JPH0954120A - 無反射終端交直流変換器における終端側抵抗値の調整方法 - Google Patents
無反射終端交直流変換器における終端側抵抗値の調整方法Info
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- JPH0954120A JPH0954120A JP20588095A JP20588095A JPH0954120A JP H0954120 A JPH0954120 A JP H0954120A JP 20588095 A JP20588095 A JP 20588095A JP 20588095 A JP20588095 A JP 20588095A JP H0954120 A JPH0954120 A JP H0954120A
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 38
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- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 7
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Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決手段】その外周に設けられた外導体とで同軸線を
構成する内導体１の延長上に、内導体１と同じ直径で、
且つその表面に抵抗膜３を設けてなる絶縁筒体２を有す
る無反射終端抵抗器を備えた交直流変換器において抵抗
膜３の抵抗値を同軸線の特性インピーダンスに整合する
際に、抵抗膜３をエッチングして、或は抵抗膜３に不連
続であり不規則な模様の切込を入れて抵抗値調整を行う
方法。 【効果】電流がランダムになり、したがって抵抗膜３の
インダクタンスを増加することなく、正確なインピーダ
ンス整合を取ることができる。
構成する内導体１の延長上に、内導体１と同じ直径で、
且つその表面に抵抗膜３を設けてなる絶縁筒体２を有す
る無反射終端抵抗器を備えた交直流変換器において抵抗
膜３の抵抗値を同軸線の特性インピーダンスに整合する
際に、抵抗膜３をエッチングして、或は抵抗膜３に不連
続であり不規則な模様の切込を入れて抵抗値調整を行う
方法。 【効果】電流がランダムになり、したがって抵抗膜３の
インダクタンスを増加することなく、正確なインピーダ
ンス整合を取ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、特に1MHz〜10GHz の
高周波数帯域の交流を測定するための無反射終端交直流
変換器における終端側抵抗値の調整方法に関する。
高周波数帯域の交流を測定するための無反射終端交直流
変換器における終端側抵抗値の調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】交流電圧（電流）を精密に測定するに
は、交流電圧（電流）を直流電圧（電流）と比較する必
要がある。
は、交流電圧（電流）を直流電圧（電流）と比較する必
要がある。
【０００３】従来、この比較のために用いられる変換器
は、抵抗線（ヒータ）に電流を流し、その温度上昇を熱
電対で検出するものである。
は、抵抗線（ヒータ）に電流を流し、その温度上昇を熱
電対で検出するものである。
【０００４】即ち、変換器に交流電圧（電流）を印加
し、その出力である熱起電力が同じとなる直流電圧（電
流）を調整して、直流電圧（電流）と比較することによ
って、交流電圧（電流）の実効値を得るものである。
し、その出力である熱起電力が同じとなる直流電圧（電
流）を調整して、直流電圧（電流）と比較することによ
って、交流電圧（電流）の実効値を得るものである。
【０００５】この比較時に、交流電圧と直流電圧に少し
違いが生ずるが、これを変換器の交直差と称し、交直差
の小さな変換器が望ましい。
違いが生ずるが、これを変換器の交直差と称し、交直差
の小さな変換器が望ましい。
【０００６】従来、可聴周波単一接合熱電型交直流変換
器としては、図５に示すように同軸線８内に電圧分圧用
の抵抗Ｒを組み込んだ抵抗器（ヒータ）13を挿入し、こ
の抵抗線（ヒータ）13をビーズ14を介して熱電対10の高
温接点を固定した構造のものが知られている。
器としては、図５に示すように同軸線８内に電圧分圧用
の抵抗Ｒを組み込んだ抵抗器（ヒータ）13を挿入し、こ
の抵抗線（ヒータ）13をビーズ14を介して熱電対10の高
温接点を固定した構造のものが知られている。
【０００７】しかし、この構造では同軸線８内の抵抗線
13を通る高周波電流は、放射状に電界と抵抗線11の周り
に磁力線を発生するが、熱電対10は良導体であるため、
電気力線がこれにより妨害され、同軸線８の終端での高
周波交流の反射と電界分布の乱が起こる。
13を通る高周波電流は、放射状に電界と抵抗線11の周り
に磁力線を発生するが、熱電対10は良導体であるため、
電気力線がこれにより妨害され、同軸線８の終端での高
周波交流の反射と電界分布の乱が起こる。
【０００８】したがって、この構造の交直流変換器では
1KHz〜1MHzの周波数の交流の測定は正確に行われるが、
1MHz以上の高周波交流の測定に関しては測定誤差を生ず
る結果となる。
1KHz〜1MHzの周波数の交流の測定は正確に行われるが、
1MHz以上の高周波交流の測定に関しては測定誤差を生ず
る結果となる。
【０００９】そこで、本願発明者は先に図３、４に示す
ように内導体１とその外周に設けられた外導体７からな
る同軸線８の延長上に、内導体１と同じ直径で、且つそ
の表面に抵抗膜３を設けてなる絶縁筒体２を有する無反
射終端抵抗器９を設け、更に絶縁筒体２には熱電対10を
設けた無反射終端を用いた交直流変換器を提案した。
ように内導体１とその外周に設けられた外導体７からな
る同軸線８の延長上に、内導体１と同じ直径で、且つそ
の表面に抵抗膜３を設けてなる絶縁筒体２を有する無反
射終端抵抗器９を設け、更に絶縁筒体２には熱電対10を
設けた無反射終端を用いた交直流変換器を提案した。
【００１０】即ち、この交直流変換器においては同軸線
側の特性インピーダンスと終端抵抗側の特性インピーダ
ンスを等しくし、抵抗膜３と筒体２の間又は筒体２の裏
側に熱電対10を設けるようにしてあるため、1MHz〜10GH
z 程度の高周波交流の測定に際しても同軸線内の終端部
において反射がなく、高精度の測定ができるのである。
側の特性インピーダンスと終端抵抗側の特性インピーダ
ンスを等しくし、抵抗膜３と筒体２の間又は筒体２の裏
側に熱電対10を設けるようにしてあるため、1MHz〜10GH
z 程度の高周波交流の測定に際しても同軸線内の終端部
において反射がなく、高精度の測定ができるのである。
【００１１】なお、この発明で使用する無反射終端抵抗
器９としては、図３に示すように内導体１と同じ直径の
絶縁筒体２の外周に指数関数形状の乃至トラクトリアル
形状の補償管11を設けたもの、或は図４に示すように方
形断面の内導体１と外導体７とからなるストリップ線に
おいて内導体１の延長上に同径の絶縁筒体２を設け、外
導体７の延長上に方形断面をもつストリップライン12の
無反射終端を用いたもの等を採用することができる。
器９としては、図３に示すように内導体１と同じ直径の
絶縁筒体２の外周に指数関数形状の乃至トラクトリアル
形状の補償管11を設けたもの、或は図４に示すように方
形断面の内導体１と外導体７とからなるストリップ線に
おいて内導体１の延長上に同径の絶縁筒体２を設け、外
導体７の延長上に方形断面をもつストリップライン12の
無反射終端を用いたもの等を採用することができる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この交直流変
換器の終端部において入力電力の反射がないようにする
ためには、無反射終端抵抗器の入口において同軸線の特
性インピーダンスと無反射終端抵抗器の入口から見たイ
ンピーダンスとが厳密に等しくなければならない、即ち
無反射終端抵抗器の抵抗値を同軸線の特性インピーダン
スに正確に整合させる必要がある。
換器の終端部において入力電力の反射がないようにする
ためには、無反射終端抵抗器の入口において同軸線の特
性インピーダンスと無反射終端抵抗器の入口から見たイ
ンピーダンスとが厳密に等しくなければならない、即ち
無反射終端抵抗器の抵抗値を同軸線の特性インピーダン
スに正確に整合させる必要がある。
【００１３】このための従来の無反射終端抵抗器におけ
る抵抗値の調整は抵抗膜３に螺旋状に切込を入れること
によって行われているが、この場合は螺旋状に切込を入
れることにより電流の通路が長くなり、このため抵抗膜
のインダクタンスが増加して正確なインピーダンス整合
がとれないという欠点がある。
る抵抗値の調整は抵抗膜３に螺旋状に切込を入れること
によって行われているが、この場合は螺旋状に切込を入
れることにより電流の通路が長くなり、このため抵抗膜
のインダクタンスが増加して正確なインピーダンス整合
がとれないという欠点がある。
【００１４】そこで、この発明では無反射終端抵抗器に
おいてインダクタンスを増加させない方法でインピーダ
ンス整合を取ることを目的とするものである。
おいてインダクタンスを増加させない方法でインピーダ
ンス整合を取ることを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、この発明では内導体とその外周に設けられた外導体
からなる同軸線の延長上に、上記内導体と同じ直径で、
且つその表面に抵抗膜を設けた絶縁筒体を有する無反射
終端抵抗器を設け、更に絶縁筒体に熱電対を設けた交直
流変換器において絶縁筒体表面の抵抗膜の抵抗値を同軸
線の特性インピーダンスを整合する際に、抵抗膜をエッ
チングして、或は抵抗膜に不連続であり不規則な模様の
切込を入れて抵抗値調整を行う方法を提案するものであ
る。
め、この発明では内導体とその外周に設けられた外導体
からなる同軸線の延長上に、上記内導体と同じ直径で、
且つその表面に抵抗膜を設けた絶縁筒体を有する無反射
終端抵抗器を設け、更に絶縁筒体に熱電対を設けた交直
流変換器において絶縁筒体表面の抵抗膜の抵抗値を同軸
線の特性インピーダンスを整合する際に、抵抗膜をエッ
チングして、或は抵抗膜に不連続であり不規則な模様の
切込を入れて抵抗値調整を行う方法を提案するものであ
る。
【００１６】
【作用】即ち、この発明では抵抗膜をエッチングして、
或は抵抗膜に不連続であり不規則な模様の切込を入れて
抵抗値を調整するため、電流がランダムになり、したが
って抵抗膜のインダクタンスを増加することなく、正確
なインピーダンス整合を取ることができる。
或は抵抗膜に不連続であり不規則な模様の切込を入れて
抵抗値を調整するため、電流がランダムになり、したが
って抵抗膜のインダクタンスを増加することなく、正確
なインピーダンス整合を取ることができる。
【００１７】ここで、抵抗膜に不連続であり不規則な模
様の切込を入れる具体的な例としては、同軸線の軸方向
に沿って直線状に短い切込を入れる、或は同軸線の方向
に対して直交方向に直線状に短い切込を入れる、或は丸
又はその他の模様の切込を入れることを挙げることがで
きる。
様の切込を入れる具体的な例としては、同軸線の軸方向
に沿って直線状に短い切込を入れる、或は同軸線の方向
に対して直交方向に直線状に短い切込を入れる、或は丸
又はその他の模様の切込を入れることを挙げることがで
きる。
【００１８】一方、抵抗膜をエッチングして抵抗値を調
整する場合には、同軸線の内導体と無反射終端抵抗器の
端子を例えば銅膜でオーミックコンタクトをとり、次に
速度が遅く選択性のないエッチング液で抵抗膜をエッチ
ングして抵抗値を調整するものである。
整する場合には、同軸線の内導体と無反射終端抵抗器の
端子を例えば銅膜でオーミックコンタクトをとり、次に
速度が遅く選択性のないエッチング液で抵抗膜をエッチ
ングして抵抗値を調整するものである。
【００１９】
【実施例】以下、この発明を図示の実施例に基づいて詳
細に説明すると、図１は抵抗膜をエッチングして抵抗値
を調整する方法を示すもので、１は同軸線を構成する銅
製の内導体、２は無反射終端抵抗器を構成する絶縁筒
体、３は多元合金の抵抗膜を示す。
細に説明すると、図１は抵抗膜をエッチングして抵抗値
を調整する方法を示すもので、１は同軸線を構成する銅
製の内導体、２は無反射終端抵抗器を構成する絶縁筒
体、３は多元合金の抵抗膜を示す。
【００２０】抵抗膜３は内導体１の材質に対して熱起電
力の少ない抵抗材料から選択され、この実施例で使用す
る銅製の内導体１に対しては熱起電力の少ない抵抗材料
は２〜３種類あるが、全て数種類の金属を含む合金あ
る。なお、抵抗膜３の抵抗値は同軸線の特性インピーダ
ンスより低く成膜する。
力の少ない抵抗材料から選択され、この実施例で使用す
る銅製の内導体１に対しては熱起電力の少ない抵抗材料
は２〜３種類あるが、全て数種類の金属を含む合金あ
る。なお、抵抗膜３の抵抗値は同軸線の特性インピーダ
ンスより低く成膜する。
【００２１】抵抗膜３は、絶縁筒体２の終端部より内導
体１の終端部の周縁に至るまでその表面にスパター法、
ＣＶＤ法等により付着する。
体１の終端部の周縁に至るまでその表面にスパター法、
ＣＶＤ法等により付着する。
【００２２】次に、銅膜４を内導体１の抵抗膜３が付着
されていない部分より絶縁筒体２と接続する終端部境界
まで設けて内導体１と抵抗膜３とオーミックコンタクト
を取り、銅膜４の上にはエッチングされないように絶縁
レジスト５を設ける。
されていない部分より絶縁筒体２と接続する終端部境界
まで設けて内導体１と抵抗膜３とオーミックコンタクト
を取り、銅膜４の上にはエッチングされないように絶縁
レジスト５を設ける。
【００２３】更に、内導体１と絶縁筒体２の終端部の間
には抵抗測定電極６を設け、その後エッチング速度が遅
く選択性のないエッチング液で抵抗値を測定しながら、
エッチングして抵抗値が所定の値になった時にエッチン
グを止める。
には抵抗測定電極６を設け、その後エッチング速度が遅
く選択性のないエッチング液で抵抗値を測定しながら、
エッチングして抵抗値が所定の値になった時にエッチン
グを止める。
【００２４】なお、抵抗膜の抵抗値が時間により変化す
る場合には、その変化を予測して抵抗値を定める。
る場合には、その変化を予測して抵抗値を定める。
【００２５】図２は、不連続であり不規則な模様を抵抗
膜に施すことにより、抵抗膜の抵抗値を調整する例を示
すものであり、（Ａ）では抵抗測定してそれが所定の値
に達するまで抵抗膜３の表面を短い直線で軸方向にカッ
トする。
膜に施すことにより、抵抗膜の抵抗値を調整する例を示
すものであり、（Ａ）では抵抗測定してそれが所定の値
に達するまで抵抗膜３の表面を短い直線で軸方向にカッ
トする。
【００２６】図２（Ｂ）では、抵抗測定してそれが所定
の値に達するまで抵抗膜３の表面を短い直線で軸方向に
直角にカットする。
の値に達するまで抵抗膜３の表面を短い直線で軸方向に
直角にカットする。
【００２７】図２（Ｃ）では、直線に代り、抵抗測定し
てそれが所定の値に達するまで抵抗膜３の表面を小さい
円又はその他の模様に直角にカットする。
てそれが所定の値に達するまで抵抗膜３の表面を小さい
円又はその他の模様に直角にカットする。
【００２８】
【発明の効果】以上要するに、この発明によれば内導体
とその外周に設けられた外導体からなる同軸線の延長上
に、上記内導体と同じ直径の絶縁筒体の表面に抵抗膜を
有する無反射終端抵抗器を設け、更に筒体に熱電対を設
けた交直流変換器において無反射終端抵抗器の抵抗値を
同軸線の特性インピーダンスを整合する際に、抵抗膜に
不連続である不規則な模様の切込を入れ、或は抵抗膜を
エッチングして抵抗値調整するため、電流がランダムに
なり、インダクタンスが増加しないので、正確なインピ
ーダンス整合を取ることができる。
とその外周に設けられた外導体からなる同軸線の延長上
に、上記内導体と同じ直径の絶縁筒体の表面に抵抗膜を
有する無反射終端抵抗器を設け、更に筒体に熱電対を設
けた交直流変換器において無反射終端抵抗器の抵抗値を
同軸線の特性インピーダンスを整合する際に、抵抗膜に
不連続である不規則な模様の切込を入れ、或は抵抗膜を
エッチングして抵抗値調整するため、電流がランダムに
なり、インダクタンスが増加しないので、正確なインピ
ーダンス整合を取ることができる。
【図１】 この発明の一実施例である抵抗膜をエッチン
グして抵抗値を調整する方法の説明図
グして抵抗値を調整する方法の説明図
【図２】 この発明の他の実施例である不連続であり不
規則な模様を抵抗膜に施して抵抗値を調整する例を示す
ものであり、（Ａ）は抵抗膜の表面を短い直線で軸方向
にカットする例、（Ｂ）は、抵抗膜の表面を短い直線で
軸方向に直角にカットする例、（Ｃ）は、直線に代り、
表面を小さい円又はその他の模様に直角にカットする例
規則な模様を抵抗膜に施して抵抗値を調整する例を示す
ものであり、（Ａ）は抵抗膜の表面を短い直線で軸方向
にカットする例、（Ｂ）は、抵抗膜の表面を短い直線で
軸方向に直角にカットする例、（Ｃ）は、直線に代り、
表面を小さい円又はその他の模様に直角にカットする例
【図３】 無反射終端を用いた交直流変換器の一例を示
す縦断側面図
す縦断側面図
【図４】 無反射終端を用いた交直流変換器の他の例を
示す縦断側面図
示す縦断側面図
【図５】 従来の可聴周波単一接合熱電型交直流変換器
の原理説明図
の原理説明図
１は内導体 ２は絶縁筒体 ３は抵抗膜 ４は銅膜 ５は絶縁レジスト ６は抵抗測定電極 ７は外導体 ８は同軸線 ９は無反射終端抵抗器 10は熱電対 11は補償管 12はストリップライン 13は抵抗器（ヒータ） 14はビーズ
Claims (5)
- 【請求項１】 内導体とその外周に設けられた外導体か
らなる同軸線の延長上に、上記内導体と同じ直径で、且
つその表面に抵抗膜を設けた絶縁筒体を有する無反射終
端抵抗器を設け、更に絶縁筒体に熱電対を設けた交直流
変換器において絶縁筒体表面の抵抗膜の抵抗値を同軸線
の特性インピーダンスを整合する際に、抵抗膜を速度が
遅く選択性のないエッチング液でエッチングして抵抗値
調整を行うことを特徴とする無反射終端交直流変換器に
おける終端側抵抗値の調整方法。 - 【請求項２】 内導体とその外周に設けられた外導体か
らなる同軸線の延長上に、上記内導体と同じ直径で、且
つその表面に抵抗膜を設けた絶縁筒体を有する無反射終
端抵抗器を設け、更に絶縁筒体に熱電対を設けた交直流
変換器において絶縁筒体表面の抵抗膜の抵抗値を同軸線
の特性インピーダンスを整合する際に、抵抗膜に不連続
であり不規則な模様の切込を入れて抵抗値調整を行うこ
とを特徴とする無反射終端交直流変換器における終端側
抵抗値の調整方法。 - 【請求項３】 絶縁筒体の抵抗膜の表面を短い直線で軸
方向にカットして不連続であり不規則な模様を形成する
請求項２の方法。 - 【請求項４】 絶縁筒体の抵抗膜の表面を短い直線で軸
方向とは直交状にカットして不連続であり不規則な模様
を形成する請求項２の方法。 - 【請求項５】 絶縁筒体の抵抗膜の表面を小円又はその
他の不連続であり不規則な模様を形成する請求項２の方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20588095A JP3163344B2 (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 無反射終端交直流変換器における終端側抵抗値の調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20588095A JP3163344B2 (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 無反射終端交直流変換器における終端側抵抗値の調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954120A true JPH0954120A (ja) | 1997-02-25 |
| JP3163344B2 JP3163344B2 (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=16514265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20588095A Expired - Lifetime JP3163344B2 (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 無反射終端交直流変換器における終端側抵抗値の調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3163344B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104849557A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-08-19 | 国家电网公司 | 一种便携式悬式瓷绝缘子零值及低值检测工具 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101076050B1 (ko) | 2010-09-29 | 2011-10-26 | 주식회사 세나테크놀로지 | 인터컴 기능을 갖는 헬멧용 블루투스 헤드셋 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53156141U (ja) * | 1977-05-16 | 1978-12-07 | ||
| JPS6255302U (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-06 | ||
| JPH0720164A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-24 | Agency Of Ind Science & Technol | 無反射終端交直流変換器 |
-
1995
- 1995-08-11 JP JP20588095A patent/JP3163344B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53156141U (ja) * | 1977-05-16 | 1978-12-07 | ||
| JPS6255302U (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-06 | ||
| JPH0720164A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-24 | Agency Of Ind Science & Technol | 無反射終端交直流変換器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104849557A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-08-19 | 国家电网公司 | 一种便携式悬式瓷绝缘子零值及低值检测工具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3163344B2 (ja) | 2001-05-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |