JPH09320938A - 投影露光装置 - Google Patents
投影露光装置Info
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- JPH09320938A JPH09320938A JP8134947A JP13494796A JPH09320938A JP H09320938 A JPH09320938 A JP H09320938A JP 8134947 A JP8134947 A JP 8134947A JP 13494796 A JP13494796 A JP 13494796A JP H09320938 A JPH09320938 A JP H09320938A
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- light
- optical system
- exposure
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＣＰＵが他の処理をしている間に積算露光量
が設定露光量に達したときには、ＣＰＵが他の処理を中
断してシャッターの閉成動作を開始することができる投
影露光装置を提供する。 【解決手段】インテグレータ・カウンタのカウント値が
設定値に達した時点で、インテグレータ・カウンタがＣ
ＰＵに対して割り込み信号を送り、ＣＰＵがインテグレ
ータ・カウンタの割り込み信号を受けたときは、他の処
理を中断して、シャッタの閉成動作を開始するようにし
た。
が設定露光量に達したときには、ＣＰＵが他の処理を中
断してシャッターの閉成動作を開始することができる投
影露光装置を提供する。 【解決手段】インテグレータ・カウンタのカウント値が
設定値に達した時点で、インテグレータ・カウンタがＣ
ＰＵに対して割り込み信号を送り、ＣＰＵがインテグレ
ータ・カウンタの割り込み信号を受けたときは、他の処
理を中断して、シャッタの閉成動作を開始するようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、投影露光装置に関
し、特に、半導体素子や液晶表示基板製造用の投影露光
装置に関する。
し、特に、半導体素子や液晶表示基板製造用の投影露光
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子特にＩＣ製造において
は、回路パターンの微細化が要求され、ウエハなどのプ
レート上に１μｍ以下の線幅を有するパターンを焼き付
ける装置、いわゆる投影露光装置もプレート上に塗布さ
れた感光材料（フォトレジスト）に常に一定の露光量を
与えることが望ましく、このため高精度な露光制御が望
まれてきた。
は、回路パターンの微細化が要求され、ウエハなどのプ
レート上に１μｍ以下の線幅を有するパターンを焼き付
ける装置、いわゆる投影露光装置もプレート上に塗布さ
れた感光材料（フォトレジスト）に常に一定の露光量を
与えることが望ましく、このため高精度な露光制御が望
まれてきた。
【０００３】図１にプレートに回路パターンの像を露光
する投影露光装置の概略を示す。図１において、露光用
の照明系ＬＭからの光は、シャッターＳＨを介して、ハ
ーフミラーＨＭを透過し、ミラーＭで反射されて、回路
パターンを有するレチクルＲを照射する。レチクルＲの
回路パターンは、投影光学系ＰＬによりプレートＰの上
に結像される。
する投影露光装置の概略を示す。図１において、露光用
の照明系ＬＭからの光は、シャッターＳＨを介して、ハ
ーフミラーＨＭを透過し、ミラーＭで反射されて、回路
パターンを有するレチクルＲを照射する。レチクルＲの
回路パターンは、投影光学系ＰＬによりプレートＰの上
に結像される。
【０００４】従来、この種の投影露光装置では、プレー
トへの露光量を所定値に維持するために、次のような露
光制御を行っていた。すなわち、シャッターＳＨを開く
と、プレートＰへの露光が開始されると同時に、照明系
ＬＭからの光の一部がハーフミラーＨＭによって反射さ
れてフォトダイオードなどのインテグレータ・センサＩ
Ｓに導かれる。インテグレータ・センサＩＳからの光電
出力は、電圧／周波数（Ｖ／Ｆ）変換回路ＶＦにより照
明系ＬＭのランプの照度に比例した周波数のパルス信号
に変換される。前記パルス信号は、インテグレータ・カ
ウンタＩＣによりカウントされる。ＣＰＵは、インテグ
レータ・カウンタＩＣのカウント値を読み込み、そのカ
ウント値が予め設定された設定値に至っていると判断し
たときに、シャッターＳＨの閉成動作を開始する。
トへの露光量を所定値に維持するために、次のような露
光制御を行っていた。すなわち、シャッターＳＨを開く
と、プレートＰへの露光が開始されると同時に、照明系
ＬＭからの光の一部がハーフミラーＨＭによって反射さ
れてフォトダイオードなどのインテグレータ・センサＩ
Ｓに導かれる。インテグレータ・センサＩＳからの光電
出力は、電圧／周波数（Ｖ／Ｆ）変換回路ＶＦにより照
明系ＬＭのランプの照度に比例した周波数のパルス信号
に変換される。前記パルス信号は、インテグレータ・カ
ウンタＩＣによりカウントされる。ＣＰＵは、インテグ
レータ・カウンタＩＣのカウント値を読み込み、そのカ
ウント値が予め設定された設定値に至っていると判断し
たときに、シャッターＳＨの閉成動作を開始する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
