JPH09263420A - 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法及びその装置Info
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- JPH09263420A JPH09263420A JP7446896A JP7446896A JPH09263420A JP H09263420 A JPH09263420 A JP H09263420A JP 7446896 A JP7446896 A JP 7446896A JP 7446896 A JP7446896 A JP 7446896A JP H09263420 A JPH09263420 A JP H09263420A
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- porous soot
- quartz burner
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/62—Distance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 長手方向に対する外径変動が小さい多孔質ス
ート母材を有する光ファイバ母材の製造方法及びその装
置を提供する。 【解決手段】 石英バーナ４を多孔質スート母材５の長
手方向に往復移動させながらガラス微粒子を堆積させる
際に、同時に多孔質スート母材５のたわみ量を全長にわ
たって測定器１０で測定し、得られたたわみ量δの測定
値に基づいて次の石英バーナ４の移動のときに石英バー
ナ４の位置を修正する。すなわち、多孔質スート母材５
がその成長過程において、長手方向にたわみが生じて
も、石英バーナ４の火炎中心軸と多孔質スート母材５の
中心軸との関係が一定になるように石英バーナ４の位置
を制御する。その結果、外径変動の小さい多孔質スート
母材５が得られ、その多孔質スート母材５から得られる
光ファイバの品質が安定する。
ート母材を有する光ファイバ母材の製造方法及びその装
置を提供する。 【解決手段】 石英バーナ４を多孔質スート母材５の長
手方向に往復移動させながらガラス微粒子を堆積させる
際に、同時に多孔質スート母材５のたわみ量を全長にわ
たって測定器１０で測定し、得られたたわみ量δの測定
値に基づいて次の石英バーナ４の移動のときに石英バー
ナ４の位置を修正する。すなわち、多孔質スート母材５
がその成長過程において、長手方向にたわみが生じて
も、石英バーナ４の火炎中心軸と多孔質スート母材５の
中心軸との関係が一定になるように石英バーナ４の位置
を制御する。その結果、外径変動の小さい多孔質スート
母材５が得られ、その多孔質スート母材５から得られる
光ファイバの品質が安定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
製造方法及びその装置に関する。
製造方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、１．３μｍ帯零分散シングルモー
ドファイバ（ＳＭＦ）や、１．５５μｍ零分散ファイバ
（ＤＳＦ）の需要が増加したのに伴い、光ファイバの母
材の大型化が必要になってきた。これらの光ファイバの
製造方法としてはＶＡＤ法(vapour phase axitial depo
sition method,気相軸付け法) による外付け全合成法が
知られている。
ドファイバ（ＳＭＦ）や、１．５５μｍ零分散ファイバ
（ＤＳＦ）の需要が増加したのに伴い、光ファイバの母
材の大型化が必要になってきた。これらの光ファイバの
製造方法としてはＶＡＤ法(vapour phase axitial depo
sition method,気相軸付け法) による外付け全合成法が
知られている。
【０００３】図７は光ファイバ母材の製造装置の従来例
を示す図である。
を示す図である。
【０００４】同図において、１はコア部を含む透明ガラ
スロッド２の両端を水平に支持しながら一定の速度で回
転させるチャックである。３は透明ガラスロッド２の真
下で長手方向に一定の速度で往復移動するバーナ支持台
である。４は支柱７及びアーム８を介してバーナ支持台
３に火炎の噴出方向が上向きになるように取り付けられ
たガラス微粒子生成用の石英バーナである。
