JPH09299889A - 洗浄装置 - Google Patents
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- JPH09299889A JPH09299889A JP13951696A JP13951696A JPH09299889A JP H09299889 A JPH09299889 A JP H09299889A JP 13951696 A JP13951696 A JP 13951696A JP 13951696 A JP13951696 A JP 13951696A JP H09299889 A JPH09299889 A JP H09299889A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】洗浄用の液体と気体との粉末状混合物やパーテ
ィクルの遠距離の飛散や舞い上がりを防止するととも
に、最もパーティクル剥離率の高い９０度のノズル角度
を採用した際における被洗浄物表面へのパーティクルの
再付着を防止する。 【解決手段】被洗浄物１０の表面に付着したパーティク
ルを、被洗浄物１０から除去するための洗浄装置におい
て、被洗浄物１０に対して洗浄用材料を噴射するノズル
１８と、所定の間隙を有してノズル１８を取り囲む外郭
部材３４とを有する。
ィクルの遠距離の飛散や舞い上がりを防止するととも
に、最もパーティクル剥離率の高い９０度のノズル角度
を採用した際における被洗浄物表面へのパーティクルの
再付着を防止する。 【解決手段】被洗浄物１０の表面に付着したパーティク
ルを、被洗浄物１０から除去するための洗浄装置におい
て、被洗浄物１０に対して洗浄用材料を噴射するノズル
１８と、所定の間隙を有してノズル１８を取り囲む外郭
部材３４とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄装置に関し、
さらに詳細には、半導体基板やガラス基板などのような
板状の被洗浄物あるいは板状ではない種々の形状の被洗
浄物の表面に付着した極微小の粒子状、被膜状あるいは
種々のサイズの付着物を、容易かつ確実に被洗浄物の表
面から除去することのできる洗浄装置に関する。
さらに詳細には、半導体基板やガラス基板などのような
板状の被洗浄物あるいは板状ではない種々の形状の被洗
浄物の表面に付着した極微小の粒子状、被膜状あるいは
種々のサイズの付着物を、容易かつ確実に被洗浄物の表
面から除去することのできる洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体基板やガラス基板など
のような板状の被洗浄物あるいは板状ではない種々の形
状の被洗浄物の表面に付着した極微小の粒子状、被膜状
あるいは種々のサイズの付着物（以下、こうした付着物
を適宜「パーティクル」と称する。）を、被洗浄物の表
面から必要に応じて適宜除去することが行われてきてお
り、そのための洗浄方法ならびに洗浄装置が種々提案さ
れている。
のような板状の被洗浄物あるいは板状ではない種々の形
状の被洗浄物の表面に付着した極微小の粒子状、被膜状
あるいは種々のサイズの付着物（以下、こうした付着物
を適宜「パーティクル」と称する。）を、被洗浄物の表
面から必要に応じて適宜除去することが行われてきてお
り、そのための洗浄方法ならびに洗浄装置が種々提案さ
れている。
【０００３】例えば、半導体基板のプロセス工程におい
ては、極微小な粒子状または被膜状の汚染物などのパー
ティクルが半導体基板表面に付着すると、半導体基板の
プロセス加工精度の低下ならびに特性の信頼性の低下の
要因となることが知られており、半導体基板のプロセス
加工精度の向上ならびに特性の信頼性の向上を図るため
には、半導体基板表面に付着したパーティクルを除去す
る必要があった。このため、半導体基板表面に付着した
パーティクルを除去するための手段として、これまでに
種々の洗浄装置が提案されている。
ては、極微小な粒子状または被膜状の汚染物などのパー
ティクルが半導体基板表面に付着すると、半導体基板の
プロセス加工精度の低下ならびに特性の信頼性の低下の
要因となることが知られており、半導体基板のプロセス
加工精度の向上ならびに特性の信頼性の向上を図るため
には、半導体基板表面に付着したパーティクルを除去す
る必要があった。このため、半導体基板表面に付着した
パーティクルを除去するための手段として、これまでに
種々の洗浄装置が提案されている。
【０００４】こうした従来の洗浄装置としては、例え
ば、図１に示すような洗浄装置が知られている。
ば、図１に示すような洗浄装置が知られている。
【０００５】図１において、符号１０は半導体基板など
の被洗浄物であり、この被洗浄物１０は、洗浄槽たるパ
ーティション１２内に設置されている被洗浄物吸着台１
４の上に載置されて固定されることになる。この被洗浄
物吸着台１４は、駆動装置１６により回転可能に設置さ
れている。
の被洗浄物であり、この被洗浄物１０は、洗浄槽たるパ
ーティション１２内に設置されている被洗浄物吸着台１
４の上に載置されて固定されることになる。この被洗浄
物吸着台１４は、駆動装置１６により回転可能に設置さ
れている。
【０００６】被洗浄物１０の上方には、被洗浄物１０の
表面に向かって所定のノズル角度Ａ（ノズル角度Ａは、
例えば、６０度程度である。）を保ちながら、洗浄用材
料として洗浄用の加圧した液体と加圧した気体とを混合
して噴射する噴射装置たるノズル１８が設置されてい
る。このノズル１８は、駆動装置２０により被洗浄物１
０と平行する方向に往復運動可能に設置されている。
表面に向かって所定のノズル角度Ａ（ノズル角度Ａは、
例えば、６０度程度である。）を保ちながら、洗浄用材
料として洗浄用の加圧した液体と加圧した気体とを混合
して噴射する噴射装置たるノズル１８が設置されてい
る。このノズル１８は、駆動装置２０により被洗浄物１
０と平行する方向に往復運動可能に設置されている。
【０００７】また、パーティション１２には排気口２２
が設けられていて、被洗浄物１０から除去されてパーテ
ィション１２内を飛散するパーティクルなどのパーティ
ション１２内の滞留物を、排気口２２から外部へ吸引し
て排出することができるようになされている。
が設けられていて、被洗浄物１０から除去されてパーテ
ィション１２内を飛散するパーティクルなどのパーティ
ション１２内の滞留物を、排気口２２から外部へ吸引し
て排出することができるようになされている。
【０００８】以上の構成において、半導体基板などの被
洗浄物１０を洗浄する場合の作用について説明する。
洗浄物１０を洗浄する場合の作用について説明する。
【０００９】まず、予め被洗浄物１０を被洗浄物吸着台
１４の上に載置して固定する。次いで、洗浄用の加圧し
た液体と加圧した気体とを混合して、ノズル１８から被
洗浄物１０の表面に向かって噴射する。
１４の上に載置して固定する。次いで、洗浄用の加圧し
た液体と加圧した気体とを混合して、ノズル１８から被
洗浄物１０の表面に向かって噴射する。
【００１０】これにより、ノズル１８から噴射された洗
浄用の液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突し、被
洗浄物１０の表面に付着しているパーティクルを剥離す
ることができる。
浄用の液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突し、被
洗浄物１０の表面に付着しているパーティクルを剥離す
ることができる。
【００１１】そして、被洗浄物１０から剥離したパーテ
ィクルは、排気口２２からパーティション１２の外部へ
廃棄されることになる。
ィクルは、排気口２２からパーティション１２の外部へ
廃棄されることになる。
【００１２】なお、上記した洗浄工程中においては、被
洗浄物１０を載置して固定した被洗浄物吸着台１４が駆
動装置１４により回転運動されるとともに、ノズル１８
が駆動装置２０により被洗浄物１０と平行する方向に往
復運動されることにより、被洗浄物１０の表面を均一に
洗浄することができるようになされている。
洗浄物１０を載置して固定した被洗浄物吸着台１４が駆
動装置１４により回転運動されるとともに、ノズル１８
が駆動装置２０により被洗浄物１０と平行する方向に往
復運動されることにより、被洗浄物１０の表面を均一に
洗浄することができるようになされている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の洗浄装置にあっては、ノズル１８から噴射され
た洗浄用の液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突し
て粉末状混合物となって飛散しやすいとともに、被洗浄
物１０の表面から剥離したパーティクルの舞い上がりが
大きいという問題点があり、パーティション１２の密閉
性を良好に維持しないと、外部に上記した粉末状混合物
やパーティクルが漏出して、外部を汚染する恐れがある
ことが指摘されていた。
た従来の洗浄装置にあっては、ノズル１８から噴射され
た洗浄用の液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突し
て粉末状混合物となって飛散しやすいとともに、被洗浄
物１０の表面から剥離したパーティクルの舞い上がりが
大きいという問題点があり、パーティション１２の密閉
性を良好に維持しないと、外部に上記した粉末状混合物
やパーティクルが漏出して、外部を汚染する恐れがある
ことが指摘されていた。
【００１４】一方、図２に示すノズル角度Ａと被洗浄物
１０の表面からのパーティクルの剥離率（パーティクル
剥離率）との関係を示したグラフから明らかなように、
ノズル１８を被洗浄物１０の表面に対して垂直に位置さ
せてノズル角度Ａを９０度とした場合が、ノズル１８か
ら噴射された液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突
する力は最大であり、パーティクル剥離率が最も良いこ
とが知られている。
１０の表面からのパーティクルの剥離率（パーティクル
剥離率）との関係を示したグラフから明らかなように、
ノズル１８を被洗浄物１０の表面に対して垂直に位置さ
せてノズル角度Ａを９０度とした場合が、ノズル１８か
ら噴射された液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突
する力は最大であり、パーティクル剥離率が最も良いこ
とが知られている。
【００１５】しかしながら、ノズル１８を被洗浄物１０
の表面に対して垂直に位置させてノズル角度を９０度と
した場合には、被洗浄物１０から剥離されたパーティク
ルが被洗浄物１０の直上に舞い上がるようになり、被洗
浄物１０の表面にパーティクルが再付着する恐れがある
ため、ノズル１８を被洗浄物１０の表面に対して傾斜さ
せる必要があり、最もパーティクル剥離率の高い９０度
のノズル角度Ａを採用することができないという問題点
もあった。
の表面に対して垂直に位置させてノズル角度を９０度と
した場合には、被洗浄物１０から剥離されたパーティク
ルが被洗浄物１０の直上に舞い上がるようになり、被洗
浄物１０の表面にパーティクルが再付着する恐れがある
ため、ノズル１８を被洗浄物１０の表面に対して傾斜さ
せる必要があり、最もパーティクル剥離率の高い９０度
のノズル角度Ａを採用することができないという問題点
もあった。
【００１６】本発明は、従来の技術の有するこのような
種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的と
するところは、上記した洗浄用の液体と気体との粉末状
混合物やパーティクルの遠距離の飛散や舞い上がりを防
止するとともに、最もパーティクル剥離率の高い９０度
のノズル角度を採用した際における、被洗浄物表面への
パーティクルの再付着を防止するようにした洗浄装置を
提供しようとするものである。
種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的と
するところは、上記した洗浄用の液体と気体との粉末状
混合物やパーティクルの遠距離の飛散や舞い上がりを防
止するとともに、最もパーティクル剥離率の高い９０度
のノズル角度を採用した際における、被洗浄物表面への
パーティクルの再付着を防止するようにした洗浄装置を
提供しようとするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による洗浄装置は、被洗浄物の表面に付着し
た付着物を、上記被洗浄物から除去するための洗浄装置
において、被洗浄物に対して洗浄用材料を噴射するノズ
ルと、所定の間隙を有して上記ノズルを取り囲む外郭部
材とを有するようにしたものである。
に、本発明による洗浄装置は、被洗浄物の表面に付着し
た付着物を、上記被洗浄物から除去するための洗浄装置
において、被洗浄物に対して洗浄用材料を噴射するノズ
ルと、所定の間隙を有して上記ノズルを取り囲む外郭部
材とを有するようにしたものである。
【００１８】ここで、上記外郭部材は、上記ノズルの噴
射口側が上記被洗浄物に対して拡開するように形成され
た開口部を備えるようにしてよい。
射口側が上記被洗浄物に対して拡開するように形成され
た開口部を備えるようにしてよい。
【００１９】また、上記外郭部材の上記開口部から所定
距離間隔を開けた部位に貫通孔を形成し、上記貫通孔を
介して上記ノズルと上記外郭部材との間の滞留物を吸引
するようにしてもよい。
距離間隔を開けた部位に貫通孔を形成し、上記貫通孔を
介して上記ノズルと上記外郭部材との間の滞留物を吸引
するようにしてもよい。
【００２０】さらに、上記ノズルと上記外郭部材との間
に位置し、上記ノズルの噴射口の先端部に上記ノズルの
噴射口を取り囲むように配置されたガード部材を設ける
ようにしてもよい。
に位置し、上記ノズルの噴射口の先端部に上記ノズルの
噴射口を取り囲むように配置されたガード部材を設ける
ようにしてもよい。
【００２１】さらにまた、上記ノズルは、上記被洗浄物
に対して任意の角度で配置可能としてもよい。
に対して任意の角度で配置可能としてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明に
よる洗浄装置の実施の形態を詳細に説明するものとす
る。
よる洗浄装置の実施の形態を詳細に説明するものとす
る。
【００２３】図３は本発明による洗浄装置の実施の形態
の一例を示す一部破断概略構成斜視図であり、図４は図
３に示す洗浄装置の図１に対応する概略断面構成説明図
であるが、図１に示す構成部分と同一の構成部分には、
図１に用いた符号と同一の符号を用いて示すことによ
り、その詳細な説明は省略する。
の一例を示す一部破断概略構成斜視図であり、図４は図
３に示す洗浄装置の図１に対応する概略断面構成説明図
であるが、図１に示す構成部分と同一の構成部分には、
図１に用いた符号と同一の符号を用いて示すことによ
り、その詳細な説明は省略する。
【００２４】この洗浄装置においては、ノズル１８に軸
３０が連結されており、さらに軸３０がノズル角度変更
用駆動装置３２に連結されていて、ノズル角度Ａはノズ
ル角度変更用駆動装置３０により任意の角度に変更する
ことができるようになされている。従って、最もパーテ
ィクル剥離率の良い９０度にノズル角度Ａを設定して、
ノズル１８を被洗浄物１０の表面に対して垂直に位置さ
せることができる。
３０が連結されており、さらに軸３０がノズル角度変更
用駆動装置３２に連結されていて、ノズル角度Ａはノズ
ル角度変更用駆動装置３０により任意の角度に変更する
ことができるようになされている。従って、最もパーテ
ィクル剥離率の良い９０度にノズル角度Ａを設定して、
ノズル１８を被洗浄物１０の表面に対して垂直に位置さ
せることができる。
【００２５】また、ノズル１８は、ノズル噴射口１８ａ
側に中空円錐状に拡開した開口部３４ａを備えた円筒状
の外郭部材３４により、所定の間隙を有して取り囲まれ
ており、この外郭部材３４は、上端部３４ｂにおいてノ
ズル１８に固定されている。そして、外郭部材３４の開
口部３４ａから所定距離間隔を開けた上方部位には、貫
通孔３４ｃが設けられていて、この貫通孔３４ｃには連
結パイプ３６が接続されていて、接続パイプ３６に接続
された吸引装置（図示せず）を動作させることにより、
ノズル１８と外郭部材３４との間に存在する滞留物を外
部へ排気することができるようになされている。
側に中空円錐状に拡開した開口部３４ａを備えた円筒状
の外郭部材３４により、所定の間隙を有して取り囲まれ
ており、この外郭部材３４は、上端部３４ｂにおいてノ
ズル１８に固定されている。そして、外郭部材３４の開
口部３４ａから所定距離間隔を開けた上方部位には、貫
通孔３４ｃが設けられていて、この貫通孔３４ｃには連
結パイプ３６が接続されていて、接続パイプ３６に接続
された吸引装置（図示せず）を動作させることにより、
ノズル１８と外郭部材３４との間に存在する滞留物を外
部へ排気することができるようになされている。
【００２６】さらに、ノズル１８のノズル噴射口１８ａ
の先端部には、ノズル１８と外郭部材３４との間に位置
して、ノズル噴射口１８ａを取り囲むように中空円錐状
に拡開したガード部材３８が固定されている。
の先端部には、ノズル１８と外郭部材３４との間に位置
して、ノズル噴射口１８ａを取り囲むように中空円錐状
に拡開したガード部材３８が固定されている。
【００２７】以上の構成において、半導体基板などの被
洗浄物１０を洗浄する場合の作用について説明する。
洗浄物１０を洗浄する場合の作用について説明する。
【００２８】まず、予め被洗浄物１０を被洗浄物吸着台
１４の上に載置して固定する。次いで、洗浄用材料とし
て洗浄用の加圧した液体と加圧した気体とを混合して、
ノズル１８から被洗浄物１０の表面に向かって噴射す
る。
１４の上に載置して固定する。次いで、洗浄用材料とし
て洗浄用の加圧した液体と加圧した気体とを混合して、
ノズル１８から被洗浄物１０の表面に向かって噴射す
る。
【００２９】これにより、ノズルから噴射された洗浄用
の液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突し、被洗浄
物１０の表面に付着しているパーティクルを剥離するこ
とができるが、この際にノズル角度変更用駆動装置３２
を駆動することにより、ノズル角度Ａをパーティクル剥
離率の最も良い９０度とすることができるので、被洗浄
物１０の表面から効率的にパーティクルを剥離すること
ができるようになり、洗浄時間を短縮化することができ
る。
の液体と気体とが被洗浄物１０の表面に衝突し、被洗浄
物１０の表面に付着しているパーティクルを剥離するこ
とができるが、この際にノズル角度変更用駆動装置３２
を駆動することにより、ノズル角度Ａをパーティクル剥
離率の最も良い９０度とすることができるので、被洗浄
物１０の表面から効率的にパーティクルを剥離すること
ができるようになり、洗浄時間を短縮化することができ
る。
【００３０】また、洗浄開始直後はノズル角度Ａを９０
度とし、洗浄が進むにつれてノズル角度Ａを９０度から
徐々に小さくするようにして、ノズル１８から噴射され
た液体と気体とが被洗浄物１０に衝突する力を徐々に弱
め、被洗浄物１０から剥離したパーティクルの舞い上が
りや再付着を防止することもできる。
度とし、洗浄が進むにつれてノズル角度Ａを９０度から
徐々に小さくするようにして、ノズル１８から噴射され
た液体と気体とが被洗浄物１０に衝突する力を徐々に弱
め、被洗浄物１０から剥離したパーティクルの舞い上が
りや再付着を防止することもできる。
【００３１】一方、被洗浄物１０に噴射して洗浄した直
後の洗浄用の液体と気体との粉末状混合物の飛散や、被
洗浄物１０の表面から剥離したパーティクルの舞い上が
りは、これら粉末状混合物やパーティクルが外郭部材３
４の開口部３４ａに捕捉されることにより阻止されて、
洗浄用の液体と気体との粉粉末状混合物の飛散やパーテ
ィクルの舞い上がりの距離拡大を防ぐことができる。即
ち、被洗浄物１０の洗浄に伴う洗浄用の液体と気体との
粉末状混合物やパーティクルの遠距離の飛散や舞い上が
りを、確実に防止するとことができる。
後の洗浄用の液体と気体との粉末状混合物の飛散や、被
洗浄物１０の表面から剥離したパーティクルの舞い上が
りは、これら粉末状混合物やパーティクルが外郭部材３
４の開口部３４ａに捕捉されることにより阻止されて、
洗浄用の液体と気体との粉粉末状混合物の飛散やパーテ
ィクルの舞い上がりの距離拡大を防ぐことができる。即
ち、被洗浄物１０の洗浄に伴う洗浄用の液体と気体との
粉末状混合物やパーティクルの遠距離の飛散や舞い上が
りを、確実に防止するとことができる。
【００３２】従って、洗浄用の液体と気体との粉末状混
合物やパーティクルの大部分は、外郭部材３４とノズル
１８との間に滞留することになるが、接続パイプ３６に
接続された吸引装置（図示せず）を動作させることによ
り、ノズル１８と外郭部材３４との間に滞留した洗浄用
の液体と気体との粉末状混合物やパーティクルは外部へ
吸引され排気されることになり、これら滞留した洗浄用
の液体と気体との粉末状混合物やパーティクルの被洗浄
物１０表面への再付着が防止される。
合物やパーティクルの大部分は、外郭部材３４とノズル
１８との間に滞留することになるが、接続パイプ３６に
接続された吸引装置（図示せず）を動作させることによ
り、ノズル１８と外郭部材３４との間に滞留した洗浄用
の液体と気体との粉末状混合物やパーティクルは外部へ
吸引され排気されることになり、これら滞留した洗浄用
の液体と気体との粉末状混合物やパーティクルの被洗浄
物１０表面への再付着が防止される。
【００３３】なお、上記したように、接続パイプ３６に
接続された吸引装置（図示せず）を動作させて、ノズル
１８と外郭部材３４との間に滞留した洗浄用の液体と気
体との粉末状混合物やパーティクルを外部へ吸引する
と、ノズルから噴射された洗浄用の液体と気体とが被洗
浄物１０の表面に衝突する以前に、その噴射力を弱める
恐れがあるが、ノズル噴射口１８ａの先端部はガード部
材３８により取り囲まれて遮蔽されているので、ノズル
から噴射された洗浄用の液体と気体との噴射力が被洗浄
物１０の表面に衝突する以前に弱まることはない。
接続された吸引装置（図示せず）を動作させて、ノズル
１８と外郭部材３４との間に滞留した洗浄用の液体と気
体との粉末状混合物やパーティクルを外部へ吸引する
と、ノズルから噴射された洗浄用の液体と気体とが被洗
浄物１０の表面に衝突する以前に、その噴射力を弱める
恐れがあるが、ノズル噴射口１８ａの先端部はガード部
材３８により取り囲まれて遮蔽されているので、ノズル
から噴射された洗浄用の液体と気体との噴射力が被洗浄
物１０の表面に衝突する以前に弱まることはない。
【００３４】なお、上記した実施の形態においては、被
洗浄物１０として半導体基板を対象にした場合について
説明したが、これに限られるものではなく、ガラス基板
や金属基板などの各種板状物や、それ以外の種々の形状
のものを被洗浄物としてよいことは勿論である。
洗浄物１０として半導体基板を対象にした場合について
説明したが、これに限られるものではなく、ガラス基板
や金属基板などの各種板状物や、それ以外の種々の形状
のものを被洗浄物としてよいことは勿論である。
【００３５】また、上記した実施の形態においては、被
洗浄物１０を載置して固定した被洗浄物吸着台１４を駆
動装置１６により回転運動させることにより、被洗浄物
１０の表面を均一に洗浄することができるようにした
が、被洗浄物１０を載置して固定した被洗浄物吸着台１
４を駆動装置１６により往復運動させるようにしてもよ
い。
洗浄物１０を載置して固定した被洗浄物吸着台１４を駆
動装置１６により回転運動させることにより、被洗浄物
１０の表面を均一に洗浄することができるようにした
が、被洗浄物１０を載置して固定した被洗浄物吸着台１
４を駆動装置１６により往復運動させるようにしてもよ
い。
【００３６】さらに、上記した実施の形態において、被
洗浄物１０とノズル１８との相対的な移動を禁止して、
両者を固定的に設置してもよいことは勿論である。
洗浄物１０とノズル１８との相対的な移動を禁止して、
両者を固定的に設置してもよいことは勿論である。
【００３７】さらにまた、上記した実施の形態におい
て、開口部３４ａとガード部材３８とを中空円錐状に形
成したが、これに限られることなしに、中空角錐状のよ
うな任意の形状としてよい。なお、開口部３４ａは、被
洗浄物１０に対して拡開するように構成すると、被洗浄
物１０上の広い範囲の洗浄用の液体と気体との粉末状混
合物やパーティクルを捕捉することができるようにな
る。また、開口部３４ａもガード部材３８も、洗浄物１
０に対して拡開するように構成しなくてもよいことは勿
論である。
て、開口部３４ａとガード部材３８とを中空円錐状に形
成したが、これに限られることなしに、中空角錐状のよ
うな任意の形状としてよい。なお、開口部３４ａは、被
洗浄物１０に対して拡開するように構成すると、被洗浄
物１０上の広い範囲の洗浄用の液体と気体との粉末状混
合物やパーティクルを捕捉することができるようにな
る。また、開口部３４ａもガード部材３８も、洗浄物１
０に対して拡開するように構成しなくてもよいことは勿
論である。
【００３８】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、洗浄用の液体と気体との粉末状混合物やパ
ーティクルの遠距離の飛散や舞い上がりを防止するかと
ができるとともに、最もパーティクル剥離率の高い９０
度のノズル角度を採用した際における被洗浄物表面への
パーティクルの再付着を防止することができるという優
れた効果を奏する。
ているので、洗浄用の液体と気体との粉末状混合物やパ
ーティクルの遠距離の飛散や舞い上がりを防止するかと
ができるとともに、最もパーティクル剥離率の高い９０
度のノズル角度を採用した際における被洗浄物表面への
パーティクルの再付着を防止することができるという優
れた効果を奏する。
【図１】従来の洗浄装置の一例を示す概略断面構成説明
図である。
図である。
【図２】ノズル角度とパーティクル剥離率との関係を示
すグラフである。
すグラフである。
【図３】本発明による洗浄装置の実施の形態の一例を示
す一部破断概略構成斜視図である。
す一部破断概略構成斜視図である。
【図４】図３に示す洗浄装置の図１に対応する概略断面
構成説明図である。
構成説明図である。
１０ 被洗浄物 １２ パーティション １４ 被洗浄物吸着台 １６ 駆動装置 １８ ノズル １８ａ ノズル噴射口 ２０ 駆動装置 ２２ 排気口 ３０ 軸 ３２ ノズル角度変更用駆動装置 ３４ 外郭部材 ３４ａ 開口部 ３４ｂ 上端部 ３４ｃ 貫通孔 ３６ 接続パイプ ３８ ガード部材
Claims (5)
- 【請求項１】 被洗浄物の表面に付着した付着物を、前
記被洗浄物から除去するための洗浄装置において、 被洗浄物に対して洗浄用材料を噴射するノズルと、 所定の間隙を有して前記ノズルを取り囲む外郭部材とを
有することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の洗浄装置において、 前記外郭部材は、前記ノズルの噴射口側が前記被洗浄物
に対して拡開するように形成された開口部を備えること
を特徴とする洗浄装置。 - 【請求項３】 請求項１または２のいずれか１項に記載
の洗浄装置において、 前記外郭部材の前記開口部から所定距離間隔を開けた部
位に貫通孔を形成し、前記貫通孔を介して前記ノズルと
前記外郭部材との間の滞留物を吸引するようにしたこと
を特徴とする洗浄装置。 - 【請求項４】 請求項１、２または３のいずれか１項に
記載の洗浄装置において、 前記ノズルと前記外郭部材との間に位置し、前記ノズル
の噴射口の先端部に前記ノズルの噴射口を取り囲むよう
に配置されたガード部材とを有することを特徴とする洗
浄装置。 - 【請求項５】 請求項１、２、３または４のいずれか１
項に記載の洗浄装置において、 前記ノズルは、前記被洗浄物に対して任意の角度で配置
可能とされたことを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13951696A JPH09299889A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13951696A JPH09299889A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09299889A true JPH09299889A (ja) | 1997-11-25 |
Family
ID=15247122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13951696A Pending JPH09299889A (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09299889A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-05-09 JP JP13951696A patent/JPH09299889A/ja active Pending
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