JPH09326352A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 所定の大きさを有するほぼ円形の光源と、該光源からの光束に基づいて複数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、該多光源像形成手段を介して形成された前記複数の光源像からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、
   前記多光源像形成手段は、光源側から順に、所定の長方形断面を有する複数の第１レンズエレメントの集合体からなる第１レンズ群と、所定の六角形断面または７つ以上の辺を有する所定の多角形断面を有する複数の第２レンズエレメントの集合体からなる第２レンズ群とを有し、
   前記複数の第１レンズエレメントの各々の光軸は、前記照明光学装置の光軸とほぼ平行で、且つ前記複数の第２レンズエレメントのうちの対応する第２レンズエレメントの光軸とほぼ一致することを特徴とする照明光学装置。
2. 前記複数の第１レンズエレメントは、各第１レンズエレメントの長方形断面形状の短辺同士が互いに当接し、且つ各第１レンズエレメントの長方形断面形状の長辺が隣接する４つの第１レンズエレメントの長方形断面形状の対応する長辺の半分と当接するように配置され、
   前記複数の第２レンズエレメントは、各第２レンズエレメントの六角形断面形状の各辺が隣接する６つの第２レンズエレメントの六角形断面形状の対応する辺と当接するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の照明光学装置。
3. 前記光源と前記多光源像形成手段との間の光路中に配置されるインテグレータをさらに備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の照明光学装置。
4. 前記光源は水銀ランプを備えていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の照明光学装置。
5. 前記被照射面上に形成される照明領域の形状は長方形状であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の照明光学装置。
6. 投影光学系を用いてマスクのパターンを感光基板に露光する投影露光装置において、
   前記マスク上に前記被照射面を形成するための請求項１乃至５の何れか一項に記載の照明光学装置を備えていることを特徴とする投影露光装置。
7. 前記マスクと前記基板とを前記投影光学系に対して走査しながら投影露光を行うことを特徴とする請求項６に記載の投影露光装置。
8. 投影光学系を用いてマスクのパターンを感光基板に露光する投影露光方法において、
   請求項１乃至５の何れか一項に記載の照明光学装置を用いて前記マスク上に前記被照射面を形成することを特徴とする投影露光方法。