スロッド２の両端を水平に支持しながら一定の速度で回
転させるチャックである。３は透明ガラスロッド２の真
下で長手方向に一定の速度で往復移動するバーナ支持台
である。４は支柱７及びアーム８を介してバーナ支持台
３に火炎の噴出方向が上向きになるように取り付けられ
たガラス微粒子生成用の石英バーナである。
【０００５】同図に示す装置の石英バーナ４にガラス原
料として四塩化硅素と、燃焼用ガスとして酸水素ガスと
を供給し、酸水素ガスの火炎による加水分解反応によっ
てガラス微粒子を合成する。このガラス微粒子を透明ガ
ラスロッド２の外周に吹き付けて堆積させる。以下、チ
ャック１を回転させると共に、石英バーナ４を透明ガラ
スロッド２に対してその長手方向に往復移動させること
により、所定の外径を有する円柱状の多孔質スート母材
５が形成され、透明ガラスロッド２と多孔質スート母材
５とからなる光ファイバ母材６が製造される（石英バー
ナ４を固定して透明ガラスロッド２を往復移動させる場
合もある）。
料として四塩化硅素と、燃焼用ガスとして酸水素ガスと
を供給し、酸水素ガスの火炎による加水分解反応によっ
てガラス微粒子を合成する。このガラス微粒子を透明ガ
ラスロッド２の外周に吹き付けて堆積させる。以下、チ
ャック１を回転させると共に、石英バーナ４を透明ガラ
スロッド２に対してその長手方向に往復移動させること
により、所定の外径を有する円柱状の多孔質スート母材
５が形成され、透明ガラスロッド２と多孔質スート母材
５とからなる光ファイバ母材６が製造される（石英バー
ナ４を固定して透明ガラスロッド２を往復移動させる場
合もある）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の多孔質スート母材の製造装置は、多孔質スート母材
５の製造時の透明ガラスロッド２の回転数、石英バーナ
４の透明ガラスロッド２に対する相対的長手方向の移動
速度、透明ガラスロッド２を支持するチャック１の回転
中心軸と石英バーナ４のバーナ支持台３との長手方向の
位置関係を一定にしたまま光ファイバ母材６を製造する
ようになっている。
来の多孔質スート母材の製造装置は、多孔質スート母材
５の製造時の透明ガラスロッド２の回転数、石英バーナ
４の透明ガラスロッド２に対する相対的長手方向の移動
速度、透明ガラスロッド２を支持するチャック１の回転
中心軸と石英バーナ４のバーナ支持台３との長手方向の
位置関係を一定にしたまま光ファイバ母材６を製造する
ようになっている。
【０００７】石英バーナ４を往復移動させてガラス微粒
子を透明ガラスロッド２に堆積させることにより、多孔
質スート母材５はその径方向に成長する。その成長に伴
い堆積したガラス微粒子の重量が増加し、多孔質スート
母材５全体に生じるたわみ量δも増加する。さらに、長
手方向の各測定位置におけるたわみ量δの変化率も増加
する。このため、石英バーナ４の火炎の中心軸と多孔質
スート母材５の中心軸との位置関係が、径の成長に伴っ
て変化し、また、多孔質スート母材５の長手方向におい
てもその位置関係が変化してしまう。
子を透明ガラスロッド２に堆積させることにより、多孔
質スート母材５はその径方向に成長する。その成長に伴
い堆積したガラス微粒子の重量が増加し、多孔質スート
母材５全体に生じるたわみ量δも増加する。さらに、長
手方向の各測定位置におけるたわみ量δの変化率も増加
する。このため、石英バーナ４の火炎の中心軸と多孔質
スート母材５の中心軸との位置関係が、径の成長に伴っ
て変化し、また、多孔質スート母材５の長手方向におい
てもその位置関係が変化してしまう。
【０００８】石英バーナ４の火炎の中心軸が多孔質スー
ト母材５の中心軸に対して位置ずれを起こすと、ガラス
微粒子の堆積効率に微妙な変動をきたし、多孔質スート
母材５の外径がその長手方向に変動してしまう。このよ
うな多孔質スート母材５を焼結して透明ガラス化し、線
引きを行って光ファイバを製造しても、もともと多孔質
スート母材５の長手方向で外径が違っているので、光フ
ァイバの構造パラメータに変動が生じ、品質が安定した
製品を得ることができないという問題があった。
ト母材５の中心軸に対して位置ずれを起こすと、ガラス
微粒子の堆積効率に微妙な変動をきたし、多孔質スート
母材５の外径がその長手方向に変動してしまう。このよ
うな多孔質スート母材５を焼結して透明ガラス化し、線
引きを行って光ファイバを製造しても、もともと多孔質
スート母材５の長手方向で外径が違っているので、光フ
ァイバの構造パラメータに変動が生じ、品質が安定した
製品を得ることができないという問題があった。
【０００９】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、長手方向に対する外径変動が小さい多孔質スート母
材を有する光ファイバ母材の製造方法及びその装置を提
供することにある。
し、長手方向に対する外径変動が小さい多孔質スート母
材を有する光ファイバ母材の製造方法及びその装置を提
供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光ファイバ母材の製造方法は、光ファイバの
コア部を含む透明ガラス母材を、２つの回転可能なチャ
ックで水平に両端支持しながら回転させ、石英バーナを
透明ガラス母材の長手方向に移動させると共に酸水素火
炎により生成したガラス微粒子を透明ガラス母材に吹き
付けて堆積させて多孔質スート母材を形成する光ファイ
バ母材の製造方法において、位置修正手段によって多孔
質スートの成長時に発生するたわみ量の測定位置を長手
方向に順次移動させ、たわみによって生じる石英バーナ
と光ファイバ母材との位置関係のずれを修正するもので
ある。
に本発明の光ファイバ母材の製造方法は、光ファイバの
コア部を含む透明ガラス母材を、２つの回転可能なチャ
ックで水平に両端支持しながら回転させ、石英バーナを
透明ガラス母材の長手方向に移動させると共に酸水素火
炎により生成したガラス微粒子を透明ガラス母材に吹き
付けて堆積させて多孔質スート母材を形成する光ファイ
バ母材の製造方法において、位置修正手段によって多孔
質スートの成長時に発生するたわみ量の測定位置を長手
方向に順次移動させ、たわみによって生じる石英バーナ
と光ファイバ母材との位置関係のずれを修正するもので
ある。
【００１１】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、多孔質スート母材のたわみ量を、位置測定
手段によって長手方向に順次測定するため光ファイバ母
材の外周面の位置を測定し、その測定値に基づいて次の
堆積時の石英バーナと光ファイバ母材との位置関係を修
正するのが好ましい。
製造方法は、多孔質スート母材のたわみ量を、位置測定
手段によって長手方向に順次測定するため光ファイバ母
材の外周面の位置を測定し、その測定値に基づいて次の
堆積時の石英バーナと光ファイバ母材との位置関係を修
正するのが好ましい。
【００１２】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、位置修正手段によって石英バーナを鉛直方
向に移動させるようにしてもよい。
製造方法は、位置修正手段によって石英バーナを鉛直方
向に移動させるようにしてもよい。
【００１３】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、位置修正手段によって石英バーナを上下方
向に回動させるようにしてもよい。
製造方法は、位置修正手段によって石英バーナを上下方
向に回動させるようにしてもよい。
【００１４】また、本発明の光ファイバ母材の製造装置
は、光ファイバのコア部を含む透明ガラス母材を水平に
両端支持しながら回転させる２つのチャックと、透明ガ
ラス母材の長手方向に移動すると共に酸水素火炎により
生成したガラス微粒子を透明ガラス母材に吹き付けて堆
積させて多孔質スート母材を形成する石英バーナとを有
する光ファイバ母材の製造装置において、多孔質スート
母材の成長時に発生するたわみ量の測定位置を長手方向
に順次移動させ、たわみによって生じる石英バーナと光
ファイバ母材との位置関係のずれを修正する位置修正手
段を備えたものである。
は、光ファイバのコア部を含む透明ガラス母材を水平に
両端支持しながら回転させる２つのチャックと、透明ガ
ラス母材の長手方向に移動すると共に酸水素火炎により
生成したガラス微粒子を透明ガラス母材に吹き付けて堆
積させて多孔質スート母材を形成する石英バーナとを有
する光ファイバ母材の製造装置において、多孔質スート
母材の成長時に発生するたわみ量の測定位置を長手方向
に順次移動させ、たわみによって生じる石英バーナと光
ファイバ母材との位置関係のずれを修正する位置修正手
段を備えたものである。
【００１５】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造装置は、多孔質スート母材のたわみ量を長手方向に
順次測定するため光ファイバ母材の外周面の位置を測定
し、その測定値に基づいて次の堆積時の石英バーナと光
ファイバ母材との位置関係を修正する位置測定手段を有
するのが好ましい。
製造装置は、多孔質スート母材のたわみ量を長手方向に
順次測定するため光ファイバ母材の外周面の位置を測定
し、その測定値に基づいて次の堆積時の石英バーナと光
ファイバ母材との位置関係を修正する位置測定手段を有
するのが好ましい。
【００１６】上記構成によって、石英バーナを多孔質ス
ート母材の長手方向に往復移動させながらガラス微粒子
を堆積させる際に、同時に多孔質スート母材のたわみ量
を全長にわたって測定し、得られたたわみ量の測定値に
基づいて次の石英バーナの移動のときに石英バーナの位
置を修正する。
ート母材の長手方向に往復移動させながらガラス微粒子
を堆積させる際に、同時に多孔質スート母材のたわみ量
を全長にわたって測定し、得られたたわみ量の測定値に
基づいて次の石英バーナの移動のときに石英バーナの位
置を修正する。
【００１７】すなわち、多孔質スート母材がその成長過
程において、長手方向にたわみが生じても、石英バーナ
の火炎中心軸と多孔質スート母材の回転軸との関係が一
定になるように石英バーナの位置を制御する。その結
果、外径変動の小さい多孔質スート母材が得られ、その
多孔質スート母材から得られる光ファイバの品質が安定
する。
程において、長手方向にたわみが生じても、石英バーナ
の火炎中心軸と多孔質スート母材の回転軸との関係が一
定になるように石英バーナの位置を制御する。その結
果、外径変動の小さい多孔質スート母材が得られ、その
多孔質スート母材から得られる光ファイバの品質が安定
する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００１９】図１は本発明の光ファイバ母材の製造方法
を適用した装置の一実施の形態を示す概念図である。
尚、図７に示した従来例と同様の部材には共通の符号を
用いた。 図１において、１はコア部を含む透明ガラス
ロッド２の両端を水平に支持しながら一定の速度で回転
させるチャックである。３は透明ガラスロッド２の真下
で軸方向に相対的に一定の速度で移動し、透明ガラスロ
ッド２の終端部で移動方向を反転し往復するバーナ支持
台である。バーナ支持台３は、図示しないコンピュータ
からの指示によりアーム８を鉛直方向に微動させること
ができる自動微動機構９を有している。アーム８にはガ
ラス微粒子生成用の石英バーナ４が取り付けられてい
る。１０は多孔質スート母材５の外周面の位置を測定す
る測定器である。測定器１０はバーナ支持台３と連動し
ているので、たわみ量の測定位置を長手方向に順次移動
させることにより、多孔質スート母材５の成長と同時に
測定を行うことができる。測定器１０で得られた測定結
果はコンピュータによって演算処理され、多孔質スート
母材５の長手方向に対するたわみ量δが算出される。コ
ンピュータで得られた長手方向の位置とたわみ量δとの
関係より、石英バーナ４の鉛直方向の移動量ΔＺが求ま
り、バーナ支持台３のアーム８が鉛直方向に移動する。
を適用した装置の一実施の形態を示す概念図である。
尚、図７に示した従来例と同様の部材には共通の符号を
用いた。 図１において、１はコア部を含む透明ガラス
ロッド２の両端を水平に支持しながら一定の速度で回転
させるチャックである。３は透明ガラスロッド２の真下
で軸方向に相対的に一定の速度で移動し、透明ガラスロ
ッド２の終端部で移動方向を反転し往復するバーナ支持
台である。バーナ支持台３は、図示しないコンピュータ
からの指示によりアーム８を鉛直方向に微動させること
ができる自動微動機構９を有している。アーム８にはガ
ラス微粒子生成用の石英バーナ４が取り付けられてい
る。１０は多孔質スート母材５の外周面の位置を測定す
る測定器である。測定器１０はバーナ支持台３と連動し
ているので、たわみ量の測定位置を長手方向に順次移動
させることにより、多孔質スート母材５の成長と同時に
測定を行うことができる。測定器１０で得られた測定結
果はコンピュータによって演算処理され、多孔質スート
母材５の長手方向に対するたわみ量δが算出される。コ
