JPH09320918A - 生産制御システムおよび生産制御方法 - Google Patents
生産制御システムおよび生産制御方法Info
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- JPH09320918A JPH09320918A JP13714396A JP13714396A JPH09320918A JP H09320918 A JPH09320918 A JP H09320918A JP 13714396 A JP13714396 A JP 13714396A JP 13714396 A JP13714396 A JP 13714396A JP H09320918 A JPH09320918 A JP H09320918A
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】製造を行おうとする製品の製造データが数百デ
ータにもわたる場合、莫大なデータ入力工数を要する
し、またそのデータの入力ミスが発生しやすいのでこれ
らの要因を改善する。 【解決手段】変更指示データ分類部６０および自動一括
変更処理部７０を備えて、一度の指示で複数の工程手順
データ５１共通の変更を行う。
ータにもわたる場合、莫大なデータ入力工数を要する
し、またそのデータの入力ミスが発生しやすいのでこれ
らの要因を改善する。 【解決手段】変更指示データ分類部６０および自動一括
変更処理部７０を備えて、一度の指示で複数の工程手順
データ５１共通の変更を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は生産制御システムお
よび生産制御方法に係わり、特に半導体装置の製造ライ
ンにおいて複数品種の工程製造条件を変更する生産制御
システムおよび生産制御方法に関する。
よび生産制御方法に係わり、特に半導体装置の製造ライ
ンにおいて複数品種の工程製造条件を変更する生産制御
システムおよび生産制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の生産制御システムでは品種の工程
の製造条件の変更（新プロセス導入、条件の修正等）が
発生した場合、データメンテナンス者が各品種毎に変更
対象データを探し、データメンテナンスを行っていた。
の製造条件の変更（新プロセス導入、条件の修正等）が
発生した場合、データメンテナンス者が各品種毎に変更
対象データを探し、データメンテナンスを行っていた。
【０００３】例えば図６に示すように、品種２０、工程
手順５１の工程３０および製造条件４０のデータの削
除、追加、製造順序変更等が発生した場合、全品種の工
程手順５１に対して変更箇所があるかどうかデータメン
テナンス者がチェックし、あればその品種２０の工程手
順５１単位でのデータメンテナンスを行っていた。
手順５１の工程３０および製造条件４０のデータの削
除、追加、製造順序変更等が発生した場合、全品種の工
程手順５１に対して変更箇所があるかどうかデータメン
テナンス者がチェックし、あればその品種２０の工程手
順５１単位でのデータメンテナンスを行っていた。
【０００４】上記従来技術の問題点として、半導体製造
ラインでは多品種の製品が流れている為、品種２０に対
応している製造工程手順５１の数も莫大な量である。そ
れを一つ一つデータメンテナンスすることは、メンテナ
ンス工数が増大するとともに当然データ入力ミスの可能
性が増大する。
ラインでは多品種の製品が流れている為、品種２０に対
応している製造工程手順５１の数も莫大な量である。そ
れを一つ一つデータメンテナンスすることは、メンテナ
ンス工数が増大するとともに当然データ入力ミスの可能
性が増大する。
【０００５】一方、特開平４−１９３４６２号公報に開
示された製造条件の指示設定方法は、品種切り替え時の
装置条件変更に関するものであるが、これは実作業の条
件設定時、変更条件を正確に作業端末に表示させるもの
であり、メンテナンス工数が増大することに起因する問
題の解決にはならない。
示された製造条件の指示設定方法は、品種切り替え時の
装置条件変更に関するものであるが、これは実作業の条
件設定時、変更条件を正確に作業端末に表示させるもの
であり、メンテナンス工数が増大することに起因する問
題の解決にはならない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の生
産制御システムでは、多品種の製造工程手順共通の工程
修正が発生した場合に、それぞれの品種の工程手順単位
にデータメンテナンス者が修正していたから、半導体装
置の製造ラインの様に品種が何百品種ともなると修正に
かかる工数も莫大になり、データ修正ミス発生の可能性
が増大するという問題を有する。
産制御システムでは、多品種の製造工程手順共通の工程
修正が発生した場合に、それぞれの品種の工程手順単位
にデータメンテナンス者が修正していたから、半導体装
置の製造ラインの様に品種が何百品種ともなると修正に
かかる工数も莫大になり、データ修正ミス発生の可能性
が増大するという問題を有する。
【０００７】したがって本発明の目的は、多品種の製造
工程手順のデータ変更を一括変更処理し、上記問題を解
決する生産制御システムおよび生産制御方法を提供する
ことを目的とする。
工程手順のデータ変更を一括変更処理し、上記問題を解
決する生産制御システムおよび生産制御方法を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
装置の製造条件を設定する際の複数品種の工程製造条件
を一括変更する場合において、システム変更機能として
品種・工程・製造条件の組み合わせパターンで一括自動
変更可能な機能を備えた生産制御システムにある。ここ
で前記一括自動変更可能な機能は、変更データの種類を
分類する変更指示データ分類部と変更データ検索および
データ自動変換を行う自動一括変更処理部とを具備して
構成されることが好ましい。
装置の製造条件を設定する際の複数品種の工程製造条件
を一括変更する場合において、システム変更機能として
品種・工程・製造条件の組み合わせパターンで一括自動
変更可能な機能を備えた生産制御システムにある。ここ
で前記一括自動変更可能な機能は、変更データの種類を
分類する変更指示データ分類部と変更データ検索および
データ自動変換を行う自動一括変更処理部とを具備して
構成されることが好ましい。
【０００９】本発明の他の特徴は、半導体装置の製造条
件を設定する際の複数品種の工程製造条件を一括変更す
る場合において、システム変更機能として品種・工程・
製造条件の組み合わせパターンで一括自動変更をする生
産制御方法にある。ここで変更指示データ分類部で変更
データの種類を分類し、自動一括変更処理部で変更デー
タ検索およびデータ自動変換することにより前記一括し
た自動変更を行うことが好ましい。
件を設定する際の複数品種の工程製造条件を一括変更す
る場合において、システム変更機能として品種・工程・
製造条件の組み合わせパターンで一括自動変更をする生
産制御方法にある。ここで変更指示データ分類部で変更
データの種類を分類し、自動一括変更処理部で変更デー
タ検索およびデータ自動変換することにより前記一括し
た自動変更を行うことが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を説
明する。
明する。
【００１１】まず図１は本発明の実施の形態の自動デー
タ変更システムの構成全体を示す図である。
タ変更システムの構成全体を示す図である。
【００１２】半導体装置製造における生産制御システム
１００は製造工程手順をデータ管理しており、現場へは
この工程手順内容で作業指示される。
１００は製造工程手順をデータ管理しており、現場へは
この工程手順内容で作業指示される。
【００１３】データ構成は、製造工程手順データベース
５０には品種２０毎に工程手順５１がデータリンクして
おり、工程手順５１は工程３０と作業条件４０のデータ
から構成されている。
５０には品種２０毎に工程手順５１がデータリンクして
おり、工程手順５１は工程３０と作業条件４０のデータ
から構成されている。
【００１４】本発明ではこの工程手順５１のデータ変更
を、複数の工程手順５１を対象に行う場合に変更指示デ
ータ分類部６０と自動一括変更処理部７０とで行う。変
更指示データ分類部６０にはＬＡＮ６２を通して接続さ
れた各所のワークステーション６１からデータ変更指示
６１の信号が送られる。
を、複数の工程手順５１を対象に行う場合に変更指示デ
ータ分類部６０と自動一括変更処理部７０とで行う。変
更指示データ分類部６０にはＬＡＮ６２を通して接続さ
れた各所のワークステーション６１からデータ変更指示
６１の信号が送られる。
【００１５】ワークステーションにおけるデータ変更指
示６１の指示方法の例を図２および図３にそれぞれ示
す。
示６１の指示方法の例を図２および図３にそれぞれ示
す。
【００１６】まず図２は、変更指示するパターンが一工
程条件どうしの変更パターンの例である。
程条件どうしの変更パターンの例である。
【００１７】変更内容が、全品種の工程手順の工程・条
件「Ｄ−（４）」を「Ｄ−（１６）」へ変更の場合、デ
ータ変更指示６１で、図２に示すように、変更前・変更
後データを変更を指示する。ここで品種入力覧２０がス
ペース（空欄）の場合は全品種が対象となる。
件「Ｄ−（４）」を「Ｄ−（１６）」へ変更の場合、デ
ータ変更指示６１で、図２に示すように、変更前・変更
後データを変更を指示する。ここで品種入力覧２０がス
ペース（空欄）の場合は全品種が対象となる。
【００１８】また図３は、変更指示するパターンが工程
手順の塊での一括変更の変更パターンの例である。
手順の塊での一括変更の変更パターンの例である。
【００１９】同図において、変更内容が工程手順の工程
・条件の並びで、変更前の「Ｂ−（２）〜Ｄ−（４）」
の組み合わせの手順を変更後の「Ｆ−（（６）〜Ｉ−
（９）」の組み合わせの手順データへの一括変換するパ
ターンである。ここで変更する組み合わせの開始位置を
スタート工程をフラグ″Ｓ″６３で表し、終了位置をエ
ンド工程をフラグ″Ｅ″６４で表してデータとして設定
する。
・条件の並びで、変更前の「Ｂ−（２）〜Ｄ−（４）」
の組み合わせの手順を変更後の「Ｆ−（（６）〜Ｉ−
（９）」の組み合わせの手順データへの一括変換するパ
ターンである。ここで変更する組み合わせの開始位置を
スタート工程をフラグ″Ｓ″６３で表し、終了位置をエ
ンド工程をフラグ″Ｅ″６４で表してデータとして設定
する。
【００２０】この例では全品種が対象であるから品種入
力覧がスペースであるが、品種指定の場合はスタート工
程″Ｓ″６３の行の品種２０の入力欄にデータ入力す
る。
力覧がスペースであるが、品種指定の場合はスタート工
程″Ｓ″６３の行の品種２０の入力欄にデータ入力す
る。
【００２１】このパターンでの変更は組み合わせ全部が
合って初めて意味を成す変更であるので、一工程・一条
件でも異なると対象外となる。
合って初めて意味を成す変更であるので、一工程・一条
件でも異なると対象外となる。
【００２２】次に変更指示データ分類部６０の処理方法
を図４のデータフローチャートを参照して説明する。
を図４のデータフローチャートを参照して説明する。
【００２３】まずデータ変更指示（Ｗ／Ｓ）６１から変
更指示がかかると変更指示データ分類部６０で変更デー
タの種類を分類する。
更指示がかかると変更指示データ分類部６０で変更デー
タの種類を分類する。
【００２４】変更パターンには複数の種類が存在し、そ
の種類毎で以降の処理方法が異なってくる。特に図２の
パターンか図３のパターンか、品名指定があるかないか
でこの後での自動一括変更処理部７０の検索処理スピー
ドに大きく影響する。
の種類毎で以降の処理方法が異なってくる。特に図２の
パターンか図３のパターンか、品名指定があるかないか
でこの後での自動一括変更処理部７０の検索処理スピー
ドに大きく影響する。
【００２５】次に図５を参照して自動一括変更処理部７
０を説明する。
０を説明する。
【００２６】まず変更データ検索部７１で、変更対象工
程手順５１の中から変更箇所を検索する。特に品名指定
があるかないかチェックプログラム７３の変更データの
種類で検索方法が異なる。
程手順５１の中から変更箇所を検索する。特に品名指定
があるかないかチェックプログラム７３の変更データの
種類で検索方法が異なる。
【００２７】品名指定有の場合は、対象品種をまず検索
し（プログラム７４）、その品種内の工程、条件を変更
するステップを踏む。
し（プログラム７４）、その品種内の工程、条件を変更
するステップを踏む。
【００２８】品名指定無の場合は、全品種対象検索（プ
ログラム７６）となるので、マスター登録されている工
程手順５１全部のデータに変更箇所があるかどうかの検
索処理を行なう。
ログラム７６）となるので、マスター登録されている工
程手順５１全部のデータに変更箇所があるかどうかの検
索処理を行なう。
【００２９】そして最後にデータ自動変換部７２でデー
タ自動変換処理７８を実行する。すると工程手順５１の
データが変更され、実際の製造現場には改定工程手順５
１での指示がかかる。
タ自動変換処理７８を実行する。すると工程手順５１の
データが変更され、実際の製造現場には改定工程手順５
１での指示がかかる。
【００３０】品名指定が無い場合の処理では、全品名の
検索が終わるまで品名検索→データ自動変換の処理を繰
り返し行なうプログラム７９を備えている。
検索が終わるまで品名検索→データ自動変換の処理を繰
り返し行なうプログラム７９を備えている。
【００３１】以上のように本発明は、変更指示データ分
類部６０と自動一括変更処理部７０を備えることによ
り、変更時の指定が一回で済み、特に同一内容の変更を
複数の工程手順に対して行う場合に非常に有効な生産制
御システムの機能であり有効な生産制御方法である。
類部６０と自動一括変更処理部７０を備えることによ
り、変更時の指定が一回で済み、特に同一内容の変更を
複数の工程手順に対して行う場合に非常に有効な生産制
御システムの機能であり有効な生産制御方法である。
【００３２】
【発明の効果】本発明の生産制御システムにおける自動
データ変更機能を使用する事により、各工程手順毎共通
箇所データ変更時の工程・条件データ変更工数を大幅に
削減することが出来る。
データ変更機能を使用する事により、各工程手順毎共通
箇所データ変更時の工程・条件データ変更工数を大幅に
削減することが出来る。
【００３３】定量的効果として、常時生産されている工
程手順データの修正工数の半分は削減することが出来る
と考えられる。
程手順データの修正工数の半分は削減することが出来る
と考えられる。
【００３４】また本発明を使用することにより複数のデ
ータ入力機会が一回で済むので、データの入力ミス防止
・不正条件での製造作業防止、データ修正漏れ防止の効
果も得られる。
ータ入力機会が一回で済むので、データの入力ミス防止
・不正条件での製造作業防止、データ修正漏れ防止の効
果も得られる。
【図１】本発明の実施の形態における自動データ変更シ
ステムを示す構成図である。
ステムを示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるデータ作成の手順
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるデータ作成の手順
の他の例を示す図である。
の他の例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態における変更指示データ分
類部および自動一括変更処理部のうち主に変更指示デー
タ分類部のデータフローを示す図である。
類部および自動一括変更処理部のうち主に変更指示デー
タ分類部のデータフローを示す図である。
【図５】本発明の実施の形態における自動一括変更処理
部のデータフローを示す図である。
部のデータフローを示す図である。
【図６】従来技術のデータ変更システムを示す構成図で
ある。
ある。
