JPH0946171A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH0946171A JPH0946171A JP19087795A JP19087795A JPH0946171A JP H0946171 A JPH0946171 A JP H0946171A JP 19087795 A JP19087795 A JP 19087795A JP 19087795 A JP19087795 A JP 19087795A JP H0946171 A JPH0946171 A JP H0946171A
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- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 傾斜電極を有する弾性表面波装置の振幅特性
を、フラットを含む任意の特性に設定できるようにす
る。 【解決手段】 圧電基板２０上には、櫛歯状の入力電極
３０及び出力電極４０が並設されている。両電極３０，
４０は傾斜した電極指３３，３４，４３，４４からな
り、同電極指３３，３４，４３，４４はその交差長方向
に複数の領域に分けられている。電極指３３，３４，４
３，４４の傾斜を表す曲率係数は前記各領域毎に異なる
値に設定されている。各領域は通過信号の周波数帯域に
それぞれ対応するので、弾性表面波装置の振幅特性をフ
ラットを含む任意の特性に設定することができる。
を、フラットを含む任意の特性に設定できるようにす
る。 【解決手段】 圧電基板２０上には、櫛歯状の入力電極
３０及び出力電極４０が並設されている。両電極３０，
４０は傾斜した電極指３３，３４，４３，４４からな
り、同電極指３３，３４，４３，４４はその交差長方向
に複数の領域に分けられている。電極指３３，３４，４
３，４４の傾斜を表す曲率係数は前記各領域毎に異なる
値に設定されている。各領域は通過信号の周波数帯域に
それぞれ対応するので、弾性表面波装置の振幅特性をフ
ラットを含む任意の特性に設定することができる。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、フィルタとして利
用されるのに適した弾性表面波装置に係り、特に圧電基
板上に設けた櫛歯状の入力電極及び出力電極を傾斜電極
で構成した弾性表面波装置に関する。
用されるのに適した弾性表面波装置に係り、特に圧電基
板上に設けた櫛歯状の入力電極及び出力電極を傾斜電極
で構成した弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置は、図６，８，１０
に示すように、厚さの薄い直方体状に成形した圧電基板
１０上に弾性表面波が伝搬する方向に並設させた櫛歯状
の入力電極１１及び出力電極１２を有し、前記両電極１
１，１２の各複数の電極指をそれぞれ所定の曲率係数Ｐ
（パワーファクタＰともいう）で傾斜させるようにして
いる。なお、曲率係数Ｐは、下記数２により規定される
ものである。
に示すように、厚さの薄い直方体状に成形した圧電基板
１０上に弾性表面波が伝搬する方向に並設させた櫛歯状
の入力電極１１及び出力電極１２を有し、前記両電極１
１，１２の各複数の電極指をそれぞれ所定の曲率係数Ｐ
（パワーファクタＰともいう）で傾斜させるようにして
いる。なお、曲率係数Ｐは、下記数２により規定される
ものである。
【０００３】
【数２】ｘ＝Ｌ(ｆp−ｆL p)／(ｆH p−ｆL p) なお、前記数２においては、図６，８，１０に示すよう
に、Ｌは電極指の最大交差長を表し、ｘは電極指間距離
を最大とする側の電極指の交差部分の一端（以下、交差
長起点ｘ0(ｘ＝０) という）から交差長方向への任意の
距離を表し、ｆは前記任意の距離ｘにより規定される交
差長方向位置の電極指間の弾性表面波の同期周波数を表
し、ｆL は当該弾性表面波装置を通過する弾性表面波の
最低周波数であって交差長起点ｘ0における電極指間の
弾性表面波の同期周波数を表し、ｆHは当該弾性表面波
装置を通過する弾性表面波の最高周波数であって電極指
間距離を最小とする側の電極指の交差部分の一端におけ
る電極指間の弾性表面波の同期周波数を表す。
に、Ｌは電極指の最大交差長を表し、ｘは電極指間距離
を最大とする側の電極指の交差部分の一端（以下、交差
長起点ｘ0(ｘ＝０) という）から交差長方向への任意の
距離を表し、ｆは前記任意の距離ｘにより規定される交
差長方向位置の電極指間の弾性表面波の同期周波数を表
し、ｆL は当該弾性表面波装置を通過する弾性表面波の