ンピュータで得られた長手方向の位置とたわみ量δとの
関係より、石英バーナ４の鉛直方向の移動量ΔＺが求ま
り、バーナ支持台３のアーム８が鉛直方向に移動する。
【００２０】このような光ファイバ母材の製造装置が作
動すると、多孔質スート母材５がその成長過程におい
て、長手方向にたわみが生じても、石英バーナ４の火炎
中心軸と多孔質スート母材５の中心軸５ａとの関係が一
定になるように石英バーナ４の位置を制御する。その結
果、外径変動の小さい多孔質スート母材５が得られるの
で、透明ガラスロッド２及び多孔質スート母材５からな
る光ファイバ母材６の品質が安定し、光ファイバ母材６
から得られる光ファイバの品質も安定する。
動すると、多孔質スート母材５がその成長過程におい
て、長手方向にたわみが生じても、石英バーナ４の火炎
中心軸と多孔質スート母材５の中心軸５ａとの関係が一
定になるように石英バーナ４の位置を制御する。その結
果、外径変動の小さい多孔質スート母材５が得られるの
で、透明ガラスロッド２及び多孔質スート母材５からな
る光ファイバ母材６の品質が安定し、光ファイバ母材６
から得られる光ファイバの品質も安定する。
【００２１】次に具体的な数値を挙げて説明するが、こ
れに限定されるものではない。
れに限定されるものではない。
【００２２】透明ガラスロッド２として外径φが約３５
ｍｍ、長さが約１６００ｍｍのものを用い、チャック１
の回転数を約５０ｒｐｍ、石英バーナ４の移動速度を約
２００ｍｍ／分とした。石英バーナ４にガラス原料とな
る四塩化硅素を約３０ｇ／分供給し、多孔質スート母材
５の外径φが約２００ｍｍになるまでスート堆積を行っ
た。その間、石英バーナが移動する際に同時に多孔質ス
ート母材の外径とたわみ量とを測定器で測定した。
ｍｍ、長さが約１６００ｍｍのものを用い、チャック１
の回転数を約５０ｒｐｍ、石英バーナ４の移動速度を約
２００ｍｍ／分とした。石英バーナ４にガラス原料とな
る四塩化硅素を約３０ｇ／分供給し、多孔質スート母材
５の外径φが約２００ｍｍになるまでスート堆積を行っ
た。その間、石英バーナが移動する際に同時に多孔質ス
ート母材の外径とたわみ量とを測定器で測定した。
【００２３】図２は多孔質スート母材の中央部のたわみ
量δと外径との関係を示す図であり、横軸が外径を示
し、縦軸がたわみ量を示している。図３は多孔質スート
母材の外径φが約１００ｍｍ、１５０ｍｍ及び２００ｍ
ｍの長手方向の位置とたわみ量δとの関係を示す図であ
り、横軸が長手方向の位置を示し、縦軸がたわみ量を示
す。
量δと外径との関係を示す図であり、横軸が外径を示
し、縦軸がたわみ量を示している。図３は多孔質スート
母材の外径φが約１００ｍｍ、１５０ｍｍ及び２００ｍ
ｍの長手方向の位置とたわみ量δとの関係を示す図であ
り、横軸が長手方向の位置を示し、縦軸がたわみ量を示
す。
【００２４】図２及び図３から多孔質スート母材５の外
径や長手方向の位置によりたわみ量δが異なっているこ
とが分かる。そこでバーナ支持台３の自動微動機構９に
より、たわみ量δに合わせて石英バーナ４の鉛直方向の
位置を変化させた。制御信号は、コンピュータに送ら
れ、リアルタイムに石英バーナ４の火炎の中心軸が多孔
質スート母材５の中心軸５ａに合うように鉛直方向の位
置を制御した。このようにして得られた多孔質スート母
材５の両端の非定常部を除いた外径は全長にわたって外
径φが２００ｍｍ±１ｍｍと非常に安定していた。
径や長手方向の位置によりたわみ量δが異なっているこ
とが分かる。そこでバーナ支持台３の自動微動機構９に
より、たわみ量δに合わせて石英バーナ４の鉛直方向の
位置を変化させた。制御信号は、コンピュータに送ら
れ、リアルタイムに石英バーナ４の火炎の中心軸が多孔
質スート母材５の中心軸５ａに合うように鉛直方向の位
置を制御した。このようにして得られた多孔質スート母
材５の両端の非定常部を除いた外径は全長にわたって外
径φが２００ｍｍ±１ｍｍと非常に安定していた。
【００２５】図４は本発明の光ファイバ母材の製造方法
を適用した装置の他の実施の形態を示す概念図である。
を適用した装置の他の実施の形態を示す概念図である。
【００２６】図１に示した実施の形態との相違点は、多
孔質スート母材のたわみ量δに応じて石英バーナを上下
方向に回動させる点である。
孔質スート母材のたわみ量δに応じて石英バーナを上下
方向に回動させる点である。
【００２７】透明ガラスロッド２の両端が２つのチャッ
