JPH1054936A5 - - Google Patents

Claims (27)

1. 第１物体の像を第２物体上に投影するための投影光学系において、
   前記第１物体側から順に、
   正の屈折力を有する第１レンズ群と、
   負の屈折力を有し、互いに向き合った凹面の組を形成する一対の負レンズ成分を持つ第２レンズ群と、
   正の屈折力を有し、最も前記第２物体側に配置されて前記第２物体側に凹面を向けたレンズ成分を持つ第３レンズ群と、
   開口絞りと、
   正の屈折力を有し、最も前記第１物体側に配置されて前記第１物体側に凹面を向けたレンズ成分を持つ第４レンズ群と、
   負の屈折力を有し、互いに向き合った凹面の組を形成する一対の負レンズ成分を持つ第５レンズ群と、
   正の屈折力を持つ第６レンズ群とを有することを特徴とする投影光学系。
2. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
   （１） ０．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜３．０
   （２） ０．５＜｜ｆ６／ｆ５｜＜３．０
   （３） ０．２５＜ ｆ３／ｆ４ ＜４．０
   但し、
   ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
   ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
   ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
   ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
   ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
   ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
   である。
3. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
   （４） ０．５≦｜β｜≦１．１
   （５） １．０＜｜ｆ１／ｆ２｜＜３．０
   （６） ０．５＜｜ｆ６／ｆ５｜＜２．０
   （７） ０．２５＜ ｆ３／ｆ４ ＜２．０
   但し、
   β ：前記投影光学系の横倍率、
   ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
   ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
   ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
   ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
   ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
   ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
   である。
4. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
   （８） １．１＜｜β｜≦２．０
   （９） ０．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜２．０
   （１０） １．０＜｜ｆ６／ｆ５｜＜３．０
   （１１） １．０＜ ｆ３／ｆ４ ＜４．０
   但し、
   β ：前記投影光学系の横倍率、
   ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
   ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
   ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
   ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
   ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
   ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
   である。
5. 前記第１レンズ群は、前記第２物体側に凹面を向けた形状の負レンズ成分を含み、前記第６レンズ群は、前記第１物体側に凹面を向けた形状の負レンズ成分を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載の投影光学系。
6. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項記載の投影光学系。
   （１２） （ｒ2Rf＋ｒ2Fr）／（ｒ2Rf−ｒ2Fr） ＞０．０
   （１３） −０．１＜（ｒ4Ff＋ｒ3Rr）／（ｒ4Ff−ｒ3Rr） ＜０．１
   （１４） （ｒ5Rf＋ｒ5Fr）／（ｒ5Rf−ｒ5Fr） ＜０．０
   但し、
   ｒ2Rf：前記第２レンズ群中の一対の負レンズ成分のうち前記第１物体側に向けられた凹面の曲率半径、
   ｒ2Fr：前記第２レンズ群中の一対の負レンズ成分のうち前記第２物体側に向けられた凹面の曲率半径、
   ｒ3Ff：前記第３レンズ群中の最も開口絞り側に配置された負レンズ成分の第２物体側に向けられた凹面の曲率半径、
   ｒ4Rr：前記第４レンズ群中の最も開口絞り側に配置された負レンズ成分の第１物体側に向けられた凹面の曲率半径、
   ｒ5Fr：前記第５レンズ群中の一対の負レンズ成分のうち前記第２物体側に向けられた凹面の曲率半径、
   ｒ5Rf：前記第５レンズ群中の一対の負レンズ成分のうち前記第１物体側に向けられた凹面の曲率半径、
   である。
7. 前記第３レンズ群中の最も前記第２物体側に配置されて前記第２物体側に凹面を向けたレンズ成分は負レンズ成分であり、
   前記第４レンズ群中の最も前記第１物体側に配置されて前記第１物体側に凹面を向けたレンズ成分は負レンズ成分であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項記載の投影光学系。
8. 前記第１レンズ群は、前記第１物体側から順に、負屈折力を持つ負サブレンズ群と、正屈折力を持つ正サブレンズ群とを有し、
   前記第６レンズ群は、前記第１物体側から順に、正屈折力を持つ正サブレンズ群と、負屈折力を持つ負サブレンズ群とを有し、
   前記第１レンズ群中の負サブレンズ群は、前記第２物体側に凹面を向けた負レンズ成分を有し、
   前記第６レンズ群中の負サブレンズ群は、前記第１物体側に凹面を向けた負レンズ成分を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項記載の投影光学系。
9. 前記第３レンズ群中の正レンズ成分のうちの少なくとも２枚の正レンズ成分は第１の硝材で構成され、
   前記第４レンズ群中の正レンズ成分のうちの少なくとも２枚の正レンズ成分は第１の硝材で構成され、
   以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項記載の投影光学系。
   （１５） νｔ＞１２０
   但し、
   νｔ：前記第１の硝材の分散値、
   であり、該分散値は、
   波長λに対する屈折率をｎ（λ）とするとき、
   ν＝｛ｎ(436)−１｝／｛ｎ(400)−ｎ(440)｝
   で定義される。
10. 前記第３レンズ群中の最も第２物体側に配置されたレンズ成分は第２の硝材で構成され、
    前記第４レンズ群中の最も第１物体側に配置されたレンズ成分は第２の硝材で構成され、
    以下の条件を満足することを特徴とする請求項９記載の投影光学系。
    （１６） νｃ＜１１０
    但し、
    νｃ：前記第２の硝材の分散値、
    である。
11. 前記第２レンズ群中の前記一対の負レンズ成分のうちの少なくとも一方の負レンズ成分に隣接して配置される正レンズ成分と、
    前記第５レンズ群中の前記一対の負レンズ成分のうちの少なくとも一方の負レンズ成分に隣接して配置される正レンズ成分とをさらに有し、
    前記第２レンズ群中の前記少なくとも一方の負レンズ成分と前記第２レンズ群中の前記正レンズ成分とは全体としてメニスカス形状であり、
    前記第５レンズ群中の少なくとも一方の負レンズ成分と前記第５レンズ群中の正レンズ成分とは全体としてメニスカス形状であることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項記載の投影光学系。
12. 前記第２レンズ群中における全体としてメニスカス形状を形成する負レンズ成分と正レンズ成分とのうち、前記負レンズ成分は第３の硝材で構成され、前記正レンズ成分は前記第２の硝材で構成され、
    前記第５レンズ群中における全体としてメニスカス形状を形成する負レンズ成分と正レンズ成分とのうち、前記負レンズ成分は前記第３の硝材で構成され、前記正レンズ成分は前記第２の硝材で構成され、
    以下の条件を満足することを特徴とする請求項１１記載の投影光学系。
    （１６） νｃ＜１１０
    （１７） νｆ＜７５
    但し、
    νｃ：前記第２の硝材の分散値、
    νｆ：前記第３の硝材の分散値、
    である。
13. 前記第１レンズ群中の前記正サブレンズ群のうちの少なくとも１枚の正レンズ成分は第３の硝材で構成され、
    前記第１レンズ群中の前記負サブレンズ群のうちの少なくとも１枚の負レンズ成分は第２の硝材で構成され、
    前記第６レンズ群中の前記正サブレンズ群のうちの少なくとも１枚の正レンズ成分は第３の硝材で構成され、
    前記第６レンズ群中の前記負サブレンズ群のうちの少なくとも１枚の負レンズ成分は第２の硝材で構成され、
    以下の条件を満足することを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか一項記載の投影光学系。
    （１６） νｃ＜１１０
    （１７） νｆ＜７５
    但し、
    νｃ：前記第２の硝材の分散値、
    νｆ：前記第３の硝材の分散値、
    である。
14. 前記第２レンズ群中の前記一対の負レンズ成分の間には、負レンズ成分が配置され、
    前記第５レンズ群中の前記一対の負レンズ成分の間には、負レンズ成分が配置されることを特徴とする請求項１１乃至１３のいずれか一項記載の投影光学系。
15. 前記第２レンズ群中の負レンズ成分のうち前記第３の硝材で構成される前記負レンズとは異なる負レンズ成分は前記第２の硝材で構成され、
    前記第５レンズ群中の負レンズ成分のうち前記第３の硝材で構成される前記負レンズとは異なる負レンズ成分は前記第２の硝材で構成されることを特徴とする請求項１２記載の投影光学系。
16. 前記第２レンズ群中における全体としてメニスカス形状の負レンズ成分と正レンズ成分とは、前記第１物体側に凹面を向けて配置され、
    前記第５レンズ群中における全体としてメニスカス形状の負レンズ成分と正レンズ成分とは、前記第２物体側に凹面を向けて配置されることを特徴とする請求項９乃至１５のいずれか一項記載の投影光学系。
17. 前記第６レンズ群中の正サブレンズ群は、以下の条件を満足するレンズ面を有することを特徴とする請求項８乃至１６のいずれか一項記載の投影光学系。
    （１８） ＲG6／ＤG6＜２
    但し、
    ＲG6：前記第６レンズ群を構成する正レンズ成分のレンズ面のうち前記第２物体側に凹面を向けたレンズ面の曲率半径、
    ＤG6：前記レンズ面と前記第２物体との距離、
    である。
18. 前記投影光学系の投影倍率βは以下の条件を満足することを特徴とする請求項１、２および５乃至１７のいずれか一項記載の投影光学系。
    （１９） ０．５≦｜β｜≦２．０
19. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
    ０．８＜｜ｆ１／ｆ２｜＜３．０
    ０．５＜｜ｆ６／ｆ５｜＜３．０
    ０．２５＜ ｆ３／ｆ４ ＜４．０
    但し、
    ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
    ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
    ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
    ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
    ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
    ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
    である。
20. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
    ０．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜１．４
    ０．５＜｜ｆ６／ｆ５｜＜３．０
    ０．２５＜ ｆ３／ｆ４ ＜４．０
    但し、
    ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
    ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
    ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
    ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
    ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
    ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
    である。
21. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
    ０．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜３．０
    １．８＜｜ｆ６／ｆ５｜＜３．０
    ０．２５＜ ｆ３／ｆ４ ＜４．０
    但し、
    ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
    ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
    ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
    ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
    ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
    ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
    である。
22. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
    ０．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜３．０
    ０．５＜｜ｆ６／ｆ５｜＜２．４
    ０．２５＜ ｆ３／ｆ４ ＜４．０
    但し、
    ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
    ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
    ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
    ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
    ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
    ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
    である。
23. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
    ０．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜３．０
    ０．５＜｜ｆ６／ｆ５｜＜３．０
    ２．０＜ ｆ３／ｆ４ ＜４．０
    但し、
    ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
    ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
    ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
    ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
    ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
    ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
    である。
24. 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。
    ０．５＜｜ｆ１／ｆ２｜＜３．０
    ０．５＜｜ｆ６／ｆ５｜＜３．０
    ０．２５＜ ｆ３／ｆ４ ＜３．５
    但し、
    ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
    ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
    ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離、
    ｆ４：前記第４レンズ群の焦点距離、
    ｆ５：前記第５レンズ群の焦点距離、
    ｆ６：前記第６レンズ群の焦点距離、
    である。
25. 前記第１物体を照明する照明光学系と、
    前記第１物体を支持する第１支持部材と、
    請求項１乃至２４のいずれか一項記載の投影光学系と、
    前記第２物体を支持する第２支持部材とを備えることを特徴とする投影露光装置。
26. 前記投影光学系の投影倍率βが１．２５であることを特徴とする請求項２５記載の投影露光装置。
27. 所定の回路パターンが描かれたマスクを紫外域の露光光で照明する工程と、
    請求項１乃至２４のいずれか一項記載の投影光学系を用いて前記照明されたマスクの像を基板上に形成する工程とを含むデバイス製造方法。