JPH09250906A - 磁気ディスクとその偏心測定方法及び装置 - Google Patents
磁気ディスクとその偏心測定方法及び装置Info
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- JPH09250906A JPH09250906A JP8722396A JP8722396A JPH09250906A JP H09250906 A JPH09250906 A JP H09250906A JP 8722396 A JP8722396 A JP 8722396A JP 8722396 A JP8722396 A JP 8722396A JP H09250906 A JPH09250906 A JP H09250906A
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- pattern
- measuring
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/596—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks
- G11B5/59627—Aligning for runout, eccentricity or offset compensation
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 容易にかつ短時間で偏心を測定することがで
きる磁気ディスクと、その偏心測定方法及び装置を提供
すること。 【解決手段】 情報記録領域が予め形成されており、磁
気ヘッドにより情報が記録再生される磁気ディスク３
に、偏心を測定するためのパターン３２、３３を形成す
る。
きる磁気ディスクと、その偏心測定方法及び装置を提供
すること。 【解決手段】 情報記録領域が予め形成されており、磁
気ヘッドにより情報が記録再生される磁気ディスク３
に、偏心を測定するためのパターン３２、３３を形成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、磁気ヘッドによ
りデータやプログラム等の情報が記録再生される磁気デ
ィスクと、その偏心を測定する方法及び装置に関するも
のである。
りデータやプログラム等の情報が記録再生される磁気デ
ィスクと、その偏心を測定する方法及び装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】例えばコンピュータシステムにおいて
は、磁気ディスク装置としてハードディスク装置が用い
られている。このハードディスク装置に内蔵されている
磁気ディスクの両表面には磁性膜が成膜されており、磁
気ディスクの表面上を浮上するヘッドスライダに搭載さ
れている磁気ヘッドにより、磁性膜にデータ等がトラッ
ク状に記録され、また磁性膜にトラック状に記録された
データ等が再生されるようになっている。
は、磁気ディスク装置としてハードディスク装置が用い
られている。このハードディスク装置に内蔵されている
磁気ディスクの両表面には磁性膜が成膜されており、磁
気ディスクの表面上を浮上するヘッドスライダに搭載さ
れている磁気ヘッドにより、磁性膜にデータ等がトラッ
ク状に記録され、また磁性膜にトラック状に記録された
データ等が再生されるようになっている。
【０００３】近年、ハードディスク装置の小型化及び大
記録容量化が望まれており、これを実現するために、磁
気ディスクの両表面に凹凸部で成るデータ記録領域（以
下、データゾーンという）と制御信号記録領域（以下、
サーボゾーンという）とをそれぞれ放射状に形成した、
いわゆるプリエンボス型の磁気ディスクが提案されてい
る。
記録容量化が望まれており、これを実現するために、磁
気ディスクの両表面に凹凸部で成るデータ記録領域（以
下、データゾーンという）と制御信号記録領域（以下、
サーボゾーンという）とをそれぞれ放射状に形成した、
いわゆるプリエンボス型の磁気ディスクが提案されてい
る。
【０００４】このデータゾーンとサーボゾーンは、リン
グ状の基板を射出成形する際に、成形用金型に取り付け
られているスタンパにより、基板の外周縁と内周縁との
間の表面に転写形成される。データゾーンには、同心円
状であって、データ等を記録するためのデータトラック
が凸部となるように形成され、隣接するデータトラック
を区分するためのガードバンドが凹部となるように形成
されている。