ク１で水平（図では紙面に垂直な方向）に支持されなが
ら一定速度で回転する。バーナ支持台３は多孔質スート
母材５の斜め下方で長手方向に往復移動できるようにな
っている。バーナ支持台３には鉛直な支柱１１が取り付
けられており、支柱１１の上端部にはコンピュータから
の指示によってアーム８を上下方向に回動させる角度微
動機構１２が設けられている。アーム８には石英バーナ
４が火炎の噴出方向が斜め上向きになるように取り付け
られている。１０は多孔質スート母材５の外周面の位置
を測定する測定器である。測定器１０はバーナ支持台３
と連動しているので、たわみ量の測定位置を長手方向に
順次移動させることにより、多孔質スート母材５の成長
と同時に測定を行うことができる。測定結果はコンピュ
ータにより演算処理され、多孔質スート母材５のたわみ
量δが算出される。得られた長手方向の位置とたわみ量
δとの関係より、石英バーナ４の保持角度移動量Δθが
求まり、バーナ支持台３のアーム８の角度を変化させる
ことにより、石英バーナ４が上下方向に保持角度θで回
動される。
ク１で水平（図では紙面に垂直な方向）に支持されなが
ら一定速度で回転する。バーナ支持台３は多孔質スート
母材５の斜め下方で長手方向に往復移動できるようにな
っている。バーナ支持台３には鉛直な支柱１１が取り付
けられており、支柱１１の上端部にはコンピュータから
の指示によってアーム８を上下方向に回動させる角度微
動機構１２が設けられている。アーム８には石英バーナ
４が火炎の噴出方向が斜め上向きになるように取り付け
られている。１０は多孔質スート母材５の外周面の位置
を測定する測定器である。測定器１０はバーナ支持台３
と連動しているので、たわみ量の測定位置を長手方向に
順次移動させることにより、多孔質スート母材５の成長
と同時に測定を行うことができる。測定結果はコンピュ
ータにより演算処理され、多孔質スート母材５のたわみ
量δが算出される。得られた長手方向の位置とたわみ量
δとの関係より、石英バーナ４の保持角度移動量Δθが
求まり、バーナ支持台３のアーム８の角度を変化させる
ことにより、石英バーナ４が上下方向に保持角度θで回
動される。
【００２８】このような装置も図１に示した装置と同様
に、多孔質スート母材５がその成長過程において、長手
方向にたわみが生じても、石英バーナ４の火炎中心軸と
多孔質スート母材５の中心軸との関係が一定になるよう
に石英バーナ４の上下方向の角度を制御する。その結
果、外径変動の小さい多孔質スート母材５が得られ、そ
の多孔質スート母材から得られる光ファイバの品質が安
定する。
に、多孔質スート母材５がその成長過程において、長手
方向にたわみが生じても、石英バーナ４の火炎中心軸と
多孔質スート母材５の中心軸との関係が一定になるよう
に石英バーナ４の上下方向の角度を制御する。その結
果、外径変動の小さい多孔質スート母材５が得られ、そ
の多孔質スート母材から得られる光ファイバの品質が安
定する。
【００２９】次に数値を挙げて説明するが限定されるも
のではない。
のではない。
【００３０】透明ガラスロッド２として外径が約３５ｍ
ｍ、長さが約１６００ｍｍのものを用い、その両端に長
さ約８００ｍｍのダミー棒を接続し、チャック１の回転
数を約５０ｒｐｍ、石英バーナ４の移動速度を約２００
ｍｍ／分とした。石英バーナ４にガラス原料となる四塩
化硅素を約３０ｇ／分供給し、多孔質スート母材５の外
径φが２００ｍｍになるまでスート堆積を行った。その
間、石英バーナ４が移動する際に同時に多孔質スート母
材５の外径φとたわみ量δとを測定器１０で測定した。
ｍ、長さが約１６００ｍｍのものを用い、その両端に長
さ約８００ｍｍのダミー棒を接続し、チャック１の回転
数を約５０ｒｐｍ、石英バーナ４の移動速度を約２００
ｍｍ／分とした。石英バーナ４にガラス原料となる四塩
化硅素を約３０ｇ／分供給し、多孔質スート母材５の外
径φが２００ｍｍになるまでスート堆積を行った。その
間、石英バーナ４が移動する際に同時に多孔質スート母
材５の外径φとたわみ量δとを測定器１０で測定した。
【００３１】図５は多孔質スート母材の中央部のたわみ
量δと外径との関係を示す図であり、横軸が外径を示
し、縦軸がたわみ量を示している。図６は多孔質スート
母材の外径φが約１００ｍｍ、１５０ｍｍ及び２００ｍ
ｍの長手方向の位置とたわみ量δとの関係を示す図であ
り、横軸が長手方向の位置を示し、縦軸がたわみ量を示
す。
量δと外径との関係を示す図であり、横軸が外径を示
し、縦軸がたわみ量を示している。図６は多孔質スート
母材の外径φが約１００ｍｍ、１５０ｍｍ及び２００ｍ
ｍの長手方向の位置とたわみ量δとの関係を示す図であ
り、横軸が長手方向の位置を示し、縦軸がたわみ量を示
す。
【００３２】図５及び図６より多孔質スート母材５の外
径や長手方向の位置によりたわみ量δが異なることが分
かる。そこでバーナ支持台３の角度微動機構１２によ
り、たわみ量δに合わせて石英バーナ４の保持角度θを
変化させた。制御信号は、コンピュータに送られ、リア
ルタイムに石英バーナ４の火炎の中心軸４ａが多孔質ス
ート母材５の中心軸に合うように保持角度θを制御し
た。このようにして得られた多孔質スート母材５の両端
の非定常部を除いた外径は全長にわたって外径φが２０
０ｍｍ±１ｍｍと非常に安定していた。
径や長手方向の位置によりたわみ量δが異なることが分
かる。そこでバーナ支持台３の角度微動機構１２によ
り、たわみ量δに合わせて石英バーナ４の保持角度θを
変化させた。制御信号は、コンピュータに送られ、リア
ルタイムに石英バーナ４の火炎の中心軸４ａが多孔質ス
ート母材５の中心軸に合うように保持角度θを制御し
た。このようにして得られた多孔質スート母材５の両端
の非定常部を除いた外径は全長にわたって外径φが２０
０ｍｍ±１ｍｍと非常に安定していた。
【００３３】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３４】(1) 位置修正手段によって多孔質スートの
成長時に発生するたわみ量の測定位置を長手方向に順次
移動させ、たわみによって生じる石英バーナと光ファイ
バ母材との位置関係のずれを修正するので、長手方向に
対する外径変動が小さい多孔質スート母材を有する光フ
ァイバ母材の製造方法の提供を実現することができる。
成長時に発生するたわみ量の測定位置を長手方向に順次
移動させ、たわみによって生じる石英バーナと光ファイ
バ母材との位置関係のずれを修正するので、長手方向に
対する外径変動が小さい多孔質スート母材を有する光フ
ァイバ母材の製造方法の提供を実現することができる。
【００３５】(2) 多孔質スート母材の成長時に発生する
たわみ量の測定位置を長手方向に順次移動させ、たわみ
によって生じる石英バーナと光ファイバ母材との位置関
係のずれを修正する位置修正手段を備えたので、長手方
向に対する外径変動が小さい多孔質スート母材を有する
光ファイバ母材の製造装置の提供を実現することができ
る。
たわみ量の測定位置を長手方向に順次移動させ、たわみ
によって生じる石英バーナと光ファイバ母材との位置関
係のずれを修正する位置修正手段を備えたので、長手方
向に対する外径変動が小さい多孔質スート母材を有する
光ファイバ母材の製造装置の提供を実現することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光ファイバ母材の製造方法を適用した
装置の一実施の形態を示す概念図である。
装置の一実施の形態を示す概念図である。
【図２】多孔質スート母材の中央部のたわみ量δと外径
との関係を示す図である。
との関係を示す図である。
【図３】多孔質スート母材の外径φが約１００ｍｍ、１
５０ｍｍ及び２００ｍｍの長手方向の位置とたわみ量δ
との関係を示す図である。
５０ｍｍ及び２００ｍｍの長手方向の位置とたわみ量δ
との関係を示す図である。
【図４】本発明の光ファイバ母材の製造方法を適用した
装置の他の実施の形態を示す概念図である。
装置の他の実施の形態を示す概念図である。
【図５】多孔質スート母材の中央部のたわみ量δと外径
との関係を示す図である。
との関係を示す図である。
【図６】多孔質スート母材の外径φが約１００ｍｍ、１
５０ｍｍ及び２００ｍｍの長手方向の位置とたわみ量δ
との関係を示す図である。
５０ｍｍ及び２００ｍｍの長手方向の位置とたわみ量δ
との関係を示す図である。
【図７】光ファイバ母材の製造装置の従来例を示す図で
ある。
ある。
１ チャック ４ 石英バーナ ５ 多孔質スート母材 ８ アーム ９ 自動微動機構 １０ 測定器 １２ 角度微動機構 δ たわみ量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 廣瀬 哲也 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社日高工場内
