JPH09281U - 平面研摩機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被加工物を保持した治具の定盤上の移動軌跡
の自由度を大きくし、被加工物に応じた移動軌跡の選定
を容易とし、研摩条件の細かい設定を可能にする。 【解決手段】 定盤２の研摩面に垂直な揺動支点軸と、
これに対して取付位置が調整自在な揺動アーム３と、前
記揺動支点軸に対し前記研摩面に平行な面内での取付角
度が調整自在な如く固着された連結部材取付ブロック
と、該連結部材取付ブロックに固定された連結部材と、
回転駆動されるクランク２０と、クランク２０に一端が
枢着されかつ他端が前記連結部材に枢着されていて長さ
調整部を有しかつクランク２０への枢着点の偏芯位置が
調整自在なクランクロッド２６とを備え、クランク２０
の回転によりクランクロッド２６を介して前記揺動支点
軸を揺動支点として揺動アーム３の先端に前記研摩面に
平行な面内での揺動運動を行わせる構成である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、磁気ヘッドその他の小型部品のスライダ面等の研摩を行うための平 面研摩機に関する。

【０００２】

【従来の技術】

研摩用定盤上に対接する被加工物を保持した治具を揺動アーム等で支持する平 面研摩機は、従来より知られている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上述したような、従来の平面研摩機は、定盤上における治具の移動軌跡の自由 度が少なく、被加工物に応じた移動軌跡を任意に選定することができず、研摩条 件の細かい設定が出来ない欠点がある。

【０００４】 本考案は、上記の点に鑑み、被加工物を保持した治具の定盤上における移動軌 跡の自由度が大きく、被加工物に応じた移動軌跡の選定が容易で、研摩条件の細 かい設定が可能な平面研摩機を提供しようとするものである。

【０００５】 本考案のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする 。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案は、上面が研摩面となった研摩用定盤を回 転駆動し、揺動アームの先端側に支持された治具に保持された被加工物を前記研 摩面に対接させて保持し、前記揺動アームを揺動させることで被加工物の片面（ 下面）を研摩加工するオスカー式平面研摩機（ポリッシング加工機）において、 前記定盤から所定間隔離れた位置に枢支された揺動支点軸と、該揺動支点軸で 取付位置が調整可能にして支点から先端までの長さすなわち揺動半径が可変でき る前記揺動アームと、前記揺動支点軸に対し前記研摩面に平行な面内での取付角 度が調整自在な如く固着された研摩面に対する回転方向の揺動位置を可変できる ようにした連結部材取付ブロックと、回転駆動されるクランクと、当該クランク への枢着点の偏芯位置が調整可能にして揺動幅が可変できるクランクロッドとを 備え、揺動運動の自由度を増し、又長さや角度の調整部に目盛りを付して簡便に 設定できる構成としている。

【０００７】

【作用】

本考案の平面研摩機においては、揺動アーム先端の運動軌跡、すなわち被加工 物を保持した治具の動きを被加工物に応じて種々変更でき、研摩条件の細かい設 定が出来るとともに、定盤温度を一定に保つことにより高精度の研摩加工が可能 である。

【０００８】

【考案の実施の形態】

以下、本考案に係る平面研摩機の実施の形態を図面に従って説明する。

【０００９】 第１図及び第２図は実施の形態の全体構成を示す。これらの図において、本体 テーブル１には３個の研摩用定盤２が配置され、個々の定盤２に対して揺動アー ム３等を有するオスカー機構(揺動機構)４が設けられている。第２図のように本 体テーブル１には個々の定盤２を回転駆動するためにそれぞれスピンドル５が設 置されており、各スピンドル５はそれぞれスピンドルモータ６により回転駆動さ れる。定盤２はスピンドル５上部に一体のスピンドルテーブル７に対して固着さ れる。前記揺動アーム３の先端には被加工物を前記定盤上面の研摩面に対接させ るように保持した治具８が装着されている。

【００１０】 第３図は研摩用定盤２の構造を示すもので、定盤２はベース１０に上面が研摩 面となった錫円盤１１を接合したものであり、一定温度の液体としての恒温水の 供給を受ける液体通路を内部に有している。

【００１１】 第４図は被加工物を前記定盤上面の研摩面に対接させるように保持した治具８ を所定の運動軌跡で動かすためのオスカー機構４を示す。この図において、クラ ンク軸１５は、本体テーブル１に対して軸受１６で回転自在に支持され、巻き掛 け伝動機構等を介して前記スピンドルモータ６の回転駆動力を受けるようになっ ている。従って、オスカー機構４の動きは定盤２の動作に連動し、定盤２が停止 したときにはオスカー機構４も停止する。

【００１２】 前記クランク軸１５の上端にはクランク２０が固着され、第５図のように該ク ランク２０には直径方向溝２１が形成され、さらに溝２１に沿って目盛り板２２ が配設されている。その溝２１には位置調整用スライド部材２３が嵌合し、該ス ライド部材２３にはボルト２４が螺合しており、当該ボルト２４に螺合するスペ ーサ２５とスライド部材２３でクランク２０の一部(溝２１の縁部)を挟持するこ とでクランク２０に対するスライド部材２３の位置が固定される。また、ボルト ２４を利用してクランクロッド２６の一端が枢着される。クランクロッド２６は 、雄螺子部材２７と雌螺子部材２８とを組み合わせた長さ調整部２９を有してい る。長さの固定は、雄螺子部材２７に螺合するナット３０を雌螺子部材２８の両 側に配置して締め付けることにより行う。

【００１３】 また、本体テーブル１の前記定盤から所定間隔離れた位置には軸受３１を介し て揺動支点軸３２が枢支され、第６図のように支点軸３２の上端に固定されたブ ラケット３３に空気圧式ロータリーアクチュエータ３４が固定されている。ここ で、空気圧式ロータリーアクチュエータ３４は、空気圧式揺動形アクチュエータ あるいは揺動モータとも呼ばれるもので、その空気圧によってその回転軸３５を 回転させ、揺動運動を外部に伝達可能である。但し、前記揺動支点軸３２は前記 定盤２の研摩面に垂直な向きで、回転軸３５は前記揺動支点軸３２と直交してい る。そして、ロータリーアクチュエータ３４の回転軸３５には方形枠部を一体に 有する揺動アーム取付ブロック３６が一体に回転するように固定され、該取付ブ ロック３６の方形枠部に揺動アーム３がセットボルト３７、圧接部材３８を介し て押圧、固定される。揺動アーム３の側面には目盛り３９が刻設されており、前 記セットボルト３７を緩めることにより支点軸３２から揺動アーム３先端までの 長さを調整可能になっている。

【００１４】 なお、スプリングピン４０がブラケット３３に取り付けられており、揺動アー ム３が第４図一点鎖線Ｘのように傾斜して（定盤研摩面に垂直な面内で回動して ）その先端が持ち上げられた時に、ピン４０先端が取付ブロック３６の凹部４１ に嵌入して揺動アームを持ち上げ状態に保持するようにしている。研摩時はスプ リングピン４０と凹部４１との嵌合は外れている。

【００１５】 ブラケット３３の下側には、第７図のように、２分割されたブロック４２Ａ, ４２Ｂをビス４３で締め付けて支点軸３２に固着一体化した連結アーム取付ブロ ック（連結部材取付ブロック）４２が配設され、この取付ブロック４２に連結部 材としての連結アーム４４の一端がビスで固定される。連結アーム４４の他端は クランクロッド２６の端部に枢着されている。この場合にも、ビス４３を緩めて 支点軸３２に対する取付ブロック４２の回転方向位置（研摩面に平行な面内での 取付角度）を変化させることにより、揺動アーム３の先端位置をずらせることが できる。

【００１６】 第４図のように、揺動アーム３の先端には治具装着部材４５が垂直に固定され 、治具装着部材４５の下端に被加工物を保持した治具８が装着される。すなわち 、治具８は、揺動アーム３の水平面（定盤研摩面に平行な面）内での揺動運動を 治具装着部材４５を介して受けるようになっている。揺動アーム３の先端上には 所定のウェイト４６が載置され、揺動アーム３の後端にはカウンタウェイト４７ が設けられ、これらのウェイト４６,４７はナットで固定される。ウェイト４６, ４７で治具８に加わる研摩荷重が設定される。また、ウェイト４６による荷重以 上に研摩荷重が必要な場合は、ロータリーアクチュエータ３４の回転力を利用し て荷重を加えることも可能である。荷重は、ロータリーアクチュエータ３４にか かる空気圧を調整することにより、可変可能である。

【００１７】 なお、研摩用定盤２の液体通路には、恒温水装置より一定温度の恒温水が供給 されていて、研摩加工中定盤２の温度を一定に保って精密な研摩加工を行い得る ようにしている。また、定盤上面の研摩面には研摩液が等時間おきに一定量供給 されるようになっている。

【００１８】 以上の実施の形態の構成において、(a)まず、ボルト２４を緩めてクランク２ ０に対するクランクロッド２６の枢着点位置(偏心位置)を適当に設定してからボ ルト２４を締め、被加工物を保持した治具８の振り角度を設定する。(b)クラン クロッド２６の雌螺子部材２８を回転して長さ調整部２９の長さを変えて治具８ の振り位置を設定する。(c)セットボルト３７を緩めて揺動アーム３を取付ブロ ック３６より出し入れして適当長としてからセットボルト３７を締めて治具８の 振り幅を設定する。(d)そして(a)乃至(c)の条件を変えずに支点軸３２をつかん でいる連結アーム取付ブロック４２のビス４３を緩めて支点軸３２とブロック４ ２の相対位置を変えてからビス４３を締めることにより治具８の振り位置を変え ることもできる。それから、揺動アーム３の前後のウェイト４６,４７を設定し て研摩荷重を設定する。これらの条件の設定後、研摩用定盤２及びオスカー機構 ４の動作を開始し、治具８で保持された被加工物の定盤研摩面での研摩加工を実 行する。

【００１９】 治具８及び定盤２の交換は、人手により揺動アーム３の先端を持ち上げ、スプ リングピン４０によりロックすることによって実行する。

【００２０】 第８図及び第９図は本考案の他の実施の形態を示す。この場合、各研摩用定盤 ２に対して２個のオスカー機構４Ａ,４Ｂを設け、２つの治具８を動かすように している。各オスカー機構４Ａ,４Ｂはクランク２０を共用することができる。 その他の構成は、前述の実施の形態の同様である。

【００２１】 以上本考案の実施の形態について説明してきたが、本考案はこれに限定される ことなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者 には自明であろう。

【００２２】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案の平面研摩機によれば、回転する研摩用定盤と、 該定盤上に対接する被加工物を保持した治具を先端側に設けた揺動アームと、ク ランクロッドを介して前記揺動アームの先端に揺動運動を行わせるクランクとを 備え、前記クランクに対するクランクロッド枢着点の偏芯位置、前記クランクロ ッド長さ、前記揺動アームの支点から先端までの長さ及び前記揺動アームの回転 方向の位置を調整自在したので、被加工物を保持した治具の定盤上における移動 軌跡の自由度を大きくすることができ、被加工物に応じた移動軌跡の選定が容易 で、研摩条件の細かい設定が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る平面研摩機の実施の形態の全体構
成を示す平面図である。

【図２】同側面図である。

【図３】実施の形態における研摩用定盤の正断面図であ
る。

【図４】実施の形態におけるオスカー機構の一部を断面
とした側面図である。

【図５】実施の形態におけるクランクの平面図である。

【図６】実施の形態における揺動アーム取付部分の断面
図である。

【図７】実施の形態における連結アーム取付ブロック部
分の断面図である。

【図８】他の実施の形態の平面図である。

【図９】同正面図である。

【符号の説明】

１ 本体テーブル ２ 研摩用定盤 ３ 揺動アーム ４,４Ａ,４Ｂ オスカー機構 ８ 治具 ２０ クランク ２６ クランクロッド ２９ 長さ調整部 ３２ 支点軸 ３４ ロータリーアクチュエータ ３６ 揺動アーム取付ブロック ４２ 連結アーム取付ブロック ４４ 連結アーム ４６,４７ ウェイト

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面が研摩面となった研摩用定盤を回転
   駆動し、揺動アームの先端側に支持された治具に保持さ
   れた被加工物を前記研摩面に対接させて保持し、前記揺
   動アームを揺動させることで被加工物の片面を研摩加工
   するオスカー式平面研摩機において、 前記定盤から所定間隔離れた位置に枢支された揺動支点
   軸と、該揺動支点軸で取付位置が調整可能にして支点か
   ら先端までの長さすなわち揺動半径が可変できる前記揺
   動アームと、前記揺動支点軸に対し前記研摩面に平行な
   面内での取付角度が調整自在な如く固着された研摩面に
   対する回転方向の揺動位置を可変できるようにした連結
   部材取付ブロックと、回転駆動されるクランクと、当該
   クランクへの枢着点の偏芯位置が調整可能にして揺動幅
   が可変できるクランクロッドとを備え、揺動運動の自由
   度を増し、又長さや角度の調整部に目盛りを付して簡便
   に設定できる構成としたことを特徴とする平面研摩機。