定する処理を行う。リニアスケールの速度
あるいは位置を得るために斜線の画像に対して所定の領
域を設定して重心を計算する前述の処理で得られた重心
の値を調べ、その値があらかじめ設定されている重心A
を越えるのを検出し(ステップ902)、その重心Aを
越える前後の重心の値をレジスタ(メモリ)に保持す
る。Aを越える直前の重心の値をgn-1 、そのときのク
ロックをn−1、Aを越えた直後の重心の値をgn 、そ
のときのクロックをnとし、重心Aとともに横軸にクロ
ック、縦軸に重心をとったのが図10である。
の前後の重心の位置から直線近似でAに対応するクロッ
クの位置aを求める。このaをクロック上の原点とし、
Aを位置の原点とする。それゆえ、このときの走査速度
はn−aの時間でgn −Aの距離移動したことから決定
することができる。したがって、原点を求めるための専
用のセンサや処理系を設けることなく、高精度に原点の
位置を得ることができる。
のある位置もしくは範囲を示すマーク5を設け、そのマ
ーク5のあることを条件として原点の位置を決定した
が、この例では、マーク5の代わりにパターンを構成す
る斜線3のそれぞれにアドレスを設けたものである。
0からnの番号を設定し、その番号を指定することによ
って、その番号で指定された斜線3の重心を計算してい
るときの重心Aの前後の重心の値から、前項9と同様の
方法で重心の位置を決定する。領域を設定して重心を計
算するときに、次に斜線に移るために領域をジャンプさ
せるので、そのジャンプの回数をカウントすることによ
って番号で指定された斜線3を検出する。このようにす
ることによって前述のマーク5を設けることなく、論理
的な数値を設定することによって原点の位置を変更する
ことが可能となる。
26を設け(図3、2点鎖線)、そのインタフェース2
6を介して外部から斜線3の番号を設定することができ
るようにすれば、非常に容易に原点位置の変更が可能に
なる。また、その設定を不揮発性メモリに保持するよう
にすれば、電源を切っても指定された設定はそのまま維
持されるので、使用する上で非常に便利である。
指定することにより原点を設定できるようにしたとき
に、原点を設定しない場合には、通常のリニアセンサの
使用では端部を原点にすることが多いので、デフォルト
を一番端の斜線とする。この実施形態では、一番端に当
たる斜線に「0」というアドレスを割り当てているの
で、特定のデータを書き込まないときに0になるように
することによって「0」をデフォルトの斜線として原点
位置を決定することができる。
を示す番号の他に重心を与える値Aも前記インタフェー
ス26を介して設定できるようにすることも可能であ
る。このようにインタフェース26を介して設定された
重心の値は、斜線のアドレスと同様に不揮発性のメモリ
に保持するようにする。斜線のアドレスだけの設定で
は、斜線の繰り返し程度の精度でしか原点位置を変更す
ることができないが、このように斜線のアドレスと重心
の値Aの両方を設定できるようにすると、任意の位置に
原点を設定することが可能になる。なお、重心の値や斜
線のアドレスは、ここでは、不揮発性のメモリに保持す
るようにしているが、装置に設けたスイッチなどよって
上記値やアドレスを設定し、スイッチの状態としてデー
タを保持するようにすることもできる。
のように構成された本発明によれば、次のような効果を
奏する。
斜線の重心を順次計算して位置情報を得るリニアスケー
ルの機能をそのまま使用し、あらかじめ原点位置を与え
る重心の位置を設定しておいて、計算した重心との関係
から原点位置を求めるので、簡単な構成で高精度に原点
位置を得ることができる。
構成する直線のアドレスを指定することによって特定の
1つを選択できるようにして、選択した直線のあらかじ
め決められている重心の位置を使用するので、原点の位
置精度を劣化させることなく原点の位置を変更すること
が可能となる。
与えられた重心の位置と、その重心の前後の重心を持つ
パターンを読み取ったデータから補間して原点位置を決
定するので、高精度で原点位置を決定することができ
る。
返しのパターンのうちのどの斜線の重心の位置を原点と
するかを指定して、その指定した結果を不揮発性のメモ
リに保持するので、簡単に原点位置を変更することがで
きるとともに、その指定した原点位置が不用意に失われ
ることはない。
ールの通常の使用では、リニアスケールの端部を原点位
置に設定して使用することが多いので、デフォルトの原
点位置を端部にすることによって、原点位置の指定をし
なくともそのまま使用することができる。
表す重心の位置を指定可能とし、その指定した結果を不
揮発性メモリに保持するので、原点位置を簡単に高い分
解能で変更することができるとともに、指定した原点位
置が不用意に失われることはない。
構成図である。
理部のシステム構成を示すブロック図である。
理を示す説明図である。
定原理を示す説明図である。
置誤差を測定する場合のウインドウの移動とその移動に
伴う処理を示す説明図である。
するための説明図である。
マークと斜線パターンの状態を示す斜視図である。
処理手順を示すフローチャートである。
る。
リニアスケールのパターンを示す斜視図である。
略構成図である。
測定原理を示す説明図である。
別原理を示す図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 複数の直線をスケールの長手方向に対し
て傾けて平行に形成した線のパターンをあらかじめ設定
された一定の間隔で領域を移動させながら読み取り、領
域が設定されるたびにその領域における前記直線の位置
を演算して読み取り誤差、読み取り速度および読み取り
位置の少なくとも1つを検出するためのリニアスケール
において、 前記線のパターンの形成領域外に特定の直線の存在する
位置を示すマークと、 このマークを読み取って得られた画像データおよび前記
特定の直線の重心の位置のデータから原点位置を決定す
る手段と、を備えていることを特徴とするリニアスケー
ル。 - 【請求項2】 複数の直線をスケールの長手方向に対し
て傾けて平行に形成した線のパターンをあらかじめ設定
された一定の間隔で領域を移動させながら読み取り、領
域が設定されるたびにその領域における前記直線の位置
を演算して読み取り誤差、読み取り速度および読み取り
位置の少なくとも1つを検出するためのリニアスケール
において、 前記パターンを構成する直線の1つを指定するアドレス
を保持する手段と、 前記アドレスによって指定された直線の重心の位置のデ
ータから原点位置を決定する手段と、を備えていること
特徴とするリニアスケール。 - 【請求項3】 前記原点位置を決定する手段は、前記マ
ークが存在する条件下、または前記アドレスにより指定
された直線の重心を計算しているときに、前記ラインセ
ンサの移動方向と直交する方向の重心の値と、前記設定
された領域の重心が、当該重心の値を越える前後の重心
の値を補間して前記設定された領域の重心の位置を決定
することを特徴とする請求項1または2記載のニリアス
ケール。 - 【請求項4】 前記直線のアドレスの指定を受け取る手
段と、受け取ったアドレスを不揮発性メモリに保持する
手段とを備えていることを特徴とする請求項2または3
に記載のリニリアスケール。 - 【請求項5】 前記直線のアドレスのデフォルトは、直
線の繰り返しで構成されたパターンの両端部にある直線
のいずれか一方に設定されていることを特徴とする請求
項4記載のリニアスケール。 - 【請求項6】 原点の位置を示す直線の重心の位置の指
定を受け取る手段と、受け取った重心の位置を不揮発性
メモリに保持する手段とをさらに備えてることを特徴と
する請求項1ないし5のいずれか1項に記載のリニアス
ケール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04497096A JP3517764B2 (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | リニアスケール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04497096A JP3517764B2 (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | リニアスケール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236452A true JPH09236452A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3517764B2 JP3517764B2 (ja) | 2004-04-12 |
Family
ID=12706344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04497096A Expired - Fee Related JP3517764B2 (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | リニアスケール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3517764B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100326351B1 (ko) * | 1998-03-27 | 2002-02-28 | 니시무로 아츠시 | 광학식 리니어스케일 원점신호 발생장치 |
| JP2010122214A (ja) * | 2008-11-18 | 2010-06-03 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ、及び、そのスケール |
-
1996
- 1996-03-01 JP JP04497096A patent/JP3517764B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100326351B1 (ko) * | 1998-03-27 | 2002-02-28 | 니시무로 아츠시 | 광학식 리니어스케일 원점신호 발생장치 |
| JP2010122214A (ja) * | 2008-11-18 | 2010-06-03 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ、及び、そのスケール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3517764B2 (ja) | 2004-04-12 |
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