JPH09259799A - Ｘ線イメージ管およびその製造方法 - Google Patents
Ｘ線イメージ管およびその製造方法Info
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- JPH09259799A JPH09259799A JP6589896A JP6589896A JPH09259799A JP H09259799 A JPH09259799 A JP H09259799A JP 6589896 A JP6589896 A JP 6589896A JP 6589896 A JP6589896 A JP 6589896A JP H09259799 A JPH09259799 A JP H09259799A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 出力部周辺の耐電圧特性を向上し、また、特
性のよい電子レンズを形成できるＸ線イメージ管および
その製造方法を提供すること。 【解決手段】 入力部１６や複数の集束電極１７ａ〜１
７ｃ、陽極１８、出力部１９などを真空外囲器１１内に
収納したＸ線イメージ管において、陽極１８を囲む真空
外囲器１１の後半部１１ｂをセラミックで構成し、集束
電極１７ｃ、陽極１８または、出力部１９が形成された
出力板１５の少なくとも１つをセラミックに固定された
支持部材で支持している。
性のよい電子レンズを形成できるＸ線イメージ管および
その製造方法を提供すること。 【解決手段】 入力部１６や複数の集束電極１７ａ〜１
７ｃ、陽極１８、出力部１９などを真空外囲器１１内に
収納したＸ線イメージ管において、陽極１８を囲む真空
外囲器１１の後半部１１ｂをセラミックで構成し、集束
電極１７ｃ、陽極１８または、出力部１９が形成された
出力板１５の少なくとも１つをセラミックに固定された
支持部材で支持している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、陽極の周辺部を囲
む真空外囲器の後半部をセラミックで形成したＸ線イメ
ージ管およびその製造方法に関する。
む真空外囲器の後半部をセラミックで形成したＸ線イメ
ージ管およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線イメージ管は、Ｘ線像を可視像に変
換する装置として医療用や工業用などの分野に利用され
ており、入力部や出力部、集束電極、陽極などが真空外
囲器の内部に配置されている。ところで、Ｘ線イメージ
管を構成する真空外囲器は、入力部が設けられる前面、
あるいは前段の集束電極が設けられる側面部を除いて、
通常、ガラスで構成されている。したがって、光電子像
を可視像に変換する出力部や陽極周辺部分の真空外囲器
はガラスとなっている。
換する装置として医療用や工業用などの分野に利用され
ており、入力部や出力部、集束電極、陽極などが真空外
囲器の内部に配置されている。ところで、Ｘ線イメージ
管を構成する真空外囲器は、入力部が設けられる前面、
あるいは前段の集束電極が設けられる側面部を除いて、
通常、ガラスで構成されている。したがって、光電子像
を可視像に変換する出力部や陽極周辺部分の真空外囲器
はガラスとなっている。
【０００３】ここで、Ｘ線イメージ管の出力部周辺の構
造について図３で説明する。符号３１は出力部や陽極周
辺の真空外囲器で、ガラスで構成されている。また、真
空外囲器３１の端部３１ａは例えば円筒構造になってい
る。円筒状端部３１ａの上端には環状の第１支持部材３
２が融着され、端部３１ａの下端には環状の第２支持部
材３３が融着されている。なお、第１支持部材３２、第
２支持部材３３ともその端部３２ａ、３３ａは鍔状にな
っている。そして、第１支持部材３２の端部３２ａに集
束電極３４が固定され、また、第２支持部材３３の端部
３３ａに、陽極３５、さらに、出力部３６が表面に形成
された出力板３７が固定されている。
造について図３で説明する。符号３１は出力部や陽極周
辺の真空外囲器で、ガラスで構成されている。また、真
空外囲器３１の端部３１ａは例えば円筒構造になってい
る。円筒状端部３１ａの上端には環状の第１支持部材３
２が融着され、端部３１ａの下端には環状の第２支持部
材３３が融着されている。なお、第１支持部材３２、第
２支持部材３３ともその端部３２ａ、３３ａは鍔状にな
っている。そして、第１支持部材３２の端部３２ａに集
束電極３４が固定され、また、第２支持部材３３の端部
３３ａに、陽極３５、さらに、出力部３６が表面に形成
された出力板３７が固定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のＸ線イ
メージ管は、その出力部や陽極周辺の真空外囲器はガラ
スで構成されている。この場合、光を電子に変換する光
電面を入力部に形成する際の導入アルカリ等が出力部周
辺のガラスに付着して汚染し、動作時における耐電圧特
性を劣化させることがある。また、集束電極３４や陽極
３５は入力部から放出された光電子を加速集束する電子
レンズを形成している。このとき、集束電極３４や陽極
３５を支持する第１および第２の支持部材３２、３３が
真空外囲器３１のガラス部分に融着された構造であるた
め、集束電極３４や陽極３５の配置精度に問題がある。
また、第１および第２の支持部材３２、３３が固定され
る部分がガラスであるため、ガラス自身の寸法精度上の
問題がある。
メージ管は、その出力部や陽極周辺の真空外囲器はガラ
スで構成されている。この場合、光を電子に変換する光
電面を入力部に形成する際の導入アルカリ等が出力部周
辺のガラスに付着して汚染し、動作時における耐電圧特
性を劣化させることがある。また、集束電極３４や陽極
３５は入力部から放出された光電子を加速集束する電子
レンズを形成している。このとき、集束電極３４や陽極
３５を支持する第１および第２の支持部材３２、３３が
真空外囲器３１のガラス部分に融着された構造であるた
め、集束電極３４や陽極３５の配置精度に問題がある。
また、第１および第２の支持部材３２、３３が固定され
る部分がガラスであるため、ガラス自身の寸法精度上の
問題がある。
【０００５】上記したように従来のＸ線イメージ管で
は、出力部周辺のガラスの耐電圧特性が劣化し、また、
集束電極や陽極の配置精度に問題があることから特性の
よい電子レンズを形成することが困難であった。
は、出力部周辺のガラスの耐電圧特性が劣化し、また、
集束電極や陽極の配置精度に問題があることから特性の
よい電子レンズを形成することが困難であった。
【０００６】本発明は、上記した欠点を解決するもの
で、出力部周辺の耐電圧特性を向上し、また、特性のよ
い電子レンズを形成できるＸ線イメージ管およびその製
造方法を提供することを目的とする。
で、出力部周辺の耐電圧特性を向上し、また、特性のよ
い電子レンズを形成できるＸ線イメージ管およびその製
造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線像を電子
像に変換する入力部と、前記電子像を加速集束する複数
の集束電極および陽極と、加速集束された前記電子像を
出力像に変換する出力部と、一方の端部に前記入力部
が、他方の端部に前記出力部が、その中間に前記複数の
集束電極および前記陽極が収納された真空外囲器とを具
備したＸ線イメージ管において、前記陽極を囲む前記真
空外囲器の後半部をセラミックで構成し、前記陽極にも
っとも近い集束電極、前記陽極、または、前記出力部が
形成された出力板の少なくとも１つが前記セラミックに
固定された支持部材で支持されている。
像に変換する入力部と、前記電子像を加速集束する複数
の集束電極および陽極と、加速集束された前記電子像を
出力像に変換する出力部と、一方の端部に前記入力部
が、他方の端部に前記出力部が、その中間に前記複数の
集束電極および前記陽極が収納された真空外囲器とを具
備したＸ線イメージ管において、前記陽極を囲む前記真
空外囲器の後半部をセラミックで構成し、前記陽極にも
っとも近い集束電極、前記陽極、または、前記出力部が
形成された出力板の少なくとも１つが前記セラミックに
固定された支持部材で支持されている。
【０００８】また、本発明は、Ｘ線像を電子像に変換す
る入力部と、前記電子像を加速集束する複数の集束電極
および陽極と、加速集束された前記電子像を出力像に変
換する出力部と、一方の端部に前記入力部が、他方の端
部に前記出力部が、その中間に前記複数の集束電極およ
び前記陽極が収納された真空外囲器とを具備したＸ線イ
メージ管において、前記陽極を囲む前記真空外囲器の後
半部をセラミックで構成し、前記セラミックに固定され
た支持部材によって、前記真空外囲器の前半部と後半部
とを気密に一体化している。
る入力部と、前記電子像を加速集束する複数の集束電極
および陽極と、加速集束された前記電子像を出力像に変
換する出力部と、一方の端部に前記入力部が、他方の端
部に前記出力部が、その中間に前記複数の集束電極およ
び前記陽極が収納された真空外囲器とを具備したＸ線イ
メージ管において、前記陽極を囲む前記真空外囲器の後
半部をセラミックで構成し、前記セラミックに固定され
た支持部材によって、前記真空外囲器の前半部と後半部
とを気密に一体化している。
【０００９】また、セラミックの内面に凹凸を設けてい
る。
る。
【００１０】また、本発明のＸ線イメージ管の製造方法
は、陽極を囲む真空外囲器の後半部を構成するセラミッ
クに支持部材をろう付けする工程と、前記支持部材の支
持面を切削する切削工程と、切削された前記支持部材の
支持面に電子レンズを形成する電極を固定する工程と、
前記電極が固定された前記真空外囲器の後半部とその前
半部とを気密に一体化する工程とで構成されている。
は、陽極を囲む真空外囲器の後半部を構成するセラミッ
クに支持部材をろう付けする工程と、前記支持部材の支
持面を切削する切削工程と、切削された前記支持部材の
支持面に電子レンズを形成する電極を固定する工程と、
前記電極が固定された前記真空外囲器の後半部とその前
半部とを気密に一体化する工程とで構成されている。
【００１１】上記した構成によれば、陽極を囲む真空外
囲器の後半部をセラミックで構成し、陽極にもっとも近
い集束電極、陽極、または、出力部が形成された出力板
の少なくとも１つをセラミックに固定した支持部材で支
持している。この構造によれば、支持部材がセラミック
に例えばろう付けされる構造であるため、従来のように
ガラスに融着した構造に比較して精度が向上する。この
ため、支持部材に固定される電極間の同軸度や平行度等
がよくなり、特性のよい電子レンズを構成できる。 ま
た、セラミックの場合は、その表面に容易に凹凸を形成
でき、セラミックに固定される支持部材間の表面距離を
長くできる。このため、耐電圧特性が向上する。
囲器の後半部をセラミックで構成し、陽極にもっとも近
い集束電極、陽極、または、出力部が形成された出力板
の少なくとも１つをセラミックに固定した支持部材で支
持している。この構造によれば、支持部材がセラミック
に例えばろう付けされる構造であるため、従来のように
ガラスに融着した構造に比較して精度が向上する。この
ため、支持部材に固定される電極間の同軸度や平行度等
がよくなり、特性のよい電子レンズを構成できる。 ま
た、セラミックの場合は、その表面に容易に凹凸を形成
でき、セラミックに固定される支持部材間の表面距離を
長くできる。このため、耐電圧特性が向上する。
【００１２】また、セラミックにろう付けされた支持部
材に電極を固定する際に、支持部材の支持面を予め切削
し、その後、切削された支持部材の支持面に電子レンズ
を形成する電極を固定している。この場合、したがっ
て、電極を固定した際に電極間の同軸度や平行度等がよ
くなるような形状に支持部材の支持面を切削することに
よって、特性のよい電子レンズを構成できる。
材に電極を固定する際に、支持部材の支持面を予め切削
し、その後、切削された支持部材の支持面に電子レンズ
を形成する電極を固定している。この場合、したがっ
て、電極を固定した際に電極間の同軸度や平行度等がよ
くなるような形状に支持部材の支持面を切削することに
よって、特性のよい電子レンズを構成できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を
参照して説明する。符号１１は、Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器である。真空外囲器１１は、例えば前半
部１１ａと後半部１１ｂから構成され、前半部１１ａ
は、入力窓１２や側壁部分１３から構成されている。ま
た、後半部１１ｂは、円筒状のセラミック部分１４やこ
のセラミック部分１４の開口を封止する出力板１５など
から構成されている。
参照して説明する。符号１１は、Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器である。真空外囲器１１は、例えば前半
部１１ａと後半部１１ｂから構成され、前半部１１ａ
は、入力窓１２や側壁部分１３から構成されている。ま
た、後半部１１ｂは、円筒状のセラミック部分１４やこ
のセラミック部分１４の開口を封止する出力板１５など
から構成されている。
【００１４】また、前半部１１ａの入力窓１２裏側には
入力部１６が設けられている。入力部１６は、Ｘ線イメ
ージ管に入力されたＸ線像を光電子像に変換し、出力し
ている。入力部１６から出力された光電子像は、第１乃
至第３の集束電極１７ａ、１７ｂ、１７ｃや陽極１８な
どの各電極で形成された電子レンズで加速集束され、出
力部１９に入射する。出力部１９に入射した光電子像は
可視像に変換され、その後、Ｘ線イメージ管の外部に導
出される。
入力部１６が設けられている。入力部１６は、Ｘ線イメ
ージ管に入力されたＸ線像を光電子像に変換し、出力し
ている。入力部１６から出力された光電子像は、第１乃
至第３の集束電極１７ａ、１７ｂ、１７ｃや陽極１８な