グ状の基板を射出成形する際に、成形用金型に取り付け
られているスタンパにより、基板の外周縁と内周縁との
間の表面に転写形成される。データゾーンには、同心円
状であって、データ等を記録するためのデータトラック
が凸部となるように形成され、隣接するデータトラック
を区分するためのガードバンドが凹部となるように形成
されている。
【０００５】また、サーボゾーンには、データトラック
を特定するためのグレイコード、サーボクロックを生成
する際の基準となるクロックマーク及び磁気ヘッドをト
ラッキング制御するためのウォブルドマーク等（以下、
サーボパターンという）が形成されている。
を特定するためのグレイコード、サーボクロックを生成
する際の基準となるクロックマーク及び磁気ヘッドをト
ラッキング制御するためのウォブルドマーク等（以下、
サーボパターンという）が形成されている。
【０００６】このような構成のプリエンボス型の磁気デ
ィスクにおいては、成形用のスタンパを作製する際、ス
タンパを成形用金型に取り付ける際、あるいは成形され
た磁気ディスクをスピンドルに取り付ける際等に、リン
グ状のデータゾーンとサーボゾーンの中心が、基板の中
心に相当する仮想回転中心からずれてしまう場合があ
る。
ィスクにおいては、成形用のスタンパを作製する際、ス
タンパを成形用金型に取り付ける際、あるいは成形され
た磁気ディスクをスピンドルに取り付ける際等に、リン
グ状のデータゾーンとサーボゾーンの中心が、基板の中
心に相当する仮想回転中心からずれてしまう場合があ
る。
【０００７】このずれによる偏心は、情報を記録再生す
るときに行うトラッキングサーボに悪影響を及ぼすこと
になるので、上述した各工程において偏心量をできるだ
け小さくし、最終的な偏心量が所定値以下になるように
管理する必要がある。従来のプリエンボス型の磁気ディ
スクの偏心の測定は、製造工程の最終段階において、磁
気ディスクをスピンドルに取り付けて情報を再生し、そ
の再生信号を検出して偏心量を導出する方法が採られて
いる。また、顕微鏡により１本のトラックのエッジを計
測してトラックの中心位置を求め、偏心量を導出する方
法も採られている。
るときに行うトラッキングサーボに悪影響を及ぼすこと
になるので、上述した各工程において偏心量をできるだ
け小さくし、最終的な偏心量が所定値以下になるように
管理する必要がある。従来のプリエンボス型の磁気ディ
スクの偏心の測定は、製造工程の最終段階において、磁
気ディスクをスピンドルに取り付けて情報を再生し、そ
の再生信号を検出して偏心量を導出する方法が採られて
いる。また、顕微鏡により１本のトラックのエッジを計
測してトラックの中心位置を求め、偏心量を導出する方
法も採られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の前者のプリエン
ボス型の磁気ディスクの偏心の測定方法では、製造工程
の最終段階において初めて偏心量が明らかになり、この
偏心量が所定値以下のもののみが製品として出荷される
ことになる。このため、磁気ディスクの歩留まりが比較
的低くなってしまい、製造コストが高くなってしまうと
いう問題があった。
ボス型の磁気ディスクの偏心の測定方法では、製造工程
の最終段階において初めて偏心量が明らかになり、この
偏心量が所定値以下のもののみが製品として出荷される
ことになる。このため、磁気ディスクの歩留まりが比較
的低くなってしまい、製造コストが高くなってしまうと
いう問題があった。
【０００９】また、従来の後者のプリエンボス型の磁気
ディスクの偏心の測定方法では、磁気ディスクの歩留ま
りを向上させ、製造コストを低くすることが可能である
が、顕微鏡により１本のトラックのエッジを１周にわた
って継続的に計測しなければならず、作業が困難である
という問題があった。さらに、磁気ディスクをその回転
駆動機構に装着する必要があるため、手間が掛かるとい
う問題もあった。
ディスクの偏心の測定方法では、磁気ディスクの歩留ま
りを向上させ、製造コストを低くすることが可能である
が、顕微鏡により１本のトラックのエッジを１周にわた
って継続的に計測しなければならず、作業が困難である
という問題があった。さらに、磁気ディスクをその回転
駆動機構に装着する必要があるため、手間が掛かるとい
う問題もあった。
【００１０】この発明は、以上の点に鑑み、容易にかつ
短時間で偏心を測定することができる磁気ディスクと、
その偏心測定方法及び装置を提供することを目的として
いる。
短時間で偏心を測定することができる磁気ディスクと、
その偏心測定方法及び装置を提供することを目的として
いる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、情報記録領域が予め形成されており、磁気ヘッ
ドにより情報が記録再生される磁気ディスクにおいて、
偏心を測定するためのパターンを形成することにより達
成される。
よれば、情報記録領域が予め形成されており、磁気ヘッ
ドにより情報が記録再生される磁気ディスクにおいて、
偏心を測定するためのパターンを形成することにより達
成される。
【００１２】上記構成によれば、偏心を測定するための
パターンが形成されているので、このパターンに基づい
て磁気ディスクの偏心を容易に測定することができる。
パターンが形成されているので、このパターンに基づい
て磁気ディスクの偏心を容易に測定することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもので
はない。
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもので
はない。
【００１４】図１は、この発明の磁気ディスクの実施形
態を内蔵したハードディスク装置の構成例を示す斜視図
である。このハードディスク装置１は、アルミニウム合
金等により形成された筐体２の平面部の裏側にスピンド
ルモータ９が配設されていると共に、このスピンドルモ
ータ９によって角速度一定で回転駆動される磁気ディス
ク３が備えられている。さらに、この筐体２には、アー
ム４が垂直軸４ａの周りに揺動可能に取り付けられてい
る。このアーム４の一端には、ボイスコイル５が取り付
けられ、またこのアーム４の他端には、ヘッドスライダ
６が取り付けられている。筐体２上には、ボイスコイル
５を挟持するように、マグネット７ａ、７ｂが取り付け
られている。ボイスコイル５及びマグネット７ａ、７ｂ
により、ボイスコイルモータ７が形成されている。
態を内蔵したハードディスク装置の構成例を示す斜視図
である。このハードディスク装置１は、アルミニウム合
金等により形成された筐体２の平面部の裏側にスピンド
ルモータ９が配設されていると共に、このスピンドルモ
ータ９によって角速度一定で回転駆動される磁気ディス
ク３が備えられている。さらに、この筐体２には、アー
ム４が垂直軸４ａの周りに揺動可能に取り付けられてい
る。このアーム４の一端には、ボイスコイル５が取り付
けられ、またこのアーム４の他端には、ヘッドスライダ
６が取り付けられている。筐体２上には、ボイスコイル
５を挟持するように、マグネット７ａ、７ｂが取り付け
られている。ボイスコイル５及びマグネット７ａ、７ｂ
により、ボイスコイルモータ７が形成されている。
【００１５】このような構成において、ボイスコイル５
に外部から電流が供給されると、アーム４は、マグネッ
ト７ａ、７ｂの磁界と、このボイスコイル５に流れる電
流とによって生ずる力に基づいて、垂直軸４ａの周りを
回動する。これにより、アーム４の他端に取り付けられ
たヘッドスライダ６は、磁気ディスク３の実質的に半径
方向に移動する。従って、このヘッドスライダ６に搭載
された磁気ヘッド８は、磁気ディスク３に対してシーク
動作し、磁気ディスク３の所定のデータトラック等に対
してデータ等の記録再生を行なう。
に外部から電流が供給されると、アーム４は、マグネッ
ト７ａ、７ｂの磁界と、このボイスコイル５に流れる電
流とによって生ずる力に基づいて、垂直軸４ａの周りを
回動する。これにより、アーム４の他端に取り付けられ
たヘッドスライダ６は、磁気ディスク３の実質的に半径
方向に移動する。従って、このヘッドスライダ６に搭載
された磁気ヘッド８は、磁気ディスク３に対してシーク
動作し、磁気ディスク３の所定のデータトラック等に対
してデータ等の記録再生を行なう。
【００１６】図２は、この発明の磁気ディスクの実施形
態であるプリエンボス型の磁気ディスクを示す平面図で
ある。この磁気ディスク３の合成樹脂、ガラス、アルミ
ニウム等より成る基板３１の両表面には、凹凸部で成る
データゾーンとサーボゾーンとがそれぞれ放射状に形成
され、さらに、データゾーン及びサーボゾーンとは別の
領域、例えば基板３１の内周側のディスクエッジ３１ａ
近傍と外周側のディスクエッジ３１ｂ近傍のいずれか一
方若しくは両方（図示の場合には、内周側のディスクエ
ッジ３１ａ近傍及び外周側のディスクエッジ３１ｂ近傍
の両方）に、偏心を測定するためのパターンである偏心
測定用トラック３２、３３が形成され、それらの表面に
磁性膜が形成されている。
態であるプリエンボス型の磁気ディスクを示す平面図で
ある。この磁気ディスク３の合成樹脂、ガラス、アルミ
ニウム等より成る基板３１の両表面には、凹凸部で成る
データゾーンとサーボゾーンとがそれぞれ放射状に形成
され、さらに、データゾーン及びサーボゾーンとは別の
領域、例えば基板３１の内周側のディスクエッジ３１ａ
近傍と外周側のディスクエッジ３１ｂ近傍のいずれか一
方若しくは両方（図示の場合には、内周側のディスクエ
ッジ３１ａ近傍及び外周側のディスクエッジ３１ｂ近傍
の両方）に、偏心を測定するためのパターンである偏心
測定用トラック３２、３３が形成され、それらの表面に
磁性膜が形成されている。
【００１７】データゾーンには、同心円状であって、デ
ータ等を記録するためのデータトラックＤＴが凸部とな
るように形成され、隣接するデータトラックＤＴを区分
するためのガードバンドＧＢが凹部となるように形成さ
れている。また、サーボゾーンには、データトラックＤ
Ｔを特定するためのグレイコード、サーボクロックを生
成する際の基準となるクロックマーク及び磁気ヘッドを
トラッキング制御するためのウォブルドマーク等のサー
ボパターンが形成されている。
ータ等を記録するためのデータトラックＤＴが凸部とな
るように形成され、隣接するデータトラックＤＴを区分
するためのガードバンドＧＢが凹部となるように形成さ
れている。また、サーボゾーンには、データトラックＤ
Ｔを特定するためのグレイコード、サーボクロックを生
成する際の基準となるクロックマーク及び磁気ヘッドを
トラッキング制御するためのウォブルドマーク等のサー
ボパターンが形成されている。
【００１８】偏心測定用トラック３２（３３）は、例え
ば図３の部分拡大図に示すように、所定幅のリング形状
であって、このリングの円周方向に一定間隔毎に幅が拡
大した形状、即ちリングの半径方向の内側及び外側に突
出した突起部３２ａ（３３ａ）が形成された形状の凸部
又は凹部で構成されている。また、例えば図４の部分拡
大図に示すように、所定幅のリング形状であって、この
リングの円周方向に一定間隔毎に中断部３２ｂ（３３
ｂ）が形成された形状の凸部又は凹部で構成されてい
る。
ば図３の部分拡大図に示すように、所定幅のリング形状
であって、このリングの円周方向に一定間隔毎に幅が拡
大した形状、即ちリングの半径方向の内側及び外側に突
出した突起部３２ａ（３３ａ）が形成された形状の凸部
又は凹部で構成されている。また、例えば図４の部分拡
大図に示すように、所定幅のリング形状であって、この
リングの円周方向に一定間隔毎に中断部３２ｂ（３３
ｂ）が形成された形状の凸部又は凹部で構成されてい
る。
【００１９】尚、偏心測定用トラック３２、３３の幅
は、成形可能な範囲でできるだけ小さく選定することに
より、偏心測定の精度を高くすることができる。例えば
偏心量は通常数十μｍ程度であるので、偏心測定用トラ
ック３２、３３の幅は１μｍ程度で十分である。
は、成形可能な範囲でできるだけ小さく選定することに
より、偏心測定の精度を高くすることができる。例えば
偏心量は通常数十μｍ程度であるので、偏心測定用トラ
ック３２、３３の幅は１μｍ程度で十分である。
【００２０】上述した磁気ディスク３は、光技術を利用
して製造することができ、その製造方法を図５及び図６
で説明する。先ず、ガラス原盤４１の表面に例えばフォ
トレジスト４２をコーティングする。このフォトレジス
ト４２がコーティングされたガラス原盤４１をターンテ
ーブル４３上に載置して回転させ、例えば凹部を形成す
るフォトレジスト４２の部分にのみレーザ光４４を照射
してパターンカッティングする。レーザ光４４を照射し
た後、フォトレジスト４２を現像してフォトレジスト４
２の露光部分を除去する。フォトレジスト４２の露光部
分が除去されたガラス原盤４１の表面にニッケル４５を
メッキする。そして、このニッケル４５をガラス原盤４
１から剥がしてスタンパ４６とする。
して製造することができ、その製造方法を図５及び図６
で説明する。先ず、ガラス原盤４１の表面に例えばフォ
トレジスト４２をコーティングする。このフォトレジス
ト４２がコーティングされたガラス原盤４１をターンテ
ーブル４３上に載置して回転させ、例えば凹部を形成す
るフォトレジスト４２の部分にのみレーザ光４４を照射
してパターンカッティングする。レーザ光４４を照射し
た後、フォトレジスト４２を現像してフォトレジスト４
２の露光部分を除去する。フォトレジスト４２の露光部
分が除去されたガラス原盤４１の表面にニッケル４５を
メッキする。そして、このニッケル４５をガラス原盤４
１から剥がしてスタンパ４６とする。
【００２１】次に、スタンパ４６を用いて基板３１を成
形する。そして、基板３１の表面に磁性膜３２をスパッ
タリング等により成膜して磁気ディスク３とする。そし
て、この磁気ディスク３を着磁装置４８にセットして着
磁用磁気ヘッド４９により着磁する。尚、偏心測定用ト
ラック３２、３３は、フォトレジスト４２をカッティン
グするだけの作業により、データゾーン及びサーボゾー
ンと同時に形成される。従って、偏心測定用トラック３
２、３３を形成するための工程が増えるようなことはな
い。
形する。そして、基板３１の表面に磁性膜３２をスパッ
タリング等により成膜して磁気ディスク３とする。そし
て、この磁気ディスク３を着磁装置４８にセットして着
磁用磁気ヘッド４９により着磁する。尚、偏心測定用ト
ラック３２、３３は、フォトレジスト４２をカッティン
グするだけの作業により、データゾーン及びサーボゾー
ンと同時に形成される。従って、偏心測定用トラック３
２、３３を形成するための工程が増えるようなことはな
い。
【００２２】図７は、この発明の磁気ディスクの偏心を
測定する装置の実施形態を示す構成図である。この偏心
測定装置１０は、磁気ディスク３が載置されるＸＹテー
ブル１１、ＸＹテーブル１１の上方に配設された撮像装
置１２及び制御装置１３により構成されている。ＸＹテ
ーブル１１は、Ｘ軸駆動部１１１によりＸ軸方向に直線
移動可能であって、Ｙ軸駆動部１１２によりＹ軸方向に
直線移動可能なようになっている。撮像装置１２は、Ｘ
Ｙテーブル１１上に載置された磁気ディスク３の表面を
所定倍率で撮像して、その画像信号を制御装置１３に出
力するようになっている。
測定する装置の実施形態を示す構成図である。この偏心
測定装置１０は、磁気ディスク３が載置されるＸＹテー
ブル１１、ＸＹテーブル１１の上方に配設された撮像装
置１２及び制御装置１３により構成されている。ＸＹテ
ーブル１１は、Ｘ軸駆動部１１１によりＸ軸方向に直線
移動可能であって、Ｙ軸駆動部１１２によりＹ軸方向に
直線移動可能なようになっている。撮像装置１２は、Ｘ
Ｙテーブル１１上に載置された磁気ディスク３の表面を
所定倍率で撮像して、その画像信号を制御装置１３に出
力するようになっている。
【００２３】制御装置１３は、制御部１３１が表示部１
３２、駆動部１３３及び位置検出部１３４を制御して磁
気ディスク３の偏心を測定するようになっている。制御
部１３１は、撮像装置１２から入力した画像信号に基づ
いて駆動部１３３を制御し、位置検出部１３４から入力
したＸＹ座標位置に基づいて磁気ディスク３の偏心を測
定し、その偏心量を算出して表示部１３２に表示させる
ようになっている。
３２、駆動部１３３及び位置検出部１３４を制御して磁
気ディスク３の偏心を測定するようになっている。制御
部１３１は、撮像装置１２から入力した画像信号に基づ
いて駆動部１３３を制御し、位置検出部１３４から入力
したＸＹ座標位置に基づいて磁気ディスク３の偏心を測
定し、その偏心量を算出して表示部１３２に表示させる
ようになっている。
【００２４】表示部１３２は、制御部１３１から入力し
た偏心量等を表示するようになっている。駆動部１３３
は、制御部１３１から入力した制御指令に基づいて、Ｘ
軸駆動部１１１及びＹ軸駆動部１１２を駆動するように
なっている。位置検出部１３４は、Ｘ軸駆動部１１１及
びＹ軸駆動部１１２に備えられたロータリエンコーダ等
から入力した信号に基づいて、例えば撮像装置１２の画
像中心のＸＹ座標位置を検出するようになっている。
た偏心量等を表示するようになっている。駆動部１３３
は、制御部１３１から入力した制御指令に基づいて、Ｘ
軸駆動部１１１及びＹ軸駆動部１１２を駆動するように
なっている。位置検出部１３４は、Ｘ軸駆動部１１１及
びＹ軸駆動部１１２に備えられたロータリエンコーダ等
から入力した信号に基づいて、例えば撮像装置１２の画
像中心のＸＹ座標位置を検出するようになっている。
【００２５】図８は、この発明の磁気ディスクの偏心を
測定する方法の実施形態を示すフローチャートであり、
上記偏心測定装置１０を用いた場合について説明する。
先づ、制御部１３１は、駆動部１３３を制御することに
よりＸ軸駆動部１１１及びＹ軸駆動部１１２を駆動させ
てＸＹテーブル２１をＸＹ方向に移動させ、ＸＹテーブ
ル１１上に載置された磁気ディスク３の偏心測定用トラ
ック３２（３３）のうち、少なくとも３箇所以上の任意
の計測点を順次に撮像装置１２の画像中心に移動させ、
それらのＸＹ座標位置を位置検出部１３４から入力する
（ステップＳＴ１）。そして、制御部１３１は、位置検
出部１３４からの各計測点のＸＹ座標位置に基づいて、
偏心測定用トラック３２（３３）の中心点のＸＹ座標位
置（Ｘ０，Ｙ０）を算出する（ステップＳＴ２）。
測定する方法の実施形態を示すフローチャートであり、
上記偏心測定装置１０を用いた場合について説明する。
先づ、制御部１３１は、駆動部１３３を制御することに
よりＸ軸駆動部１１１及びＹ軸駆動部１１２を駆動させ
てＸＹテーブル２１をＸＹ方向に移動させ、ＸＹテーブ
ル１１上に載置された磁気ディスク３の偏心測定用トラ
ック３２（３３）のうち、少なくとも３箇所以上の任意
の計測点を順次に撮像装置１２の画像中心に移動させ、
それらのＸＹ座標位置を位置検出部１３４から入力する
（ステップＳＴ１）。そして、制御部１３１は、位置検
出部１３４からの各計測点のＸＹ座標位置に基づいて、
偏心測定用トラック３２（３３）の中心点のＸＹ座標位
置（Ｘ０，Ｙ０）を算出する（ステップＳＴ２）。
【００２６】次に、制御部２３は、駆動部１３３を制御
することによりＸ軸駆動部１１１及びＹ軸駆動部１１２
を駆動させてＸＹテーブル２１をＸＹ方向に移動させ、
ＸＹテーブル１１上に載置された磁気ディスク３のディ
スクエッジ３１ａ（３１ｂ）のうち、少なくとも３箇所
以上の任意の計測点を順次に撮像装置１２の画像中心に
移動させ、それらのＸＹ座標位置を位置検出部１３４か
ら入力する（ステップＳＴ３）。そして、制御部２３
は、位置検出部１３４からの各計測点のＸＹ座標位置に
基づいて、ディスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の中心点の
ＸＹ座標位置（Ｘ１，Ｙ１）を算出する（ステップＳＴ
４）。
することによりＸ軸駆動部１１１及びＹ軸駆動部１１２
を駆動させてＸＹテーブル２１をＸＹ方向に移動させ、
ＸＹテーブル１１上に載置された磁気ディスク３のディ
スクエッジ３１ａ（３１ｂ）のうち、少なくとも３箇所
以上の任意の計測点を順次に撮像装置１２の画像中心に
移動させ、それらのＸＹ座標位置を位置検出部１３４か
ら入力する（ステップＳＴ３）。そして、制御部２３
は、位置検出部１３４からの各計測点のＸＹ座標位置に
基づいて、ディスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の中心点の
ＸＹ座標位置（Ｘ１，Ｙ１）を算出する（ステップＳＴ
４）。
【００２７】ここで、上述した偏心測定用トラック３２
（３３）の中心点のＸＹ座標位置（Ｘ０，Ｙ１）と、デ
ィスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の中心点のＸＹ座標位置
（Ｘ１，Ｙ１）は、図９に示す位置関係にあることか
ら、制御部２３は、数１により、これらの点間のずれ、
即ち偏心量Ｄを算出して表示部１３２に表示させる（ス
テップＳＴ５）。
（３３）の中心点のＸＹ座標位置（Ｘ０，Ｙ１）と、デ
ィスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の中心点のＸＹ座標位置
（Ｘ１，Ｙ１）は、図９に示す位置関係にあることか
ら、制御部２３は、数１により、これらの点間のずれ、
即ち偏心量Ｄを算出して表示部１３２に表示させる（ス
テップＳＴ５）。
【数１】
【００２８】この場合、偏心測定用トラック３２（３
３）及びディスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の少なくとも
３箇所以上の任意の計測点のＸＹ座標位置の計測及び中
心点のＸＹ座標位置の算出は、それぞれ１回のみである
が、中心点のＸＹ座標位置の算出精度を高めるために、
例えば異なる組合せの少なくとも３箇所以上の任意の計
測点のＸＹ座標位置の計測を複数回行なって、それぞれ
中心点のＸＹ座標位置を求め、複数の算出された中心点
のＸＹ座標位置を平均化するようにしても良い。
３）及びディスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の少なくとも
３箇所以上の任意の計測点のＸＹ座標位置の計測及び中
心点のＸＹ座標位置の算出は、それぞれ１回のみである
が、中心点のＸＹ座標位置の算出精度を高めるために、
例えば異なる組合せの少なくとも３箇所以上の任意の計
測点のＸＹ座標位置の計測を複数回行なって、それぞれ