最低周波数であって交差長起点ｘ0における電極指間の
弾性表面波の同期周波数を表し、ｆHは当該弾性表面波
装置を通過する弾性表面波の最高周波数であって電極指
間距離を最小とする側の電極指の交差部分の一端におけ
る電極指間の弾性表面波の同期周波数を表す。
【０００４】図６の弾性表面波装置においては、入力及
び出力電極１１，１２の各電極指の曲率係数Ｐはそれぞ
れ「−１」であり、入力電極１１に入力した信号に対す
る出力電極１２にて出力した信号の振幅比を周波数を横
軸にして表した値（以下、振幅特性という）は図７に示
すようになる。図７の破線は、弾性表面波が圧電基板１
０上を入力電極１１から出力電極１２に向かって垂直な
一方向にのみ伝搬するものとして近似した振幅特性のシ
ミュレーション結果（以下、理論値という）を表してい
る。また、実線は実測による振幅特性（以下、実測値と
いう）を表している。
び出力電極１１，１２の各電極指の曲率係数Ｐはそれぞ
れ「−１」であり、入力電極１１に入力した信号に対す
る出力電極１２にて出力した信号の振幅比を周波数を横
軸にして表した値（以下、振幅特性という）は図７に示
すようになる。図７の破線は、弾性表面波が圧電基板１
０上を入力電極１１から出力電極１２に向かって垂直な
一方向にのみ伝搬するものとして近似した振幅特性のシ
ミュレーション結果（以下、理論値という）を表してい
る。また、実線は実測による振幅特性（以下、実測値と
いう）を表している。
【０００５】図８の弾性表面波装置においては、入力及
び出力電極１１，１２の各電極指の曲率係数Ｐはそれぞ
れ「−１」より大きな一定値であり、振幅特性の理論値
及び実測値はそれぞれ図９の破線及び実線に示すように
なる。図１０の弾性表面波装置においては、入力及び出
力電極１１，１２の各電極指の曲率係数Ｐはそれぞれ
「−１」未満の一定値であり、振幅特性の理論値及び実
測値はそれぞれ図１１の破線及び実線に示すようにな
る。
び出力電極１１，１２の各電極指の曲率係数Ｐはそれぞ
れ「−１」より大きな一定値であり、振幅特性の理論値
及び実測値はそれぞれ図９の破線及び実線に示すように
なる。図１０の弾性表面波装置においては、入力及び出
力電極１１，１２の各電極指の曲率係数Ｐはそれぞれ
「−１」未満の一定値であり、振幅特性の理論値及び実
測値はそれぞれ図１１の破線及び実線に示すようにな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の弾
性表面波装置のように、電極指１１，１２の交差部分の
全てにわたって曲率係数Ｐを一定とする入力及び出力電
極１１，１２を備えた弾性表面波装置にあっては、図
７，９，１１に示すように所定方向に傾くと共に中央部
分にて凸状になる一定の振幅特性しか得られず、例えば
フラットな振幅特性を得ることができない。これは、電
極指１１，１２を傾斜させてあるために伝搬する弾性表
面が散乱するとともに、電極指１１，１２の傾斜が大き
くなるしたがって散乱の程度が大きくなることに起因し
ていると考えられる。例えば、図８に示す弾性表面波装
置においては、低周波数領域の信号を通過させるための
交差長基端ｘ0 付近の電極指１１，１２の傾斜が大きい
ために、図９のように低域側の振幅レベルが低くなる。
また、図１０に示す弾性表面波装置においては、高周波
数領域の信号を通過させるための交差長基端ｘ0 と反対
側端部付近の電極指１１，１２の傾斜が大きいために、
図１１のように高域側の振幅レベルが低くなる。
性表面波装置のように、電極指１１，１２の交差部分の
全てにわたって曲率係数Ｐを一定とする入力及び出力電
極１１，１２を備えた弾性表面波装置にあっては、図
７，９，１１に示すように所定方向に傾くと共に中央部
分にて凸状になる一定の振幅特性しか得られず、例えば
フラットな振幅特性を得ることができない。これは、電
極指１１，１２を傾斜させてあるために伝搬する弾性表
面が散乱するとともに、電極指１１，１２の傾斜が大き
くなるしたがって散乱の程度が大きくなることに起因し
ていると考えられる。例えば、図８に示す弾性表面波装
置においては、低周波数領域の信号を通過させるための
交差長基端ｘ0 付近の電極指１１，１２の傾斜が大きい
ために、図９のように低域側の振幅レベルが低くなる。
また、図１０に示す弾性表面波装置においては、高周波
数領域の信号を通過させるための交差長基端ｘ0 と反対
側端部付近の電極指１１，１２の傾斜が大きいために、
図１１のように高域側の振幅レベルが低くなる。
【０００７】
【発明の目的】本発明は上記問題に対処するためになさ
れたもので、フラットな振幅特性を含む任意の振幅特性
を得ることができる弾性表面波装置を提供することにあ
る。
れたもので、フラットな振幅特性を含む任意の振幅特性
を得ることができる弾性表面波装置を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の構成上の特徴は、圧電基板上に並設した櫛
歯状の入力電極及び出力電極を傾斜電極で構成した弾性
表面波装置において、前記両電極の各電極指をその延長
方向に複数の領域に分け、電極指の傾斜を表す曲率係数
を前記各領域に毎に異ならせたことにある。
に、本発明の構成上の特徴は、圧電基板上に並設した櫛
歯状の入力電極及び出力電極を傾斜電極で構成した弾性
表面波装置において、前記両電極の各電極指をその延長
方向に複数の領域に分け、電極指の傾斜を表す曲率係数
を前記各領域に毎に異ならせたことにある。
【０００９】
【発明の効果】上記のように構成した弾性表面波装置に
おいては、両電極の各電極指をその延長方向に分けた複
数の領域が信号の通過周波数帯域に対応し、各領域毎に
電極指の傾斜の度合を変更することにより、各通過周波
数帯域の振幅特性を調整することができる。その結果、
弾性表面波装置の振幅特性を任意に設定でき、例えば通
過周波数全域においてフラットに設定することができ
る。
おいては、両電極の各電極指をその延長方向に分けた複
数の領域が信号の通過周波数帯域に対応し、各領域毎に
電極指の傾斜の度合を変更することにより、各通過周波
数帯域の振幅特性を調整することができる。その結果、
弾性表面波装置の振幅特性を任意に設定でき、例えば通
過周波数全域においてフラットに設定することができ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて説明すると、図１は第１の実施形態に係る弾性表
面波装置を平面図により概略的に示している。
用いて説明すると、図１は第１の実施形態に係る弾性表
面波装置を平面図により概略的に示している。
【００１１】この弾性表面波装置は、ニオブ酸リチウム
（LiNbO3）、タンタル酸リチウム（LiTaO3）、水晶など
の圧電材料で厚さの薄い直方体状に形成した圧電基板２
０を備えている。圧電基板２０上には、入力電極３０及
び出力電極４０が並設されていて、入力電極３０により
電気信号が弾性表面波に変換され、同変換された弾性表
面波が圧電基板２０上を図示矢印方向に伝搬して出力電
極４０に到達し、かつ同到達した弾性表面波が出力電極
４０にてふたたび電気信号に変換されるようになってい
る。
（LiNbO3）、タンタル酸リチウム（LiTaO3）、水晶など
の圧電材料で厚さの薄い直方体状に形成した圧電基板２
０を備えている。圧電基板２０上には、入力電極３０及
び出力電極４０が並設されていて、入力電極３０により
電気信号が弾性表面波に変換され、同変換された弾性表
面波が圧電基板２０上を図示矢印方向に伝搬して出力電
極４０に到達し、かつ同到達した弾性表面波が出力電極
４０にてふたたび電気信号に変換されるようになってい
る。
【００１２】入力電極３０は、圧電基板２０上の図示左
側部分にて、弾性表面波の伝搬方向に平行かつ相対向し
て延設された一対の帯状の導電体で構成した連結部３
１，３２を備えている。これらの連結部３１，３２に
は、連結部３１から連結部３２に向かうにしたがって電
極指間距離が広くなるように傾斜させた複数の電極指３
３，３４の各一端が接続され、両電極指３３，３４は２
本毎に交互に延設されて最大交差長Ｌにわたって交差し
ている。出力電極４０も、圧電基板２０の図示右側上面
にて、入力電極３０と同様な連結部４１，４２及び電極
指４３，４４により構成されている。
側部分にて、弾性表面波の伝搬方向に平行かつ相対向し
て延設された一対の帯状の導電体で構成した連結部３
１，３２を備えている。これらの連結部３１，３２に
は、連結部３１から連結部３２に向かうにしたがって電
極指間距離が広くなるように傾斜させた複数の電極指３
３，３４の各一端が接続され、両電極指３３，３４は２
本毎に交互に延設されて最大交差長Ｌにわたって交差し
ている。出力電極４０も、圧電基板２０の図示右側上面
にて、入力電極３０と同様な連結部４１，４２及び電極
指４３，４４により構成されている。
【００１３】これらの電極指３３，３４，４３，４４
は、最大交差長Ｌの範囲内で交差長方向に３領域Ｌ１〜
Ｌ３に分けられている。領域Ｌ１の電極指の曲率係数Ｐ
は「−１」より小さい所定値に設定され、領域Ｌ２の電
極指の曲率係数Ｐは「−１」近傍の所定値に設定され、
領域Ｌ３の電極指の曲率係数Ｐは「−１」より大きな所
定値に設定されている。したがって、電極指間の距離が
大きくて低域周波数を通過させる電極指の領域Ｌ１の傾
斜が小さくなるとともに、電極指間の距離が小さくて高
域周波数を通過させる電極指の領域Ｌ３の傾斜も小さく
なる。これにより、低域周波数領域及び高周波数領域の
振幅レベルを高くすることができる。
は、最大交差長Ｌの範囲内で交差長方向に３領域Ｌ１〜
Ｌ３に分けられている。領域Ｌ１の電極指の曲率係数Ｐ
は「−１」より小さい所定値に設定され、領域Ｌ２の電
極指の曲率係数Ｐは「−１」近傍の所定値に設定され、
領域Ｌ３の電極指の曲率係数Ｐは「−１」より大きな所
定値に設定されている。したがって、電極指間の距離が
大きくて低域周波数を通過させる電極指の領域Ｌ１の傾
斜が小さくなるとともに、電極指間の距離が小さくて高
域周波数を通過させる電極指の領域Ｌ３の傾斜も小さく
なる。これにより、低域周波数領域及び高周波数領域の
振幅レベルを高くすることができる。
【００１４】そして、この場合も、曲率係数Ｐは上記数
２と同様な下記数３により規定されるものである。
２と同様な下記数３により規定されるものである。
【００１５】
【数３】ｘ＝Ｌ(ｆp−ｆL p)／(ｆH p−ｆL p) ここで、Ｌは電極指の最大交差長を表し、ｘは交差長起
点ｘ0(ｘ＝０) から交差長方向への任意の距離を表し、
ｆは前記任意の距離ｘにより規定される交差長方向位置
の電極指間の弾性表面波の同期周波数を表す。また、ｆ
L は弾性表面波装置を通過する弾性表面波の最低周波数
であって交差長起点ｘ0における電極指３３，３４，４
３，４４間の弾性表面波の同期周波数を表し、弾性表面
波の伝搬速度をＶとするとともに交差長起点ｘ0におけ
る電極指間距離の２倍をλL とすればｆL＝Ｖ／λLとな
る。また、ｆHは弾性表面波装置を通過する弾性表面波
の最高周波数であって交差長起点ｘ0と反対側の交差端
部における電極指３３，３４，４３，４４間の弾性表面
波の同期周波数を表し、前記反対側の交差端部における
電極指間距離の２倍をλH とすればｆL＝Ｖ／λHとな
る。
点ｘ0(ｘ＝０) から交差長方向への任意の距離を表し、
ｆは前記任意の距離ｘにより規定される交差長方向位置
の電極指間の弾性表面波の同期周波数を表す。また、ｆ
L は弾性表面波装置を通過する弾性表面波の最低周波数
であって交差長起点ｘ0における電極指３３，３４，４
３，４４間の弾性表面波の同期周波数を表し、弾性表面
波の伝搬速度をＶとするとともに交差長起点ｘ0におけ
る電極指間距離の２倍をλL とすればｆL＝Ｖ／λLとな
る。また、ｆHは弾性表面波装置を通過する弾性表面波
の最高周波数であって交差長起点ｘ0と反対側の交差端
部における電極指３３，３４，４３，４４間の弾性表面
波の同期周波数を表し、前記反対側の交差端部における
電極指間距離の２倍をλH とすればｆL＝Ｖ／λHとな
る。
【００１６】そして、この弾性表面波装置の振幅特性の
理論値は図２の破線で示すようになり、また実測値は通
過周波数の中央部にて理論値より高くなるので、同実測
値は図２の実線で示すようにフラットな特性となる。そ
の結果、この実施形態によれば、入力及び出力電極３
０，４０を傾斜電極で構成するようにしたので、弾性表
面波装置の信号の通過帯域を大きくすることができると
ともに、同通過信号の振幅特性をフラットにすることが
できる。したがって、この弾性表面波装置をバンドパス
フィルタとして利用すれば、良好な信号伝達特性を得る
ことができるようになる。
理論値は図２の破線で示すようになり、また実測値は通
過周波数の中央部にて理論値より高くなるので、同実測
値は図２の実線で示すようにフラットな特性となる。そ
の結果、この実施形態によれば、入力及び出力電極３
０，４０を傾斜電極で構成するようにしたので、弾性表
面波装置の信号の通過帯域を大きくすることができると
ともに、同通過信号の振幅特性をフラットにすることが
できる。したがって、この弾性表面波装置をバンドパス
フィルタとして利用すれば、良好な信号伝達特性を得る
ことができるようになる。
【００１７】次に、本発明の第２の実施形態について図
面を用いて説明すると、図３は同実施形態に係る弾性表
面波装置を平面図により示している。この弾性表面波装
置においては、最大交差長Ｌにわたって傾斜させた電極
指３３，３４，４３，４４を交差長方向に３領域より多
いｎ領域Ｌ１〜Ｌｎに分け、各領域Ｌ１〜Ｌｎ毎に曲率
係数Ｐが異なる値に設定されている。他の構成について
は、上記本発明の第１の実施形態と同じである。これに
よれば、上記第１の実施形態に比べて、各領域Ｌ１〜Ｌ
ｎ毎に細かく曲率係数Ｐを設定することができる。その
結果、弾性表面波装置の振幅特性の理論値を図４の破線
で示すようになるとともに、実測値は図４の実線で示す
ようになり、同振幅特性をよりフラットにすることがで
きる。
面を用いて説明すると、図３は同実施形態に係る弾性表
面波装置を平面図により示している。この弾性表面波装
置においては、最大交差長Ｌにわたって傾斜させた電極
指３３，３４，４３，４４を交差長方向に３領域より多
いｎ領域Ｌ１〜Ｌｎに分け、各領域Ｌ１〜Ｌｎ毎に曲率
係数Ｐが異なる値に設定されている。他の構成について
は、上記本発明の第１の実施形態と同じである。これに
よれば、上記第１の実施形態に比べて、各領域Ｌ１〜Ｌ
ｎ毎に細かく曲率係数Ｐを設定することができる。その
結果、弾性表面波装置の振幅特性の理論値を図４の破線
で示すようになるとともに、実測値は図４の実線で示す
ようになり、同振幅特性をよりフラットにすることがで
きる。
【００１８】また、電極指３３，３４，４３，４４の各
領域Ｌ１〜Ｌｎの曲率係数Ｐを適当に設定することによ
り、フラット以外の任意の振幅特性を得ることもでき
る。このような任意の振幅特性は、本弾性表面波装置が
利用される機器の種類に応じて選定するようにすればよ
い。また、上述したような理論値と実測値との相違の仕
方は、各電極指３３，３４，４３，４４の交差長Ｌ及び
数、入力電極３０と出力電極４０との間の距離などによ
って異なるので、電極指３３，３４，４３，４４を３領
域Ｌ１〜Ｌ３に分ける場合でも、同電極指を３領域より
大きなｎ領域にわける場合でも、理論値と実測値の相違
の仕方を実験により確認しながら各領域の曲率係数Ｐを
決定するようにするとよい。
領域Ｌ１〜Ｌｎの曲率係数Ｐを適当に設定することによ
り、フラット以外の任意の振幅特性を得ることもでき
る。このような任意の振幅特性は、本弾性表面波装置が
利用される機器の種類に応じて選定するようにすればよ
い。また、上述したような理論値と実測値との相違の仕
方は、各電極指３３，３４，４３，４４の交差長Ｌ及び
数、入力電極３０と出力電極４０との間の距離などによ
って異なるので、電極指３３，３４，４３，４４を３領
域Ｌ１〜Ｌ３に分ける場合でも、同電極指を３領域より
大きなｎ領域にわける場合でも、理論値と実測値の相違
の仕方を実験により確認しながら各領域の曲率係数Ｐを
決定するようにするとよい。
【００１９】さらに、本発明の第３の実施形態について
図面を用いて説明すると、図５は同実施形態に係る弾性
表面波装置を平面図により示している。この弾性表面波
装置においても、最大交差長Ｌに渡って傾斜させた電極
指３３，３４，４３，４４を交差長方向に複数領域に分
け、各領域毎に曲率係数Ｐが異なる値に設定されてい
る。そして、この実施形態の特徴は、各電極指３３，３
４，４３，４４の交差長に重み付けがなされていること
である。
図面を用いて説明すると、図５は同実施形態に係る弾性
表面波装置を平面図により示している。この弾性表面波
装置においても、最大交差長Ｌに渡って傾斜させた電極
指３３，３４，４３，４４を交差長方向に複数領域に分
け、各領域毎に曲率係数Ｐが異なる値に設定されてい
る。そして、この実施形態の特徴は、各電極指３３，３
４，４３，４４の交差長に重み付けがなされていること
である。
【００２０】一般的に、傾きの大きな部分が受け持つ周
波数帯域の信号には弾性表面波の散乱によるノイズ成分
が増加し、このノイズ成分は交差長が長くなるにしたが
って多くなるものである。したがって、この第３の実施
形態に係る弾性表面波装置のように、交差長の重み付け
を調整することにより前記ノイズ成分のレベルを調整す
ることができ、その結果、ノイズ成分に起因した振幅特
性のリップルを緩和することもできる。
波数帯域の信号には弾性表面波の散乱によるノイズ成分
が増加し、このノイズ成分は交差長が長くなるにしたが
って多くなるものである。したがって、この第３の実施
形態に係る弾性表面波装置のように、交差長の重み付け
を調整することにより前記ノイズ成分のレベルを調整す
ることができ、その結果、ノイズ成分に起因した振幅特
性のリップルを緩和することもできる。
【００２１】なお、上記実施例においては、電極指３
３，３４，４３，４４を２本ずつ交互に交差させるダブ
ル電極について説明したが、この発明は各電極指を１本
ずつ交互に交差させるシングル電極にも適用される。
３，３４，４３，４４を２本ずつ交互に交差させるダブ
ル電極について説明したが、この発明は各電極指を１本
ずつ交互に交差させるシングル電極にも適用される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施形態を示す弾性表面波装
置の平面概略図である。
置の平面概略図である。
【図２】 図１の弾性表面波装置の振幅特性を示すグラ
フである。
フである。
【図３】 本発明の第２の実施形態を示す弾性表面波装
置の平面概略図である。
置の平面概略図である。
【図４】 図２の弾性表面波装置の振幅特性を示すグラ
フである。
フである。
【図５】 本発明の第３の実施形態を示す弾性表面波装
置の平面概略図である。
置の平面概略図である。
【図６】 従来の弾性表面波装置の平面概略図である。
【図７】 図６の弾性表面波装置の振幅特性を示すグラ
フである。
フである。
【図８】 従来の他の弾性表面波装置の平面概略図であ
る。
る。
【図９】 図８の弾性表面波装置の振幅特性を示すグラ
フである。
フである。
【図１０】 従来のさらに他の弾性表面波装置の平面概
略図である。
略図である。
【図１１】 図１０の弾性表面波装置の振幅特性を示す
グラフである。
グラフである。
２０…圧電基板、３０…入力電極、３１，３２…連結
部、３３，３４…電極指、４０…入力電極、４１，４２
…連結部、４３，４４…電極指。
部、３３，３４…電極指、４０…入力電極、４１，４２
…連結部、４３，４４…電極指。
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板上に並設した櫛歯状の入力電極
及び出力電極を傾斜電極で構成した弾性表面波装置にお
いて、前記両電極の各電極指をその延長方向に複数の領
域に分け、電極指の傾斜を表す曲率係数を前記各領域毎
に異ならせたことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】 前記請求項１に記載の曲率係数Ｐは、下
記数１により規定されるものであり、 【数１】ｘ＝Ｌ(ｆp−ｆL p)／(ｆH p−ｆL p) ここで、Ｌは電極指の最大交差長を表し、ｘは電極指間
距離を最大とする側の電極指の交差部分の一端から交差
長方向への任意の距離を表し、ｆは前記任意の距離ｘに
より規定される交差長方向位置の電極指間の弾性表面波
の同期周波数を表し、ｆL は当該弾性表面波装置を通過
する弾性表面波の最低周波数であって電極指間距離を最
大とする側の電極指の交差部分の一端における電極指間
の弾性表面波の同期周波数を表し、ｆH は当該弾性表面
波装置を通過する弾性表面波の最高周波数であって電極
指間距離を最小とする側の電極指の交差部分の一端にお
ける電極指間の弾性表面波の同期周波数を表す。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19087795A JPH0946171A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19087795A JPH0946171A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0946171A true JPH0946171A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16265244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19087795A Pending JPH0946171A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0946171A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024135259A1 (ja) * | 2022-12-19 | 2024-06-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びフィルタ装置 |
-
1995
- 1995-07-26 JP JP19087795A patent/JPH0946171A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024135259A1 (ja) * | 2022-12-19 | 2024-06-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びフィルタ装置 |
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