Claims (6)
- 【請求項１】 光ファイバのコア部を含む透明ガラス母
材を、２つの回転可能なチャックで水平に両端支持しな
がら回転させ、石英バーナを上記透明ガラス母材の長手
方向に移動させると共に酸水素火炎により生成したガラ
ス微粒子を上記透明ガラス母材に吹き付けて堆積させて
多孔質スート母材を形成する光ファイバ母材の製造方法
において、位置修正手段によって上記多孔質スートの成
長時に発生するたわみ量の測定位置を長手方向に順次移
動させ、たわみによって生じる石英バーナと光ファイバ
母材との位置関係のずれを修正することを特徴とする光
ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項２】 上記多孔質スート母材のたわみ量を、位
置測定手段によって長手方向に順次測定するため光ファ
イバ母材の外周面の位置を測定し、その測定値に基づい
て次の堆積時の石英バーナと光ファイバ母材との位置関
係を修正する請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方
法。 - 【請求項３】 上記位置修正手段によって上記石英バー
ナを鉛直方向に移動させる請求項１又は２に記載の光フ
ァイバ母材の製造方法。 - 【請求項４】 上記位置修正手段によって上記石英バー
ナを上下方向に回動させる請求項１又は２に記載の光フ
ァイバ母材の製造方法。 - 【請求項５】 光ファイバのコア部を含む透明ガラス母
材を水平に両端支持しながら回転させる２つのチャック
と、上記透明ガラス母材の長手方向に移動すると共に酸
水素火炎により生成したガラス微粒子を上記透明ガラス
母材に吹き付けて堆積させて多孔質スート母材を形成す
る石英バーナとを有する光ファイバ母材の製造装置にお
いて、上記多孔質スート母材の成長時に発生するたわみ
量の測定位置を長手方向に順次移動させ、たわみによっ
て生じる石英バーナと光ファイバ母材との位置関係のず
れを修正する位置修正手段を備えたことを特徴とする光
ファイバ母材の製造装置。 - 【請求項６】 上記多孔質スート母材のたわみ量を長手
方向に順次測定するため光ファイバ母材の外周面の位置
を測定し、その測定値に基づいて次の堆積時の石英バー
ナと光ファイバ母材との位置関係を修正する位置測定手
段を有する請求項５に記載の光ファイバ母材の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7446896A JPH09263420A (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7446896A JPH09263420A (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09263420A true JPH09263420A (ja) | 1997-10-07 |
Family
ID=13548126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7446896A Pending JPH09263420A (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09263420A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100571556B1 (ko) * | 2002-06-24 | 2006-04-17 | 엘에스전선 주식회사 | 원튜브 변형 보정 장치를 구비하는 광섬유 모재 제조장치및 이를 이용한 광섬유 모재 제조방법 |
-
1996
- 1996-03-28 JP JP7446896A patent/JPH09263420A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100571556B1 (ko) * | 2002-06-24 | 2006-04-17 | 엘에스전선 주식회사 | 원튜브 변형 보정 장치를 구비하는 광섬유 모재 제조장치및 이를 이용한 광섬유 모재 제조방법 |
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