どの各電極で形成された電子レンズで加速集束され、出
力部１９に入射する。出力部１９に入射した光電子像は
可視像に変換され、その後、Ｘ線イメージ管の外部に導
出される。
【００１５】ここで、真空外囲器１１の後半部１１ｂ近
傍の構造について図２を参照して説明する。符号２１
は、真空外囲器の前半部で、その端部２１ａは例えばガ
ラスで構成され、円形の開口になっている。そして、端
部２１ａの開口部分に、真空外囲器の後半部２２が位置
している。
傍の構造について図２を参照して説明する。符号２１
は、真空外囲器の前半部で、その端部２１ａは例えばガ
ラスで構成され、円形の開口になっている。そして、端
部２１ａの開口部分に、真空外囲器の後半部２２が位置
している。
【００１６】真空外囲器の後半部２２は、円筒状のセラ
ミック部分２３とこのセラミック部分の開口を封止する
出力板２４などから構成されている。セラミック部分２
３は、第１乃至第４の４つの円筒状セラミック部材２３
ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄから構成されている。ま
た、中間に位置する２つの円筒状セラミック部材２３
ｂ、２３ｃの内面には凹凸２５が形成されている。
ミック部分２３とこのセラミック部分の開口を封止する
出力板２４などから構成されている。セラミック部分２
３は、第１乃至第４の４つの円筒状セラミック部材２３
ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄから構成されている。ま
た、中間に位置する２つの円筒状セラミック部材２３
ｂ、２３ｃの内面には凹凸２５が形成されている。
【００１７】そして、第１および第２のセラミック部材
２３ａ、２３ｂ間には支持部材Ｓ１の環状部分がろう付
けされ、第２および第３のセラミック部材２３ｂ、２３
ｃ間には支持部材Ｓ２の環状部分がろう付けされ、そし
て、第３および第４のセラミック部材２３ｃ、２３ｄ間
には支持部材Ｓ３の環状部分がろう付けされている。支
持部材Ｓ１は、第１のセラミック部材２３ａの内面に沿
って上方に曲り、上部の鍔状部分が内側に入り込んだ構
造をしている。その上面は外周部分が少し高くなってい
る。また、支持部材Ｓ２は外側に延び、外端は下方に折
れまがった構造をしている。そして、支持部材Ｓ３は、
セラミック部材２３ｄの外面に沿って下方に折れ、さら
に、外側に鍔状に広がっている。また、鍔状に広がった
下面はその外周部分が少し高くなっている。
２３ａ、２３ｂ間には支持部材Ｓ１の環状部分がろう付
けされ、第２および第３のセラミック部材２３ｂ、２３
ｃ間には支持部材Ｓ２の環状部分がろう付けされ、そし
て、第３および第４のセラミック部材２３ｃ、２３ｄ間
には支持部材Ｓ３の環状部分がろう付けされている。支
持部材Ｓ１は、第１のセラミック部材２３ａの内面に沿
って上方に曲り、上部の鍔状部分が内側に入り込んだ構
造をしている。その上面は外周部分が少し高くなってい
る。また、支持部材Ｓ２は外側に延び、外端は下方に折
れまがった構造をしている。そして、支持部材Ｓ３は、
セラミック部材２３ｄの外面に沿って下方に折れ、さら
に、外側に鍔状に広がっている。また、鍔状に広がった
下面はその外周部分が少し高くなっている。
【００１８】そして、支持部材Ｓ１に第３の集束電極２
６が支持固定されている。第３の集束電極２６の鍔状部
分下面は支持部材Ｓ１の上面と相補的な形状をしてお
り、支持部材Ｓ１外周の高くなった部分が第３の集束電
極２６では低くなっている。したがって、支持部材Ｓ１
外周の高くなった部分と第３の集束電極２６の低くなっ
た部分を一致させることによって、第３の集束電極２６
の位置を正しく設定できるようになっている。なお、第
３の集束電極２６を固定する場合、支持部材Ｓ１の上面
を予め切削し、第３の集束電極２６を固定した際に第３
の集束電極２６が正しい位置に配置されるようにしてい
る。
６が支持固定されている。第３の集束電極２６の鍔状部
分下面は支持部材Ｓ１の上面と相補的な形状をしてお
り、支持部材Ｓ１外周の高くなった部分が第３の集束電
極２６では低くなっている。したがって、支持部材Ｓ１
外周の高くなった部分と第３の集束電極２６の低くなっ
た部分を一致させることによって、第３の集束電極２６
の位置を正しく設定できるようになっている。なお、第
３の集束電極２６を固定する場合、支持部材Ｓ１の上面
を予め切削し、第３の集束電極２６を固定した際に第３
の集束電極２６が正しい位置に配置されるようにしてい
る。
【００１９】また、支持部材Ｓ３には陽極２７や、出力
部２８が形成された出力板２４が固定されている。この
場合も、陽極２７や出力板２４が固定される支持部材Ｓ
３の下面を予め切削し、陽極２７や出力板２４を固定し
た際に陽極２７や出力部２８の位置が正しく設定できる
ようにしている。
部２８が形成された出力板２４が固定されている。この
場合も、陽極２７や出力板２４が固定される支持部材Ｓ
３の下面を予め切削し、陽極２７や出力板２４を固定し
た際に陽極２７や出力部２８の位置が正しく設定できる
ようにしている。
【００２０】また、陽極２７下端の鍔状部分の外径は支
持部材Ｓ３の少し高くなった部分の内側寸法と等しく
し、支持部材Ｓ３の少し高くなった外周部に接するよう
に陽極２７を配置することによって陽極２７を正しい位
置に設定できるようになっている。このとき、支持部材
Ｓ３外周の高さを陽極２７下端の鍔状部分の厚さと同じ
にし、陽極２７を固定した状態では、支持部材Ｓ３の外
周と陽極２７下端の鍔状部分によって１つの平面が形成
される構造になっている。そして、支持部材Ｓ３の外周
と陽極２７下端の鍔状部分で形成された平面部分に出力
板２４が固定される。この場合、出力板２４の直径が支
持部材Ｓ３の直径と等しくなるようにし、出力板２４を
陽極２７や支持部材Ｓ３に重ねて配置することによっ
て、出力板２４が正しい位置に設定できるようになって
いる。
持部材Ｓ３の少し高くなった部分の内側寸法と等しく
し、支持部材Ｓ３の少し高くなった外周部に接するよう
に陽極２７を配置することによって陽極２７を正しい位
置に設定できるようになっている。このとき、支持部材
Ｓ３外周の高さを陽極２７下端の鍔状部分の厚さと同じ
にし、陽極２７を固定した状態では、支持部材Ｓ３の外
周と陽極２７下端の鍔状部分によって１つの平面が形成
される構造になっている。そして、支持部材Ｓ３の外周
と陽極２７下端の鍔状部分で形成された平面部分に出力
板２４が固定される。この場合、出力板２４の直径が支
持部材Ｓ３の直径と等しくなるようにし、出力板２４を
陽極２７や支持部材Ｓ３に重ねて配置することによっ
て、出力板２４が正しい位置に設定できるようになって
いる。
【００２１】なお、支持部材Ｓ２は、真空外囲器の前半
部２１に融着された支持部材Ｓ４と例えばＴＩＧ溶接さ
れ、真空外囲器の前半部２１と後半部２２とを気密に封
止している。
部２１に融着された支持部材Ｓ４と例えばＴＩＧ溶接さ
れ、真空外囲器の前半部２１と後半部２２とを気密に封
止している。
【００２２】上記した構造のＸ線イメージ管によれば、
陽極２７を囲む真空外囲器の後半部２２をセラミック部
分２３で構成し、陽極２７にもっとも近い集束電極２６
や陽極２７、出力部２８が形成された出力板２４などを
セラミック部分２３に固定した支持部材Ｓ１、Ｓ３で支
持している。この構造によれば、セラミック部分を寸法
精度よく構成でき、また、セラミック部分２３に例えば
ろう付けされる支持部材Ｓ１〜Ｓ３の配置精度もよくな
る。このため、支持部材Ｓ１、Ｓ３に電極を固定した際
に、電極間の同軸度や平行度等がよくなり、特性のよい
電子レンズを構成できる。また、セラミック部分の表面
に凹凸２５を形成することによって、セラミック部分に
固定される支持部材Ｓ１〜Ｓ３間の表面距離を長くでき
る。このため、支持部材Ｓ１〜Ｓ３に互いに電位差があ
る陽極２７や集束電極２６が固定されても放電の発生を
抑制でき耐電圧特性が向上する。
陽極２７を囲む真空外囲器の後半部２２をセラミック部
分２３で構成し、陽極２７にもっとも近い集束電極２６
や陽極２７、出力部２８が形成された出力板２４などを
セラミック部分２３に固定した支持部材Ｓ１、Ｓ３で支
持している。この構造によれば、セラミック部分を寸法
精度よく構成でき、また、セラミック部分２３に例えば
ろう付けされる支持部材Ｓ１〜Ｓ３の配置精度もよくな
る。このため、支持部材Ｓ１、Ｓ３に電極を固定した際
に、電極間の同軸度や平行度等がよくなり、特性のよい
電子レンズを構成できる。また、セラミック部分の表面
に凹凸２５を形成することによって、セラミック部分に
固定される支持部材Ｓ１〜Ｓ３間の表面距離を長くでき
る。このため、支持部材Ｓ１〜Ｓ３に互いに電位差があ
る陽極２７や集束電極２６が固定されても放電の発生を
抑制でき耐電圧特性が向上する。
【００２３】また、セラミック部分２３にろう付けした
支持部材Ｓ１、Ｓ３に電極を固定する前に、支持部材Ｓ
１、Ｓ３の支持面を予め切削し、その後、電極を固定し
ている。したがって、電極を固定した際に、電極間の同
軸度や平行度等がよくなるような形状に支持部材の支持
面を切削することによって、特性のよい電子レンズを構
成できる。
支持部材Ｓ１、Ｓ３に電極を固定する前に、支持部材Ｓ
１、Ｓ３の支持面を予め切削し、その後、電極を固定し
ている。したがって、電極を固定した際に、電極間の同
軸度や平行度等がよくなるような形状に支持部材の支持
面を切削することによって、特性のよい電子レンズを構
成できる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれぱ、耐電圧特性を向上さ
せ、あるいは、特性のよい電子レンズを形成できるＸ線
イメージ管を実現できる。
せ、あるいは、特性のよい電子レンズを形成できるＸ線
イメージ管を実現できる。
【図１】本発明の実施形態を示す概略の断面図である。
【図２】本発明における真空外囲器の後半部の近傍を示
す概略の断面図である。
す概略の断面図である。
【図３】従来例を示す概略の断面図である。
１１…真空外囲器 １１ａ…真空外囲器の前半部 １１ｂ…真空外囲器の後半部 １２…入力窓 １３…側壁部分 １４…セラミック部分 １５…出力板 １６…入力部 １７ａ、１７ｂ、１７ｃ…集束電極 １８…陽極 １９…出力部
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｘ線像を電子像に変換する入力部と、前
記電子像を加速集束する複数の集束電極および陽極と、
加速集束された前記電子像を出力像に変換する出力部
と、一方の端部に前記入力部が、他方の端部に前記出力
部が、その中間に前記複数の集束電極および前記陽極が
収納された真空外囲器とを具備したＸ線イメージ管にお
いて、前記陽極を囲む前記真空外囲器の後半部をセラミ
ックで構成し、前記陽極にもっとも近い集束電極、前記
陽極、または、前記出力部が形成された出力板の少なく
とも１つが前記セラミックに固定された支持部材で支持
されたことを特徴とするＸ線イメージ管。 - 【請求項２】 Ｘ線像を電子像に変換する入力部と、前
記電子像を加速集束する複数の集束電極および陽極と、
加速集束された前記電子像を出力像に変換する出力部
と、一方の端部に前記入力部が、他方の端部に前記出力
部が、その中間に前記複数の集束電極および前記陽極が
収納された真空外囲器とを具備したＸ線イメージ管にお
いて、前記陽極を囲む前記真空外囲器の後半部をセラミ
ックで構成し、前記セラミックに固定された支持部材に
よって、前記真空外囲器の前半部と後半部とを気密に一
体化したことを特徴とするＸ線イメージ管。 - 【請求項３】 セラミックの内面に凹凸を設けたことを
特徴とする請求項１または請求項２記載のＸ線イメージ
管。 - 【請求項４】 陽極を囲む真空外囲器の後半部を構成す
るセラミックに支持部材をろう付けする工程と、前記支
持部材の支持面を切削する切削工程と、切削された前記
支持部材の支持面に電子レンズを形成する電極を固定す
る工程と、前記電極が固定された前記真空外囲器の後半
部とその前半部とを気密に一体化する工程とからなるＸ
線イメージ管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6589896A JPH09259799A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6589896A JPH09259799A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09259799A true JPH09259799A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13300251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6589896A Abandoned JPH09259799A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09259799A (ja) |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP6589896A patent/JPH09259799A/ja not_active Abandoned
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050315 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050531 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Effective date: 20050725 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 |