JPH0939198A - スクリーン印刷機 - Google Patents

スクリーン印刷機

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JPH0939198A
JPH0939198A JP7188765A JP18876595A JPH0939198A JP H0939198 A JPH0939198 A JP H0939198A JP 7188765 A JP7188765 A JP 7188765A JP 18876595 A JP18876595 A JP 18876595A JP H0939198 A JPH0939198 A JP H0939198A
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JP
Japan
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resin
squeegee
mask member
coating
screen printing
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JP7188765A
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Inventor
Kazuhisa Kobayashi
和久 小林
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 スクリーン印刷機の上昇して移動するスキー
ジからの樹脂の糸引きが防止でき、不所望部分に樹脂が
付着し汚損するのを防止できる。 【解決手段】 水平方向に間歇移動する被塗布物6上の
塗布予定部に対応して所定形状の塗布窓8aを開口し被
塗布物6上で上下動するマスク部材6と、下方に向かっ
て離隔するように対面配置されマスク部材8上で塗布窓
を含む領域内で水平動する移動ブロック9に支持され
て、下端がマスク部材8に接離する第1、第2のスキー
ジ12、13とを備え、移動方向前方のスキージ12
(13)を上昇させ、各スキージ12、13間に供給し
た樹脂5を、移動方向後方の降下させたスキージ13
(12)にてマスク部材8上を移動させ、マスク部材8
上の、塗布側スキージ12(13)の移動領域の両外縁
部分に樹脂掻取り部材16(17)を配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はスクリーン印刷機に
関連する技術分野に属し、特に塗布作業が完了したスキ
ージに付着した樹脂の糸引きにより生じる問題を解決し
たスクリーン印刷機を提供する。
【0002】
【従来の技術】電子部品は電子部品本体を外力や腐食性
ガスから保護するために外装処理される。この外装処理
のために樹脂を使用した電子部品の一例を図4及び図5
から説明する。図において、1は長尺の絶縁フイルム
で、両側に沿って送り用の穴1a、1aと、巾方向中間
に矩形状の透孔1bとをそれぞれ長手方向に所定の間隔
で穿設している。2は絶縁フイルム1に積層した導電箔
をエッチングして形成した導電パターンで、透孔1b内
に延在するインナリード2aを含む。この絶縁フイルム
1と導電パターン2の積層体で、TABテープ3を構成
している。4は透孔1b内に配置した電子部品本体であ
る半導体ペレットで、図示しないが表面に多数の電極を
有し、この電極とインナリード2aの遊端部とを重合さ
せ電気的に接続している。5は透孔1b内でインナリー
ド2aとの接続部を含む半導体ペレット4の表面を被覆
した樹脂を示す。このTAB式半導体装置(電子部品)
6は、インナリード2aと半導体ペレット4とを接続し
た後、電気的特性検査がなされ、不良判定されたものは
インナリード2a基部から切断されて半導体ペレット4
が除去され、良品部分にのみ半導体ペレット4上に樹脂
5を被覆するようにしている。このようにして製造され
た電子部品は、TABテープ3を所定のパターンに切断
することにより、個々の電子部品に分離され、導電パタ
ーン2の外端部が外部接続され利用される。ところで、
この電子部品6の電子部品本体4を保護する樹脂5の塗
布作業を従来は、シリンジを用いて樹脂液を所定量滴下
し供給するようにしていたが、樹脂液の粘度は温度や時
間によって大きく変化するため粘度調整が煩雑で、粘度
がばらつくと供給量がばらつき、少ないと外装が不完全
となり、多すぎると、電子部品の厚みが厚くなるだけで
なく、余剰の樹脂がTABテープ3の搬送経路に滴下し
不所望部分を汚し、搬送の障害になるなどの問題があっ
て管理が煩雑であった。そのため、所定の厚みで樹脂を
塗布することのできるスクリーン印刷機が一般的に使用
されている。この一例を図6及び図7から説明する。図
において図4及び図5にて説明した電子部品と同一物に
は同一符号を付し重複する説明を省略する。図中、7は
水平方向に移動し所定位置で位置決めされたTABテー
プ3の下方で上下動し複数の透孔1b領域を支持する支
持テーブル、8はTABテープ3上に配置されて上下動
するマスク部材で、所定位置で位置決めされたTABテ
ープ3の複数の透孔1bと対向する位置に塗布窓8aを
穿設している。9はマスク部材8の上方で、TABテー
プ3の移動方向に沿って水平動する移動ブロック、1
0、11はそれぞれマスク部材8の塗布窓8aに対応し
て配置され、移動ブロック9の移動方向(TABテープ
3の移動方向と直交する方向)の側方からみてハの字状
に固定された第1、第2のシリンダで、動作時に下方に
向かって弾性的に突出し、動作しない状態で退入する。
12、13は各第1、第2のシリンダ10、11に固定
されて上下動する第1、第2のスキージで、例えば厚さ
1mm程度のゴム製で、各シリンダ10、11側の基部
は薄い金属板14、14により挟持され補強されてい
る。15は移動ブロック9の下面で、シリンダ10、1
1間に突出した樹脂供給部を示す。この装置の動作を以
下に説明する。先ず両シリンダ10、11を動作させな
い状態で2つのスキージ12、13を上昇させ、支持テ
ーブル7を降下させ、マスク部材8を上昇させて、TA
Bテープ3を所定位置に位置決めし、支持テーブル7を
上昇させて半導体ペレット4を含むTABテープ3を支
持する。そして、マスク8を降下させ、塗布窓8aをT
ABテープ3の透孔1b部分に重合させる。さらに、第
1のシリンダ10を動作させて、第1のスキージ12を
降下させ、その下端をマスク部材8に当接させ、樹脂供
給部15より適量の樹脂5をマスク部材8上に供給す
る。この状態で、移動ブロック9を水平動させ、第1の
スキージ12にて樹脂5をマスク部材8上で移動させ、
塗布窓8aから樹脂5を半導体ペレット4上に供給し、
さらに余剰の樹脂を塗布窓8aからみて、反対側に移動
させる。このとき、半導体ペレット4上に供給された樹
脂は、マスク部材8にて樹脂の厚みが設定されるため、
塗布量、塗布状態が安定し良好な外装ができる。この作
業が完了すると、第1のシリンダ10により第1のスキ
ージ12を上昇させ、支持テーブル7を降下させ、TA
Bテープ3を移動させて次ぎの半導体ペレット4を支持
テーブル7上に位置させ、支持テーブル7を上昇させ
る。そして、第2のシリンダ11により第2のスキージ
13を降下させてその下端をマスク部材8に接触させ、
移動ブロック9を反対側に移動させ第2のスキージ13
を塗布窓8aを越えて元の位置に移動させる。マスク部
材8上への樹脂の供給は適宜行い、上記動作を繰返し
て、順次塗布作業を行う。この装置は処理速度を向上す
るために複数のスキージを用意し複数の半導体ペレット
4に同時に樹脂被覆するようにしているが、不良判定さ
れた半導体ペレットの部分は打ち抜き除去されているた
め、この部分に樹脂が供給されないように前後のスキー
ジを上昇させている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この装置
は、樹脂の粘度をシリンジ供給方式に比して高く設定で
きるため樹脂の粘度調整やその維持も容易で、樹脂膜厚
もマスク部材8によって設定でき、シリンジを用いる方
法に比較して作業が容易でばらつきを無くすことができ
るが、樹脂の粘度は糸を引く程度に設定されるため、一
方のスキージ12による塗布作業が完了して、スキージ
12が上昇した際にスキージに付着した樹脂が糸を生
じ、他のスキージ13による塗布作業に先行して移動す
るスキージ12が樹脂の糸をマスク部材8の上に垂らす
ことがあった。この場合、塗布窓8a部分では、次の半
導体ペレット4がありスキージ13によって移動する樹
脂5が塗布窓8aから供給されるため、スキージ13に
先行してスキージ12から糸状樹脂が供給されても問題
を生じることはない。しかしながら、電気的特性検査に
よって不良判定された部分では半導体ペレットが予め除
かれているため、スキージから垂れた樹脂の糸が塗布窓
8aからTABテープ3の透孔1b周縁や透孔1bを通
って支持テーブル7上に付着し、マスク部材8の裏面や
支持テーブル7などの不所望部分を汚損し後続のTAB
テープを汚損するという問題があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、水平方向に間歇移動す
る被塗布物上の塗布予定部に対応して所定形状の塗布窓
を開口し被塗布物上で上下動するマスク部材と、下方に
向かって離隔するように対面配置されマスク部材上で塗
布窓を含む領域内で水平動する移動ブロックに支持され
て、下端がマスク部材に接離する第1、第2のスキージ
とを備え、移動方向前方のスキージを上昇させ、各スキ
ージ間に供給した樹脂を、移動方向後方の降下させたス
キージにてマスク部材上を移動させ、マスク部材の塗布
窓を介して被塗布物上に供給し塗布するスクリーン印刷
機において、上記マスク部材上の、塗布側スキージの移
動領域の両外縁部分にスキージに付着した樹脂の糸引き
を防止する樹脂掻取り部材を配置したことを特徴とする
スクリーン印刷機を提供する。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明によれば、対面配置したス
キージを交互に上下動させ樹脂を塗布する装置で、塗布
作業が完了したスキージから余剰の樹脂を除去する樹脂
掻取り部材を配置したことにより、スキージの方向を反
転させて樹脂塗布作業を継続する際に樹脂の糸引きを生
じないから、被塗布物が欠落してマスク部材の塗布窓に
支持テーブルが露呈しても糸引き樹脂によって汚損する
ことがない。
【0006】
【実施例】以下に本発明を図6及び図7に示したスクリ
ーン印刷機に適用し図1から説明する。図において、図
4乃至図7と同一物には同一符号を付し重複する説明を
省略する。本発明の特徴は、第1、第2のスキージ1
2、13の内、マスク部材8上で樹脂5を押圧する塗布
側スキージ(図示例ではスキージ12)の図示実線と点
線で示す移動領域の両外縁部分に配置された樹脂掻取り
部材16、17にある。図示例の樹脂掻取り部材16、
17は直角三角形状の柱状体で、そのテーパ面を外方に
向け、マスク部材8の透孔8aの両側で、樹脂を移動さ
せる第1、第2のスキージ12、13の移動領域の外縁
部分に配置されている。この装置は図6装置と同様の動
作をする。即ち、両シリンダ10、11により2つのス
キージ12、13を上昇させ、同時に支持テーブル7を
降下させ、マスク部材8を上昇させて、TABテープ3
を水平方向に移動可能とし、樹脂被覆予定の半導体ペレ
ット4を所定位置に移動させて位置決めする。そして、
支持テーブル7を上昇させて半導体ペレット4を含むT
ABテープ3を支持し、マスク8を降下させて塗布窓8
aをTABテープ3の透孔1b部分に重合させる。さら
に第1のシリンダ10を動作させて、第1のスキージ1
2を降下させ、その下端をマスク部材8に当接させ、樹
脂供給部15より適量の樹脂5をマスク部材8上に供給
する。この状態で、移動ブロック9を図示点線で示す位
置まで水平動させ、第1のスキージ12にてマスク部材
8上で樹脂5を移動させ、樹脂掻取り手段16のテーパ
面を越えて塗布窓8aから樹脂5を半導体ペレット4上
に供給し、さらに余剰の樹脂を塗布窓8aからみて反対
側に移動させる。第1のスキージ12が塗布窓8aを通
りすぎてその移動領域外端部の近傍で樹脂掻取り部材1
7に当接し更に外方に移動すると、第1のスキージ12
に付着した余剰の樹脂は掻取られる。この作業が完了す
ると、第1のシリンダ10により第1のスキージ12を
上昇させる。この時、第1のスキージ12には樹脂掻取
り部材17により余剰の樹脂が掻取られているため、残
留樹脂の量が少なく、しかもスキージ12の中間部から
下端部にかけて完全に掻取られるため、スキージ12の
中間部より上方に残留した樹脂がスキージ壁面に沿って
流れ落ち、さらに滴下して糸引きを生じるまでに時間を
要する。第1のスキージ12が上昇すると、マスク部材
8を上昇させて、支持テーブル7を降下させ、TABテ
ープ3を移動させて次ぎの半導体ペレット4を支持テー
ブル7上に位置させ、支持テーブル7を上昇させ、マス
ク部材8を下げる。そして、第2のシリンダ11を作動
させて、第2のスキージ13をマスク部材8に当接さ
せ、第1のスキージ12によって運ばれてきた樹脂5を
逆方向に移動させ、塗布窓8aから樹脂5を半導体ペレ
ット4上に供給し、樹脂掻取り部材16により余剰の樹
脂を掻取り図1の実線位置にもどる。仮に、マスク部材
8の複数の塗布窓8aの少なくとも一つに半導体ペレッ
ト4がない場合には、半導体ペレットがない塗布窓8a
に対応するスキージ13は第2のシリンダ11を動作さ
せないことにより降下させず、第1、第2のスキージ1
2、13がともに上昇したまま、塗布窓8aを通りす
ぎ、図1の実線位置にもどる。そのため半導体ペレット
がない部分の樹脂5はマスク部材8上を移動しない。こ
こで、スキージ12に樹脂が付着残留しても、その中間
部から下端部は完全に除去されているから、残留樹脂が
その側壁に沿って垂れ下がってきても、塗布窓8aを通
りすぎるまでは滴下が防止され、樹脂の糸引きに基づく
不所望な汚損が防止できる。マスク部材8上への樹脂の
供給は適宜行われ、上記動作を繰返して、半導体ペレッ
トの欠落があっても不所望な汚損を生じることなく順次
塗布作業が行われる。尚、上記実施例では、樹脂掻取り
部材16、17はマスク部材8上で固定状態で説明した
が、上昇並びに水平動可能とし、図1の状態で、第1の
スキージ12と樹脂5の間に一方の樹脂掻取り部材16
を配置し、この樹脂掻取り部材16を通りすぎて第1の
スキージ12を降下させ樹脂5を押圧し、スキージ12
が塗布窓8aを通りすぎた後、樹脂掻取り部材16を図
1の位置に戻し、これと同じ動作を他の樹脂掻取り部材
17についても行わせることができる。図2は本発明の
他の実施例を示す。図において、図1装置と同一部分に
は同一符号を付し重複する説明を省略する。図1装置と
相違するのは、樹脂掻取り部材18、19のみで、この
樹脂掻取り部材18、19はスキージ12、13に対す
る当接部がスキージの移動と連動して上下動可能であ
り、具体的には三角柱状体に代えて断面形状が円形の可
撓性を有する弾性ロッドを用いたことにある。スキージ
12、13として、例えば厚さ1mm、可撓部分の長さ
が20mmのゴム製スキージを用いた場合に好適な樹脂
掻取り部材18、19として、直径1mm程度のゴムロ
ッド用い、これをマスク部材8から10mm程度の高さ
位置に設定してスキージの移動方向と直交して張設す
る。この長さは多連配列されたスキージの両外方に50
mm程度突出するように設定される。以下にこの装置の
動作を説明する。両シリンダ10、11により2つのス
キージ12、13を上昇させ、同時に支持テーブル7を
降下させ、マスク部材8を上昇させて、TABテープ3
を水平方向に移動可能とし、樹脂被覆予定の半導体ペレ
ット4を所定位置に移動させて位置決めする。そして、
支持テーブル7を上昇させて半導体ペレット4を含むT
ABテープ3を支持し、マスク8を降下させて塗布窓8
aをTABテープ3の透孔1b部分に重合させる。さら
に第1のシリンダ10を動作させて、第1のスキージ1
2を降下させ、その下端をマスク部材8に当接させ、樹
脂供給部15より適量の樹脂5をマスク部材8上に供給
する。この状態で、移動ブロック9を水平動させ、第1
のスキージ12にてマスク部材8上で樹脂5を移動さ
せ、樹脂掻取り手段18を越えて塗布窓8aから樹脂5
を半導体ペレット4上に供給し、さらに余剰の樹脂を塗
布窓8aからみて反対側に移動させる。第1のスキージ
12が塗布窓8aを通りすぎてその移動領域外端部の近
傍で樹脂掻取り部材19に当接し更に外方に移動する
と、第1のスキージ12に付着した余剰の樹脂は掻取ら
れる。この作業が完了すると、第1のシリンダ10によ
り第1のスキージ12を上昇させる。ここで、スキージ
12が2つの樹脂掻取り部材(ゴムロッド)18、19
を順次越える時の状態を図3から説明する。スキージ1
2がゴムロッド18に近接し図3に示すようにスキージ
12の中間部がゴムロッド18に接触し、さらに移動す
るスキージ12の水平方向の押圧力がゴムロッド18の
軸中心周りの回転モーメントを生じ、ゴムロッド18は
スキージ12に沿って下方に移動する。そのため、スキ
ージ12によって移動する樹脂中にゴムロッド18が埋
入しスキージ12の下端部分ではスキージ12が変形し
て、ゴムロッド18をスキージ12の後方に追いやり樹
脂の移動を続けることができる。また、塗布窓8aでの
塗布作業が完了したスキージ12はさらに前進するが、
他のゴムロッド19に接触しさらに前進により弾性が増
大すると、シリンダ10の動作を停止し、スキージ12
を上昇させるとスキージ12に付着した樹脂がゴムロッ
ド19に掻取られる。このようにして、第1のスキージ
12には樹脂掻取り部材19により余剰の樹脂が掻取ら
れるから、残留樹脂の量が少なく、しかもスキージ12
の中間部から下端部にかけて完全に掻取られるため、ス
キージ12の中間部より上方に残留した樹脂がスキージ
壁面に沿って流れ落ち、さらに滴下して糸引きを生じる
までに時間を要するようにできるから、スキージ12、
13を上昇させたまま移動する間に樹脂の垂れ下がりを
防止できる、不所望部分への樹脂の付着を防止できる。
尚、この実施例では、樹脂掻取り部材として伸縮性を有
するゴムロッド18、19にて説明したが、このゴムロ
ッドに可撓性を有するチューブを被せてもよい。また、
ゴムロッドの代わりにピアノ線などの硬質の金属線を用
い、その中間部が変位可能なようにその両端を支持して
もよい。
【0007】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、複数の塗
布窓を開口したマスク部材上で複数組のスキージを往復
動させ被塗布部材上の複数箇所の要部を一括して樹脂被
覆するスクリーン印刷機の上昇して移動するスキージか
らの樹脂の糸引きが防止でき、不所望部分に樹脂が付着
し汚損するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示すスクリーン印刷機の側
断面図
【図2】 本発明の他の実施例を示すスクリーン印刷機
の側断面図
【図3】 図2装置のスキージと樹脂掻取り部材の動作
を説明する要部側断面図
【図4】 TAB式半導体装置の一例を示す要部斜視図
【図5】 図4装置の側断面図
【図6】 図4装置の要部を樹脂被覆するスクリーン印
刷機の一例を示す側断面図
【図7】 図6装置のA−A面図
【符号の説明】
6 被塗布物 8 マスク部材 8a 塗布窓 9 移動ブロック 12 スキージ 13 スキージ 16 樹脂掻取り部材 17 樹脂掻取り部材 18 樹脂掻取り部材 19 樹脂掻取り部材

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】水平方向に間歇移動する被塗布物上の塗布
    予定部に対応して所定形状の塗布窓を開口し被塗布物上
    で上下動するマスク部材と、マスク部材上で塗布窓を含
    む領域内で水平動する移動ブロックに支持され、かつ下
    方に向かって離隔するように対面配置され下端がマスク
    部材に接離する第1、第2のスキージとを備え、 移動方向前方のスキージを上昇させ、各スキージ間に供
    給した樹脂を、移動方向後方の降下させたスキージにて
    マスク部材上を移動させ、マスク部材の塗布窓を介して
    被塗布物上に供給し塗布するスクリーン印刷機におい
    て、 上記マスク部材上の、塗布側スキージの移動領域の両外
    縁部分にスキージに付着した樹脂の糸引きを防止する樹
    脂掻取り部材を配置したことを特徴とするスクリーン印
    刷機。
  2. 【請求項2】樹脂掻取り部材が塗布側スキージの移動領
    域の外方に移動可能であることを特徴とする請求項1に
    記載のスクリーン印刷機。
  3. 【請求項3】樹脂掻取り部材の塗布側スキージと接触す
    る面がテーパ面に形成されたことを特徴とする請求項1
    に記載のスクリーン印刷機。
  4. 【請求項4】樹脂掻取り部材のスキージに対する当接部
    がスキージの移動と連動して上下動可能であることを特
    徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。
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