中心点のＸＹ座標位置を求め、複数の算出された中心点
のＸＹ座標位置を平均化するようにしても良い。
【００２９】また、偏心測定用トラック３２（３３）の
少なくとも３箇所以上の任意の計測点のＸＹ座標位置の
計測及び中心点のＸＹ座標位置の算出を行ってから、デ
ィスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の少なくとも３箇所以上
の任意の計測点のＸＹ座標位置の計測及び中心点のＸＹ
座標位置の算出を行うようにしたが、これらの手順を逆
にしても良く、あるいは偏心測定用トラック３２（３
３）及びディスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の少なくとも
３箇所以上の任意の計測点のＸＹ座標位置の計測を同時
に行ってから、中心点のＸＹ座標位置の算出を同時に行
うようにしても良い。
少なくとも３箇所以上の任意の計測点のＸＹ座標位置の
計測及び中心点のＸＹ座標位置の算出を行ってから、デ
ィスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の少なくとも３箇所以上
の任意の計測点のＸＹ座標位置の計測及び中心点のＸＹ
座標位置の算出を行うようにしたが、これらの手順を逆
にしても良く、あるいは偏心測定用トラック３２（３
３）及びディスクエッジ３１ａ（３１ｂ）の少なくとも
３箇所以上の任意の計測点のＸＹ座標位置の計測を同時
に行ってから、中心点のＸＹ座標位置の算出を同時に行
うようにしても良い。
【００３０】尚、制御部１３１が、上記偏心量Ｄを所定
値と比較して、所定値以下である場合には、表示部１３
２に「ＯＫ」と表示させ、また所定値を越える場合に
は、表示部１３２に「ＮＧ」と表示させるようにすれ
ば、オペレータの検査作業を更に効率アップさせること
ができる。
値と比較して、所定値以下である場合には、表示部１３
２に「ＯＫ」と表示させ、また所定値を越える場合に
は、表示部１３２に「ＮＧ」と表示させるようにすれ
ば、オペレータの検査作業を更に効率アップさせること
ができる。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
簡単な構成によって、容易にかつ短時間で磁気ディスク
の偏心を測定することができ、磁気ディスクの検査工数
を大幅に改善することができる。
簡単な構成によって、容易にかつ短時間で磁気ディスク
の偏心を測定することができ、磁気ディスクの検査工数
を大幅に改善することができる。
【図１】この発明の磁気ディスクの実施形態を内蔵した
ハードディスク装置の構成例を示す斜視図。
ハードディスク装置の構成例を示す斜視図。
【図２】この発明の磁気ディスクの実施形態であるプリ
エンボス型の磁気ディスクを示す平面図。
エンボス型の磁気ディスクを示す平面図。
【図３】図２に示す磁気ディスクの実施形態の部分拡大
図。
図。
【図４】図２に示す磁気ディスクの実施形態の別の部分
拡大図。
拡大図。
【図５】図２に示す磁気ディスクの実施形態の製造方法
を示す第１の図。
を示す第１の図。
【図６】図２に示す磁気ディスクの実施形態の製造方法
を示す第２の図。
を示す第２の図。
【図７】この発明の磁気ディスクの偏心を測定する装置
の実施形態を示す構成図。
の実施形態を示す構成図。
【図８】この発明の磁気ディスクの偏心を測定する方法
の実施形態を示すフローチャート。
の実施形態を示すフローチャート。
【図９】図８に示す磁気ディスクの偏心を測定する方法
の実施形態における偏心量の算出を説明するための図。
の実施形態における偏心量の算出を説明するための図。
１・・・ハードディスク装置、３・・・磁気ディスク、
３２、３３・・・偏心測定用トラック、３１ａ、３１ｂ
・・・ディスクエッジ、１０・・・偏心測定装置、１１
・・・ＸＹテーブル、１２・・・撮像装置、１３・・・
制御装置、１１１・・・Ｘ軸駆動部、１１２・・・Ｙ軸
駆動部、１３１・・・制御部、１３２・・・表示部、１
３３・・・駆動部、１３４・・・位置検出部
３２、３３・・・偏心測定用トラック、３１ａ、３１ｂ
・・・ディスクエッジ、１０・・・偏心測定装置、１１
・・・ＸＹテーブル、１２・・・撮像装置、１３・・・
制御装置、１１１・・・Ｘ軸駆動部、１１２・・・Ｙ軸
駆動部、１３１・・・制御部、１３２・・・表示部、１
３３・・・駆動部、１３４・・・位置検出部
Claims (6)
- 【請求項１】 情報記録領域が予め形成されており、磁
気ヘッドにより情報が記録再生される磁気ディスクにお
いて、 偏心を測定するためのパターンが形成されていることを
特徴とする磁気ディスク。 - 【請求項２】 前記パターンが、前記情報記録領域とは
別の領域に形成されている請求項１に記載の磁気ディス
ク。 - 【請求項３】 前記パターンの形成領域が、前記情報記
録領域の内周側及び／又は外周側の領域である請求項２
に記載の磁気ディスク。 - 【請求項４】 前記パターンが、前記情報記録領域の形
成と同時に形成される請求項１に記載の磁気ディスク。 - 【請求項５】 情報記録領域と偏心測定用パターンが予
め形成されており、磁気ヘッドにより情報が記録再生さ
れる磁気ディスクの偏心を測定する場合、 前記パターンのうち、少なくとも３箇所以上の任意の計
測点の座標位置を求めると共に、前記磁気ディスクの周
縁のうち、少なくとも３箇所以上の任意の計測点の座標
位置を求め、 前記パターンの各計測点の座標位置に基づいて、前記パ
ターンの中心点の座標位置を求めると共に、前記磁気デ
ィスクの周縁の各計測点の座標位置に基づいて、前記磁
気ディスクの周縁の中心点の座標位置を求め、 前記各中心点の座標位置に基づいて、前記磁気ディスク
の偏心を測定することを特徴とする磁気ディスクの偏心
測定方法。 - 【請求項６】 情報記録領域と偏心測定用パターンが予
め形成されており、磁気ヘッドにより情報が記録再生さ
れる磁気ディスクを載置して移動するテーブルと、 前記テーブルを移動させる駆動部と、 前記テーブルの位置を検出する位置検出部と、 前記駆動部を制御して、前記パターンのうち、少なくと
も３箇所以上の任意の計測点の座標位置及び前記磁気デ
ィスクの周縁のうち、少なくとも３箇所以上の任意の計
測点の座標位置を前記位置検出部により検出し、前記パ
ターンの各計測点の座標位置及び前記磁気ディスクの周
縁の各計測点の座標位置に基づいて、前記パターンの中
心点の座標位置及び前記磁気ディスクの周縁の中心点の
座標位置を求め、前記各中心点の座標位置に基づいて、
前記磁気ディスクの偏心を測定する制御部とを備えたこ
とを特徴とする磁気ディスクの偏心測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8722396A JPH09250906A (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 磁気ディスクとその偏心測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8722396A JPH09250906A (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 磁気ディスクとその偏心測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09250906A true JPH09250906A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=13908901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8722396A Pending JPH09250906A (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 磁気ディスクとその偏心測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09250906A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020087897A (ko) * | 2002-08-13 | 2002-11-23 | 시그널 링크 주식회사 | 하드 디스크의 절대 불평형 크기 자동검사 및 보정장치 |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP8722396A patent/JPH09250906A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020087897A (ko) * | 2002-08-13 | 2002-11-23 | 시그널 링크 주식회사 | 하드 디스크의 절대 불평형 크기 자동검사 및 보정장치 |
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