JPH092682A - 板体吸着移動器 - Google Patents
板体吸着移動器Info
- Publication number
- JPH092682A JPH092682A JP18761695A JP18761695A JPH092682A JP H092682 A JPH092682 A JP H092682A JP 18761695 A JP18761695 A JP 18761695A JP 18761695 A JP18761695 A JP 18761695A JP H092682 A JPH092682 A JP H092682A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- cylindrical body
- suction
- compressed air
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 板体吸着移動器の板体を吸着すべき面からの
空気吸入量を大にしてその吸着面を板体に押付けなくて
も、また板体に表裏両面間に多数の細孔が開口していて
もその板体を吸着して移動できる簡易でコンパクトな板
体吸着移動器を開発する。 【構成】 圧縮空気導管１を筒体２の中間部内部の長手
方向略軸線上で圧縮空気をして筒体上端方向へ噴出させ
るようにその筒体に配設すると共に、下端面をその下方
に配置されるべき被移動板体４の表面と平行面にした板
体吸着具３を、それが該筒体の下端部開口面積を狭めな
いように、またその下端面が該筒体の下端開口面以下に
位置するように、該筒体の下端部に密着状に周設したう
えで、該筒体を移動具５に固定した板体吸着移動器であ
り、またその複数個を並列状に組合せた板体吸着移動器
の集合体である。
空気吸入量を大にしてその吸着面を板体に押付けなくて
も、また板体に表裏両面間に多数の細孔が開口していて
もその板体を吸着して移動できる簡易でコンパクトな板
体吸着移動器を開発する。 【構成】 圧縮空気導管１を筒体２の中間部内部の長手
方向略軸線上で圧縮空気をして筒体上端方向へ噴出させ
るようにその筒体に配設すると共に、下端面をその下方
に配置されるべき被移動板体４の表面と平行面にした板
体吸着具３を、それが該筒体の下端部開口面積を狭めな
いように、またその下端面が該筒体の下端開口面以下に
位置するように、該筒体の下端部に密着状に周設したう
えで、該筒体を移動具５に固定した板体吸着移動器であ
り、またその複数個を並列状に組合せた板体吸着移動器
の集合体である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック基板、プラ
スチック板、金属板、板紙、木板などの板体を吸引、付
着させつつ適宜箇所へ移動、運搬できる板体吸着移動器
に係り、構造が簡易で形状もコンパクトなうえに、被吸
着物たる板体に多数の表裏間小通孔が存在していたり表
面に多少の凹凸があつてもなお充分吸着して移動できる
程に吸引力の強大な板体吸着移動器に関する。
スチック板、金属板、板紙、木板などの板体を吸引、付
着させつつ適宜箇所へ移動、運搬できる板体吸着移動器
に係り、構造が簡易で形状もコンパクトなうえに、被吸
着物たる板体に多数の表裏間小通孔が存在していたり表
面に多少の凹凸があつてもなお充分吸着して移動できる
程に吸引力の強大な板体吸着移動器に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミック基板その他の板体を吸着移動
させる器具としては従来、真空発生装置に排気導管を介
して連結された吸盤を板体表面に押圧してその吸盤に板
体を吸着させ、ついでその吸盤及び板体を上方へ引上げ
たうえで適宜箇所まで移動させるものであった。
させる器具としては従来、真空発生装置に排気導管を介
して連結された吸盤を板体表面に押圧してその吸盤に板
体を吸着させ、ついでその吸盤及び板体を上方へ引上げ
たうえで適宜箇所まで移動させるものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そのような真空発生装
置に排気導管を介して連結された吸盤による吸着器具で
は、吸盤と真空発生装置との間の流体の圧力差は最高で
１気圧に過ぎず、またそれらの間に介在する比較的長い
排気導管内での流体の圧力損失が大きくて、吸盤から吸
引される空気量は多くないことから、吸盤による被吸着
物たる板体の表面への最初の押圧力が弱くて板体と吸盤
間の密接状態が余り良くないとか、或いは板体表裏間に
細い通孔があるとか板体表面に少々凹凸があるとかの状
況にあるときには、板体を上方へ持上げ得るほどに吸盤
で板体を吸着し得ないというトラブルが発生し勝ちであ
る。また、その排気導管内での流体の圧力損失を小さく
して吸盤から吸引される空気量を多くするべく、その排
気導管を大きな径のものにすると装置全体が嵩高いもの
となって不都合である。本発明はそのような従来の板体
吸着器具を改良して吸引空気量が大きくて吸引力が強
く、吸着面を板体に押しつけなくても板体の吸着が可能
であり、また板体に多数の細かい通孔があったり板体表
面に多少の凹凸があったりしても板体の吸着が可能であ
って、その板体を吸着状態の儘で適宜箇所まで運び得
る、構造簡易でコンパクトな板体吸着移動器を開発する
ことを目的とする。
置に排気導管を介して連結された吸盤による吸着器具で
は、吸盤と真空発生装置との間の流体の圧力差は最高で
１気圧に過ぎず、またそれらの間に介在する比較的長い
排気導管内での流体の圧力損失が大きくて、吸盤から吸
引される空気量は多くないことから、吸盤による被吸着
物たる板体の表面への最初の押圧力が弱くて板体と吸盤
間の密接状態が余り良くないとか、或いは板体表裏間に
細い通孔があるとか板体表面に少々凹凸があるとかの状
況にあるときには、板体を上方へ持上げ得るほどに吸盤
で板体を吸着し得ないというトラブルが発生し勝ちであ
る。また、その排気導管内での流体の圧力損失を小さく
して吸盤から吸引される空気量を多くするべく、その排
気導管を大きな径のものにすると装置全体が嵩高いもの
となって不都合である。本発明はそのような従来の板体
吸着器具を改良して吸引空気量が大きくて吸引力が強
く、吸着面を板体に押しつけなくても板体の吸着が可能
であり、また板体に多数の細かい通孔があったり板体表
面に多少の凹凸があったりしても板体の吸着が可能であ
って、その板体を吸着状態の儘で適宜箇所まで運び得
る、構造簡易でコンパクトな板体吸着移動器を開発する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段及びその作用】本発明は、
圧縮空気導管１を、その先端部ノズルから圧縮空気をし
て筒体２の中間部の内部の、該筒体長手方向の略軸線上
で該筒体上端方向へ噴出させ得る態様に該筒体に配設す
ると共に、下端面がその下方に配置されるべき被移動板
体４の表面と平行面に形成された板体吸着具３を、その
板体吸着具の下端面が該筒体の下端開口面と同位置若し
くはそれよりも下方位置に位置する態様に且つその板体
吸着具が該筒体の下端部開口面積を実質的に狭めない態
様に、該筒体の周壁に密接状にその下方部に周設しつ
つ、該筒体を移動具５に固定してなる板体吸着移動器で
ある。
圧縮空気導管１を、その先端部ノズルから圧縮空気をし
て筒体２の中間部の内部の、該筒体長手方向の略軸線上
で該筒体上端方向へ噴出させ得る態様に該筒体に配設す
ると共に、下端面がその下方に配置されるべき被移動板
体４の表面と平行面に形成された板体吸着具３を、その
板体吸着具の下端面が該筒体の下端開口面と同位置若し
くはそれよりも下方位置に位置する態様に且つその板体
吸着具が該筒体の下端部開口面積を実質的に狭めない態
様に、該筒体の周壁に密接状にその下方部に周設しつ
つ、該筒体を移動具５に固定してなる板体吸着移動器で
ある。
【０００５】このような板体吸着移動器では、セラミッ
ク基板などの被移動板体４を板体吸着具３の下端面の下
方にそれに接近させつつその板体吸着具の下端面と該板
体の表面とが平行状となるように配置したのち、板体吸
着移動器の筒体２内の圧縮空気導管１の先端部ノズルか
ら圧縮空気を該筒体上端方向へ噴出させると、空気エジ
ェクターの原理に従って該筒体内の下方部は減圧状態に
なると共に筒体下端面から何らの圧力損失もなく強力に
外気を吸引するので、その吸引気流に引寄せられて該被
移動板体は自動的に該板体吸着具の下端面に吸い着くよ
うになる。そして移動具５を作動させることによって該
被移動板体は所定箇所の上まで該板体吸着具に吸い着い
た状態で運ばれるが、そこで該圧縮空気導管の先端部ノ
ズルからの圧縮空気の噴出を止めることによって、該板
体は該板体吸着具の下端面から脱着してその所定箇所上
に載置され、所定の該板体の移動が完了するようにな
る。
ク基板などの被移動板体４を板体吸着具３の下端面の下
方にそれに接近させつつその板体吸着具の下端面と該板
体の表面とが平行状となるように配置したのち、板体吸
着移動器の筒体２内の圧縮空気導管１の先端部ノズルか
ら圧縮空気を該筒体上端方向へ噴出させると、空気エジ
ェクターの原理に従って該筒体内の下方部は減圧状態に
なると共に筒体下端面から何らの圧力損失もなく強力に
外気を吸引するので、その吸引気流に引寄せられて該被
移動板体は自動的に該板体吸着具の下端面に吸い着くよ
うになる。そして移動具５を作動させることによって該
被移動板体は所定箇所の上まで該板体吸着具に吸い着い
た状態で運ばれるが、そこで該圧縮空気導管の先端部ノ
ズルからの圧縮空気の噴出を止めることによって、該板
体は該板体吸着具の下端面から脱着してその所定箇所上
に載置され、所定の該板体の移動が完了するようにな
る。
【０００６】この場合、該筒体内下方部で発生する減圧
状態は何らの排気管を介在させることなく該筒体の下端
部から外気を吸引するように働くので、圧縮空気導管の
先端部ノズルから噴出させる圧縮空気量を増やせばそれ
に直接的に相応してその外気吸引量を増やして大きなも
のにすることができ、従来の真空発生装置と板体に密着
すべき吸盤との間に排気導管を配する場合に較べると、
格段にその外気吸引量を大とすることができ、ために、
従来の板体吸着器具では吸着操作が困難であった、吸盤
の下端面と該被移動板体の表面との間に少し隙間が空い
ているとか、該被移動板体の表面に印刷樹脂の点在によ
る凹凸があるとか、また被移動板体の表裏間にその板体
の後処理用に必要な多数の細かい通孔があるといったよ
うに吸盤内の真空度乃至減圧度を充分に維持し難い場合
であっても、別段の支障もなく、該被移動板体が該板体
吸着具の下端面に自動的に且つ安定的に吸い着き得るよ
うになる。
状態は何らの排気管を介在させることなく該筒体の下端
部から外気を吸引するように働くので、圧縮空気導管の
先端部ノズルから噴出させる圧縮空気量を増やせばそれ
に直接的に相応してその外気吸引量を増やして大きなも
のにすることができ、従来の真空発生装置と板体に密着
すべき吸盤との間に排気導管を配する場合に較べると、
格段にその外気吸引量を大とすることができ、ために、
従来の板体吸着器具では吸着操作が困難であった、吸盤
の下端面と該被移動板体の表面との間に少し隙間が空い
ているとか、該被移動板体の表面に印刷樹脂の点在によ
る凹凸があるとか、また被移動板体の表裏間にその板体
の後処理用に必要な多数の細かい通孔があるといったよ
うに吸盤内の真空度乃至減圧度を充分に維持し難い場合
であっても、別段の支障もなく、該被移動板体が該板体
吸着具の下端面に自動的に且つ安定的に吸い着き得るよ
うになる。
【０００７】そして、この板体吸着移動器では前述のご
とく筒体下端部からの外気吸引量を従来の排気管に連結
された吸盤に較べると格段に大となし得て、板体吸着具
の下端面を被移動板体の表面に密接させなくても、（も
とより密接させてもよいが）、被移動板体をその板体吸
着具の下端面に吸い着かせることができるので、従来の
板体の吸着器具におけるようにその吸着操作に際して最
初に一旦、吸盤を押下げて被移動板体表面に密着させる
単位操作が不要となる作用効果が得られることになる。
また、構造が筒体に圧縮空気導管を組合せた程度の簡易
なものであり、従来の板体の吸着器具における吸盤と同
程度の嵩の低いコンパクトなものとなし得るので、種々
な既存の機器でその吸盤に代えて使用することも容易に
できる。更に、従来の板体の吸着器具では必須のもので
あった真空発生装置並びにそれに連結される排気導管を
省いて、一般的に工場などでは得られ易い圧縮空気を用
い且つ内部流体が圧縮状態にあるので比較的小径のもの
で済む圧縮空気導管だけが新たに必要となる板体吸着移
動器であることから設備並びにその運転費用も甚だ経済
的となる。
とく筒体下端部からの外気吸引量を従来の排気管に連結
された吸盤に較べると格段に大となし得て、板体吸着具
の下端面を被移動板体の表面に密接させなくても、（も
とより密接させてもよいが）、被移動板体をその板体吸
着具の下端面に吸い着かせることができるので、従来の
板体の吸着器具におけるようにその吸着操作に際して最
初に一旦、吸盤を押下げて被移動板体表面に密着させる
単位操作が不要となる作用効果が得られることになる。
また、構造が筒体に圧縮空気導管を組合せた程度の簡易
なものであり、従来の板体の吸着器具における吸盤と同
程度の嵩の低いコンパクトなものとなし得るので、種々
な既存の機器でその吸盤に代えて使用することも容易に
できる。更に、従来の板体の吸着器具では必須のもので
あった真空発生装置並びにそれに連結される排気導管を
省いて、一般的に工場などでは得られ易い圧縮空気を用
い且つ内部流体が圧縮状態にあるので比較的小径のもの
で済む圧縮空気導管だけが新たに必要となる板体吸着移
動器であることから設備並びにその運転費用も甚だ経済
的となる。
【０００８】なお、この板体吸着移動器の筒体下端部に
周設されるべき板体吸着具は、それに被移動板体が吸着
したときに、相互の密着性を高めてその吸着状態をより
安定化させるためにゴム、プラスチックなどの弾性体と
か柔軟体で構成されるのが好ましいのはいうまでもな
い。また、この板体吸着移動器の筒体は円筒体であるこ
とが好ましいが、それが少々変形した楕円筒体とか多角
筒体であっても機能に別段の支障は来さない。
周設されるべき板体吸着具は、それに被移動板体が吸着
したときに、相互の密着性を高めてその吸着状態をより
安定化させるためにゴム、プラスチックなどの弾性体と
か柔軟体で構成されるのが好ましいのはいうまでもな
い。また、この板体吸着移動器の筒体は円筒体であるこ
とが好ましいが、それが少々変形した楕円筒体とか多角
筒体であっても機能に別段の支障は来さない。
【０００９】請求項２の発明は、並列状に配置されるべ
き複数個の板体を同時進行状に吸着移動させたり、或い
は１個の板体吸着移動器ではとても吸着移動できない大
きな表面積を持つ板体を吸着移動させたりするための板
体吸着移動器の集合体であって、複数個の請求項１記載
の板体吸着移動器を、前後又は／及び左右に並列状に組
合せてなる板体吸着移動器の集合体である。この板体吸
着移動器集合体によれば適宜の相互間距離を置きつつ前
後とか左右に並列状に配置された多数の板体とか或いは
前後巾及び左右巾の大きな広い表面積を持つ板体でも、
板体表面部を前述同様にそれぞれの筒体下端部の板体吸
着具で吸着しつつ所定の距離間を移動させることができ
るようになる。
き複数個の板体を同時進行状に吸着移動させたり、或い
は１個の板体吸着移動器ではとても吸着移動できない大
きな表面積を持つ板体を吸着移動させたりするための板
体吸着移動器の集合体であって、複数個の請求項１記載
の板体吸着移動器を、前後又は／及び左右に並列状に組
合せてなる板体吸着移動器の集合体である。この板体吸
着移動器集合体によれば適宜の相互間距離を置きつつ前
後とか左右に並列状に配置された多数の板体とか或いは
前後巾及び左右巾の大きな広い表面積を持つ板体でも、
板体表面部を前述同様にそれぞれの筒体下端部の板体吸
着具で吸着しつつ所定の距離間を移動させることができ
るようになる。
【００１０】
【実施例】図１および図２に示すごとく、外周部がその
中間部下方で段付き状に小径部とされ且つその小径部の
下方部外周面には雄螺子が刻設された円筒体２に対し
て、その小径部に嵌合する円孔が中央部の上下面間に開
設されると共に上層一側部に平面台形の突状片が付設さ
れたかたちの角柱体６を、その上面の該円孔周縁を前記
円筒体２の外周部の段付き部に当接させる態様に装着す
る。そして圧縮空気源に連結された鈎形状の圧縮空気導
管１を、該角柱体６の平面台形の突状片中央部の上下面
間に開設された導管用孔、該角柱体６の下面一部に刻設
された導管用溝、並びに該円筒体２の中間下方部周壁の
一部に開設された導管用開口を経由して該円筒体内へ挿
入しながら、その導管の先端部ノズルから該円筒体２の
中間部内部の長手方向軸線上で該円筒体上端方向へ各図
の矢印のごとく圧縮空気を噴出させ得る態様にしつつ、
該円筒体に配設する。
中間部下方で段付き状に小径部とされ且つその小径部の
下方部外周面には雄螺子が刻設された円筒体２に対し
て、その小径部に嵌合する円孔が中央部の上下面間に開
設されると共に上層一側部に平面台形の突状片が付設さ
れたかたちの角柱体６を、その上面の該円孔周縁を前記
円筒体２の外周部の段付き部に当接させる態様に装着す
る。そして圧縮空気源に連結された鈎形状の圧縮空気導
管１を、該角柱体６の平面台形の突状片中央部の上下面
間に開設された導管用孔、該角柱体６の下面一部に刻設
された導管用溝、並びに該円筒体２の中間下方部周壁の
一部に開設された導管用開口を経由して該円筒体内へ挿
入しながら、その導管の先端部ノズルから該円筒体２の
中間部内部の長手方向軸線上で該円筒体上端方向へ各図
の矢印のごとく圧縮空気を噴出させ得る態様にしつつ、
該円筒体に配設する。
【００１１】そして円筒体２の前記小径部の下方部外周
面の雄螺子に螺合する雌螺子が内周面に刻設された短管
７の外周面に、下端面が下記するごとくその下方に配置
されるべき被移動板体４の表面と平行面に形成された軟
質弾性体であるフォームラバー製の厚肉環体８が、その
下端面が該短管７の下面よりも少し下方に位置するよう
にしつつ密着状に嵌着されてなる板体吸着具３を、該角
柱体６の下面側に移動具５の一部であるアングル材９
の、該円筒体２の挿通孔を有する平板部を介在させ、ま
た必要に応じて同様に該円筒体の挿通孔を有するパッキ
ングなり座金を更に介在させたうえで、該雄螺子と該雌
螺子とを螺合させながら該円筒体２の下端から、その円
筒体下端面が該短管７の下面よりも下方に位置すること
がないように、螺入して締付けることによって、該円筒
体２を移動具５の一部である該アングル材９の平板部に
固定するようにすると共に、前記した圧縮空気導管１
の、該角柱体６の下面一部の導管用溝部を通過する部分
をそのアングル材の平板部で押上げてその部分の圧縮空
気導管をしてその導管用溝の上縁部に当接させつつ固定
し、本発明に係る板体吸着移動器としたものである。
面の雄螺子に螺合する雌螺子が内周面に刻設された短管
７の外周面に、下端面が下記するごとくその下方に配置
されるべき被移動板体４の表面と平行面に形成された軟
質弾性体であるフォームラバー製の厚肉環体８が、その
下端面が該短管７の下面よりも少し下方に位置するよう
にしつつ密着状に嵌着されてなる板体吸着具３を、該角
柱体６の下面側に移動具５の一部であるアングル材９
の、該円筒体２の挿通孔を有する平板部を介在させ、ま
た必要に応じて同様に該円筒体の挿通孔を有するパッキ
ングなり座金を更に介在させたうえで、該雄螺子と該雌
螺子とを螺合させながら該円筒体２の下端から、その円
筒体下端面が該短管７の下面よりも下方に位置すること
がないように、螺入して締付けることによって、該円筒
体２を移動具５の一部である該アングル材９の平板部に
固定するようにすると共に、前記した圧縮空気導管１
の、該角柱体６の下面一部の導管用溝部を通過する部分
をそのアングル材の平板部で押上げてその部分の圧縮空
気導管をしてその導管用溝の上縁部に当接させつつ固定
し、本発明に係る板体吸着移動器としたものである。
【００１２】この板体吸着移動器は前述のごとく、その
円筒体２の下端部にある板体吸着具３の下方のそれに接
近した該板体吸着具の下端面との平行面上位置へ、図面
に鎖線で示すようにセラミック基板などの被移動板体４
を適宜の板体配置具１０上に載せて運んだのち、圧縮空
気導管１の先端部ノズルから圧縮空気を噴出させること
によって、その被移動板体４が自動的に該板体吸着具の
下端面に吸い着き、ついでその吸い着いた状態の儘で該
移動具５の作動によって適宜箇所上まで運ばれたのち、
その圧縮空気の噴出操作の停止によって該板体吸着具の
下端面から脱着しつつその箇所上へ載置されるようにな
る。
円筒体２の下端部にある板体吸着具３の下方のそれに接
近した該板体吸着具の下端面との平行面上位置へ、図面
に鎖線で示すようにセラミック基板などの被移動板体４
を適宜の板体配置具１０上に載せて運んだのち、圧縮空
気導管１の先端部ノズルから圧縮空気を噴出させること
によって、その被移動板体４が自動的に該板体吸着具の
下端面に吸い着き、ついでその吸い着いた状態の儘で該
移動具５の作動によって適宜箇所上まで運ばれたのち、
その圧縮空気の噴出操作の停止によって該板体吸着具の
下端面から脱着しつつその箇所上へ載置されるようにな
る。
【００１３】
【発明の効果】前述したごとく本発明の板体吸着移動器
又はその集合体は、その操作に際して板体を敢えてその
板体吸着具の下端面に密着乃至接触させるようにしなく
ても、また従来の板体吸着移動器具では吸着困難であっ
た表裏面間に多数の通孔のある板体などに対してでも、
所定の板体の吸着移動操作を充分遂行できるので吸着移
動操作の簡略化並びに吸着機能の増進に効果があり、ま
た従来の板体吸着移動機具に必要であった真空発生装置
及び排気導管の設置を省略できるので設備費及び運転費
の節減にも効果があると共に、更に構造が甚だ簡易であ
ると共にコンパクトで嵩の低いものに構成できるので、
製造並びに保守が容易なうえに場所を余り選ぶことなく
使用できて用途の拡大にも貢献することになる。
又はその集合体は、その操作に際して板体を敢えてその
板体吸着具の下端面に密着乃至接触させるようにしなく
ても、また従来の板体吸着移動器具では吸着困難であっ