のＣＰＵにおいては、図２に示すように、タイマー・カ
ウンタＴＣからＣＰＵに５ｍｓｅｃの間隔でタイマー割
り込みが入り、その後、約２〜３ｍｓｅｃの間、ＣＰＵ
が他の処理を行うため、その間、ＣＰＵは、インテグレ
ータ・カウンタＩＣの監視ができないこととなる。この
ため、ＣＰＵがタイマー割り込みによる処理を行ってい
る間に、インテグレータ・カウンタＩＣのカウント値が
設定値に達したとしても、同割り込み処理が終了するま
で、シャッタの閉成動作を開始することができないとい
う問題点があった。すなわち、時間Ｔｓにおいて、イン
テグレータ・カウンタＩＣのカウント値が設定値に達し
たとすると、そのときの積算露光量は、設定露光量Ｅｓ
に達していることになるが、ＣＰＵは、この時間Ｔｓに
おいて、インテグレータ・カウンタＩＣを監視していな
いため、シャッターＳＨの閉成動作を開始することがで
きない。ＣＰＵがシャッターＳＨの閉成動作を開始する
ことができるのは、他の処理が終了した後の時間Ｔｄで
ある。しかし、時間Ｔｄにおいて積算露光量は、Ｅｄに
増大しているため、時間Ｔｄでシャッタの閉成動作を開
始したのでは、ΔＥ＝Ｅｄ−Ｅｓの露光量分だけオーバ
ー露光となる。カウント値が設定値に達するタイミング
によっては、オーバー露光ぎみになり、この問題は、レ
ジスト感度が高くなる程影響が大きくなる。従って、本
発明は、ＣＰＵが他の処理をしている間に積算露光量が
設定露光量に達したときには、ＣＰＵが他の処理を中断
してシャッターの閉成動作を開始することができる投影
露光装置を提供することを目的とする。
のＣＰＵにおいては、図２に示すように、タイマー・カ
ウンタＴＣからＣＰＵに５ｍｓｅｃの間隔でタイマー割
り込みが入り、その後、約２〜３ｍｓｅｃの間、ＣＰＵ
が他の処理を行うため、その間、ＣＰＵは、インテグレ
ータ・カウンタＩＣの監視ができないこととなる。この
ため、ＣＰＵがタイマー割り込みによる処理を行ってい
る間に、インテグレータ・カウンタＩＣのカウント値が
設定値に達したとしても、同割り込み処理が終了するま
で、シャッタの閉成動作を開始することができないとい
う問題点があった。すなわち、時間Ｔｓにおいて、イン
テグレータ・カウンタＩＣのカウント値が設定値に達し
たとすると、そのときの積算露光量は、設定露光量Ｅｓ
に達していることになるが、ＣＰＵは、この時間Ｔｓに
おいて、インテグレータ・カウンタＩＣを監視していな
いため、シャッターＳＨの閉成動作を開始することがで
きない。ＣＰＵがシャッターＳＨの閉成動作を開始する
ことができるのは、他の処理が終了した後の時間Ｔｄで
ある。しかし、時間Ｔｄにおいて積算露光量は、Ｅｄに
増大しているため、時間Ｔｄでシャッタの閉成動作を開
始したのでは、ΔＥ＝Ｅｄ−Ｅｓの露光量分だけオーバ
ー露光となる。カウント値が設定値に達するタイミング
によっては、オーバー露光ぎみになり、この問題は、レ
ジスト感度が高くなる程影響が大きくなる。従って、本
発明は、ＣＰＵが他の処理をしている間に積算露光量が
設定露光量に達したときには、ＣＰＵが他の処理を中断
してシャッターの閉成動作を開始することができる投影
露光装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、インテグレータ・カウンタのカウン
ト値が設定値に達した時点で、インテグレータ・カウン
タがＣＰＵに対して割り込み信号を送り、ＣＰＵがイン
テグレータ・カウンタの割り込み信号を受けたときは、
他の処理を中断して、シャッタの閉成動作を開始するこ
ととした。
ために、本発明は、インテグレータ・カウンタのカウン
ト値が設定値に達した時点で、インテグレータ・カウン
タがＣＰＵに対して割り込み信号を送り、ＣＰＵがイン
テグレータ・カウンタの割り込み信号を受けたときは、
他の処理を中断して、シャッタの閉成動作を開始するこ
ととした。
【０００７】本発明においては、積算露光量が設定露光
量に達した時点で、ＣＰＵが他の処理を中断して、シャ
ッターの閉成動作を開始するので、シャッターの閉成動
作の開始に時間遅れがなくなる。従って、各ショットの
露光量を従来よりも正確に一定の値に維持することがで
きるので、ショットごとの露光量にムラがなくなり、露
光量が安定する。
量に達した時点で、ＣＰＵが他の処理を中断して、シャ
ッターの閉成動作を開始するので、シャッターの閉成動
作の開始に時間遅れがなくなる。従って、各ショットの
露光量を従来よりも正確に一定の値に維持することがで
きるので、ショットごとの露光量にムラがなくなり、露
光量が安定する。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の投影露光装置は、光源か
らの光束をレチクル上に導く照明光学系と、前記光束を
遮断するシャッターと、前記光束で照明された前記レチ
クル上のパターン像を感光基板上に投影する投影光学系
と、一回の露光を行う際の前記感光基板の露光量の積算
値を検出する露光積算値検出手段と、同露光積算値検出
手段からの直接のアクセスにより、露光の完了を認識
し、前記シャッターを閉じる制御手段とを有する。
らの光束をレチクル上に導く照明光学系と、前記光束を
遮断するシャッターと、前記光束で照明された前記レチ
クル上のパターン像を感光基板上に投影する投影光学系
と、一回の露光を行う際の前記感光基板の露光量の積算
値を検出する露光積算値検出手段と、同露光積算値検出
手段からの直接のアクセスにより、露光の完了を認識
し、前記シャッターを閉じる制御手段とを有する。
【０００９】また、本発明のシャッタ制御装置は、感光
体と、感光体への光を遮断する遮断手段と、感光体への
光の量を検出し、検出した光量が所定値を超えたときに
信号を発生する光量検出手段と、光量検出手段の信号を
受けたときに、遮断手段により光を遮断する制御手段と
を含む。
体と、感光体への光を遮断する遮断手段と、感光体への
光の量を検出し、検出した光量が所定値を超えたときに
信号を発生する光量検出手段と、光量検出手段の信号を
受けたときに、遮断手段により光を遮断する制御手段と
を含む。
【００１０】また、本発明のシャッタ制御装置は、感光
基板と、感光基板へ光を照射する照明光学系と、照明光
学系と感光基板の間に設けられ、照明光学系から感光基
板へ照射される光を透過及び遮断する遮断手段と、遮断
手段を透過した光の量を検出し、検出した光量が所定値
を超えたときに信号を発生する光量検出手段と、光量検
出手段の信号を受けたときに、照明光学系から感光基板
へ照射される光を遮断手段により遮断する制御手段とを
含む。
基板と、感光基板へ光を照射する照明光学系と、照明光
学系と感光基板の間に設けられ、照明光学系から感光基
板へ照射される光を透過及び遮断する遮断手段と、遮断
手段を透過した光の量を検出し、検出した光量が所定値
を超えたときに信号を発生する光量検出手段と、光量検
出手段の信号を受けたときに、照明光学系から感光基板
へ照射される光を遮断手段により遮断する制御手段とを
含む。
【００１１】また、本発明の投影露光装置は、パターン
が設けられたレチクルと、レチクルへ光を照射する照明
光学系と、感光基板と、感光基板へレチクル上のパター
ンを投影する投影光学系と、照明光学系とレチクルとの
間に設けられ、照明光学系からレチクルへ照射される光
を透過及び遮断する遮断手段と、遮断手段を透過した光
の量を積算し、積算した光量が所定値を超えたときに信
号を発生する光量積算手段と、タイマー割り込み信号を
発生するタイマーカウンタと、光量積算手段が積算した
光量を読み込む第１動作及びタイマー割り込み信号を入
力したときに他の処理を実行する第２動作とを有してお
り、第１動作において、積算した光量が所定値を超えて
いるときに、照明光学系からレチクルへ照射される光を
遮断手段により遮断する制御と、第２動作において、光
量積算手段からの信号を受けたときに、他の処理を中断
して、照明光学系からレチクルへ照射される光を遮断手
段により遮断する制御手段とを含む。
が設けられたレチクルと、レチクルへ光を照射する照明
光学系と、感光基板と、感光基板へレチクル上のパター
ンを投影する投影光学系と、照明光学系とレチクルとの
間に設けられ、照明光学系からレチクルへ照射される光
を透過及び遮断する遮断手段と、遮断手段を透過した光
の量を積算し、積算した光量が所定値を超えたときに信
号を発生する光量積算手段と、タイマー割り込み信号を
発生するタイマーカウンタと、光量積算手段が積算した
光量を読み込む第１動作及びタイマー割り込み信号を入
力したときに他の処理を実行する第２動作とを有してお
り、第１動作において、積算した光量が所定値を超えて
いるときに、照明光学系からレチクルへ照射される光を
遮断手段により遮断する制御と、第２動作において、光
量積算手段からの信号を受けたときに、他の処理を中断
して、照明光学系からレチクルへ照射される光を遮断手
段により遮断する制御手段とを含む。
【００１２】この制御手段は、更に、光量積算手段から
の信号を受けたときに、光量積算手段が積算した光量を
読み込み、積算した光量が所定値を超えているときに、
他の処理を中断して、照明光学系からレチクルへ照射さ
れる光を遮断手段により遮断する制御をするとよい。
の信号を受けたときに、光量積算手段が積算した光量を
読み込み、積算した光量が所定値を超えているときに、
他の処理を中断して、照明光学系からレチクルへ照射さ
れる光を遮断手段により遮断する制御をするとよい。
【００１３】更に、この投影露光装置は、感光基板へレ
チクル上のパターンを投影する前に、照明光学系の光強
度を測定する測定手段と、測定手段により測定された光
強度により、露光時間を予測する予測手段と、遮断手段
が照明光学系からの光をレチクルへ照射し始めた時から
遮断手段が照明光学系からの光の遮断を終了した時まで
の実露光時間を計測する手段と、予測手段により予測さ
れた露光時間と実露光時間との差が許容値を超えるとき
に警告を発生する警告手段とを更に含むとよい。
チクル上のパターンを投影する前に、照明光学系の光強
度を測定する測定手段と、測定手段により測定された光
強度により、露光時間を予測する予測手段と、遮断手段
が照明光学系からの光をレチクルへ照射し始めた時から
遮断手段が照明光学系からの光の遮断を終了した時まで
の実露光時間を計測する手段と、予測手段により予測さ
れた露光時間と実露光時間との差が許容値を超えるとき
に警告を発生する警告手段とを更に含むとよい。
【００１４】この制御手段は、遮断手段の遮断動作の開
始から終了までの間に感光基板へ照射される光量を補正
積算光量として有しており、目標積算光量と補正積算光
量の差に基づいて所定値を算出するようにしてもよい。
始から終了までの間に感光基板へ照射される光量を補正
積算光量として有しており、目標積算光量と補正積算光
量の差に基づいて所定値を算出するようにしてもよい。
【００１５】
【実施例】始めに、本発明のＣＰＵの基本的な動作を図
３により説明する。ＣＰＵは、露光動作を開始する前
（シャッターの開放動作を開始する前）に、ステップＳ
１において、設定露光量に対応する設定値をインテグレ
ータ・カウンタＩＣに出力する。その後、ステップＳ２
において、シャッターＳＨに、シャッターの開放動作を
開始するための信号を出力する。ＣＰＵは、ステップＳ
３において、タイマー・カウンターＴＣからタイマー割
り込み信号を受けると、ステップＳ４で、他の処理を行
う。この他の処理が終了した後で、ステップＳ５におい
て、インテグレータ・カウンタＩＣのカウント値を読み
込む。ステップＳ６において、カウント値が０（零）以
下になったかどうかを判断し、０（零）以下になってい
なければ、ステップＳ３に戻る。０（零）以下になった
と判断したときは、ステップＳ７において、シャッター
の閉成動作を開始する信号を出力する。その後、ステッ
プＳ８において、露光動作が全て終了したと判断したと
きは、ＥＮＤとなり、露光動作を繰り返す必要があると
判断したときは、ステップＳ２へ戻る。以上は、ＣＰＵ
の基本的な動作である。
３により説明する。ＣＰＵは、露光動作を開始する前
（シャッターの開放動作を開始する前）に、ステップＳ
１において、設定露光量に対応する設定値をインテグレ
ータ・カウンタＩＣに出力する。その後、ステップＳ２
において、シャッターＳＨに、シャッターの開放動作を
開始するための信号を出力する。ＣＰＵは、ステップＳ
３において、タイマー・カウンターＴＣからタイマー割
り込み信号を受けると、ステップＳ４で、他の処理を行
う。この他の処理が終了した後で、ステップＳ５におい
て、インテグレータ・カウンタＩＣのカウント値を読み
込む。ステップＳ６において、カウント値が０（零）以
下になったかどうかを判断し、０（零）以下になってい
なければ、ステップＳ３に戻る。０（零）以下になった
と判断したときは、ステップＳ７において、シャッター
の閉成動作を開始する信号を出力する。その後、ステッ
プＳ８において、露光動作が全て終了したと判断したと
きは、ＥＮＤとなり、露光動作を繰り返す必要があると
判断したときは、ステップＳ２へ戻る。以上は、ＣＰＵ
の基本的な動作である。
【００１６】次に、本発明のインテグレータ・カウンタ
ＩＣの動作を図４により説明する。インテグレータ・カ
ウンタＩＣは、ステップＳ１１において、ＣＰＵから設
定値を読み込む。そして、ステップＳ１２において、カ
ウント値を設定値にセットする。その後、ＣＰＵがシャ
ッターの開放動作開始信号を出力して、シャッターＳＨ
が開放されると、電圧／周波数変換回路ＶＦからパルス
信号を受けて、ステップＳ１３において、ダウンカウン
トを行う。インテグレータ・カウンタＩＣのカウント値
が０（零）になると、積算露光量が設定露光量となる。
従って、ステップＳ１４において、カウント値が０
（零）以下になったかどうかを判断し、０（零）以下に
なっていなければ、ステップＳ１３に戻り、０（零）以
下になったと判断したときは、ステップＳ１５におい
て、ＣＰＵへ割り込み信号を出力する。
ＩＣの動作を図４により説明する。インテグレータ・カ
ウンタＩＣは、ステップＳ１１において、ＣＰＵから設
定値を読み込む。そして、ステップＳ１２において、カ
ウント値を設定値にセットする。その後、ＣＰＵがシャ
ッターの開放動作開始信号を出力して、シャッターＳＨ
が開放されると、電圧／周波数変換回路ＶＦからパルス
信号を受けて、ステップＳ１３において、ダウンカウン
トを行う。インテグレータ・カウンタＩＣのカウント値
が０（零）になると、積算露光量が設定露光量となる。
従って、ステップＳ１４において、カウント値が０
（零）以下になったかどうかを判断し、０（零）以下に
なっていなければ、ステップＳ１３に戻り、０（零）以
下になったと判断したときは、ステップＳ１５におい
て、ＣＰＵへ割り込み信号を出力する。
【００１７】ＣＰＵが、インテグレータ・カウンタＩＣ
からの割り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作を図
５により説明する。ＣＰＵは、インテグレータ・カウン
タＩＣからの割り込み信号を入力すると、この割り込み
信号を最優先とし、ステップＳ２１において、他の処理
を中断する。そして、ステップＳ２２において、シャッ
ターの閉成動作を開始するための信号をシャッターＳＨ
へ出力する。従って、シャッターＳＨは、積算露光量が
設定露光量になった時点で、閉成動作を開始することが
できるので、ショットごとの露光量が安定する。故に、
ＣＰＵが他の処理をしているために、インテグレータ・
カウンタＩＣのカウント値を監視できずに、シャッター
の閉成動作の開始信号の出力が遅れて、オーバー露光と
なってしまうという従来技術の問題を、本発明は、解決
することができる。
からの割り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作を図
５により説明する。ＣＰＵは、インテグレータ・カウン
タＩＣからの割り込み信号を入力すると、この割り込み
信号を最優先とし、ステップＳ２１において、他の処理
を中断する。そして、ステップＳ２２において、シャッ
ターの閉成動作を開始するための信号をシャッターＳＨ
へ出力する。従って、シャッターＳＨは、積算露光量が
設定露光量になった時点で、閉成動作を開始することが
