JPH0933497A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
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- JPH0933497A JPH0933497A JP18720295A JP18720295A JPH0933497A JP H0933497 A JPH0933497 A JP H0933497A JP 18720295 A JP18720295 A JP 18720295A JP 18720295 A JP18720295 A JP 18720295A JP H0933497 A JPH0933497 A JP H0933497A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 85
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 13
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】レンズ面に適した音場を発生し測定精度を向上
させることができる超音波探触子を提供する。 【解決手段】電極2,4からの電圧で振動する圧電膜3
から発振された超音波は、音響レンズ7下面に形成され
たレンズ面7aで集束され媒体10を介して被検体8に
照射される。照射された超音波は、被検体8の表面若し
くは被検体8内部の音響インピーダンスの異なる部分で
反射され、この反射波が、媒体10、レンズ面7a及び
音響レンズ7本体を介して圧電膜5で受信される。そし
てこれに応じた出力電圧が電極4及び電極6を介して受
信器で増幅され、被検体8の情報が得られる。このよう
な反射波出力の測定を、超音波探触子100か被検体8
を回転させつつ数回行い、ある角度で出力値が変動した
ときは、その角度方向において他の角度方向とは異なる
何らかの特異な機械的性質が存在している(=異方性)
ことがわかる。
させることができる超音波探触子を提供する。 【解決手段】電極2,4からの電圧で振動する圧電膜3
から発振された超音波は、音響レンズ7下面に形成され
たレンズ面7aで集束され媒体10を介して被検体8に
照射される。照射された超音波は、被検体8の表面若し
くは被検体8内部の音響インピーダンスの異なる部分で
反射され、この反射波が、媒体10、レンズ面7a及び
音響レンズ7本体を介して圧電膜5で受信される。そし
てこれに応じた出力電圧が電極4及び電極6を介して受
信器で増幅され、被検体8の情報が得られる。このよう
な反射波出力の測定を、超音波探触子100か被検体8
を回転させつつ数回行い、ある角度で出力値が変動した
ときは、その角度方向において他の角度方向とは異なる
何らかの特異な機械的性質が存在している(=異方性)
ことがわかる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波探触子に係
わり、特に、試料の材料物性を測定する超音波探触子に
関する。
わり、特に、試料の材料物性を測定する超音波探触子に
関する。
【0002】
【従来の技術】圧電膜や電極といった圧電素子からなる
トランスデューサを、発振側圧電素子と受信側圧電素子
とに分けて複数箇所設けた超音波探触子に関する公知技
術としては、例えば以下のものがある。 ○特開昭63−308557号公報 この公知技術による超音波探触子の概略構造を表す上面
図を図12(a)に、超音波経路図を図12(b)に示
す。図12(a)(b)において、超音波ビーム発振用
トランスデューサ101a,b及び受信用トランスデュ
ーサ102a,bが音響レンズ103上端部上に扇状に
分割配置されており、発振用トランスデューサ101
a,bから放射された超音波ビームは、音響レンズ10
3を通過した後、音響レンズ103の下面に形成された
球面状のレンズ面103aで集束されて被検体104に
放射される。そしてこの被検体104から反射された超
音波ビームは、再びレンズ面103a及び音響レンズ1
03を介して受信用トランスデューサ102a,bで受
信し、被検体の状態を検出する。このような構成によ
り、被検体102a,bから反射されて来た超音波ビー
ムのうちの、互いに直交する超音波ビームを独立して検
出できるようにするものである。
トランスデューサを、発振側圧電素子と受信側圧電素子
とに分けて複数箇所設けた超音波探触子に関する公知技
術としては、例えば以下のものがある。 ○特開昭63−308557号公報 この公知技術による超音波探触子の概略構造を表す上面
図を図12(a)に、超音波経路図を図12(b)に示
す。図12(a)(b)において、超音波ビーム発振用
トランスデューサ101a,b及び受信用トランスデュ
ーサ102a,bが音響レンズ103上端部上に扇状に
分割配置されており、発振用トランスデューサ101
a,bから放射された超音波ビームは、音響レンズ10
3を通過した後、音響レンズ103の下面に形成された
球面状のレンズ面103aで集束されて被検体104に
放射される。そしてこの被検体104から反射された超
音波ビームは、再びレンズ面103a及び音響レンズ1
03を介して受信用トランスデューサ102a,bで受
信し、被検体の状態を検出する。このような構成によ
り、被検体102a,bから反射されて来た超音波ビー
ムのうちの、互いに直交する超音波ビームを独立して検
出できるようにするものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
知技術には以下の問題点が存在する。すなわち、超音波
ビームが音響レンズ103内を伝搬するとき、発振用ト
ランスデューサ101a,bがそれぞれ1/4円形状で
あることから、放射された超音波ビームが形成する音場
の水平断面形状も、それぞれ1/4円形状となり、主と
してこのような形状を保ちつつレンズ面103aへ到達
することになる。しかしながら、レンズ面103aは球
面状であって水平断面形状は円形であるので、音場の水
平断面形状と一致しない。また、鉛直断面でみた場合、
発振用トランスデューサ101a,bの発振中心軸11
1a,bと、レンズ面103aの軸113とが一致して
いないことから、例えば図12(b)に示すように、発
振用トランスデューサ101aからの超音波ビーム波形
のうち最も強いビーム波形の山のなす面114と、この
超音波ビームが通過するレンズ面103a内の通過位置
103aoとが平行にならない。以上のように、上記公
知技術においては、発振用トランスデューサ101a,
bの形状及び配置に関し、レンズ面103aに適する音
場を発生させるように配慮されていない。よって、発せ
られた超音波ビームは互いに干渉・減衰するものが多く
なって測定精度向上の妨げとなる。
知技術には以下の問題点が存在する。すなわち、超音波
ビームが音響レンズ103内を伝搬するとき、発振用ト
ランスデューサ101a,bがそれぞれ1/4円形状で
あることから、放射された超音波ビームが形成する音場
の水平断面形状も、それぞれ1/4円形状となり、主と
してこのような形状を保ちつつレンズ面103aへ到達
することになる。しかしながら、レンズ面103aは球
面状であって水平断面形状は円形であるので、音場の水
平断面形状と一致しない。また、鉛直断面でみた場合、
発振用トランスデューサ101a,bの発振中心軸11
1a,bと、レンズ面103aの軸113とが一致して
いないことから、例えば図12(b)に示すように、発
振用トランスデューサ101aからの超音波ビーム波形
のうち最も強いビーム波形の山のなす面114と、この
超音波ビームが通過するレンズ面103a内の通過位置
103aoとが平行にならない。以上のように、上記公
知技術においては、発振用トランスデューサ101a,
bの形状及び配置に関し、レンズ面103aに適する音
場を発生させるように配慮されていない。よって、発せ
られた超音波ビームは互いに干渉・減衰するものが多く
なって測定精度向上の妨げとなる。
【0004】本発明の目的は、レンズ面に適した音場を
発生し測定精度を向上させることができる超音波探触子
を提供することである。
発生し測定精度を向上させることができる超音波探触子
を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、音響レンズと;この音響レンズの
上端部に設けられ、超音波を発振する第1の圧電素子
と;前記音響レンズの下面に形成され、前記第1の圧電
素子から発振された超音波を集束して被検体に照射する
レンズ面と;前記音響レンズの上端部に設けられ、前記
被検体に照射された超音波のうち該被検体で反射された
反射波を受信する第2の圧電素子とを有する超音波探触
子において、前記第1の圧電素子の発振中心軸は前記レ
ンズ面の軸と略一致するとともに、該第1の圧電素子の
うち実質的に機能する部分の実質形状は、前記レンズ面
の水平断面形状と略相似形であり、前記第2の圧電素子
のうち実質的に機能する部分の実質形状は、前記被検体
から得ようとする情報の種類に応じた形状となってお
り、前記第1の圧電素子と層状構造をなすように該第1
の圧電素子の上部に載置されていることを特徴とする超
音波探触子が提供される。すなわち、第1の圧電素子か
ら発振された超音波は、音響レンズ下面に形成されたレ
ンズ面で集束されて被検体に照射される。照射された超
音波のうち被検体からの反射波は、レンズ面及び音響レ
ンズ本体を介し、第1の圧電素子の上部に層状構造をな
すように載置された第2の圧電素子で受信される。この
とき、第2の圧電素子の実質形状(=圧電膜及び上・下
電極のうち最も小さいものの形状)は、例えば被検体の
材料物性等、被検体から得ようとする情報に応じた形状
となっており、必要とする反射波を取り出すことができ
るようになっている。すなわち例えば、円盤から対向す
る2つの弦部分を取り去った形状とした場合には、探触
子か被検体を回転させつつ反射波の出力の測定を行い、
ある角度で出力値が変動したとき、その角度方向におい
て他の角度方向とは異なる何らかの特異な機械的性質が
存在している(=異方性)ことがわかる。以上の構成に
おいて、第1の圧電素子の発振中心軸がレンズ面の軸と
略一致していることにより、第1の圧電素子から発振さ
れ音響レンズ内を伝搬する超音波ビーム波形のうち最も
強いビーム波形の山のなす面と、この超音波ビームが通
過するレンズ面の通過位置とが略平行となり、最も強い
超音波ビームがレンズ面をほぼ垂直に通過できるように
なっている。また、第1の圧電素子の実質形状がレンズ
面の水平断面形状と略相似形であり、第1の圧電素子か
らの最も強いビームは互いの干渉が少ないまま円滑にレ
ンズ面に入射するようになっている。このように、第1
の圧電素子から発生する超音波ビームによる音場がレン
ズ面に適したものとなり、発せられた超音波ビームの干
渉・減衰を低減して測定精度を向上させることができ
る。
に、本発明によれば、音響レンズと;この音響レンズの
上端部に設けられ、超音波を発振する第1の圧電素子
と;前記音響レンズの下面に形成され、前記第1の圧電
素子から発振された超音波を集束して被検体に照射する
レンズ面と;前記音響レンズの上端部に設けられ、前記
被検体に照射された超音波のうち該被検体で反射された
反射波を受信する第2の圧電素子とを有する超音波探触
子において、前記第1の圧電素子の発振中心軸は前記レ
ンズ面の軸と略一致するとともに、該第1の圧電素子の
うち実質的に機能する部分の実質形状は、前記レンズ面
の水平断面形状と略相似形であり、前記第2の圧電素子
のうち実質的に機能する部分の実質形状は、前記被検体
から得ようとする情報の種類に応じた形状となってお
り、前記第1の圧電素子と層状構造をなすように該第1
の圧電素子の上部に載置されていることを特徴とする超
音波探触子が提供される。すなわち、第1の圧電素子か
ら発振された超音波は、音響レンズ下面に形成されたレ
ンズ面で集束されて被検体に照射される。照射された超
音波のうち被検体からの反射波は、レンズ面及び音響レ
ンズ本体を介し、第1の圧電素子の上部に層状構造をな
すように載置された第2の圧電素子で受信される。この
とき、第2の圧電素子の実質形状(=圧電膜及び上・下
電極のうち最も小さいものの形状)は、例えば被検体の
材料物性等、被検体から得ようとする情報に応じた形状
となっており、必要とする反射波を取り出すことができ
るようになっている。すなわち例えば、円盤から対向す
る2つの弦部分を取り去った形状とした場合には、探触
子か被検体を回転させつつ反射波の出力の測定を行い、
ある角度で出力値が変動したとき、その角度方向におい
て他の角度方向とは異なる何らかの特異な機械的性質が
存在している(=異方性)ことがわかる。以上の構成に
おいて、第1の圧電素子の発振中心軸がレンズ面の軸と
略一致していることにより、第1の圧電素子から発振さ
れ音響レンズ内を伝搬する超音波ビーム波形のうち最も
強いビーム波形の山のなす面と、この超音波ビームが通
過するレンズ面の通過位置とが略平行となり、最も強い
超音波ビームがレンズ面をほぼ垂直に通過できるように
なっている。また、第1の圧電素子の実質形状がレンズ
面の水平断面形状と略相似形であり、第1の圧電素子か
らの最も強いビームは互いの干渉が少ないまま円滑にレ
ンズ面に入射するようになっている。このように、第1
の圧電素子から発生する超音波ビームによる音場がレン
ズ面に適したものとなり、発せられた超音波ビームの干
渉・減衰を低減して測定精度を向上させることができ
る。
【0006】好ましくは、前記超音波探触子において、
前記レンズ面の形状は略球面形状であり、前記第1の圧
電素子の実質形状は略円盤形状であり、前記第2の圧電
素子の実質形状は円盤から対向する2つの弦部分を取り
去った形状であることを特徴とする超音波探触子が提供
される。
前記レンズ面の形状は略球面形状であり、前記第1の圧
電素子の実質形状は略円盤形状であり、前記第2の圧電
素子の実質形状は円盤から対向する2つの弦部分を取り
去った形状であることを特徴とする超音波探触子が提供
される。
【0007】また好ましくは、前記超音波探触子におい
て、前記レンズ面の形状は略球面形状であり、前記第1
の圧電素子の実質形状は略円盤形状であり、前記第2の
圧電素子の実質形状は円盤を周方向に複数個に分割した
形状であることを特徴とする超音波探触子が提供され
る。これにより、被検体の材料物性の円盤周方向におけ
る分布を、探触子や被検体を回転させることなく検出す
ることができる。
て、前記レンズ面の形状は略球面形状であり、前記第1
の圧電素子の実質形状は略円盤形状であり、前記第2の
圧電素子の実質形状は円盤を周方向に複数個に分割した
形状であることを特徴とする超音波探触子が提供され
る。これにより、被検体の材料物性の円盤周方向におけ
る分布を、探触子や被検体を回転させることなく検出す
ることができる。
【0008】また好ましくは、前記超音波探触子におい
て、前記レンズ面の形状は略円筒面形状であり、前記第
1の圧電素子の実質形状は略長方形平板形状であり、前
記第2の圧電素子の実質形状は長方形平板を複数個の短
冊状部分に分割した形状であることを特徴とする超音波
探触子が提供される。これにより、短冊と直角方向にお
ける被検体材料物性の分布を、探触子や被検体を回転さ
せることなく検出することができる。
て、前記レンズ面の形状は略円筒面形状であり、前記第
1の圧電素子の実質形状は略長方形平板形状であり、前
記第2の圧電素子の実質形状は長方形平板を複数個の短
冊状部分に分割した形状であることを特徴とする超音波
探触子が提供される。これにより、短冊と直角方向にお
ける被検体材料物性の分布を、探触子や被検体を回転さ
せることなく検出することができる。
【0009】また好ましくは、前記超音波探触子におい
て、前記第1の圧電素子は、前記被検体で反射された超
音波を受信可能に構成されており、かつ、前記第1及び
第2の圧電素子は、前記被検体で反射された反射波を該
第1及び第2の圧電素子のいずれか一方で受信するよう
に受信経路を選択的に切り換える切換手段に接続されて
いることを特徴とする超音波探触子が提供される。これ
により、1つの超音波探触子で、材料物性の検出と画像
評価の両方を行うことができる。すなわち例えば、レン
ズ面の形状が略球面形状、第1の圧電素子の実質形状が
円盤形状、第2の圧電素子の実質形状が円盤を周方向に
複数個に分割した形状である場合には、第2の圧電素子
で反射波を受信するように切換手段が切り換えられる
と、円盤形状の第1の圧電素子から発信された超音波が
略球面形状のレンズ面で集束されて被検体へ照射され、
その反射波は円盤分割形状の第2の圧電素子で受信され
る。これにより、角度別の出力の大小によって被検体の
材料物性の周方向における分布を検出することができ
る。そして探触子や被検体を回転させて周方向分布をさ
らに細かく検出し、異方性を検出できる。一方第1の圧
電素子で反射波を受信するように切換手段が切り換えら
れると、円盤形状の第1の圧電素子から発信された超音
波が略球面形状のレンズ面で集束されて被検体へ照射さ
れ、その反射波が再び略円盤形状の第1の圧電素子で受
信される。これにより、受信出力の大小による画像評価
を行うことができる。
て、前記第1の圧電素子は、前記被検体で反射された超
音波を受信可能に構成されており、かつ、前記第1及び
第2の圧電素子は、前記被検体で反射された反射波を該
第1及び第2の圧電素子のいずれか一方で受信するよう
に受信経路を選択的に切り換える切換手段に接続されて
いることを特徴とする超音波探触子が提供される。これ
により、1つの超音波探触子で、材料物性の検出と画像
評価の両方を行うことができる。すなわち例えば、レン
ズ面の形状が略球面形状、第1の圧電素子の実質形状が
円盤形状、第2の圧電素子の実質形状が円盤を周方向に
複数個に分割した形状である場合には、第2の圧電素子
で反射波を受信するように切換手段が切り換えられる
と、円盤形状の第1の圧電素子から発信された超音波が
略球面形状のレンズ面で集束されて被検体へ照射され、
その反射波は円盤分割形状の第2の圧電素子で受信され
る。これにより、角度別の出力の大小によって被検体の
材料物性の周方向における分布を検出することができ
る。そして探触子や被検体を回転させて周方向分布をさ
らに細かく検出し、異方性を検出できる。一方第1の圧
電素子で反射波を受信するように切換手段が切り換えら
れると、円盤形状の第1の圧電素子から発信された超音
波が略球面形状のレンズ面で集束されて被検体へ照射さ
れ、その反射波が再び略円盤形状の第1の圧電素子で受
信される。これにより、受信出力の大小による画像評価
を行うことができる。
【0010】また好ましくは、前記超音波探触子におい
て、前記第1及び第2の圧電素子のそれぞれは、圧電膜
と、この圧電膜の上下に配置された電極とを備えている
ことを特徴とする超音波探触子が提供される。
て、前記第1及び第2の圧電素子のそれぞれは、圧電膜
と、この圧電膜の上下に配置された電極とを備えている
ことを特徴とする超音波探触子が提供される。
【0011】さらに好ましくは、前記超音波探触子にお
いて、前記第1の圧電素子の実質形状は、該第1の圧電
素子に備えられた圧電膜及び電極のうち最小面積である
ものの形状であることを特徴とする超音波探触子が提供
される。
いて、前記第1の圧電素子の実質形状は、該第1の圧電
素子に備えられた圧電膜及び電極のうち最小面積である
ものの形状であることを特徴とする超音波探触子が提供
される。
【0012】また好ましくは、前記超音波探触子におい
て、前記第2の圧電素子の実質形状は、該第2の圧電素
子に備えられた圧電膜及び電極のうち最小面積であるも
のの形状であることを特徴とする超音波探触子が提供さ
れる。
て、前記第2の圧電素子の実質形状は、該第2の圧電素
子に備えられた圧電膜及び電極のうち最小面積であるも
のの形状であることを特徴とする超音波探触子が提供さ
れる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しつつ説明する。本発明の第1の実施形態を図1〜
図3により説明する。本実施形態は、超音波顕微鏡用の
超音波探触子の実施形態である。本実施形態による超音
波探触子の構成を表す縦断面図を図1に、上面図を図2
(a)に、下面図を図2(b)に、使用時の態様を表す
側面図を図3に示す。図1〜図3において、本実施形態
による超音波探触子100は、音響レンズ7と;この音
響レンズ7の上端部に設けられ、超音波を発振するため
の圧電膜3及び圧電膜3の上・下に設けられた電極2,
4と;音響レンズ7の下面に形成され圧電膜3から発振
された超音波を集束して被検体8に照射するレンズ面7
aと;このレンズ面7aに設けられた整合層1と;音響
レンズ7の上端部に設けられ、被検体8に照射された超
音波のうち被検体8で反射された反射波を受信するため
の圧電膜5及び圧電膜5の上に設けられた電極6とを備
えている。
参照しつつ説明する。本発明の第1の実施形態を図1〜
図3により説明する。本実施形態は、超音波顕微鏡用の
超音波探触子の実施形態である。本実施形態による超音
波探触子の構成を表す縦断面図を図1に、上面図を図2
(a)に、下面図を図2(b)に、使用時の態様を表す
側面図を図3に示す。図1〜図3において、本実施形態
による超音波探触子100は、音響レンズ7と;この音
響レンズ7の上端部に設けられ、超音波を発振するため
の圧電膜3及び圧電膜3の上・下に設けられた電極2,
4と;音響レンズ7の下面に形成され圧電膜3から発振
された超音波を集束して被検体8に照射するレンズ面7
aと;このレンズ面7aに設けられた整合層1と;音響
レンズ7の上端部に設けられ、被検体8に照射された超
音波のうち被検体8で反射された反射波を受信するため
の圧電膜5及び圧電膜5の上に設けられた電極6とを備
えている。
【0014】電極2及び電極4はそれぞれ、パルス波状
又はバースト波状の電圧を発生させる発振器に接続され
ており(図3参照)、これらの電極2,4の間に挟まれ
た圧電膜3に電圧を印加して振動させ超音波を発生させ
るようになっている。このとき、電極2・圧電膜3・電
極4の発振中心軸線9はレンズ面7aの軸と略一致して
おり(図1参照)、電極4・圧電膜3・電極2の形状は
いずれも円盤状である。また、これら電極4・圧電膜3
・電極2のうち面積が最小である電極4の形状は、レン
ズ面7aの水平断面形状と相似形状(あるいはほぼ一致
した形状)となっている。電極4はまた、電極6ととも
に受信器に接続されており(図3参照)、これらの電極
4,6の間に挟まれた圧電膜5で検出した反射波(後
述)を出力電圧として受信器に送るようになっている。
このとき電極4・圧電膜5・電極6のうちで面積が最小
である圧電膜5及び電極6の形状は、被検体8の異方性
を検出する目的に対応し、円盤から対向する2つの弦部
分を取り去った形状となっている(図2参照)。これら
電極2・圧電膜3・電極4・圧電膜5・電極6は、音響
レンズ7上端部にこの順番で下から上に積層され、層状
構造をなしている。
又はバースト波状の電圧を発生させる発振器に接続され
ており(図3参照)、これらの電極2,4の間に挟まれ
た圧電膜3に電圧を印加して振動させ超音波を発生させ
るようになっている。このとき、電極2・圧電膜3・電
極4の発振中心軸線9はレンズ面7aの軸と略一致して
おり(図1参照)、電極4・圧電膜3・電極2の形状は
いずれも円盤状である。また、これら電極4・圧電膜3
・電極2のうち面積が最小である電極4の形状は、レン
ズ面7aの水平断面形状と相似形状(あるいはほぼ一致
した形状)となっている。電極4はまた、電極6ととも
に受信器に接続されており(図3参照)、これらの電極
4,6の間に挟まれた圧電膜5で検出した反射波(後
述)を出力電圧として受信器に送るようになっている。
このとき電極4・圧電膜5・電極6のうちで面積が最小
である圧電膜5及び電極6の形状は、被検体8の異方性
を検出する目的に対応し、円盤から対向する2つの弦部
分を取り去った形状となっている(図2参照)。これら
電極2・圧電膜3・電極4・圧電膜5・電極6は、音響
レンズ7上端部にこの順番で下から上に積層され、層状
構造をなしている。
【0015】なお、電極2・圧電膜3・電極4が超音波
を発振する第1の圧電素子を構成し、これらのうち最小
面積である電極4の大きさが第1の圧電素子の実質的に
機能する部分の大きさを規定するので、電極4の形状が
第1の圧電素子の実質形状となる。また電極4・圧電膜
5・電極6が反射波を受信する第2の圧電素子を構成
し、これらのうち最小面積である圧電膜5及び電極6の
大きさが第2の圧電素子の実質的に機能する部分の大き
さを規定するので、圧電膜5及び電極6の形状が第2の
圧電素子の実質形状となる。
を発振する第1の圧電素子を構成し、これらのうち最小
面積である電極4の大きさが第1の圧電素子の実質的に
機能する部分の大きさを規定するので、電極4の形状が
第1の圧電素子の実質形状となる。また電極4・圧電膜
5・電極6が反射波を受信する第2の圧電素子を構成
し、これらのうち最小面積である圧電膜5及び電極6の
大きさが第2の圧電素子の実質的に機能する部分の大き
さを規定するので、圧電膜5及び電極6の形状が第2の
圧電素子の実質形状となる。
【0016】上記構成において、電極2,4からの電圧
で振動する圧電膜3から発振された超音波は、音響レン
ズ7下面に形成されたレンズ面7aで集束され媒体10
を介して被検体8に照射される。照射された超音波は、
被検体8の表面若しくは被検体8内部の音響インピーダ
ンスの異なる部分で反射され、この反射波が、媒体1
0、レンズ面7a及び音響レンズ7本体を介して圧電膜
5で受信される。そしてこれに応じた出力電圧が電極4
及び電極6を介して受信器で増幅され、被検体8の情報
が得られる。このような反射波出力の測定を、超音波探
触子100か被検体8を回転させつつ数回行い、ある角
度で出力値が変動したときは、その角度方向において他
の角度方向とは異なる何らかの特異な機械的性質が存在
している(=異方性)ことがわかる。この測定におい
て、圧電膜3の発振中心軸線9がレンズ面7aの軸と略
一致していることにより、圧電膜3から発振され音響レ
ンズ7内を伝搬する超音波ビーム波形のうち最も強いビ
ーム波形の山のなす面と、この超音波ビームが通過する
レンズ面7aの通過位置とが略平行となり、最も強い超
音波ビームがレンズ面7aをほぼ垂直に通過できる。ま
た、第1の圧電素子の実質形状をなす電極4の形状が円
盤状であり、レンズ面7aの水平断面形状と相似形であ
ることにより、圧電膜3からの最も強いビームは互いの
干渉が少ないまま円滑にレンズ面7aに入射できる。こ
のように、圧電膜3から発生する超音波ビームによる音
場が、レンズ面7aに適したものとなるので、発せられ
た超音波ビームの干渉・減衰を低減し、測定精度を向上
させることができる。
で振動する圧電膜3から発振された超音波は、音響レン
ズ7下面に形成されたレンズ面7aで集束され媒体10
を介して被検体8に照射される。照射された超音波は、
被検体8の表面若しくは被検体8内部の音響インピーダ
ンスの異なる部分で反射され、この反射波が、媒体1
0、レンズ面7a及び音響レンズ7本体を介して圧電膜
5で受信される。そしてこれに応じた出力電圧が電極4
及び電極6を介して受信器で増幅され、被検体8の情報
が得られる。このような反射波出力の測定を、超音波探
触子100か被検体8を回転させつつ数回行い、ある角
度で出力値が変動したときは、その角度方向において他
の角度方向とは異なる何らかの特異な機械的性質が存在
している(=異方性)ことがわかる。この測定におい
て、圧電膜3の発振中心軸線9がレンズ面7aの軸と略
一致していることにより、圧電膜3から発振され音響レ
ンズ7内を伝搬する超音波ビーム波形のうち最も強いビ
ーム波形の山のなす面と、この超音波ビームが通過する
レンズ面7aの通過位置とが略平行となり、最も強い超
音波ビームがレンズ面7aをほぼ垂直に通過できる。ま
た、第1の圧電素子の実質形状をなす電極4の形状が円
盤状であり、レンズ面7aの水平断面形状と相似形であ
ることにより、圧電膜3からの最も強いビームは互いの
干渉が少ないまま円滑にレンズ面7aに入射できる。こ
のように、圧電膜3から発生する超音波ビームによる音
場が、レンズ面7aに適したものとなるので、発せられ
た超音波ビームの干渉・減衰を低減し、測定精度を向上
させることができる。
【0017】なお、上記実施形態においては、第1の圧
電素子の実質形状を電極4の形状で規定したが、これに
限られず、圧電膜3や電極2が最小面積である場合に
は、それらの形状が実質形状を規定することになる。ま
た上記実施形態においては、第2の圧電素子の実質形状
を圧電膜5及び電極6の形状で規定したが、これに限ら
れず、電極4が最小面積である場合には、その形状が実
質形状を規定することになる。
電素子の実質形状を電極4の形状で規定したが、これに
限られず、圧電膜3や電極2が最小面積である場合に
は、それらの形状が実質形状を規定することになる。ま
た上記実施形態においては、第2の圧電素子の実質形状
を圧電膜5及び電極6の形状で規定したが、これに限ら
れず、電極4が最小面積である場合には、その形状が実
質形状を規定することになる。
【0018】本発明の第2の実施形態を図4及び図5に
より説明する。本実施形態は、受信用の圧電膜及び電極
の形状が異なる実施形態である。第1の実施形態と同等
の部材には同一の符号を付す。本実施形態による超音波
探触子の構成を表す縦断面図を図4に、上面図を図5
(a)に、下面図を図5(b)に示す。これらはそれぞ
れ、第1の実施形態における図1、図2(a)、図2
(b)に対応する図である。図4及び図5(a)(b)
において、本実施形態による超音波探触子200が第1
の実施形態の超音波探触子100と異なる主要な点は、
円盤状の電極4の上に、電極4と同一形状の圧電膜5が
配置されていることと、この圧電膜5の上に、円盤形状
をほぼ8分割した形状の電極206が設けられているこ
とである。すなわち、電極206は、円盤形状の周方向
に配置される8個の電極要素206a〜206hに分割
されており、これらは受信器の独立した8個の入力端子
に接続されている(あるいは、8個の信号を順次切り換
えて入力可能な入力切換手段を介し、1個の入力端子に
接続されていてもよい)。なおこの受信器には、電極4
も接続されていることは言うまでもない。
より説明する。本実施形態は、受信用の圧電膜及び電極
の形状が異なる実施形態である。第1の実施形態と同等
の部材には同一の符号を付す。本実施形態による超音波
探触子の構成を表す縦断面図を図4に、上面図を図5
(a)に、下面図を図5(b)に示す。これらはそれぞ
れ、第1の実施形態における図1、図2(a)、図2
(b)に対応する図である。図4及び図5(a)(b)
において、本実施形態による超音波探触子200が第1
の実施形態の超音波探触子100と異なる主要な点は、
円盤状の電極4の上に、電極4と同一形状の圧電膜5が
配置されていることと、この圧電膜5の上に、円盤形状
をほぼ8分割した形状の電極206が設けられているこ
とである。すなわち、電極206は、円盤形状の周方向
に配置される8個の電極要素206a〜206hに分割
されており、これらは受信器の独立した8個の入力端子
に接続されている(あるいは、8個の信号を順次切り換
えて入力可能な入力切換手段を介し、1個の入力端子に
接続されていてもよい)。なおこの受信器には、電極4
も接続されていることは言うまでもない。
【0019】その他の構造は、第1の実施形態の超音波
探触子100とほぼ同様であるので説明を省略する。
探触子100とほぼ同様であるので説明を省略する。
【0020】本実施形態によっても、第1の実施形態と
同様の効果を得る。またこれに加え、電極206が8個
に分割されていることから、1回の測定でこれら8箇所
の反射波出力を得ることができる。よって、超音波探触
子200や被検体8を回転させることなく、被検体8材
料物性の周方向における分布を検出することができると
いう効果がある。なお、超音波探触子200や被検体8
を回転させれば周方向分布をさらに細かく検出して異方
性を検出することができることはいうまでもない。
同様の効果を得る。またこれに加え、電極206が8個
に分割されていることから、1回の測定でこれら8箇所
の反射波出力を得ることができる。よって、超音波探触
子200や被検体8を回転させることなく、被検体8材
料物性の周方向における分布を検出することができると
いう効果がある。なお、超音波探触子200や被検体8
を回転させれば周方向分布をさらに細かく検出して異方
性を検出することができることはいうまでもない。
【0021】本発明の第3の実施形態を図6及び図7に
より説明する。本実施形態は、レンズ面としていわゆる
シリンドリカルレンズを用いた場合の実施形態である。
第1の実施形態の超音波探触子100の各部材に対応す
る部材には、符号に300を加えて示している。
より説明する。本実施形態は、レンズ面としていわゆる
シリンドリカルレンズを用いた場合の実施形態である。
第1の実施形態の超音波探触子100の各部材に対応す
る部材には、符号に300を加えて示している。
【0022】本実施形態による超音波探触子の構成を表
す縦断面図を図6に、上面図を図7(a)に、下面図を
図7(b)に示す。図6及び図7(a)(b)におい
て、音響レンズ300下面に形成されたレンズ面307
aはいわゆるシリンドリカルレンズを構成しており、略
円筒形状となっている。電極302・圧電膜303・電
極304の発振中心軸面309は、レンズ面307aの
軸面と略一致している。また、電極302・圧電膜30
3・電極304の形状はすべて略長方形平板形状であ
り、これらのうち面積が最小である電極304の形状
は、レンズ面307aの水平断面形状と相似形状(ある
いはほぼ一致した形状)となっている。電極306は、
長方形平板を複数個に分割した形状となっている。すな
わち電極304・圧電膜305・電極306のうち面積
が最小である電極306は、発振中心軸面309に直角
な方向に配置される短冊状の電極要素306a〜fに分
割されており、これらは1つの受信器の独立した6個の
入力端子(若しくは6個の独立した受信器でもよい)に
それぞれ接続されている。また電極304も、これら電
極要素306a〜fとともに6個の入力端子にそれぞれ
接続されており(あるいは、6個の信号を順次切り換え
て入力可能な入力切換手段を介し、1個の入力端子に接
続されており)、電極304,306の間に挟まれた圧
電膜305で検出された反射波を出力電圧として送るよ
うになっている。
す縦断面図を図6に、上面図を図7(a)に、下面図を
図7(b)に示す。図6及び図7(a)(b)におい
て、音響レンズ300下面に形成されたレンズ面307
aはいわゆるシリンドリカルレンズを構成しており、略
円筒形状となっている。電極302・圧電膜303・電
極304の発振中心軸面309は、レンズ面307aの
軸面と略一致している。また、電極302・圧電膜30
3・電極304の形状はすべて略長方形平板形状であ
り、これらのうち面積が最小である電極304の形状
は、レンズ面307aの水平断面形状と相似形状(ある
いはほぼ一致した形状)となっている。電極306は、
長方形平板を複数個に分割した形状となっている。すな
わち電極304・圧電膜305・電極306のうち面積
が最小である電極306は、発振中心軸面309に直角
な方向に配置される短冊状の電極要素306a〜fに分
割されており、これらは1つの受信器の独立した6個の
入力端子(若しくは6個の独立した受信器でもよい)に
それぞれ接続されている。また電極304も、これら電
極要素306a〜fとともに6個の入力端子にそれぞれ
接続されており(あるいは、6個の信号を順次切り換え
て入力可能な入力切換手段を介し、1個の入力端子に接
続されており)、電極304,306の間に挟まれた圧
電膜305で検出された反射波を出力電圧として送るよ
うになっている。
【0023】なお、電極302・圧電膜303・電極3
04が第1の圧電素子を構成し、これらのうち最小面積
である電極304の大きさが第1の圧電素子の実質的に
機能する部分の大きさを規定するので、電極304の形
状が第1の圧電素子の実質形状となる。また電極304
・圧電膜305・電極306が第2の圧電素子を構成
し、これらのうち最小面積である電極306の大きさが
第2の圧電素子の実質的に機能する部分の大きさを規定
するので、電極306の形状が第2の圧電素子の実質形
状となる。
04が第1の圧電素子を構成し、これらのうち最小面積
である電極304の大きさが第1の圧電素子の実質的に
機能する部分の大きさを規定するので、電極304の形
状が第1の圧電素子の実質形状となる。また電極304
・圧電膜305・電極306が第2の圧電素子を構成
し、これらのうち最小面積である電極306の大きさが
第2の圧電素子の実質的に機能する部分の大きさを規定
するので、電極306の形状が第2の圧電素子の実質形
状となる。
【0024】本実施形態によっても、第1の実施形態と
同様の効果を得る。またこれに加え、電極306が発振
中心軸面309と直角な方向に6個に分割されているこ
とから、1回の測定でこれら6箇所の反射波出力を得る
ことができる。よって、超音波探触子300や被検体を
回転させることなく、被検体の材料物性の発振中心軸面
309方向における分布を検出することができるという
効果がある。
同様の効果を得る。またこれに加え、電極306が発振
中心軸面309と直角な方向に6個に分割されているこ
とから、1回の測定でこれら6箇所の反射波出力を得る
ことができる。よって、超音波探触子300や被検体を
回転させることなく、被検体の材料物性の発振中心軸面
309方向における分布を検出することができるという
効果がある。
【0025】本発明の第4の実施形態を図8〜図10に
より説明する。本実施形態は、材料物性検出・画像評価
の両方を行える実施形態である。第1及び第2の実施形
態と同等の部材には同一の符号を付す。本実施形態によ
る超音波探触子の構成を表す縦断面図を図8に、上面図
を図9に、使用時の態様を表す側面図を図10に示す。
これらはそれぞれ、第1の実施形態における図1、図2
(a)、図3に対応する図である。図8〜図10におい
て、本実施形態による超音波探触子400が第1の実施
形態の超音波探触子100と異なる主要な点は、円盤状
の電極4の上に、円盤形状をほぼ4分割した形状の圧電
膜405が配置されていることと、この圧電膜405の
上に、圧電膜405と同一形状の電極406が設けられ
ていることと、これら電極406・電極2・電極4が反
射波の受信経路を切り換える切換器を介して選択的に受
信器に接続されることである。すなわち、圧電膜405
は、円盤形状の周方向に配置される4個の圧電膜要素4
05a〜dに分割されており、電極406も、円盤形状
の周方向に配置される4個の電極要素406a〜dに分
割されている。また、発振用圧電素子として、電極2・
圧電膜3・電極4で構成される第1の圧電素子のみを使
用するが、受信用圧電素子としては、電極4・圧電膜4
05・電極406で構成される第2の圧電素子及び第1
の圧電素子のうちいずれか一方を、切換器で切り換える
ことにより使用する。
より説明する。本実施形態は、材料物性検出・画像評価
の両方を行える実施形態である。第1及び第2の実施形
態と同等の部材には同一の符号を付す。本実施形態によ
る超音波探触子の構成を表す縦断面図を図8に、上面図
を図9に、使用時の態様を表す側面図を図10に示す。
これらはそれぞれ、第1の実施形態における図1、図2
(a)、図3に対応する図である。図8〜図10におい
て、本実施形態による超音波探触子400が第1の実施
形態の超音波探触子100と異なる主要な点は、円盤状
の電極4の上に、円盤形状をほぼ4分割した形状の圧電
膜405が配置されていることと、この圧電膜405の
上に、圧電膜405と同一形状の電極406が設けられ
ていることと、これら電極406・電極2・電極4が反
射波の受信経路を切り換える切換器を介して選択的に受
信器に接続されることである。すなわち、圧電膜405
は、円盤形状の周方向に配置される4個の圧電膜要素4
05a〜dに分割されており、電極406も、円盤形状
の周方向に配置される4個の電極要素406a〜dに分
割されている。また、発振用圧電素子として、電極2・
圧電膜3・電極4で構成される第1の圧電素子のみを使
用するが、受信用圧電素子としては、電極4・圧電膜4
05・電極406で構成される第2の圧電素子及び第1
の圧電素子のうちいずれか一方を、切換器で切り換える
ことにより使用する。
【0026】その他の構成は、第1の実施形態の超音波
探触子100とほぼ同様であるので説明を省略する。
探触子100とほぼ同様であるので説明を省略する。
【0027】以上のように構成した本実施形態の超音波
探触子400においては、1つの超音波探触子400
で、材料物性の検出と画像評価の両方を行うことができ
る。すなわち、電極406と電極4とが受信器に接続さ
れるように切換器が切り換えられると、電極4・圧電膜
405・電極406で構成される第2の圧電素子が受信
用圧電素子として機能する。したがって、電極2,4か
らの電圧で振動する圧電膜3から発信された超音波が略
球面形状のレンズ面7aで集束されて被検体8へ照射さ
れ、その反射波は略円盤分割形状の圧電膜405で受信
され、これに応じた出力電圧が電極4及び電極406を
介して受信器の独立した4つの入力端子(あるいは、4
個の信号を順次切り換えて入力可能な入力切換手段を介
し、1個の入力端子に接続されていてもよい)に送られ
る。これにより、4つの出力の大小によって被検体8の
材料物性の周方向における分布を検出することができ
る。そして、超音波探触子400や被検体8を回転させ
れば、周方向分布をさらに細かく検出し異方性を検出す
ることができる。一方、電極2と電極4とが受信器に接
続されるように切換器が切り換えられると、電極2・圧
電膜3・電極4で構成される第1の圧電素子が受信用圧
電素子として機能する。したがって、被検体8からの反
射波は略円盤形状の圧電膜3で受信され、これに応じた
出力電圧が電極2及び電極4を介して受信器の独立した
4つの入力端子(あるいは、4個の信号を順次切り換え
て入力可能な入力切換手段を介し、1個の入力端子に接
続されていてもよい)に送られる。これにより、受信出
力の大小による画像評価を行うことができる。よって、
探触子を交換することなく、全く同じ発信波で、材料物
性の検出と画像評価との両方を行うことができ、また材
料物性を検出しているときにその検出位置を画像評価し
て特定することができるので、測定時間を短縮すること
ができる。
探触子400においては、1つの超音波探触子400
で、材料物性の検出と画像評価の両方を行うことができ
る。すなわち、電極406と電極4とが受信器に接続さ
れるように切換器が切り換えられると、電極4・圧電膜
405・電極406で構成される第2の圧電素子が受信
用圧電素子として機能する。したがって、電極2,4か
らの電圧で振動する圧電膜3から発信された超音波が略
球面形状のレンズ面7aで集束されて被検体8へ照射さ
れ、その反射波は略円盤分割形状の圧電膜405で受信
され、これに応じた出力電圧が電極4及び電極406を
介して受信器の独立した4つの入力端子(あるいは、4
個の信号を順次切り換えて入力可能な入力切換手段を介
し、1個の入力端子に接続されていてもよい)に送られ
る。これにより、4つの出力の大小によって被検体8の
材料物性の周方向における分布を検出することができ
る。そして、超音波探触子400や被検体8を回転させ
れば、周方向分布をさらに細かく検出し異方性を検出す
ることができる。一方、電極2と電極4とが受信器に接
続されるように切換器が切り換えられると、電極2・圧
電膜3・電極4で構成される第1の圧電素子が受信用圧
電素子として機能する。したがって、被検体8からの反
射波は略円盤形状の圧電膜3で受信され、これに応じた
出力電圧が電極2及び電極4を介して受信器の独立した
4つの入力端子(あるいは、4個の信号を順次切り換え
て入力可能な入力切換手段を介し、1個の入力端子に接
続されていてもよい)に送られる。これにより、受信出
力の大小による画像評価を行うことができる。よって、
探触子を交換することなく、全く同じ発信波で、材料物
性の検出と画像評価との両方を行うことができ、また材
料物性を検出しているときにその検出位置を画像評価し
て特定することができるので、測定時間を短縮すること
ができる。
【0028】なお、上記実施形態においては、圧電膜4
05及び電極406の形状を円盤形状をほぼ4分割した
形状としたが、これに限られない。すなわち例えば、上
面図を図11に示すように、圧電膜405及び電極40
6をさらに細かく、8つの圧電膜要素455a〜h及び
電極要素456a〜hに分割した形状としてもよい。こ
の場合も、同様の効果を得る。
05及び電極406の形状を円盤形状をほぼ4分割した
形状としたが、これに限られない。すなわち例えば、上
面図を図11に示すように、圧電膜405及び電極40
6をさらに細かく、8つの圧電膜要素455a〜h及び
電極要素456a〜hに分割した形状としてもよい。こ
の場合も、同様の効果を得る。
【0029】
【発明の効果】本発明によれば、第1の圧電素子の発振
中心軸がレンズ面の軸と略一致しており、また第1の圧
電素子の実質形状がレンズ面の水平断面形状と略相似形
であるので、第1の圧電素子から発生する超音波ビーム
による音場がレンズ面に適したものとなり、発せられた
超音波ビームの干渉・減衰を低減して測定精度を向上さ
せることができる。また、第1及び第2の圧電素子が、
被検体で反射された反射波を第1及び第2の圧電素子の
いずれか一方で受信するように受信経路を選択的に切り
換える切換手段に接続されているので、探触子を交換す
ることなく、全く同じ発信波で、材料物性の検出と画像
評価との両方を行うことができる。したがって、材料物
性を検出しているときにその検出位置を画像評価して特
定することができるので、測定時間を短縮することがで
きる。
中心軸がレンズ面の軸と略一致しており、また第1の圧
電素子の実質形状がレンズ面の水平断面形状と略相似形
であるので、第1の圧電素子から発生する超音波ビーム
による音場がレンズ面に適したものとなり、発せられた
超音波ビームの干渉・減衰を低減して測定精度を向上さ
せることができる。また、第1及び第2の圧電素子が、
被検体で反射された反射波を第1及び第2の圧電素子の
いずれか一方で受信するように受信経路を選択的に切り
換える切換手段に接続されているので、探触子を交換す
ることなく、全く同じ発信波で、材料物性の検出と画像
評価との両方を行うことができる。したがって、材料物
性を検出しているときにその検出位置を画像評価して特
定することができるので、測定時間を短縮することがで
きる。
【図1】本発明の第1の実施形態による超音波探触子の
構成を表す縦断面図である。
構成を表す縦断面図である。
【図2】図1に示した超音波探触子の上面図及び下面図
である。
である。
【図3】図1に示した超音波探触子の使用時の態様を表
す側面図である。
す側面図である。
【図4】本発明の第2の実施形態による超音波探触子の
構成を表す縦断面図である。
構成を表す縦断面図である。
【図5】図4に示した超音波探触子の上面図及び下面図
である。
である。
【図6】本発明の第3の実施形態による超音波探触子の
構成を表す縦断面図である。
構成を表す縦断面図である。
【図7】図6に示した超音波探触子の上面図及び下面図
である。
である。
【図8】本発明の第4の実施形態による超音波探触子の
構成を表す縦断面図である。
構成を表す縦断面図である。
【図9】図8に示した超音波探触子の上面図である。
【図10】図8に示した超音波探触子の使用時の態様を
表す側面図である。
表す側面図である。
【図11】図8に示した超音波探触子の圧電膜及び電極
の変形例を表す上面図である。
の変形例を表す上面図である。
【図12】従来技術による超音波探触子の概略構造を表
す上面図及び超音波経路図である。
す上面図及び超音波経路図である。
2 電極(第1の圧電素子) 3 圧電膜(第1の圧電素子) 4 電極(第1の圧電素子、第2の圧電
素子) 5 圧電膜(第2の圧電素子) 6 電極(第2の圧電素子) 7 音響レンズ 7a レンズ面 9 発振中心軸線 100 超音波探触子 200 超音波探触子 206a〜h 電極(第2の圧電素子) 300 超音波探触子 302 電極(第1の圧電素子) 303 圧電膜(第1の圧電素子) 304 電極(第1の圧電素子、第2の圧電
素子) 305 圧電膜(第2の圧電素子) 306a〜f 電極(第2の圧電素子) 307 音響レンズ 307a レンズ面 309 発振中心軸面 400 超音波探触子 405a〜d 圧電膜(第2の圧電素子) 406a〜d 電極(第2の圧電素子) 455a〜h 圧電膜(第2の圧電素子) 456a〜h 電極(第2の圧電素子)
素子) 5 圧電膜(第2の圧電素子) 6 電極(第2の圧電素子) 7 音響レンズ 7a レンズ面 9 発振中心軸線 100 超音波探触子 200 超音波探触子 206a〜h 電極(第2の圧電素子) 300 超音波探触子 302 電極(第1の圧電素子) 303 圧電膜(第1の圧電素子) 304 電極(第1の圧電素子、第2の圧電
素子) 305 圧電膜(第2の圧電素子) 306a〜f 電極(第2の圧電素子) 307 音響レンズ 307a レンズ面 309 発振中心軸面 400 超音波探触子 405a〜d 圧電膜(第2の圧電素子) 406a〜d 電極(第2の圧電素子) 455a〜h 圧電膜(第2の圧電素子) 456a〜h 電極(第2の圧電素子)
Claims (8)
- 【請求項1】 音響レンズと;この音響レンズの上端部
に設けられ、超音波を発振する第1の圧電素子と;前記
音響レンズの下面に形成され、前記第1の圧電素子から
発振された超音波を集束して被検体に照射するレンズ面
と;前記音響レンズの上端部に設けられ、前記被検体に
照射された超音波のうち該被検体で反射された反射波を
受信する第2の圧電素子とを有する超音波探触子におい
て、 前記第1の圧電素子の発振中心軸は前記レンズ面の軸と
略一致するとともに、該第1の圧電素子のうち実質的に
機能する部分の実質形状は、前記レンズ面の水平断面形
状と略相似形であり、 前記第2の圧電素子のうち実質的に機能する部分の実質
形状は、前記被検体から得ようとする情報の種類に応じ
た形状となっており、前記第1の圧電素子と層状構造を
なすように該第1の圧電素子の上部に載置されているこ
とを特徴とする超音波探触子。 - 【請求項2】 請求項1記載の超音波探触子において、
前記レンズ面の形状は略球面形状であり、前記第1の圧
電素子の実質形状は略円盤形状であり、前記第2の圧電
素子の実質形状は円盤から対向する2つの弦部分を取り
去った形状であることを特徴とする超音波探触子。 - 【請求項3】 請求項1記載の超音波探触子において、
前記レンズ面の形状は略球面形状であり、前記第1の圧
電素子の実質形状は略円盤形状であり、前記第2の圧電
素子の実質形状は円盤を周方向に複数個に分割した形状
であることを特徴とする超音波探触子。 - 【請求項4】 請求項1記載の超音波探触子において、
前記レンズ面の形状は略円筒面形状であり、前記第1の
圧電素子の実質形状は略長方形平板形状であり、前記第
2の圧電素子の実質形状は長方形平板を複数個の短冊状
部分に分割した形状であることを特徴とする超音波探触
子。 - 【請求項5】 請求項1記載の超音波探触子において、
前記第1の圧電素子は、前記被検体で反射された超音波
を受信可能に構成されており、かつ、前記第1及び第2
の圧電素子は、前記被検体で反射された反射波を該第1
及び第2の圧電素子のいずれか一方で受信するように受
信経路を選択的に切り換える切換手段に接続されている
ことを特徴とする超音波探触子。 - 【請求項6】 請求項1記載の超音波探触子において、
前記第1及び第2の圧電素子のそれぞれは、圧電膜と、
この圧電膜の上下に配置された電極とを備えていること
を特徴とする超音波探触子。 - 【請求項7】 請求項6記載の超音波探触子において、
前記第1の圧電素子の実質形状は、該第1の圧電素子に
備えられた圧電膜及び電極のうち最小面積であるものの
形状であることを特徴とする超音波探触子。 - 【請求項8】 請求項6記載の超音波探触子において、
前記第2の圧電素子の実質形状は、該第2の圧電素子に
備えられた圧電膜及び電極のうち最小面積であるものの
形状であることを特徴とする超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18720295A JPH0933497A (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18720295A JPH0933497A (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0933497A true JPH0933497A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16201885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18720295A Pending JPH0933497A (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0933497A (ja) |
-
1995
- 1995-07-24 JP JP18720295A patent/JPH0933497A/ja active Pending
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