た表裏面間に多数の通孔のある板体などに対してでも、
所定の板体の吸着移動操作を充分遂行できるので吸着移
動操作の簡略化並びに吸着機能の増進に効果があり、ま
た従来の板体吸着移動機具に必要であった真空発生装置
及び排気導管の設置を省略できるので設備費及び運転費
の節減にも効果があると共に、更に構造が甚だ簡易であ
ると共にコンパクトで嵩の低いものに構成できるので、
製造並びに保守が容易なうえに場所を余り選ぶことなく
使用できて用途の拡大にも貢献することになる。
【図１】本発明の板体吸着移動器の一実施例の斜視図
【図２】第１図実施例の要部中央縦断側面図
１ 圧縮空気導管 ２ 筒体 ３ 板体吸着具 ４ 被移動板体 ５ 移動具
Claims (2)
- 【請求項１】 圧縮空気導管（１）を、その先端部ノズ
ルから圧縮空気をして筒体（２）の中間部の内部の、該
筒体長手方向の略軸線上で該筒体上端方向へ噴出させ得
る態様に該筒体に配設すると共に、下端面がその下方に
配置されるべき被移動板体（４）の表面と平行面に形成
された板体吸着具（３）を、その下端面が該筒体の下端
開口面と同位置若しくはそれよりも下方位置に位置する
態様に且つその板体吸着具が該筒体の下端部開口面積を
実質的に狭めない態様に、該筒体の周壁に密接状にその
下方部に周設しつつ、該筒体を移動具（５）に固定した
ことを特徴とする板体吸着移動器 - 【請求項２】 複数個の請求項１記載の板体吸着移動器
を、前後又は／及び左右に並列状に組合せてなる板体吸
着移動器の集合体
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18761695A JPH092682A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | 板体吸着移動器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18761695A JPH092682A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | 板体吸着移動器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH092682A true JPH092682A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=16209232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18761695A Pending JPH092682A (ja) | 1995-06-19 | 1995-06-19 | 板体吸着移動器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH092682A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2924373A1 (fr) * | 2007-12-04 | 2009-06-05 | Sidel Participations | Outillage a ventouse (s) pour robot de manipulation |
| CN101637910A (zh) * | 2008-07-30 | 2010-02-03 | J.施迈茨有限公司 | 通过压缩空气驱动的平面真空夹子 |
| EP2222587A4 (en) * | 2007-12-19 | 2011-08-10 | Autolabel Ab | DEVICE FOR A TOOL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| EP2562104A1 (de) * | 2011-08-20 | 2013-02-27 | Festo AG & Co. KG | Unterdruck-Haltevorrichtung |
| JP2013166640A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Seki Kogyo Kk | 真空吸着ヘッド及び該真空吸着ヘッドを有する物品供給装置 |
| JP2013248721A (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Nichimo Co Ltd | 搬送装置 |
| KR101368087B1 (ko) * | 2011-07-29 | 2014-02-26 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치, 기판유지장치 및 기판유지방법 |
| WO2017212889A1 (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 株式会社ハーモテック | 旋回流形成体及び吸引装置 |
| EP3784609A4 (en) * | 2018-04-22 | 2022-03-02 | Zenrobotics OY | WASTE SORTING GANTRY ROBOT |
| US11660762B2 (en) | 2018-05-11 | 2023-05-30 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting robot |
| US12064792B2 (en) | 2020-10-28 | 2024-08-20 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting robot with gripper that releases waste object at a throw position |
| US12122046B2 (en) | 2020-06-24 | 2024-10-22 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting robot |
| US12151371B2 (en) | 2018-04-22 | 2024-11-26 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting gantry robot |
-
1995
- 1995-06-19 JP JP18761695A patent/JPH092682A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2924373A1 (fr) * | 2007-12-04 | 2009-06-05 | Sidel Participations | Outillage a ventouse (s) pour robot de manipulation |
| EP2222587A4 (en) * | 2007-12-19 | 2011-08-10 | Autolabel Ab | DEVICE FOR A TOOL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| CN101637910A (zh) * | 2008-07-30 | 2010-02-03 | J.施迈茨有限公司 | 通过压缩空气驱动的平面真空夹子 |
| EP2149517A3 (de) * | 2008-07-30 | 2010-09-15 | J. Schmalz GmbH | Mit Druckluft betriebener Flächensauggreifer |
| US8267386B2 (en) | 2008-07-30 | 2012-09-18 | J. Schmalz Gmbh | Pneumatically actuated area vacuum gripper |
| KR101368087B1 (ko) * | 2011-07-29 | 2014-02-26 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치, 기판유지장치 및 기판유지방법 |
| US8832924B2 (en) | 2011-07-29 | 2014-09-16 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus, substrate holding apparatus, and method of holding substrate |
| EP2562104A1 (de) * | 2011-08-20 | 2013-02-27 | Festo AG & Co. KG | Unterdruck-Haltevorrichtung |
| JP2013166640A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Seki Kogyo Kk | 真空吸着ヘッド及び該真空吸着ヘッドを有する物品供給装置 |
| JP2013248721A (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Nichimo Co Ltd | 搬送装置 |
| WO2017212889A1 (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 株式会社ハーモテック | 旋回流形成体及び吸引装置 |
| EP3784609A4 (en) * | 2018-04-22 | 2022-03-02 | Zenrobotics OY | WASTE SORTING GANTRY ROBOT |
| US11851292B2 (en) | 2018-04-22 | 2023-12-26 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting gantry robot |
| US12151371B2 (en) | 2018-04-22 | 2024-11-26 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting gantry robot |
| US11660762B2 (en) | 2018-05-11 | 2023-05-30 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting robot |
| US12122046B2 (en) | 2020-06-24 | 2024-10-22 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting robot |
| US12064792B2 (en) | 2020-10-28 | 2024-08-20 | Mp Zenrobotics Oy | Waste sorting robot with gripper that releases waste object at a throw position |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH092682A (ja) | 板体吸着移動器 | |
| EP1779758A3 (en) | Vacuum cleaner | |
| CN102730411A (zh) | 配备有喷射器的吸入设备 | |
| JPH0983193A (ja) | 電子部品実装機の部品吸着ヘッド | |
| CN219132011U (zh) | 吸盘治具及加工设备 | |
| TW200503133A (en) | Bonding device and bonding tool | |
| KR101597975B1 (ko) | 진공 흡착용 멀티-디스크 및 그것을 이용한 진공 그리퍼 장치 | |
| JP2001213367A (ja) | 負圧調整機構を備えた吸い込み装置 | |
| KR20180115942A (ko) | 부품 실장기용 테이프 박리기 | |
| CN210504666U (zh) | 取料机构 | |
| CN118343584A (zh) | 用于柔性生产的真空吸盘 | |
| JPH08264995A (ja) | 吸着ヘッド | |
| US11673276B2 (en) | Suction assembly and suction device having suction assembly | |
| JP2000185890A (ja) | 吸着装置 | |
| JP2733691B2 (ja) | 移動具 | |
| JPH0342432A (ja) | 吸着具 | |
| JP3977904B2 (ja) | 電子部品実装機の部品吸着ヘッド | |
| CN219619580U (zh) | 一种撕膜装置 | |
| JPH10296196A (ja) | 可動体が組み込まれた製品の異物除去装置 | |
| JPH04271862A (ja) | 着脱式供給容器 | |
| JPS6218317B2 (ja) | ||
| JP2594608Y2 (ja) | 気体供給用接続装置 | |
| KR20010010855A (ko) | 진공 흡착 패드 | |
| JPH11159519A (ja) | 凹凸面に取り付けられる吸盤 | |
| KR20180009186A (ko) | 흡착 엔드 이펙터 |