できるので、ショットごとの露光量が安定する。故に、
ＣＰＵが他の処理をしているために、インテグレータ・
カウンタＩＣのカウント値を監視できずに、シャッター
の閉成動作の開始信号の出力が遅れて、オーバー露光と
なってしまうという従来技術の問題を、本発明は、解決
することができる。
【００１８】次に、図３のステップＳ１における設定値
について説明する。プレートＰ上に照射される光強度と
積算露光量の関係を図６に示す。照明系ＬＭのランプが
新しいため光り強度が強い場合を線Ａで示し、ランプが
劣化して光強度が弱い場合を線Ｂで示している。まず、
光強度が強い場合について、線Ａを参照して説明する。
時間Ｔ0において、シャッターＳＨの開放動作が開始さ
れる。シャッターＳＨが開放されるにつれて、光強度が
増大し、積算露光量も増大する。時間Ｔ1において、シ
ャッターＳＨは、全開になり、光強度が最大値Ｓ1にな
る。以降は、シャッターＳＨの閉成動作が開始されるま
で光り強度がＳ1で一定値をとるので、積算露光量は一
定の傾きで増大する。時間Ｔ2において、シャッターＳ
Ｈの閉成動作が開始されると、光強度は減少し、積算露
光量の増大の割合も小さくなる。時間Ｔ3において、シ
ャッターＳＨが全閉すると、光強度は零になり、積算露
光量は増大しなくなる。
について説明する。プレートＰ上に照射される光強度と
積算露光量の関係を図６に示す。照明系ＬＭのランプが
新しいため光り強度が強い場合を線Ａで示し、ランプが
劣化して光強度が弱い場合を線Ｂで示している。まず、
光強度が強い場合について、線Ａを参照して説明する。
時間Ｔ0において、シャッターＳＨの開放動作が開始さ
れる。シャッターＳＨが開放されるにつれて、光強度が
増大し、積算露光量も増大する。時間Ｔ1において、シ
ャッターＳＨは、全開になり、光強度が最大値Ｓ1にな
る。以降は、シャッターＳＨの閉成動作が開始されるま
で光り強度がＳ1で一定値をとるので、積算露光量は一
定の傾きで増大する。時間Ｔ2において、シャッターＳ
Ｈの閉成動作が開始されると、光強度は減少し、積算露
光量の増大の割合も小さくなる。時間Ｔ3において、シ
ャッターＳＨが全閉すると、光強度は零になり、積算露
光量は増大しなくなる。
【００１９】この時間Ｔ3における積算露光量が目標露
光量Ｅ0になるようにする必要がある。その為に、シャ
ッターＳＨの閉成動作が開始される時間Ｔ2からシャッ
ターＳＨが全閉する時間Ｔ3までの間に増大する積算露
光量ΔＥ1を予め求めておき、目標露光量Ｅ0から補正露
光量ΔＥ1を差し引いて、シャッターＳＨの閉成動作が
開始される時間Ｔ2における積算露光量Ｅｓ2を求める。
そして、この積算露光量Ｅｓ2に対応するインテグレー
タ・カウンタＩＣのカウント値を設定値とする。
光量Ｅ0になるようにする必要がある。その為に、シャ
ッターＳＨの閉成動作が開始される時間Ｔ2からシャッ
ターＳＨが全閉する時間Ｔ3までの間に増大する積算露
光量ΔＥ1を予め求めておき、目標露光量Ｅ0から補正露
光量ΔＥ1を差し引いて、シャッターＳＨの閉成動作が
開始される時間Ｔ2における積算露光量Ｅｓ2を求める。
そして、この積算露光量Ｅｓ2に対応するインテグレー
タ・カウンタＩＣのカウント値を設定値とする。
【００２０】ところで、照明系ＬＭのランプが劣化して
光強度がＳ2に低下した場合は、図６の線Ｂのようにな
る。シャッターＳＨの閉成動作が開始される時間Ｔ4か
らシャッターＳＨが全閉する時間Ｔ5までの間に増大す
る積算露光量は、ΔＥ2となり、光強度が強い場合の補
正露光量ΔＥ1よりも小さくなる。すなわち、ランプの
パワーが劣化等により変化すると、補正露光量も変化す
る。そこで、露光前にランプの光強度Ｓ1、Ｓ2の測定を
行い、その値をもとに補正露光量ΔＥ1、ΔＥ2を予め算
出しておくとよい。
光強度がＳ2に低下した場合は、図６の線Ｂのようにな
る。シャッターＳＨの閉成動作が開始される時間Ｔ4か
らシャッターＳＨが全閉する時間Ｔ5までの間に増大す
る積算露光量は、ΔＥ2となり、光強度が強い場合の補
正露光量ΔＥ1よりも小さくなる。すなわち、ランプの
パワーが劣化等により変化すると、補正露光量も変化す
る。そこで、露光前にランプの光強度Ｓ1、Ｓ2の測定を
行い、その値をもとに補正露光量ΔＥ1、ΔＥ2を予め算
出しておくとよい。
【００２１】補正露光量（シャッターＳＨの閉成動作が
開始される時間からシャッターＳＨが全閉する時間まで
の間に増大する積算露光量）を予め求める方法は、上記
した方法の他に、次のようにして求めてもよい。図６の
線Ａにおいて、シャッターＳＨの開放動作が開始される
時間Ｔ0からシャッターＳＨが全開する時間Ｔ1までの間
に増大する積算露光量Ｅｕと、シャッターＳＨの閉成動
作が開始される時間Ｔ2からシャッターＳＨが全閉する
時間Ｔ３までの間に増大する積算露光量ΔＥ１とが等し
いと考えられるので、このＥｕを求めてＥｕを補正露光
量ΔＥ1としてもよい。積算露光量Ｅｕは、シャッタの
開放動作が行われている間の光強度を測定（別途インテ
グレータ・センサＩＳの出力をモニタ）することにより
求めることができる。この方法によれば、ランプの劣化
等による照度変動を補正した補正露光量を求めることが
できる。あるいは、インテグレータ・カウンタＩＣが０
（零）カウントに達し、シャッターＳＨの閉成動作が開
始された後も、さらにダウンカウントを継続し、完全に
シャッターＳＨが閉じたときのカウント値から次の露光
時の補正露光量を再設定することとしてもよい。
開始される時間からシャッターＳＨが全閉する時間まで
の間に増大する積算露光量）を予め求める方法は、上記
した方法の他に、次のようにして求めてもよい。図６の
線Ａにおいて、シャッターＳＨの開放動作が開始される
時間Ｔ0からシャッターＳＨが全開する時間Ｔ1までの間
に増大する積算露光量Ｅｕと、シャッターＳＨの閉成動
作が開始される時間Ｔ2からシャッターＳＨが全閉する
時間Ｔ３までの間に増大する積算露光量ΔＥ１とが等し
いと考えられるので、このＥｕを求めてＥｕを補正露光
量ΔＥ1としてもよい。積算露光量Ｅｕは、シャッタの
開放動作が行われている間の光強度を測定（別途インテ
グレータ・センサＩＳの出力をモニタ）することにより
求めることができる。この方法によれば、ランプの劣化
等による照度変動を補正した補正露光量を求めることが
できる。あるいは、インテグレータ・カウンタＩＣが０
（零）カウントに達し、シャッターＳＨの閉成動作が開
始された後も、さらにダウンカウントを継続し、完全に
シャッターＳＨが閉じたときのカウント値から次の露光
時の補正露光量を再設定することとしてもよい。
【００２２】ＣＰＵが、インテグレータ・カウンタＩＣ
からの割り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作の別
の実施例を図７により説明する。図７の実施例は、ＣＰ
Ｕが前記割り込み信号を入力した際に即シャッターＳＨ
を閉じるのではなく、タイマー割り込みによる他の処理
内でインテグレータ・カウンタＩＣのカウント値を読み
込み、同カウント値が０（零）以下となっていることを
確認した後に、シャッタＳＨの閉成動作を開始するもの
である。ＣＰＵは、インテグレータ・カウンタＩＣから
の割り込み信号を入力すると、この割り込み信号を最優
先とし、ステップＳ３１において、他の処理を一時中断
する。ステップＳ３２において、インテグレータ・カウ
ンタＩＣのカウント値を読み込む。ステップＳ３３にお
いて、カウント値が０（零）以下になったかどうかを判
断し、０（零）以下になっていなければ、ステップＳ３
４において、他の処理を再開する。０（零）以下になっ
たと判断したときは、ステップＳ３５において、シャッ
ターの閉成動作を開始する信号を出力する。この実施例
によれば、インテグレータ・カウンタＩＣからの割り込
み信号にノイズ等が乗ってしまった場合の誤動作を防止
することができる。
からの割り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作の別
の実施例を図７により説明する。図７の実施例は、ＣＰ
Ｕが前記割り込み信号を入力した際に即シャッターＳＨ
を閉じるのではなく、タイマー割り込みによる他の処理
内でインテグレータ・カウンタＩＣのカウント値を読み
込み、同カウント値が０（零）以下となっていることを
確認した後に、シャッタＳＨの閉成動作を開始するもの
である。ＣＰＵは、インテグレータ・カウンタＩＣから
の割り込み信号を入力すると、この割り込み信号を最優
先とし、ステップＳ３１において、他の処理を一時中断
する。ステップＳ３２において、インテグレータ・カウ
ンタＩＣのカウント値を読み込む。ステップＳ３３にお
いて、カウント値が０（零）以下になったかどうかを判
断し、０（零）以下になっていなければ、ステップＳ３
４において、他の処理を再開する。０（零）以下になっ
たと判断したときは、ステップＳ３５において、シャッ
ターの閉成動作を開始する信号を出力する。この実施例
によれば、インテグレータ・カウンタＩＣからの割り込
み信号にノイズ等が乗ってしまった場合の誤動作を防止
することができる。
【００２３】本発明は、前記した実施例の他に、安定な
露光量を得るのに十分に短い時間間隔の別のタイマー割
り込み処理を使い、その処理の中でインテグレータ・カ
ウンタＩＣのカウンタ値をモニタしてシャッターの閉成
動作を行うようにしてもよい。
露光量を得るのに十分に短い時間間隔の別のタイマー割
り込み処理を使い、その処理の中でインテグレータ・カ
ウンタＩＣのカウンタ値をモニタしてシャッターの閉成
動作を行うようにしてもよい。
【００２４】また、タイマー割り込みによる他の処理時
間は、数ミリ秒の間隔であるので、目標露光量までの露
光時間が長くなると、タイマー割り込み処理の影響によ
る露光量の誤差が無視できるほど小さくなる。従って、
露光時間が所定時間よりも長い場合には、インテグレー
タ・カウンタＩＣからの割り込み信号があっても他の処
理を中断しないようにすることもできる。これに対し
て、タイマー割り込みにより実行される他の処理に影響
を与えないほど十分に露光時間が短い場合には、タイマ
ー割り込みによる他の処理を中止して、インテグレータ
・カウンタＩＣのカウント値のモニタをＣＰＵに専念さ
せるようにしてもよい。
間は、数ミリ秒の間隔であるので、目標露光量までの露
光時間が長くなると、タイマー割り込み処理の影響によ
る露光量の誤差が無視できるほど小さくなる。従って、
露光時間が所定時間よりも長い場合には、インテグレー
タ・カウンタＩＣからの割り込み信号があっても他の処
理を中断しないようにすることもできる。これに対し
て、タイマー割り込みにより実行される他の処理に影響
を与えないほど十分に露光時間が短い場合には、タイマ
ー割り込みによる他の処理を中止して、インテグレータ
・カウンタＩＣのカウント値のモニタをＣＰＵに専念さ
せるようにしてもよい。
【００２５】また、ランプのパワーを露光の前に計測し
ておくことにより、予め、実露光時間（シャッターの開
放動作の開始からシャッターの閉成動作の終了までの時
間）を予測することができる。そこで、予測した実露光
時間の直前からは、タイマー割り込みによる他の処理を
中断して、ＣＰＵをインテグレータ・カウンタＩＣのモ
ニタに専念させるようにしてもよい。
ておくことにより、予め、実露光時間（シャッターの開
放動作の開始からシャッターの閉成動作の終了までの時
間）を予測することができる。そこで、予測した実露光
時間の直前からは、タイマー割り込みによる他の処理を
中断して、ＣＰＵをインテグレータ・カウンタＩＣのモ
ニタに専念させるようにしてもよい。
【００２６】また、全露光量（シャッターの開放動作の
開始からシャッターの閉成動作の終了までのインテグレ
ータ・カウンタＩＣのカウント値）が目標露光量に対し
て許容値内か否かのチェックをする露光動作のチェック
機能を設けてもよい。
開始からシャッターの閉成動作の終了までのインテグレ
ータ・カウンタＩＣのカウント値）が目標露光量に対し
て許容値内か否かのチェックをする露光動作のチェック
機能を設けてもよい。
【００２７】また、インテグレータ・カウンタＩＣと並
列に、もう一つのタイマー・カウンタＴＣを設けて、こ
のタイマー・カウンタＴＣで、ＣＰＵクロックから露光
経過時間の計測を行い、露光前に測定されたランプのパ
ワーから予測される実露光時間との比較を行い、許容値
を超える場合には、警報を発するようにしてもよい。
列に、もう一つのタイマー・カウンタＴＣを設けて、こ
のタイマー・カウンタＴＣで、ＣＰＵクロックから露光
経過時間の計測を行い、露光前に測定されたランプのパ
ワーから予測される実露光時間との比較を行い、許容値
を超える場合には、警報を発するようにしてもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２９】本発明によれば、投影露光装置の露光動作
において、タイムラグのないシャッター閉成動作を行う
ことができるので、積算露光量の精度の向上とスループ
ットの向上を得ることができる。また、露光完了の確認
を、インテグレータ・カウンタＩＣからの割り込み信号
による方法とカウント値の読み込みによる方法の２つの
方法によりクロスチェックできるので、異常な露光（ア
ンダー露光等）を防ぐことができ、装置の信頼性を上げ
る効果もある。更に、また、露光の異常が発生してしま
った際の警告機能を付け加えることにより、装置の故障
等による被害の拡大を防止することができる。
において、タイムラグのないシャッター閉成動作を行う
ことができるので、積算露光量の精度の向上とスループ
ットの向上を得ることができる。また、露光完了の確認
を、インテグレータ・カウンタＩＣからの割り込み信号
による方法とカウント値の読み込みによる方法の２つの
方法によりクロスチェックできるので、異常な露光（ア
ンダー露光等）を防ぐことができ、装置の信頼性を上げ
る効果もある。更に、また、露光の異常が発生してしま
った際の警告機能を付け加えることにより、装置の故障
等による被害の拡大を防止することができる。
【図１】プレートに回路パターンの像を露光する投影露
光装置の概略図である。
光装置の概略図である。
【図２】ＣＰＵの動作と積算露光量の関係を説明する図
である。
である。
【図３】本発明のＣＰＵの基本的な動作を説明する図で
ある。
ある。
【図４】本発明のインテグレータ・カウンタの動作を説
明する図である。
明する図である。
【図５】ＣＰＵが、インテグレータ・カウンタからの割
り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作を説明する図
である。
り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作を説明する図
である。
【図６】プレート上に照射される光強度と積算露光量の
関係を説明する図である。
関係を説明する図である。
【図７】ＣＰＵが、インテグレータ・カウンタからの割
り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作の別の実施例
を説明する図である。
り込み信号を入力したときのＣＰＵの動作の別の実施例
を説明する図である。
ＬＭ 照明系 Ｍ ミラー Ｐ プレート ＶＦ 電圧／周波数変換回路 ＳＨ シャッター Ｒ レチクル ＩＳ インテグレータ・センサ ＩＣ インテグレータ・カウンタ ＴＣ タイマー・カウンタ ＨＭ ハーフミラー ＰＬ 投影光学系
Claims (7)
- 【請求項１】光源からの光束をレチクル上に導く照明光
学系と、 前記光束を遮断するシャッタと、 前記光束で照明された前記レチクル上のパターン像を感
光基板上に投影する投影光学系と、 一回の露光を行う際の前記感光基板の露光量の積算値を
検出する露光積算値検出手段と、 前記露光積算値検出手段からの直接のアクセスにより、
露光の完了を認識し、前記シャッターを閉じる制御手段
とを含む投影露光装置。 - 【請求項２】感光体と、 前記感光体への光を遮断する遮断手段と、 前記感光体への光の量を検出し、検出した光量が所定値
を超えたときに信号を発生する光量検出手段と、 前記光量検出手段の前記信号を受けたときに、前記遮断
手段により光を遮断する制御手段とを含むシャッタ制御
装置。 - 【請求項３】感光基板と、 前記感光基板へ光を照射する照明光学系と、 前記照明光学系と前記感光基板の間に設けられ、前記照
明光学系から前記感光基板へ照射される光を透過及び遮
断する遮断手段と、 前記遮断手段を透過した光の量を検出し、検出した光量
が所定値を超えたときに信号を発生する光量検出手段
と、 前記光量検出手段の前記信号を受けたときに、前記照明
光学系から前記感光基板へ照射される光を前記遮断手段
により遮断する制御手段とを含むシャッタ制御装置。 - 【請求項４】パターンが設けられたレチクルと、 前記レチクルへ光を照射する照明光学系と、 感光基板と、 前記感光基板へ前記レチクル上のパターンを投影する投
影光学系と、 前記照明光学系と前記レチクルとの間に設けられ、前記
照明光学系から前記レチクルへ照射される光を透過及び
遮断する遮断手段と、 前記遮断手段を透過した光の量を積算し、積算した光量
が所定値を超えたときに信号を発生する光量積算手段
と、 タイマー割り込み信号を発生するタイマーカウンタと、 前記光量積算手段が積算した光量を読み込む第１動作
と、前記タイマー割り込み信号を入力したときに他の処
理を実行する第２動作とを有しており、前記第１動作に
おいて、前記積算した光量が前記所定値を超えていると
きに、前記照明光学系から前記レチクルへ照射される光
を前記遮断手段により遮断する制御と、前記第２動作に
おいて、前記光量積算手段からの信号を受けたときに、
前記他の処理を中断して、前記照明光学系から前記レチ
クルへ照射される光を前記遮断手段により遮断する制御
手段とを含む投影露光装置。 - 【請求項５】前記制御手段は、前記光量積算手段からの
信号を受けたときに、前記光量積算手段が積算した光量
を読み込み、前記積算した光量が前記所定値を超えてい
るときに、前記他の処理を中断して、前記照明光学系か
ら前記レチクルへ照射される光を前記遮断手段により遮
断することを特徴とする投影露光装置。 - 【請求項６】前記感光基板へ前記レチクル上のパターン
を投影する前に、前記照明光学系の光強度を測定する測
定手段と、 前記測定手段により測定された光強度により、露光時間
を予測する予測手段と、 前記遮断手段が前記照明光学系からの光を前記レチクル
へ照射し始めた時から前記遮断手段が前記照明光学系か
らの光の遮断を終了した時までの実露光時間を計測する
手段と、 前記予測手段により予測された露光時間と前記実露光時
間との差が許容値を超えるときに警告を発生する警告手
段とを更に含むことを特徴とする請求項４又は５に記載
の投影露光装置。 - 【請求項７】前記制御手段は、前記遮断手段の遮断動作
の開始から終了までの間に前記感光基板へ照射される光
量を補正積算光量として有しており、目標積算光量と前
記補正積算光量の差に基づいて前記所定値を算出するこ
とを特徴とする請求項４乃至６に記載の投影露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8134947A JPH09320938A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 投影露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8134947A JPH09320938A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 投影露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320938A true JPH09320938A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15140289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8134947A Withdrawn JPH09320938A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 投影露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320938A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008118062A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2010080511A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Nikon Corp | 露光方法及びデバイス製造方法 |
-
1996
- 1996-05-29 JP JP8134947A patent/JPH09320938A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008118062A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2010080511A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Nikon Corp | 露光方法及びデバイス製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |