JPH09316084A - モノシランの製造方法 - Google Patents
モノシランの製造方法Info
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- JPH09316084A JPH09316084A JP9016320A JP1632097A JPH09316084A JP H09316084 A JPH09316084 A JP H09316084A JP 9016320 A JP9016320 A JP 9016320A JP 1632097 A JP1632097 A JP 1632097A JP H09316084 A JPH09316084 A JP H09316084A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F7/00—Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
- C07F7/02—Silicon compounds
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 工業的価値の低いオルガノジシランをモノシ
ランへ転化する方法を提供すること。 【解決手段】 一般式R1 n Si2 X6-n で示されるオ
ルガノジシラン及び一般式R2 Xで示される有機ハロゲ
ン化物から実質的に成る混合物を100〜350℃の温
度で加熱する工程を含むオルガノジシランからモノシラ
ンを製造するための方法であって、R1 は各々独立に炭
素原子数1〜18個の一価の炭化水素基であり、R2 は
炭素原子数1〜18個の一価の炭化水素基であり、Xは
各々独立に塩素原子又は臭素原子から選ばれ、そしてn
=1〜6である、モノシランの製造方法。
ランへ転化する方法を提供すること。 【解決手段】 一般式R1 n Si2 X6-n で示されるオ
ルガノジシラン及び一般式R2 Xで示される有機ハロゲ
ン化物から実質的に成る混合物を100〜350℃の温
度で加熱する工程を含むオルガノジシランからモノシラ
ンを製造するための方法であって、R1 は各々独立に炭
素原子数1〜18個の一価の炭化水素基であり、R2 は
炭素原子数1〜18個の一価の炭化水素基であり、Xは
各々独立に塩素原子又は臭素原子から選ばれ、そしてn
=1〜6である、モノシランの製造方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、オルガノジシラン
を有機ハロゲン化物と反応させてモノシランを得るため
の方法に関する。本発明の方法は、オルガノジシランと
有機ハロゲン化物の混合物を100〜350℃の温度で
加熱する工程を含む。本発明の方法は、塩化アリルのよ
うな塩化アルケニルとオルガノジシランとを反応させ
て、アルケニル置換を有するモノシランを製造する場合
に特に有用である。本発明はまた、有機シランを製造す
るための直接法から派生する高沸点オルガノジシラン画
分を、より有用なモノシランへ転化する場合にも有用で
ある。
を有機ハロゲン化物と反応させてモノシランを得るため
の方法に関する。本発明の方法は、オルガノジシランと
有機ハロゲン化物の混合物を100〜350℃の温度で
加熱する工程を含む。本発明の方法は、塩化アリルのよ
うな塩化アルケニルとオルガノジシランとを反応させ
て、アルケニル置換を有するモノシランを製造する場合
に特に有用である。本発明はまた、有機シランを製造す
るための直接法から派生する高沸点オルガノジシラン画
分を、より有用なモノシランへ転化する場合にも有用で
ある。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】有機シ
ランの主要な工業製法には、有機ハロゲン化物と元素状
珪素との反応が含まれる。生成物を含む混合物から蒸留
法により所望の有機シランを回収した後には、とりわけ
オルガノジシランを含む高沸点残留物が残る。これらの
オルガノジシランの工業的価値はほとんどないため、こ
れらをより有用なモノシランへ転化することが望まれ
る。本発明は、オルガノジシランと有機ハロゲン化物を
含む混合物を100〜350℃の温度で加熱することに
よりオルガノジシランをモノシランへ転化する。本発明
の方法では、オルガノジシランのSi−Si結合が切断
される結果二つのモノシランが生成するが、その際、有
機ハロゲン化物の有機基が珪素原子の一方で置換を起こ
し、且つ、有機ハロゲン化物のハロゲン基が他方の珪素
原子で置換を起こす。
ランの主要な工業製法には、有機ハロゲン化物と元素状
珪素との反応が含まれる。生成物を含む混合物から蒸留
法により所望の有機シランを回収した後には、とりわけ
オルガノジシランを含む高沸点残留物が残る。これらの
オルガノジシランの工業的価値はほとんどないため、こ
れらをより有用なモノシランへ転化することが望まれ
る。本発明は、オルガノジシランと有機ハロゲン化物を
含む混合物を100〜350℃の温度で加熱することに
よりオルガノジシランをモノシランへ転化する。本発明
の方法では、オルガノジシランのSi−Si結合が切断
される結果二つのモノシランが生成するが、その際、有
機ハロゲン化物の有機基が珪素原子の一方で置換を起こ
し、且つ、有機ハロゲン化物のハロゲン基が他方の珪素
原子で置換を起こす。
【0003】米国特許第2,598,435号明細書
に、珪素−珪素結合を含むオルガノハロポリシランを高
温で加熱してその珪素−珪素結合を切断することによ
り、より低分子量の物質を得る方法が記載されている。
米国特許第2,474,087号明細書に、有機ハロゲ
ン化物とヘキサクロロジシランのようなポリハロポリシ
ランとの反応を100〜450℃の温度で実施できるこ
とが記載されている。この米国特許明細書にはオルガノ
ハロジシランに関する記載はない。
に、珪素−珪素結合を含むオルガノハロポリシランを高
温で加熱してその珪素−珪素結合を切断することによ
り、より低分子量の物質を得る方法が記載されている。
米国特許第2,474,087号明細書に、有機ハロゲ
ン化物とヘキサクロロジシランのようなポリハロポリシ
ランとの反応を100〜450℃の温度で実施できるこ
とが記載されている。この米国特許明細書にはオルガノ
ハロジシランに関する記載はない。
【0004】米国特許第2,681,355号明細書
に、米国特許第2,598,435号明細書による加熱
法でオルガノハロジシランを分解させると、反応器の大
規模なコーキング(coking)が起こることが記載
されている。この米国特許明細書では、このコーキング
の問題を、塩化水素を処理に加えることにより排除して
いる。オルガノジシランの熱分解を他の化合物の存在下
で行い、反応を促進し且つコーキングの問題を回避する
ための別の方法も数多く報告されている。
に、米国特許第2,598,435号明細書による加熱
法でオルガノハロジシランを分解させると、反応器の大
規模なコーキング(coking)が起こることが記載
されている。この米国特許明細書では、このコーキング
の問題を、塩化水素を処理に加えることにより排除して
いる。オルガノジシランの熱分解を他の化合物の存在下
で行い、反応を促進し且つコーキングの問題を回避する
ための別の方法も数多く報告されている。
【0005】例えば、米国特許第2,787,627号
明細書では、トリメチルトリエチルジシランの溶液を臭
化エチル中で希釈し、還流しながら乾燥臭素を処理に加
えた際に反応させる方法が特許請求されている。米国特
許第3,772,347号明細書には、オルガノクロロ
ジシランと有機塩化物との反応を、パラジウム及びリン
を含む遷移金属錯体の存在下で行う方法が記載されてい
る。
明細書では、トリメチルトリエチルジシランの溶液を臭
化エチル中で希釈し、還流しながら乾燥臭素を処理に加
えた際に反応させる方法が特許請求されている。米国特
許第3,772,347号明細書には、オルガノクロロ
ジシランと有機塩化物との反応を、パラジウム及びリン
を含む遷移金属錯体の存在下で行う方法が記載されてい
る。
【0006】米国特許第4,962,219号明細書
は、ハロゲン受容体として働くアルミニウムのような金
属の存在下、150℃よりも高い温度でオルガノハロジ
シランを有機ハロゲン化物と接触させる方法が記載され
ている。本発明者らは、意外にも、有機ハロゲン化物と
オルガノジシランを含む混合物を100〜350℃の温
度で加熱することによりモノシランが得られることを発
見した。本発明の方法では、コーキングは起こらず、し
かも上記従来技術として記載した触媒及びその他の反応
性化合物は必要とされない。
は、ハロゲン受容体として働くアルミニウムのような金
属の存在下、150℃よりも高い温度でオルガノハロジ
シランを有機ハロゲン化物と接触させる方法が記載され
ている。本発明者らは、意外にも、有機ハロゲン化物と
オルガノジシランを含む混合物を100〜350℃の温
度で加熱することによりモノシランが得られることを発
見した。本発明の方法では、コーキングは起こらず、し
かも上記従来技術として記載した触媒及びその他の反応
性化合物は必要とされない。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の方法は、一般式
R1 n Si2 X6-n で示されるオルガノジシラン及び一
般式R2 Xで示される有機ハロゲン化物から実質的に成
る混合物を100〜350℃の温度で加熱する工程を含
むオルガノジシランからモノシランを製造するための方
法であって、R1 は各々独立に炭素原子数1〜18個の
一価の炭化水素基であり、R2 は炭素原子数1〜18個
の一価の炭化水素基であり、Xは各々独立に塩素原子又
は臭素原子から選ばれ、そしてn=1〜6である、モノ
シランの製造方法である。
R1 n Si2 X6-n で示されるオルガノジシラン及び一
般式R2 Xで示される有機ハロゲン化物から実質的に成
る混合物を100〜350℃の温度で加熱する工程を含
むオルガノジシランからモノシランを製造するための方
法であって、R1 は各々独立に炭素原子数1〜18個の
一価の炭化水素基であり、R2 は炭素原子数1〜18個
の一価の炭化水素基であり、Xは各々独立に塩素原子又
は臭素原子から選ばれ、そしてn=1〜6である、モノ
シランの製造方法である。
【0008】オルガノジシランと有機ハロゲン化物とを
含む混合物の加熱工程は、ハロシランとの接触に適した
ものであれば加圧可能ないずれの標準的反応器において
も実施される。本発明の方法はバッチ式でも、半連続式
でも又は連続式でも実施可能である。
含む混合物の加熱工程は、ハロシランとの接触に適した
ものであれば加圧可能ないずれの標準的反応器において
も実施される。本発明の方法はバッチ式でも、半連続式
でも又は連続式でも実施可能である。
【0009】本発明の方法における混合物は一般式R1
n Si2 X6-n で示されるオルガノジシランを含む。こ
こでR1 は、各々独立に選ばれた炭素原子数1〜18個
の一価の炭化水素基であり、n=1〜6である。R1 の
例として、メチル、エチル、プロピル、t−ブチル及び
オクタデシルのようなアルキル基、シクロペンチル及び
シクロヘキシルのようなシクロアルキル基、ビニル、ア
リル及びヘキセニルのようなアルケニル基、シクロペン
テニル及びシクロヘキセニルのようなシクロアルケニル
基、フェニル、トリル及びナフチルのようなアリール
基、並びにベンジル、β−フェニルエチル及びβ−フェ
ニルプロピルのようなアラルキル基が挙げられる。R1
はメチル基であることが好ましい。nは1〜6の範囲で
任意の値をとることができるが、好ましくは4〜6の範
囲の値をとる。最も好ましいnの値は6である。本発明
において使用することが好ましいオルガノジシランはヘ
キサメチルジシランである。特許請求する本発明の方法
を使用して、上記一般式に包含されるオルガノジシラン
の混合物をモノシランへ転化することもできる。
n Si2 X6-n で示されるオルガノジシランを含む。こ
こでR1 は、各々独立に選ばれた炭素原子数1〜18個
の一価の炭化水素基であり、n=1〜6である。R1 の
例として、メチル、エチル、プロピル、t−ブチル及び
オクタデシルのようなアルキル基、シクロペンチル及び
シクロヘキシルのようなシクロアルキル基、ビニル、ア
リル及びヘキセニルのようなアルケニル基、シクロペン
テニル及びシクロヘキセニルのようなシクロアルケニル
基、フェニル、トリル及びナフチルのようなアリール
基、並びにベンジル、β−フェニルエチル及びβ−フェ
ニルプロピルのようなアラルキル基が挙げられる。R1
はメチル基であることが好ましい。nは1〜6の範囲で
任意の値をとることができるが、好ましくは4〜6の範
囲の値をとる。最も好ましいnの値は6である。本発明
において使用することが好ましいオルガノジシランはヘ
キサメチルジシランである。特許請求する本発明の方法
を使用して、上記一般式に包含されるオルガノジシラン
の混合物をモノシランへ転化することもできる。
【0010】さらに、本発明の方法は、有機ハロゲン化
物と元素状珪素との反応から得られる高沸点画分を含有
するオルガノジシランを、有用なモノシランへ転化する
場合にも有用である。有機ハロゲン化物と元素状珪素を
反応させる典型的な工程(直接プロセス)では、適当な
触媒の存在下、300〜350℃の温度で反応が行わ
れ、気体生成物、過剰供給成分及び微粒子を連続的に工
程から取り出す。続いて、取り出した材料を蒸留処理し
てモノシランを回収し、「高沸点画分」は放置する。本
発明において使用するのに好適な高沸点画分は、直接プ
ロセスの反応生成物由来のモノシランを蒸留することに
より得られる沸点が70℃よりも高い画分である。この
ような高沸点画分として典型的な組成物は、オルガノジ
シランを50〜60重量%含む。本発明の方法において
有用な高沸点画分については、例えば、米国特許第5,
430,168号明細書に詳細に説明されている。場合
によっては、濾過などの処理により高沸点画分を前処理
して粒状物を除去することが望ましい。
物と元素状珪素との反応から得られる高沸点画分を含有
するオルガノジシランを、有用なモノシランへ転化する
場合にも有用である。有機ハロゲン化物と元素状珪素を
反応させる典型的な工程(直接プロセス)では、適当な
触媒の存在下、300〜350℃の温度で反応が行わ
れ、気体生成物、過剰供給成分及び微粒子を連続的に工
程から取り出す。続いて、取り出した材料を蒸留処理し
てモノシランを回収し、「高沸点画分」は放置する。本
発明において使用するのに好適な高沸点画分は、直接プ
ロセスの反応生成物由来のモノシランを蒸留することに
より得られる沸点が70℃よりも高い画分である。この
ような高沸点画分として典型的な組成物は、オルガノジ
シランを50〜60重量%含む。本発明の方法において
有用な高沸点画分については、例えば、米国特許第5,
430,168号明細書に詳細に説明されている。場合
によっては、濾過などの処理により高沸点画分を前処理
して粒状物を除去することが望ましい。
【0011】本発明の方法における混合物は、オルガノ
ジシランの他、一般式R2 Xで示される有機ハロゲン化
物を含む。ここでR2 は炭素原子数1〜18個の一価の
炭化水素基であり、Xは各々独立に臭素原子又は塩素原
子である。R2 の有用な構造の例は、先にR1 について
説明したものと同じである。また、有機ハロゲン化物の
置換基R2 はアルケニル基であることが好ましい。Xは
塩素原子であることが好ましい。本発明の方法において
好ましい有機ハロゲン化物は、塩化アリルである。
ジシランの他、一般式R2 Xで示される有機ハロゲン化
物を含む。ここでR2 は炭素原子数1〜18個の一価の
炭化水素基であり、Xは各々独立に臭素原子又は塩素原
子である。R2 の有用な構造の例は、先にR1 について
説明したものと同じである。また、有機ハロゲン化物の
置換基R2 はアルケニル基であることが好ましい。Xは
塩素原子であることが好ましい。本発明の方法において
好ましい有機ハロゲン化物は、塩化アリルである。
【0012】有機ハロゲン化物対オルガノジシランのモ
ル比は、本発明の方法では特に問題とはならないが、
0.1:1〜10:1の範囲で変動しうる。しかしなが
ら、有機ハロゲン化物対オルガノジシランのモル比は少
なくとも1:1にすることが好ましい。さらに好ましい
場合は、有機ハロゲン化物が化学量論的に多少過剰に存
在する場合、すなわち、対オルガノジシランのモル比が
1:1〜3:1の範囲にある場合である。本発明の方法
は100〜350℃の温度範囲内で実施される。好適な
温度範囲は150〜250℃である。本発明の方法は、
上記温度において、触媒の存在を必要としない。本発明
の方法にとって最適な温度は、添加される有機ハロゲン
化物及びオルガノジシランによって異なる。一般に、オ
ルガノジシランの珪素原子に結合している有機置換基の
数が多いほど、許容できる温度は低くなる。同様に、オ
ルガノジシランの珪素原子に結合している有機置換基の
数が多いほど、反応速度は高くなる。オルガノジシラン
がモノシランに完全に転化するまでに要する時間は、2
〜3時間から数日にかけて変動する。
ル比は、本発明の方法では特に問題とはならないが、
0.1:1〜10:1の範囲で変動しうる。しかしなが
ら、有機ハロゲン化物対オルガノジシランのモル比は少
なくとも1:1にすることが好ましい。さらに好ましい
場合は、有機ハロゲン化物が化学量論的に多少過剰に存
在する場合、すなわち、対オルガノジシランのモル比が
1:1〜3:1の範囲にある場合である。本発明の方法
は100〜350℃の温度範囲内で実施される。好適な
温度範囲は150〜250℃である。本発明の方法は、
上記温度において、触媒の存在を必要としない。本発明
の方法にとって最適な温度は、添加される有機ハロゲン
化物及びオルガノジシランによって異なる。一般に、オ
ルガノジシランの珪素原子に結合している有機置換基の
数が多いほど、許容できる温度は低くなる。同様に、オ
ルガノジシランの珪素原子に結合している有機置換基の
数が多いほど、反応速度は高くなる。オルガノジシラン
がモノシランに完全に転化するまでに要する時間は、2
〜3時間から数日にかけて変動する。
【0013】
【実施例】以下、本発明を例証するため、実施例を提供
する。実施例に記載した反応は、封止したPyrex
(商標)ガラス管の中で行った。各実施例に記載した反
応混合物は、上記ガラス管に入れ、そしてイソプロピル
アルコール(IPA)/ドライアイス浴で冷却した。次
いで、そのガラス管を熱封止し、各実施例に記載した温
度及び時間条件で加熱した。反応期間終了後、ガラス管
の内容物を冷却し、そして水素炎イオン化型検出器を具
備したガスクロマトグラフィー(GC−FID)による
分析を行った。結果は、GC−FIDチャートの面積率
(面積%)として報告した。下記実施例中、Meはメチ
ル基を表す。
する。実施例に記載した反応は、封止したPyrex
(商標)ガラス管の中で行った。各実施例に記載した反
応混合物は、上記ガラス管に入れ、そしてイソプロピル
アルコール(IPA)/ドライアイス浴で冷却した。次
いで、そのガラス管を熱封止し、各実施例に記載した温
度及び時間条件で加熱した。反応期間終了後、ガラス管
の内容物を冷却し、そして水素炎イオン化型検出器を具
備したガスクロマトグラフィー(GC−FID)による
分析を行った。結果は、GC−FIDチャートの面積率
(面積%)として報告した。下記実施例中、Meはメチ
ル基を表す。
【0014】実施例1 反応混合物は、0.43g(0.003モル)のMe3
SiSiMe3 と0.33g(0.004モル)の塩化
アリルを含むものとした。この混合物を150℃で54
時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析した。分
析結果によると、Me3 SiSiMe3 は全く存在せ
ず、塩化アリルが4.2面積%、アリルSiMe3 が6
1.3面積%、そしてMe3 SiClが31.9面積%
存在していた。
SiSiMe3 と0.33g(0.004モル)の塩化
アリルを含むものとした。この混合物を150℃で54
時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析した。分
析結果によると、Me3 SiSiMe3 は全く存在せ
ず、塩化アリルが4.2面積%、アリルSiMe3 が6
1.3面積%、そしてMe3 SiClが31.9面積%
存在していた。
【0015】実施例2 反応混合物は、0.43gのMe3 SiSiMe3 と
0.33gの塩化アリルを含むものとした。この混合物
を200℃で6時間加熱した後、冷却し、GC−FID
で分析した。分析結果によると、Me3 SiSiMe3
は全く存在せず、塩化アリルが6.1面積%、アリルS
iMe3 が59.0面積%、そしてMe3SiClが3
1.6面積%存在していた。
0.33gの塩化アリルを含むものとした。この混合物
を200℃で6時間加熱した後、冷却し、GC−FID
で分析した。分析結果によると、Me3 SiSiMe3
は全く存在せず、塩化アリルが6.1面積%、アリルS
iMe3 が59.0面積%、そしてMe3SiClが3
1.6面積%存在していた。
【0016】実施例3 反応混合物は、0.56g(0.003モル)のMe3
SiSiMeCl2 と0.3g(0.004モル)の塩
化アリルを含むものとした。この混合物を200℃で2
6時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析した。
分析結果によると、Me3 SiSiMeCl2 が3.4
面積%、塩化アリルが41.9面積%、アリルSiMe
Cl2 が2.2面積%、そしてMe3 SiClが41.
9面積%存在していた。
SiSiMeCl2 と0.3g(0.004モル)の塩
化アリルを含むものとした。この混合物を200℃で2
6時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析した。
分析結果によると、Me3 SiSiMeCl2 が3.4
面積%、塩化アリルが41.9面積%、アリルSiMe
Cl2 が2.2面積%、そしてMe3 SiClが41.
9面積%存在していた。
【0017】実施例4 反応混合物は、0.56g(0.003モル)のClM
e2 SiSiMe2 Clと0.3g(0.004モル)
の塩化アリルを含むものとした。この混合物を200℃
で17時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析し
た。分析結果によると、ClMe2 SiSiMe2 Cl
は全く存在せず、塩化アリルは全く存在せず、アリルS
iMeCl2 が50.0面積%、そしてMe2 SiCl
2 が28.4面積%存在していた。
e2 SiSiMe2 Clと0.3g(0.004モル)
の塩化アリルを含むものとした。この混合物を200℃
で17時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析し
た。分析結果によると、ClMe2 SiSiMe2 Cl
は全く存在せず、塩化アリルは全く存在せず、アリルS
iMeCl2 が50.0面積%、そしてMe2 SiCl
2 が28.4面積%存在していた。
【0018】実施例5 反応混合物は、0.68g(0.003モル)のCl2
MeSiSiMeCl 2 と0.3g(0.004モル)
の塩化アリルを含むものとした。この混合物を200℃
で17時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析し
た。分析結果によると、Cl2 MeSiSiMeCl2
が17.2面積%、塩化アリルが20.2面積%、アリ
ルSiMeCl2 が31.9面積%、そしてMeSiC
l3 が12面積%存在していた。
MeSiSiMeCl 2 と0.3g(0.004モル)
の塩化アリルを含むものとした。この混合物を200℃
で17時間加熱した後、冷却し、GC−FIDで分析し
た。分析結果によると、Cl2 MeSiSiMeCl2
が17.2面積%、塩化アリルが20.2面積%、アリ
ルSiMeCl2 が31.9面積%、そしてMeSiC
l3 が12面積%存在していた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブライアン マイケル ナーツ アメリカ合衆国,ミシガン 48820,デウ ィット,ウエスト プラット ロード 1350 (72)発明者 ビン サン グエン アメリカ合衆国,ミシガン 48640,ミッ ドランド,オタワ ストリート 4511
Claims (1)
- 【請求項1】 一般式R1 n Si2 X6-n で示されるオ
ルガノジシラン及び一般式R2 Xで示される有機ハロゲ
ン化物から実質的に成る混合物を100〜350℃の温
度で加熱する工程を含むオルガノジシランからモノシラ
ンを製造するための方法であって、R1 は各々独立に炭
素原子数1〜18個の一価の炭化水素基であり、R2 は
炭素原子数1〜18個の一価の炭化水素基であり、Xは
各々独立に塩素原子又は臭素原子から選ばれ、そしてn
=1〜6である、モノシランの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/593316 | 1996-01-31 | ||
| US08/593,316 US5616760A (en) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | Process for reacting organodisilanes with organic halides |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09316084A true JPH09316084A (ja) | 1997-12-09 |
Family
ID=24374263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9016320A Withdrawn JPH09316084A (ja) | 1996-01-31 | 1997-01-30 | モノシランの製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5616760A (ja) |
| EP (1) | EP0787736A1 (ja) |
| JP (1) | JPH09316084A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7646631B2 (ja) | 2019-08-22 | 2025-03-17 | ダウ シリコーンズ コーポレーション | ケイ素化合物を精製するためのプロセス |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2474087A (en) * | 1947-05-16 | 1949-06-21 | Dow Chemical Co | Preparation of silicon halides |
| US2598435A (en) * | 1949-08-18 | 1952-05-27 | Gen Electric | Process for treating organoplysilanes |
| US2598434A (en) * | 1949-08-18 | 1952-05-27 | Gen Electric | Preparation of organohalogenosilanes from organohalogenopolysilanes |
| US2787627A (en) * | 1952-09-12 | 1957-04-02 | Tokyo Shibaura Electric Co | Process of preparing trialkylhalogenosilanes |
| BE526512A (ja) * | 1953-02-20 | |||
| BE536407A (ja) * | 1954-03-12 | |||
| US2837552A (en) * | 1954-12-20 | 1958-06-03 | Gen Electric | Cleavage of silicon-to-silicon and siloxane linkages |
| BE792713A (fr) * | 1971-12-15 | 1973-06-14 | Dow Corning | Procede catalytique de transformation de disilanes en silanes |
| JPS59110697A (ja) * | 1982-12-17 | 1984-06-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | メチルハイドロジエンシラン類の製造方法 |
| US4962219A (en) * | 1988-10-17 | 1990-10-09 | Dow Corning Corporation | Alkylation of halodisilanes |
| US5292909A (en) * | 1993-07-14 | 1994-03-08 | Dow Corning Corporation | Catalytic conversion of direct process high-boiling component to chlorosilane monomers in the presence of hydrogen chloride and hydrogen |
| US5326896A (en) * | 1993-07-14 | 1994-07-05 | Dow Corning Corporation | Conversion of direct process high-boiling component to silane monomers in the presence of hydrogen gas |
| US5292912A (en) * | 1993-07-19 | 1994-03-08 | Dow Corning Corporation | Catalytic conversion of direct process high-boiling component to chlorosilane monomers in the presence of hydrogen chloride |
-
1996
- 1996-01-31 US US08/593,316 patent/US5616760A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-01-28 EP EP97300518A patent/EP0787736A1/en not_active Ceased
- 1997-01-30 JP JP9016320A patent/JPH09316084A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0787736A1 (en) | 1997-08-06 |
| US5616760A (en) | 1997-04-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040406 |