JPH0938451A - 溶剤回収処理方法 - Google Patents
溶剤回収処理方法Info
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- JPH0938451A JPH0938451A JP7198446A JP19844695A JPH0938451A JP H0938451 A JPH0938451 A JP H0938451A JP 7198446 A JP7198446 A JP 7198446A JP 19844695 A JP19844695 A JP 19844695A JP H0938451 A JPH0938451 A JP H0938451A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 溶剤濃度の異なる少なくとも３種類の溶
剤含有排ガスから溶剤を吸着回収するにあたり、吸着剤
の吸着能力を充分に発揮させて溶剤を効率よく回収する
とともに吸着塔からの排ガスの溶剤濃度を極めて低濃度
に抑えることができる溶剤回収処理方法を提供する。 【解決手段】 溶剤濃度の異なる少なくとも３種類の溶
剤含有排ガスを少なくとも４塔の吸着塔を有する吸着装
置の各塔に順次導入して溶剤の吸着回収を行ない、少な
くとも１塔では脱着再生を行なう方法であって、各塔に
は前記溶剤含有排ガスのうち中濃度排ガス、低濃度排ガ
ス、高濃度排ガスの順に供給し、低濃度排ガスを送入し
た塔の排ガスは放出あるいは次の処理工程に移し、高濃
度排ガスを送入した塔は次いで脱着再生を行なうことを
特徴とする溶剤回収処理方法。
剤含有排ガスから溶剤を吸着回収するにあたり、吸着剤
の吸着能力を充分に発揮させて溶剤を効率よく回収する
とともに吸着塔からの排ガスの溶剤濃度を極めて低濃度
に抑えることができる溶剤回収処理方法を提供する。 【解決手段】 溶剤濃度の異なる少なくとも３種類の溶
剤含有排ガスを少なくとも４塔の吸着塔を有する吸着装
置の各塔に順次導入して溶剤の吸着回収を行ない、少な
くとも１塔では脱着再生を行なう方法であって、各塔に
は前記溶剤含有排ガスのうち中濃度排ガス、低濃度排ガ
ス、高濃度排ガスの順に供給し、低濃度排ガスを送入し
た塔の排ガスは放出あるいは次の処理工程に移し、高濃
度排ガスを送入した塔は次いで脱着再生を行なうことを
特徴とする溶剤回収処理方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は化学工場において有
機溶剤を溶媒として用いる製膜工程、塗布工程等におい
て、蒸発した溶剤を吸着剤を用いて回収する溶剤回収処
理方法に関するものである。
機溶剤を溶媒として用いる製膜工程、塗布工程等におい
て、蒸発した溶剤を吸着剤を用いて回収する溶剤回収処
理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】溶剤濃度の異なる少なくとも３種以上の
溶剤含有排ガスを発生させる工程として製膜工程、塗布
工程等がある。これらの工程で発生する溶剤を処理する
溶剤回収方法として、各溶剤排ガス発生源よりの溶剤含
有排ガスをそれぞれ冷却器で冷却した後、送風機によっ
て混合してから吸着装置に送り吸着剤に溶剤を吸着させ
ていた。吸着塔の排ガスはそのまま排気するか、又はフ
ィルターを通してから再び送風機で循環処理してもよ
い。一方、吸着装置には加熱再生用気体を送って吸着剤
に吸着された溶剤を脱着し、これをコンデンサーにおい
て凝縮し、溶剤を溶剤貯蔵タンクに回収していた。吸着
装置には２塔を使用して、相互に吸着と脱着回収を各バ
ルブの切替によって行い連続操業を行なっていた。
溶剤含有排ガスを発生させる工程として製膜工程、塗布
工程等がある。これらの工程で発生する溶剤を処理する
溶剤回収方法として、各溶剤排ガス発生源よりの溶剤含
有排ガスをそれぞれ冷却器で冷却した後、送風機によっ
て混合してから吸着装置に送り吸着剤に溶剤を吸着させ
ていた。吸着塔の排ガスはそのまま排気するか、又はフ
ィルターを通してから再び送風機で循環処理してもよ
い。一方、吸着装置には加熱再生用気体を送って吸着剤
に吸着された溶剤を脱着し、これをコンデンサーにおい
て凝縮し、溶剤を溶剤貯蔵タンクに回収していた。吸着
装置には２塔を使用して、相互に吸着と脱着回収を各バ
ルブの切替によって行い連続操業を行なっていた。
【０００３】又、溶剤濃度の異なる各溶剤含有排ガス発
生源の吸着装置を各々別個に設けて、上記と同様な方法
で吸着、脱着回収処理する方法もあった。
生源の吸着装置を各々別個に設けて、上記と同様な方法
で吸着、脱着回収処理する方法もあった。
【０００４】しかしながら、これらの方法では濃厚ガス
が希薄ガスと混合されるため濃厚ガスが希釈されること
によって吸着剤の吸着能力が減じあるいは吸着装置が増
えて設備費が多額になり、かつ単位溶剤処理当たりの再
生コストが高くついた。
が希薄ガスと混合されるため濃厚ガスが希釈されること
によって吸着剤の吸着能力が減じあるいは吸着装置が増
えて設備費が多額になり、かつ単位溶剤処理当たりの再
生コストが高くついた。
【０００５】これらの問題点を解決した溶剤回収処理方
法として、溶剤含有濃度の異なる少なくとも２種の溶剤
ガス含有気体を吸着する溶剤回収処理方法において、先
ず希薄なる溶剤ガス含有気体を第１の吸着装置に通し、
吸着剤が破過開始する前の一定時間後に該含有気体を第
２の吸着装置に切り替え送風し、第１の吸着装置には濃
厚なる溶剤ガス含有気体を通し、その濃厚なる溶剤ガス
の吸着を吸着剤が破過開始する時間内でかつ前記希薄な
る溶剤ガス吸着時間に合わせた時間行った後、第２の吸
着装置に切り替え送風し、同時に希薄なる溶剤ガス含有
気体は第３の吸着装置に切り替え送風し、第１の吸着装
置は再生操作に移ることを順次繰返し行う方法が開発さ
れている（特開平４−５９０１９号公報）。
法として、溶剤含有濃度の異なる少なくとも２種の溶剤
ガス含有気体を吸着する溶剤回収処理方法において、先
ず希薄なる溶剤ガス含有気体を第１の吸着装置に通し、
吸着剤が破過開始する前の一定時間後に該含有気体を第
２の吸着装置に切り替え送風し、第１の吸着装置には濃
厚なる溶剤ガス含有気体を通し、その濃厚なる溶剤ガス
の吸着を吸着剤が破過開始する時間内でかつ前記希薄な
る溶剤ガス吸着時間に合わせた時間行った後、第２の吸
着装置に切り替え送風し、同時に希薄なる溶剤ガス含有
気体は第３の吸着装置に切り替え送風し、第１の吸着装
置は再生操作に移ることを順次繰返し行う方法が開発さ
れている（特開平４−５９０１９号公報）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の方法を溶剤濃度
の異なる少なくとも３種類の溶剤含有排ガスに適用した
場合、低濃度ガスの吸着工程における溶剤ガスの破過が
予想外に早いため、大気放出から再吸着への切替を早期
に行なわなければならず、これが設備負担を増加させ、
溶剤回収コストを上昇させていた。
の異なる少なくとも３種類の溶剤含有排ガスに適用した
場合、低濃度ガスの吸着工程における溶剤ガスの破過が
予想外に早いため、大気放出から再吸着への切替を早期
に行なわなければならず、これが設備負担を増加させ、
溶剤回収コストを上昇させていた。
【０００７】本発明の目的は、溶剤濃度の異なる少なく
とも３種類の溶剤含有排ガスから溶剤を吸着回収するに
あたり、吸着剤の吸着能力を充分に発揮させて溶剤を効
率よく回収するとともに吸着塔からの排ガスの溶剤濃度
を極めて低濃度に抑えることができる溶剤回収処理方法
を提供することにある。
とも３種類の溶剤含有排ガスから溶剤を吸着回収するに
あたり、吸着剤の吸着能力を充分に発揮させて溶剤を効
率よく回収するとともに吸着塔からの排ガスの溶剤濃度
を極めて低濃度に抑えることができる溶剤回収処理方法
を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的は、溶剤濃度の
異なる少なくとも３種類の溶剤含有排ガスを少なくとも
４塔の吸着塔を有する吸着装置の各塔に順次導入して溶
剤の吸着回収を行ない、少なくとも１塔では脱着再生を
行なう方法であって、各塔には前記溶剤含有排ガスのう
ち中濃度排ガス、低濃度排ガス、高濃度排ガスの順に供
給し、低濃度排ガスを送入した塔の排ガスは放出あるい
は次の処理工程に移し、高濃度排ガスを送入した塔は次
いで脱着再生を行なうことを特徴とする溶剤回収処理方
法によって達成される。
異なる少なくとも３種類の溶剤含有排ガスを少なくとも
４塔の吸着塔を有する吸着装置の各塔に順次導入して溶
剤の吸着回収を行ない、少なくとも１塔では脱着再生を
行なう方法であって、各塔には前記溶剤含有排ガスのう
ち中濃度排ガス、低濃度排ガス、高濃度排ガスの順に供
給し、低濃度排ガスを送入した塔の排ガスは放出あるい
は次の処理工程に移し、高濃度排ガスを送入した塔は次
いで脱着再生を行なうことを特徴とする溶剤回収処理方
法によって達成される。
【０００９】すなわち、本発明では、脱着工程後の吸着
１段目で中濃度ガスの吸着を行い、また排気は再処理の
ため低濃度ガスと合わせ吸着回収し、２段目以降低濃度
ガスの吸着を行い、大気放出する。最終段で高濃度ガス
の吸着を行い、排気は再処理のため低濃度ガスと合わせ
吸着回収するのである。
１段目で中濃度ガスの吸着を行い、また排気は再処理の
ため低濃度ガスと合わせ吸着回収し、２段目以降低濃度
ガスの吸着を行い、大気放出する。最終段で高濃度ガス
の吸着を行い、排気は再処理のため低濃度ガスと合わせ
吸着回収するのである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施態様を図１を用いて
説明する。
説明する。
【００１１】図１において低濃度ガス発生源１と中濃度
ガス発生源２と高濃度ガス発生源３とがあり、それに対
して第１の吸着塔１０ａから第６の吸着塔１０ｆまでに
それぞれ通じる管路があり、バルブ１５で切り替えが出
来るようになっている。
ガス発生源２と高濃度ガス発生源３とがあり、それに対
して第１の吸着塔１０ａから第６の吸着塔１０ｆまでに
それぞれ通じる管路があり、バルブ１５で切り替えが出
来るようになっている。
【００１２】第１の吸着塔１０ａには中濃度ガス発生源
２よりの溶剤ガスが通された後、一定時間後、第２の吸
着装置１０ｂに切り換えられ、第１の吸着装置１０ａに
は低濃度ガス発生源１からの溶剤ガスが通され、一定時
間後排気ガス濃度が所定の濃度になる前に第２の吸着装
置１０ｂに切り換えられ、中濃度溶剤ガスは第３の吸着
装置１０ｃに切り換えられる。第１の吸着装置１０ａは
低濃度ガスの吸着により排気ガス濃度が一定値以上とな
ると切り換えられ高濃度ガス発生源３よりの溶剤ガスが
通される。前記の一定時間とは低濃度ガスの吸着による
排気ガス濃度が所定の濃度以下を保つ時間を基準として
定める。図１において、第１の吸着装置１０ａが再生状
態に入った状態を表すとして説明すると、中濃度ガス発
生源２よりの溶剤ガスは冷却器５によって冷却され、送
風機８によって第６の吸着装置１０ｆに通され、吸着剤
１１ｆにその溶剤ガスを吸着されている。吸着後の気体
中には溶剤ガスが含まれているので、再び低濃度ガスと
して吸着処理される。低濃度ガス発生源１からの溶剤ガ
スは冷却器４によって冷却され、送風機７によって第５
の吸着装置１０ｅ、第４の吸着装置１０ｄおよび第３の
吸着装置１０ｃに通され、吸着剤１１ｅ、１１ｄ、１１
ｃにその溶剤ガスを吸着されている。吸着後の気体には
所定の濃度以下の溶剤しか含まれていない。
２よりの溶剤ガスが通された後、一定時間後、第２の吸
着装置１０ｂに切り換えられ、第１の吸着装置１０ａに
は低濃度ガス発生源１からの溶剤ガスが通され、一定時
間後排気ガス濃度が所定の濃度になる前に第２の吸着装
置１０ｂに切り換えられ、中濃度溶剤ガスは第３の吸着
装置１０ｃに切り換えられる。第１の吸着装置１０ａは
低濃度ガスの吸着により排気ガス濃度が一定値以上とな
ると切り換えられ高濃度ガス発生源３よりの溶剤ガスが
通される。前記の一定時間とは低濃度ガスの吸着による
排気ガス濃度が所定の濃度以下を保つ時間を基準として
定める。図１において、第１の吸着装置１０ａが再生状
態に入った状態を表すとして説明すると、中濃度ガス発
生源２よりの溶剤ガスは冷却器５によって冷却され、送
風機８によって第６の吸着装置１０ｆに通され、吸着剤
１１ｆにその溶剤ガスを吸着されている。吸着後の気体
中には溶剤ガスが含まれているので、再び低濃度ガスと
して吸着処理される。低濃度ガス発生源１からの溶剤ガ
スは冷却器４によって冷却され、送風機７によって第５
の吸着装置１０ｅ、第４の吸着装置１０ｄおよび第３の
吸着装置１０ｃに通され、吸着剤１１ｅ、１１ｄ、１１
ｃにその溶剤ガスを吸着されている。吸着後の気体には
所定の濃度以下の溶剤しか含まれていない。
【００１３】高濃度ガス発生源３よりの溶剤ガスは冷却
器６によって冷却され、送風機９によって既に中濃度溶
剤ガス、低濃度溶剤ガスを吸着した第２の吸着装置１０
ｂに通され、吸着剤１１ｂにその溶剤ガスを吸着されて
いる。排気ガスに溶剤ガスが含まれる場合には中濃度ガ
スの吸着後の排気と同様に再び吸着処理される。
器６によって冷却され、送風機９によって既に中濃度溶
剤ガス、低濃度溶剤ガスを吸着した第２の吸着装置１０
ｂに通され、吸着剤１１ｂにその溶剤ガスを吸着されて
いる。排気ガスに溶剤ガスが含まれる場合には中濃度ガ
スの吸着後の排気と同様に再び吸着処理される。
【００１４】第１の吸着装置１０ａは、中濃度溶剤ガ
ス、低濃度溶剤ガス、高濃度溶剤ガスの順に吸着したあ
と、再生中であり、加熱再生用気体１２が吹き込まれ吸
着剤１１ａに吸着された溶剤は加熱再生用気体に蒸発し
てコンデンサー１３によって冷却凝縮し、液体となって
回収され、溶剤貯蔵タンク１４に貯蔵される。
ス、低濃度溶剤ガス、高濃度溶剤ガスの順に吸着したあ
と、再生中であり、加熱再生用気体１２が吹き込まれ吸
着剤１１ａに吸着された溶剤は加熱再生用気体に蒸発し
てコンデンサー１３によって冷却凝縮し、液体となって
回収され、溶剤貯蔵タンク１４に貯蔵される。
【００１５】吸着塔は少なくとも４塔あればよい。一
方、吸着あるいは脱着を２塔以上直列に連結して連塔方
式で行なうこともでき、その場合にはそれに必要な塔数
を増設する。
方、吸着あるいは脱着を２塔以上直列に連結して連塔方
式で行なうこともでき、その場合にはそれに必要な塔数
を増設する。
【００１６】溶剤は吸着剤で吸着回収できるものであれ
ばよく、例えば塩化メチレン、アセトン、メタノール、
ｎ−ブタノール等がある。
ばよく、例えば塩化メチレン、アセトン、メタノール、
ｎ−ブタノール等がある。
【００１７】本発明が適用される溶剤含有排ガスの溶剤
濃度は本発明の効果を発揮しうるものであればよいが、
例えば、高濃度ガスは１，０００ｐｐｍ以上、中濃度ガ
スは５００ｐｐｍ以上１，０００ｐｐｍ未満、低濃度ガ
スは５００ｐｐｍ未満である。
濃度は本発明の効果を発揮しうるものであればよいが、
例えば、高濃度ガスは１，０００ｐｐｍ以上、中濃度ガ
スは５００ｐｐｍ以上１，０００ｐｐｍ未満、低濃度ガ
スは５００ｐｐｍ未満である。
【００１８】溶剤含有排ガスが４種類ある場合には、ま
ず２番目又は３番目の濃度のガスを供給し、次に、低濃
度ガス、３番目又は２番目の濃度のガス、高濃度ガスの
順に供給すればよい。
ず２番目又は３番目の濃度のガスを供給し、次に、低濃
度ガス、３番目又は２番目の濃度のガス、高濃度ガスの
順に供給すればよい。
【００１９】吸着剤は、ゼオライト、粒状活性炭、繊維
活性炭等を使用できる。吸着は常圧、加圧のいずれで行
なってもよい。
活性炭等を使用できる。吸着は常圧、加圧のいずれで行
なってもよい。
【００２０】脱着は水蒸気の他、加熱窒素、加熱空気等
を用いてもよい。
を用いてもよい。
【００２１】濃度の異なる少なくとも３種類の溶剤ガス
（高濃度，中濃度，低濃度）を吸着回収するに対し、吸
着剤の吸着能力を十分活用し、且つ吸着塔からの大気排
気濃度を極低濃度（５ｐｐｍ以下）に押さえると共に、
設備費、再生コストを低減させるため、本発明では、脱
着工程後の吸着１段目で中濃度ガスの吸着を行い、また
排気は再処理のため低濃度ガスと合わせ吸着回収し、２
段目以降低濃度ガスの吸着を行い、大気放出する。最終
段で高濃度ガスの吸着を行い、排気は再処理のため低濃
度ガスと合わせ吸着回収することを特徴とする。従来技
術では吸着１段目から低濃度ガスの吸着を行い、順次高
濃度側の吸着を行っていた。
（高濃度，中濃度，低濃度）を吸着回収するに対し、吸
着剤の吸着能力を十分活用し、且つ吸着塔からの大気排
気濃度を極低濃度（５ｐｐｍ以下）に押さえると共に、
設備費、再生コストを低減させるため、本発明では、脱
着工程後の吸着１段目で中濃度ガスの吸着を行い、また
排気は再処理のため低濃度ガスと合わせ吸着回収し、２
段目以降低濃度ガスの吸着を行い、大気放出する。最終
段で高濃度ガスの吸着を行い、排気は再処理のため低濃
度ガスと合わせ吸着回収することを特徴とする。従来技
術では吸着１段目から低濃度ガスの吸着を行い、順次高
濃度側の吸着を行っていた。
【００２２】この従来技術では、通常脱着直後の吸着１
段目の排気は水蒸気を多量に含み、また溶剤分を若干含
んでおり白煙状で大気に放出するが、本発明では吸着１
段目の排気を再処理のため低濃度ガスと合わせ吸着再処
理するため、環境への水蒸気、溶剤分の放出を極力低減
できる。
段目の排気は水蒸気を多量に含み、また溶剤分を若干含
んでおり白煙状で大気に放出するが、本発明では吸着１
段目の排気を再処理のため低濃度ガスと合わせ吸着再処
理するため、環境への水蒸気、溶剤分の放出を極力低減
できる。
【００２３】また、従来の知見ではサイクルタイムを延
長すると低濃度ガスの吸着工程で破過が始まり、大気放
出ガス濃度を目標値以下に維持できなかったが、本発明
の方法によれば、吸着１段目の中濃度ガスによる吸着剤
を乾燥する効果が大きくなることにより、２段目以降の
吸着能力が向上しサイクルタイムを延長しても、大気放
出ガス濃度を目標値以下に維持することができた。この
ため脱着のための水蒸気量を約２／３に削減でき、省エ
ネ効果を出すことができた。
長すると低濃度ガスの吸着工程で破過が始まり、大気放
出ガス濃度を目標値以下に維持できなかったが、本発明
の方法によれば、吸着１段目の中濃度ガスによる吸着剤
を乾燥する効果が大きくなることにより、２段目以降の
吸着能力が向上しサイクルタイムを延長しても、大気放
出ガス濃度を目標値以下に維持することができた。この
ため脱着のための水蒸気量を約２／３に削減でき、省エ
ネ効果を出すことができた。
【００２４】
【実施例】図１に示す装置を用いた。この装置は、１塔
当たり４ｍ3／ｍｉｎの風量処理能力のある吸着塔６塔
よりなっている。吸着剤には繊維活性炭を用い、１塔当
り５.２ｋｇを充填した。まず、中濃度溶剤含有ガス(塩
化メチレン５５０ｐｐｍ）３ｍ3／ｍｉｎを１段目の吸
着塔で処理し、大気放出ガス濃度を極低濃度(塩化メチ
レン５ｐｐｍ以下）とするため、排気(塩化メチレン２
０ｐｐｍ)は再処理のため低濃度ガス(塩化メチレン３０
０ｐｐｍ，８ｍ3／ｍｉｎ）及び後述の高濃度ガスを最
終段で吸着処理した後の排気(塩化メチレン３０ｐｐ
ｍ，１ｍ3／ｍｉｎ）を合わせ、２段目から４段目で処
理をし大気放出したところ、塩化メチレン濃度を５ｐｐ
ｍ以下とすることができた。高濃度ガス(塩化メチレン
１０,０００ｐｐｍ，１ｍ3／ｍｉｎ）を最終段(５段
目）で吸着処理し、その排ガスは低濃度ガスと合わせ吸
着処理を行い、大気放出した。
当たり４ｍ3／ｍｉｎの風量処理能力のある吸着塔６塔
よりなっている。吸着剤には繊維活性炭を用い、１塔当
り５.２ｋｇを充填した。まず、中濃度溶剤含有ガス(塩
化メチレン５５０ｐｐｍ）３ｍ3／ｍｉｎを１段目の吸
着塔で処理し、大気放出ガス濃度を極低濃度(塩化メチ
レン５ｐｐｍ以下）とするため、排気(塩化メチレン２
０ｐｐｍ)は再処理のため低濃度ガス(塩化メチレン３０
０ｐｐｍ，８ｍ3／ｍｉｎ）及び後述の高濃度ガスを最
終段で吸着処理した後の排気(塩化メチレン３０ｐｐ
ｍ，１ｍ3／ｍｉｎ）を合わせ、２段目から４段目で処
理をし大気放出したところ、塩化メチレン濃度を５ｐｐ
ｍ以下とすることができた。高濃度ガス(塩化メチレン
１０,０００ｐｐｍ，１ｍ3／ｍｉｎ）を最終段(５段
目）で吸着処理し、その排ガスは低濃度ガスと合わせ吸
着処理を行い、大気放出した。
【００２５】脱着に要したスチーム量は１２ｋｇ／Ｈｒ
であった。
であった。
【００２６】この実施例では１塔処理風量が中濃度ガス
風量３ｍ3／ｍｉｎと高濃度ガス風量１ｍ3／ｍｉｎとの
合計風量４ｍ3／ｍｉｎとしたため再処理用の低濃度吸
着塔は１塔で間に合い、設備構成上のメリットがあっ
た。
風量３ｍ3／ｍｉｎと高濃度ガス風量１ｍ3／ｍｉｎとの
合計風量４ｍ3／ｍｉｎとしたため再処理用の低濃度吸
着塔は１塔で間に合い、設備構成上のメリットがあっ
た。
【００２７】従来の方法では、低濃度ガス（塩化メチレ
ン３００ｐｐｍ，８ｍ3／ｍｉｎ）のうちの４ｍ3／ｍｉ
ｎを１段目で処理をすると大気放出の排気濃度が５ｐｐ
ｍ以上となり目的を達成できなかった。また大気放出の
排気濃度を５ｐｐｍ以下とするためには、吸着塔を１基
増設する必要があり設備費の低減化に反する結果となっ
た。
ン３００ｐｐｍ，８ｍ3／ｍｉｎ）のうちの４ｍ3／ｍｉ
ｎを１段目で処理をすると大気放出の排気濃度が５ｐｐ
ｍ以上となり目的を達成できなかった。また大気放出の
排気濃度を５ｐｐｍ以下とするためには、吸着塔を１基
増設する必要があり設備費の低減化に反する結果となっ
た。
【００２８】
【発明の効果】濃度の異なる少なくとも３種類の溶剤ガ
ス（高濃度，中濃度，低濃度）を吸着回収するに対し、
吸着剤の吸着能力を十分活用し、且つ吸着塔からの大気
排気濃度を極低濃度（５ｐｐｍ以下）に押さえると共
に、設備費、再生コストを低減させることができる。
ス（高濃度，中濃度，低濃度）を吸着回収するに対し、
吸着剤の吸着能力を十分活用し、且つ吸着塔からの大気
排気濃度を極低濃度（５ｐｐｍ以下）に押さえると共
に、設備費、再生コストを低減させることができる。
【図１】 本発明の溶剤回収処理方法で使用される吸着
装置の一例のフローシートである。
装置の一例のフローシートである。
１ 低濃度ガス発生源 ２ 中濃度ガス発生源 ３ 高濃度ガス発生源 ４，５，６ 冷却器 ７，８，９ 送風機 １０ａ〜ｆ 吸着装置 １１ａ〜ｆ 吸着剤 １２ 加熱再生用気体 １３ コンデンサー １４ 溶剤貯蔵タンク １５ バルブ
Claims (2)
- 【請求項１】 溶剤濃度の異なる少なくとも３種類の溶
剤含有排ガスを少なくとも４塔の吸着塔を有する吸着装
置の各塔に順次導入して溶剤の吸着回収を行ない、少な
くとも１塔では脱着再生を行なう方法であって、各塔に
は前記溶剤含有排ガスのうち中濃度排ガス、低濃度排ガ
ス、高濃度排ガスの順に供給し、低濃度排ガスを送入し
た塔の排ガスは放出あるいは次の処理工程に移し、高濃
度排ガスを送入した塔は次いで脱着再生を行なうことを
特徴とする溶剤回収処理方法 - 【請求項２】 溶剤が塩化メチレンであって、前記高濃
度ガスの塩化メチレン濃度は１,０００ｐｐｍ以上、中
濃度ガスの塩化メチレン濃度は５００以上１,０００ｐ
ｐｍ未満、低濃度ガスの塩化メチレン濃度は５００ｐｐ
ｍ未満であることを特徴とする請求項１記載の溶剤回収
処理方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19844695A JP3788814B2 (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 溶剤回収処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19844695A JP3788814B2 (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 溶剤回収処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0938451A true JPH0938451A (ja) | 1997-02-10 |
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