２０ 品種データ ３０ 工程データ ４０ 製造条件 ５０ 工程手順データベース ５１ 工程手順データ ６０ 変更指示データ分類部 ６１ データ変更指示（ワークステーション） ６２ ＬＡＮ ６３ スタート工程フラグ ６４ エンド工程フラグ ７０ 自動一括変更処理部 ７１ 変更データ検索部 ７２ 変更データ自動変換部 ７３ 品名指定チェックプログラム ７４ 品名検索プログラム ７５ 変更箇所有無チェックプログラム ７６ パターン検索プログラム ７７ 変更対象品種検索プログラム ７８ データ自動変換プログラム ７９ 未検索品種チェックプログラム １００ 生産制御システム
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体装置の製造条件を設定する際の複
数品種の工程製造条件を変更する場合において、システ
ム変更機能として品種・工程・製造条件の組み合わせパ
ターンで一括自動変更可能な機能を備えたことを特徴と
する生産制御システム。 - 【請求項２】 前記一括自動変更可能な機能は、変更デ
ータの種類を分類する変更指示データ分類部と変更デー
タ検索およびデータ自動変換を行う自動一括変更処理部
とを具備して構成されることを特徴とする請求項１記載
の生産制御システム。 - 【請求項３】 半導体装置の製造条件を設定する際の複
数品種の工程製造条件を変更する場合において、システ
ム変更機能として品種・工程・製造条件の組み合わせパ
ターンで一括して自動変更をすることを特徴とする生産
制御方法。 - 【請求項４】 変更指示データ分類部で変更データの種
類を分類し、自動一括変更処理部で変更データ検索およ
びデータ自動変換することにより前記一括した自動変更
を行うことを特徴とする請求項３記載の生産制御方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13714396A JP2780702B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 生産制御システムおよび生産制御方法 |
| KR1019970022164A KR100242507B1 (ko) | 1996-05-30 | 1997-05-30 | 제조 라인의 변경이 용이한 생산 제어 시스템 및 그 데이타 변경 방법 |
| US08/865,870 US5883805A (en) | 1996-05-30 | 1997-05-30 | Manufacturing control system capable of changing a manufacturing line easily and its data modifying method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13714396A JP2780702B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 生産制御システムおよび生産制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320918A true JPH09320918A (ja) | 1997-12-12 |
| JP2780702B2 JP2780702B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=15191828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13714396A Expired - Lifetime JP2780702B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 生産制御システムおよび生産制御方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5883805A (ja) |
| JP (1) | JP2780702B2 (ja) |
| KR (1) | KR100242507B1 (ja) |
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| US6453209B1 (en) | 1999-09-01 | 2002-09-17 | Daimlerchrysler Corporation | Computer-implemented method and apparatus for integrating vehicle manufacturing operations |
| JP2001101303A (ja) * | 1999-10-04 | 2001-04-13 | Ishida Co Ltd | 商品処理装置及び管理システム |
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- 1996-05-30 JP JP13714396A patent/JP2780702B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-05-30 US US08/865,870 patent/US5883805A/en not_active Expired - Fee Related
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