JPH09281188A - Ic試験装置 - Google Patents
Ic試験装置Info
- Publication number
- JPH09281188A JPH09281188A JP8092205A JP9220596A JPH09281188A JP H09281188 A JPH09281188 A JP H09281188A JP 8092205 A JP8092205 A JP 8092205A JP 9220596 A JP9220596 A JP 9220596A JP H09281188 A JPH09281188 A JP H09281188A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- performance board
- voltage
- testing device
- current
- Prior art date
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- Withdrawn
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 校正に要する時間を短時間に済ませることが
できるIC試験装置を提供する。 【解決手段】 IC試験装置に備えた直流試験装置を利
用して試験装置の各部の電圧値及び電流値を校正するI
C試験装置において、試験装置20とパフォーマンスボ
ード10との間に、これら間を電気的に切離す切離手段
60を設けた。
できるIC試験装置を提供する。 【解決手段】 IC試験装置に備えた直流試験装置を利
用して試験装置の各部の電圧値及び電流値を校正するI
C試験装置において、試験装置20とパフォーマンスボ
ード10との間に、これら間を電気的に切離す切離手段
60を設けた。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はICが正常に動作
するか否かを試験するIC試験装置に関する。
するか否かを試験するIC試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3に従来のIC試験装置の概略の構成
を示す。図中10はパフォーマンスボード、11はこの
パフォーマンスボード10に搭載したICソケット、1
2はこのICソケット11に接触させた被試験IC、1
3はパフォーマンスボード10を電気的に試験装置に接
続するためのテストヘッド、14はテストヘッド13の
上面に突出して設けられたポゴピンと呼ばれる接触子を
示す。被試験IC12の各端子はこの接触子14とケー
ブル15を介して試験装置20に接続される。
を示す。図中10はパフォーマンスボード、11はこの
パフォーマンスボード10に搭載したICソケット、1
2はこのICソケット11に接触させた被試験IC、1
3はパフォーマンスボード10を電気的に試験装置に接
続するためのテストヘッド、14はテストヘッド13の
上面に突出して設けられたポゴピンと呼ばれる接触子を
示す。被試験IC12の各端子はこの接触子14とケー
ブル15を介して試験装置20に接続される。
【0003】試験装置20は被試験IC12の動作を試
験する機能試験装置30と、被試験IC12の各端子の
直流特性を測定するための直流試験装置40と、被試験
IC12の負荷試験を行なうプログラムロードテスト装
置50とを具備して構成される。図では被試験IC12
の1つの端子を試験する構成だけを示している。機能試
験装置30は試験パターン信号を被試験IC12に与え
るドライバ31と、被試験IC12の出力信号の波形が
所定の電圧の範囲に入っているか否かを判定するコンパ
レータ32とを具備し、これらドライバ31とコンパレ
ータ32を介して被試験IC12との信号の授受を行な
う。
験する機能試験装置30と、被試験IC12の各端子の
直流特性を測定するための直流試験装置40と、被試験
IC12の負荷試験を行なうプログラムロードテスト装
置50とを具備して構成される。図では被試験IC12
の1つの端子を試験する構成だけを示している。機能試
験装置30は試験パターン信号を被試験IC12に与え
るドライバ31と、被試験IC12の出力信号の波形が
所定の電圧の範囲に入っているか否かを判定するコンパ
レータ32とを具備し、これらドライバ31とコンパレ
ータ32を介して被試験IC12との信号の授受を行な
う。
【0004】直流試験装置40は正確な値を持つ電圧を
発生する電圧発生器と、正確な値を持つ電流を出力する
電流発生器と、電圧、電流測定器等を具備し、被試験I
C12の端子に所定の電圧を与えた状態で予定した電流
が流れるか否かを見る電圧印加電流測定試験と、被試験
IC12の端子に所定の電流を流した状態でその端子に
予定した電圧が発生するか否かを見る電流印加電圧測定
試験を行なう。
発生する電圧発生器と、正確な値を持つ電流を出力する
電流発生器と、電圧、電流測定器等を具備し、被試験I
C12の端子に所定の電圧を与えた状態で予定した電流
が流れるか否かを見る電圧印加電流測定試験と、被試験
IC12の端子に所定の電流を流した状態でその端子に
予定した電圧が発生するか否かを見る電流印加電圧測定
試験を行なう。
【0005】プログラムロードテスト装置50は負荷抵
抗器51と、ダイオードブリッジ52と、電流源53,
54と、可変電圧源55と、スイッチ56とを具備して
構成される。スイッチ56をオンの状態に設定し、被試
験IC12の端子に負荷抵抗器51を接続した状態で被
試験IC12から信号を出力させる。この信号の波形を
機能試験装置30に設けたコンパレータを通じて取り込
み、立上り速度、立下り速度を計測し、出力波形の立上
り速度及び立下り速度が予定した規格の範囲に入ってい
るか否かを試験する。また、他の試験として、スイッチ
56をオフに設定し、可変電圧源55の電圧を被試験I
C12の出力波形の中間の電圧VTに設定し、被試験I
C12から出力信号を出力させる。出力信号がL論理に
ある状態では被試験IC12の端子の電圧が可変電圧源
55に設定した電圧VTより低いので、ダイオードブリ
ッジ52を通じて電流源53を流れる電流IPが被試験
IC12の端子に流れ込む状態となる。また、被試験I
C12の端子がH論理を出力した状態では、この端子の
電圧が可変電圧源55の電圧VTより高くなるので、こ
の場合には被試験IC12の端子から電流INが流れ出
し、この電流INが電流源54に吸引される。この試験
により、被試験IC12がL論理の状態と、H論理の状
態で出力端子に所定の電流を出力するか否かを試験して
いる。
抗器51と、ダイオードブリッジ52と、電流源53,
54と、可変電圧源55と、スイッチ56とを具備して
構成される。スイッチ56をオンの状態に設定し、被試
験IC12の端子に負荷抵抗器51を接続した状態で被
試験IC12から信号を出力させる。この信号の波形を
機能試験装置30に設けたコンパレータを通じて取り込
み、立上り速度、立下り速度を計測し、出力波形の立上
り速度及び立下り速度が予定した規格の範囲に入ってい
るか否かを試験する。また、他の試験として、スイッチ
56をオフに設定し、可変電圧源55の電圧を被試験I
C12の出力波形の中間の電圧VTに設定し、被試験I
C12から出力信号を出力させる。出力信号がL論理に
ある状態では被試験IC12の端子の電圧が可変電圧源
55に設定した電圧VTより低いので、ダイオードブリ
ッジ52を通じて電流源53を流れる電流IPが被試験
IC12の端子に流れ込む状態となる。また、被試験I
C12の端子がH論理を出力した状態では、この端子の
電圧が可変電圧源55の電圧VTより高くなるので、こ
の場合には被試験IC12の端子から電流INが流れ出
し、この電流INが電流源54に吸引される。この試験
により、被試験IC12がL論理の状態と、H論理の状
態で出力端子に所定の電流を出力するか否かを試験して
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述したように試験装
置20は各種の試験を行なうが、試験の信頼性を確保す
るためには各試験装置の出力電圧、出力電流が正しく校
正されていなければならない。例えば機能試験装置30
ではドライバ31から出力される試験パターン信号のL
論理の電圧、H論理の電圧が正しく設定されているか否
か、コンパレータのスレッシュホールド電圧が予定して
いる電圧に設定されているか否か、或はプログラムロー
ドテスト装置50では電流源53と54の電流が予め予
定した電流値に設定されているか否か、可変電圧源55
の電圧が正しい値であるか否か、等を校正する必要があ
る。
置20は各種の試験を行なうが、試験の信頼性を確保す
るためには各試験装置の出力電圧、出力電流が正しく校
正されていなければならない。例えば機能試験装置30
ではドライバ31から出力される試験パターン信号のL
論理の電圧、H論理の電圧が正しく設定されているか否
か、コンパレータのスレッシュホールド電圧が予定して
いる電圧に設定されているか否か、或はプログラムロー
ドテスト装置50では電流源53と54の電流が予め予
定した電流値に設定されているか否か、可変電圧源55
の電圧が正しい値であるか否か、等を校正する必要があ
る。
【0007】これらの校正を行なう場合、直流試験装置
40に設けられた電圧発生器、電流発生器と、電圧、電
流測定器を利用して校正を行なっている。この校正を行
なう場合、従来はパフォーマンスボード10を取外し、
ケーブル15の先に何も接続されない状態にして各部の
電圧、電流を直流試験装置40によって測定している。
つまり、パフォーマンスボード10には各種の回路が接
続されているため、パフォーマンスボード10上の回路
が負荷となって校正に影響を与えるため、パフォーマン
スボード10を取外して校正を行なう必要がある。
40に設けられた電圧発生器、電流発生器と、電圧、電
流測定器を利用して校正を行なっている。この校正を行
なう場合、従来はパフォーマンスボード10を取外し、
ケーブル15の先に何も接続されない状態にして各部の
電圧、電流を直流試験装置40によって測定している。
つまり、パフォーマンスボード10には各種の回路が接
続されているため、パフォーマンスボード10上の回路
が負荷となって校正に影響を与えるため、パフォーマン
スボード10を取外して校正を行なう必要がある。
【0008】パフォーマンスボード10をテストヘッド
13から取外すには少なくとも数人の人手を要し、簡単
な作業でなく、取外しとその復旧作業だけで長い時間が
とられ、更に校正作業に要する時間が加わるため、ダウ
ンタイム(不作動時間)が長くなる。この結果IC試験
の効率が悪くなる欠点がある。この発明の目的は校正作
業を短時間に済ませることができるIC試験装置を提供
しようとするものである。
13から取外すには少なくとも数人の人手を要し、簡単
な作業でなく、取外しとその復旧作業だけで長い時間が
とられ、更に校正作業に要する時間が加わるため、ダウ
ンタイム(不作動時間)が長くなる。この結果IC試験
の効率が悪くなる欠点がある。この発明の目的は校正作
業を短時間に済ませることができるIC試験装置を提供
しようとするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明では被試験IC
の各端子の直流特性を試験する直流試験装置を利用して
ICの機能試験を行なう機能試験装置及びプログラムロ
ードテスト装置の各部の電圧値及び電流値を校正するI
C試験装置において、試験装置とパフォーマンスボード
との間にパフォーマンスボードを電気的に切離す手段を
設けた構成とするものである。
の各端子の直流特性を試験する直流試験装置を利用して
ICの機能試験を行なう機能試験装置及びプログラムロ
ードテスト装置の各部の電圧値及び電流値を校正するI
C試験装置において、試験装置とパフォーマンスボード
との間にパフォーマンスボードを電気的に切離す手段を
設けた構成とするものである。
【0010】この発明の構成によれば試験装置とパフォ
ーマンスボードを電気的に切離す手段を設けたから、こ
の切離し手段によってパフォーマンスボードをテストヘ
ッドの上から取外さなくても試験装置各部の校正を行な
うことができる。この結果短時間に試験装置各部の校正
を行なうことができ、IC試験装置を不作動状態におく
時間を大幅に少なくできる利点が得られる。
ーマンスボードを電気的に切離す手段を設けたから、こ
の切離し手段によってパフォーマンスボードをテストヘ
ッドの上から取外さなくても試験装置各部の校正を行な
うことができる。この結果短時間に試験装置各部の校正
を行なうことができ、IC試験装置を不作動状態におく
時間を大幅に少なくできる利点が得られる。
【0011】
【発明の実施の形態】図1にこの発明によるIC試験装
置の一実施例を示す。図3と対応する部分には同一符号
を付して示す。この実施例では試験装置20とケーブル
15との間にスイッチを接続し、このスイッチを切離手
段60とした場合を示す。この切離手段60を設けたこ
とによりパフォーマンスボード10をテストヘッド13
の上から取外さなくても試験装置20からパフォーマン
スボード10を電気的に切離すことができる。
置の一実施例を示す。図3と対応する部分には同一符号
を付して示す。この実施例では試験装置20とケーブル
15との間にスイッチを接続し、このスイッチを切離手
段60とした場合を示す。この切離手段60を設けたこ
とによりパフォーマンスボード10をテストヘッド13
の上から取外さなくても試験装置20からパフォーマン
スボード10を電気的に切離すことができる。
【0012】従ってスイッチ操作だけで校正作業に取り
掛ることができる。また校正の終了時点でもスイッチ操
作だけで復旧することができるから、校正に要する時間
を短時間にすることができる利点が得られる。図2はこ
の発明の他の実施例を示す。図2に示す実施例ではパフ
ォーマンスボード10をテストヘッド13に抑え付ける
抑え付け手段70に、パフォーマンスボード10のロッ
クを解いた状態でパフォーマンスボード10を接触子1
4から引き離す切離手段60を付加した構成としたもの
である。この実施例に示す切離手段60は、パフォーマ
ンスボード10を接触子14の可動ストローク(ポゴピ
ンは先端にバネによって突出する向に偏倚力が与えられ
た可動部分を有し、その可動部分のストローク)以上に
移動させる手段で構成される。図2の例ではレバー71
によって抑え付け手段70と切離手段60を移動させる
ように構成した場合を示す。
掛ることができる。また校正の終了時点でもスイッチ操
作だけで復旧することができるから、校正に要する時間
を短時間にすることができる利点が得られる。図2はこ
の発明の他の実施例を示す。図2に示す実施例ではパフ
ォーマンスボード10をテストヘッド13に抑え付ける
抑え付け手段70に、パフォーマンスボード10のロッ
クを解いた状態でパフォーマンスボード10を接触子1
4から引き離す切離手段60を付加した構成としたもの
である。この実施例に示す切離手段60は、パフォーマ
ンスボード10を接触子14の可動ストローク(ポゴピ
ンは先端にバネによって突出する向に偏倚力が与えられ
た可動部分を有し、その可動部分のストローク)以上に
移動させる手段で構成される。図2の例ではレバー71
によって抑え付け手段70と切離手段60を移動させる
ように構成した場合を示す。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、切離手段60によってパフォーマンスボード10を
試験装置20から電気的に切離すことができる。従って
パフォーマンスボード10をテストヘッド13から取外
す作業を行なわなくて済むため、試験装置20の各部の
校正を短時間に済ませることができる。よってIC試験
を効率よく実施することができる利点が得られる。
ば、切離手段60によってパフォーマンスボード10を
試験装置20から電気的に切離すことができる。従って
パフォーマンスボード10をテストヘッド13から取外
す作業を行なわなくて済むため、試験装置20の各部の
校正を短時間に済ませることができる。よってIC試験
を効率よく実施することができる利点が得られる。
【図1】この発明の一実施例を示す接続図。
【図2】この発明の変形実施例を示す側面図。
【図3】従来の技術を説明するための接続図。
10 パフォーマンスボード 11 ICソケット 12 被試験IC 13 テストヘッド 14 接触子 15 ケーブル 20 試験装置 30 機能試験装置 40 直流試験装置 50 プログラムロードテスト装置 60 切離手段
Claims (1)
- 【請求項1】 被試験ICを搭載するパフォーマンスボ
ードと、このパフォーマンスボードに設けた各端子を試
験装置に接続するためのテストヘッドとを具備して構成
されるIC試験装置において、 上記テストヘッドとパフォーマンスボードとの間を電気
的に切離す手段を設けたことを特徴とするIC試験装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092205A JPH09281188A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | Ic試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092205A JPH09281188A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | Ic試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281188A true JPH09281188A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14047953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8092205A Withdrawn JPH09281188A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | Ic試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09281188A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001029571A1 (en) * | 1999-10-19 | 2001-04-26 | Teradyne, Inc. | Circuit and method for improved test and calibration in automated test equipment |
-
1996
- 1996-04-15 JP JP8092205A patent/JPH09281188A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001029571A1 (en) * | 1999-10-19 | 2001-04-26 | Teradyne, Inc. | Circuit and method for improved test and calibration in automated test equipment |
| US6331783B1 (en) | 1999-10-19 | 2001-12-18 | Teradyne, Inc. | Circuit and method for improved test and calibration in automated test equipment |
| JP2003512630A (ja) * | 1999-10-19 | 2003-04-02 | テラダイン・インコーポレーテッド | 自動試験装置における改良試験及び較正回路及び方法 |
| KR100731344B1 (ko) * | 1999-10-19 | 2007-06-21 | 테라다인 인코퍼레이티드 | 자동화된 테스트 장비에서 테스트 및 교정하기 위한 회로및 그 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |