JPH0961352A - ガス導入装置 - Google Patents
ガス導入装置Info
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- JPH0961352A JPH0961352A JP24065395A JP24065395A JPH0961352A JP H0961352 A JPH0961352 A JP H0961352A JP 24065395 A JP24065395 A JP 24065395A JP 24065395 A JP24065395 A JP 24065395A JP H0961352 A JPH0961352 A JP H0961352A
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- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 claims description 61
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 52
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 32
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 174
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 6
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 3
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229920005597 polymer membrane Polymers 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N Sulfurous acid Chemical compound OS(O)=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較ガスとサンプルガスの水分濃度を平衡さ
せ、凝縮水やドレンの発生がなく溶解性ガス（ＳＯ2 、
ＮＯ2 等）などの応答性を大幅に改善することのできる
ガス導入装置を提供する。 【解決手段】 サンプルガスをサンプルガス流出管路７
より分析計１０へ導入するチュ−ブ状の水分透過膜３
と、該水分透過膜３との間に一定の空間が形成されるよ
うに覆い且つ比較ガス導入口と比較ガス流出口とを設け
た外側ケ−ス２と、比較ガス導入用弁６と比較ガス流出
用弁８と循環用のポンプ及びフロ−メ−タを配置し前記
外側ケ−ス２に接続する比較ガス用循環管路９と、前記
比較ガス流出口に接続され分析計１０へ比較ガスを導入
する比較ガス流出管路１５と、で構成される。前記水分
透過膜３の両端部にサンプルガスの循環管路を設けるこ
ともある。
せ、凝縮水やドレンの発生がなく溶解性ガス（ＳＯ2 、
ＮＯ2 等）などの応答性を大幅に改善することのできる
ガス導入装置を提供する。 【解決手段】 サンプルガスをサンプルガス流出管路７
より分析計１０へ導入するチュ−ブ状の水分透過膜３
と、該水分透過膜３との間に一定の空間が形成されるよ
うに覆い且つ比較ガス導入口と比較ガス流出口とを設け
た外側ケ−ス２と、比較ガス導入用弁６と比較ガス流出
用弁８と循環用のポンプ及びフロ−メ−タを配置し前記
外側ケ−ス２に接続する比較ガス用循環管路９と、前記
比較ガス流出口に接続され分析計１０へ比較ガスを導入
する比較ガス流出管路１５と、で構成される。前記水分
透過膜３の両端部にサンプルガスの循環管路を設けるこ
ともある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば赤外線ガ
ス分析計で用いられる比較法によるガス分析計或いはク
ロスモジュレ−ション方式ガス分析計等において、比較
ガス流路及びサンプルガス流路の相異なる水分濃度を近
似させ水分干渉影響を低減させ応答速度を迅速にするこ
とのできるガス導入装置に関する。
ス分析計で用いられる比較法によるガス分析計或いはク
ロスモジュレ−ション方式ガス分析計等において、比較
ガス流路及びサンプルガス流路の相異なる水分濃度を近
似させ水分干渉影響を低減させ応答速度を迅速にするこ
とのできるガス導入装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】煙道ガス等の燃焼排ガスを分析する場合
には比較法或いはクロスモジュレ−ション方式等の赤外
線ガス分析計が用いられる。このようなガス分析計で
は、水分による干渉影響を低減したり水分濃度を平衡さ
せる手段として、通常２系列電子冷却器が使用されるこ
とが多い。即ち、図３に示すように、比較ガス流路２１
とサンプルガス流路２３の２系統の管路を２系列電子冷
却器２０を通過させ、分配器（切換弁）２２を介して比
較ガスとサンプルガスを分析計方向へ導入する。該電子
冷却器２０では比較ガス中の水分もサンプルガス中の水
分も共に凝縮されてトラップ２４に滴下させるようにし
てある。この場合、比較ガス及びサンプルガスのいずれ
も水分濃度は電子冷却器２０の除湿露点温度により決ま
る。
には比較法或いはクロスモジュレ−ション方式等の赤外
線ガス分析計が用いられる。このようなガス分析計で
は、水分による干渉影響を低減したり水分濃度を平衡さ
せる手段として、通常２系列電子冷却器が使用されるこ
とが多い。即ち、図３に示すように、比較ガス流路２１
とサンプルガス流路２３の２系統の管路を２系列電子冷
却器２０を通過させ、分配器（切換弁）２２を介して比
較ガスとサンプルガスを分析計方向へ導入する。該電子
冷却器２０では比較ガス中の水分もサンプルガス中の水
分も共に凝縮されてトラップ２４に滴下させるようにし
てある。この場合、比較ガス及びサンプルガスのいずれ
も水分濃度は電子冷却器２０の除湿露点温度により決ま
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記する比較ガス流路
２１或いはサンプルガス流路２３の各ラインの入口露点
温度が該２系列電子冷却器２０の除湿露点の設定温度以
下の場合は、従来は前段で加湿させる必要があった。ま
た、前記２系列電子冷却器２０の冷却部においては凝縮
水が発生し、特に亜硫酸ガス（ＳＯ2 ）等水溶性のガス
を測定する場合にはガス溶解による大きな応答遅れが発
生し、スパンガス校正時間が長い或いは指示値が低く出
る等の欠点があった。また、電子冷却器は一般に露点温
度が５°Ｃ程度でありサンプルガス中の水分を除去する
には限界がある。即ち、除湿露点温度を零度以下にする
と水分が氷結するとガスが流れにくくなるため除湿露点
温度は最低でも５°Ｃ程度とするが、水分による干渉影
響を押さえるため水の絶対量を減らすという意味では電
子冷却器による除湿には限界があった。
２１或いはサンプルガス流路２３の各ラインの入口露点
温度が該２系列電子冷却器２０の除湿露点の設定温度以
下の場合は、従来は前段で加湿させる必要があった。ま
た、前記２系列電子冷却器２０の冷却部においては凝縮
水が発生し、特に亜硫酸ガス（ＳＯ2 ）等水溶性のガス
を測定する場合にはガス溶解による大きな応答遅れが発
生し、スパンガス校正時間が長い或いは指示値が低く出
る等の欠点があった。また、電子冷却器は一般に露点温
度が５°Ｃ程度でありサンプルガス中の水分を除去する
には限界がある。即ち、除湿露点温度を零度以下にする
と水分が氷結するとガスが流れにくくなるため除湿露点
温度は最低でも５°Ｃ程度とするが、水分による干渉影
響を押さえるため水の絶対量を減らすという意味では電
子冷却器による除湿には限界があった。
【０００４】この発明は上記する課題に着目してなされ
たものであり、氷点下以下の温度であっても比較側とサ
ンプル側ガスの水分濃度を平衡させ、凝縮水やドレンの
発生がなく溶解性ガス（ＳＯ2 、ＮＯ2 等）などの応答
性を大幅に改善することのできるガス導入装置を提供す
ることを目的とする。
たものであり、氷点下以下の温度であっても比較側とサ
ンプル側ガスの水分濃度を平衡させ、凝縮水やドレンの
発生がなく溶解性ガス（ＳＯ2 、ＮＯ2 等）などの応答
性を大幅に改善することのできるガス導入装置を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は上記す
る課題を解決するために、ガス導入装置が、水分透過
膜部と、該水分透過膜部との間に一定の空間が形成され
るように該水分透過膜部を覆い且つパ−ジガス導入口と
パ−ジガス流出口とを設けた外側ケ−スとより成る膜式
除湿器の該水分透過膜部に、サンプルガス導入管路とサ
ンプルガスを分析計へ導入するサンプルガス流出管路と
を接続し、前記外側ケ−スのパ−ジガス導入口とパ−ジ
ガス流出口に、途中に比較ガス導入用弁と比較ガス流出
用弁及び循環用手段を配置したパ−ジガス用循環管路を
接続し、更に、前記比較ガス流出口に分析計へ比較ガス
を導入する比較ガス流出管路を接続して成ることを特徴
とする。
る課題を解決するために、ガス導入装置が、水分透過
膜部と、該水分透過膜部との間に一定の空間が形成され
るように該水分透過膜部を覆い且つパ−ジガス導入口と
パ−ジガス流出口とを設けた外側ケ−スとより成る膜式
除湿器の該水分透過膜部に、サンプルガス導入管路とサ
ンプルガスを分析計へ導入するサンプルガス流出管路と
を接続し、前記外側ケ−スのパ−ジガス導入口とパ−ジ
ガス流出口に、途中に比較ガス導入用弁と比較ガス流出
用弁及び循環用手段を配置したパ−ジガス用循環管路を
接続し、更に、前記比較ガス流出口に分析計へ比較ガス
を導入する比較ガス流出管路を接続して成ることを特徴
とする。
【０００６】或いは、ガス導入装置が、水分透過膜部
と、該水分透過膜部との間に一定の空間が形成されるよ
うに該水分透過膜を覆い且つパ−ジガス導入口とパ−ジ
ガス流出口とを設けた外側ケ−スと、より成る膜式除湿
器の該水分透過膜部にサンプルガス導入管路とサンプル
ガスを分析計へ導入するサンプルガス流出管路とを接続
し、前記水分透過膜両端部に接続したサンプルガス流入
管路とサンプルガス流出管路に配置した三方弁に、循環
手段を配置したサンプルガス循環用管路の両端部を接続
し、前記外側ケ−スの比較ガス導入口と比較ガス流出口
に、途中に比較ガス導入用弁と比較ガス流出用弁及び循
環用手段を配置したパ−ジガス用循環管路を接続し、更
に、前記比較ガス流出口に分析計へ比較ガスを導入する
比較ガス流出管路を接続して成ることを特徴とする。
と、該水分透過膜部との間に一定の空間が形成されるよ
うに該水分透過膜を覆い且つパ−ジガス導入口とパ−ジ
ガス流出口とを設けた外側ケ−スと、より成る膜式除湿
器の該水分透過膜部にサンプルガス導入管路とサンプル
ガスを分析計へ導入するサンプルガス流出管路とを接続
し、前記水分透過膜両端部に接続したサンプルガス流入
管路とサンプルガス流出管路に配置した三方弁に、循環
手段を配置したサンプルガス循環用管路の両端部を接続
し、前記外側ケ−スの比較ガス導入口と比較ガス流出口
に、途中に比較ガス導入用弁と比較ガス流出用弁及び循
環用手段を配置したパ−ジガス用循環管路を接続し、更
に、前記比較ガス流出口に分析計へ比較ガスを導入する
比較ガス流出管路を接続して成ることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の具体的実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図１はこの発明の
ガス導入装置の第１の実施例の構成図である。この図に
おいて、１は膜式気相除湿器であって、中央部に配置さ
れたチュ−ブ形の水分透過膜（高分子膜）３との間に一
定の空間４が形成されるよう該水分透過膜３を外側ケ−
ス２で覆うようにして製作される。そして該水分透過膜
３の内部空間３ａはサンプルガス導入管路５に接続され
ると共に導入されたサンプルガスはサンプルガス流出管
路７より分析計１０へ導入されるようにしてある。
ついて図面を参照しながら説明する。図１はこの発明の
ガス導入装置の第１の実施例の構成図である。この図に
おいて、１は膜式気相除湿器であって、中央部に配置さ
れたチュ−ブ形の水分透過膜（高分子膜）３との間に一
定の空間４が形成されるよう該水分透過膜３を外側ケ−
ス２で覆うようにして製作される。そして該水分透過膜
３の内部空間３ａはサンプルガス導入管路５に接続され
ると共に導入されたサンプルガスはサンプルガス流出管
路７より分析計１０へ導入されるようにしてある。
【０００８】前記外側ケ−ス２には比較ガス導入口２ａ
と比較ガス流出口２ｂが設けられると共にこれらの比較
ガス導入口２ａと比較ガス流出口２ｂには比較ガス用循
環管路９が接続されている。更に、該比較ガス用循環管
路９の途中には比較ガス導入用弁６と比較ガス流出用弁
８が配置されると共に比較ガス循環用のポンプ１１とフ
ロ−メ−タ１２が配置されている。また、前記比較ガス
導入用弁６には比較ガス導入管路１３が接続され、比較
ガス流出用弁８には比較ガス流出管路１５が接続され、
比較ガス（流量ｑR ）はこの比較ガス流出管路１５より
分析計１０へ導入される。こうして比較ガスは、前記水
分透過膜３と外側ケ−ス２との間に形成される空間４
と、比較ガス用循環管路９との間を循環するようになっ
ている。比較ガスとしては水分を含まないドライガスで
あって水分を除去した空気或いは窒素ガス等が用いられ
る。尚、前記膜式気相除湿器１におけるサンプルガス流
量（ｑS ）に対する前記水分透過膜３と外側ケ−ス２と
の間に形成される空間（以下、パ−ジ側空間とする）４
の比較ガス流量（ＱC ）比（ＱC ／ｑS ）は３〜１０倍
程度とすることが望ましい。
と比較ガス流出口２ｂが設けられると共にこれらの比較
ガス導入口２ａと比較ガス流出口２ｂには比較ガス用循
環管路９が接続されている。更に、該比較ガス用循環管
路９の途中には比較ガス導入用弁６と比較ガス流出用弁
８が配置されると共に比較ガス循環用のポンプ１１とフ
ロ−メ−タ１２が配置されている。また、前記比較ガス
導入用弁６には比較ガス導入管路１３が接続され、比較
ガス流出用弁８には比較ガス流出管路１５が接続され、
比較ガス（流量ｑR ）はこの比較ガス流出管路１５より
分析計１０へ導入される。こうして比較ガスは、前記水
分透過膜３と外側ケ−ス２との間に形成される空間４
と、比較ガス用循環管路９との間を循環するようになっ
ている。比較ガスとしては水分を含まないドライガスで
あって水分を除去した空気或いは窒素ガス等が用いられ
る。尚、前記膜式気相除湿器１におけるサンプルガス流
量（ｑS ）に対する前記水分透過膜３と外側ケ−ス２と
の間に形成される空間（以下、パ−ジ側空間とする）４
の比較ガス流量（ＱC ）比（ＱC ／ｑS ）は３〜１０倍
程度とすることが望ましい。
【０００９】上記構成からなるこの発明のガス導入装置
において、水分透過膜３に導入されるサンプルガスの水
分蒸気圧をＰWS（mmHg）、比較ガス用循環管路９を循環
する比較ガスの水分蒸気圧をＰWR（mmHg）とし、更に、
ＰWS＞ＰWRとすれば、水分透過膜３をサンプルガス及び
比較ガスが通過するにつれて膜式気相除湿器１の出口近
くではこれら２つの流路における水分蒸気圧がほぼ等し
くなる気相平衡が成立し、該膜式気相除湿器１の出口近
傍での水分蒸気圧をＰWS’（mmHg）とし、比較ガスの水
分蒸気圧をＰWR’（mmHg）とすると、ほぼＰWS’＝
ＰWR’となる。
において、水分透過膜３に導入されるサンプルガスの水
分蒸気圧をＰWS（mmHg）、比較ガス用循環管路９を循環
する比較ガスの水分蒸気圧をＰWR（mmHg）とし、更に、
ＰWS＞ＰWRとすれば、水分透過膜３をサンプルガス及び
比較ガスが通過するにつれて膜式気相除湿器１の出口近
くではこれら２つの流路における水分蒸気圧がほぼ等し
くなる気相平衡が成立し、該膜式気相除湿器１の出口近
傍での水分蒸気圧をＰWS’（mmHg）とし、比較ガスの水
分蒸気圧をＰWR’（mmHg）とすると、ほぼＰWS’＝
ＰWR’となる。
【００１０】前記膜式気相除湿器１は、水分透過膜３
の内外の水蒸気分圧の差ΔＰW （ΔＰW ＝ＰWS−ＰWR）
が大きいこと、水分透過膜３の膜面積が大きいこと、
比較ガス用循環路９を流れる比較ガスの流量（パ−ジ
側流量）が大きいこと、を満足させると水分子の透過効
率が良くなる。比較ガスとしてはドライガスを使用して
いるため当然のことながらＰWS＞ＰWRであり、水蒸気分
圧の差ΔＰW は大きいため水分子の透過効率は良い。
の内外の水蒸気分圧の差ΔＰW （ΔＰW ＝ＰWS−ＰWR）
が大きいこと、水分透過膜３の膜面積が大きいこと、
比較ガス用循環路９を流れる比較ガスの流量（パ−ジ
側流量）が大きいこと、を満足させると水分子の透過効
率が良くなる。比較ガスとしてはドライガスを使用して
いるため当然のことながらＰWS＞ＰWRであり、水蒸気分
圧の差ΔＰW は大きいため水分子の透過効率は良い。
【００１１】前記膜式気相除湿器１において水分透過膜
３を透過する水分子は、ＰWS＞ＰWRの場合、サンプルガ
ス中の水分子が膜面に付着し高分子膜内を透過しパ−ジ
側空間４の水分透過膜表面に達する。該水分透過膜３の
表面に達した水分子は該パ−ジ側空間４のガス雰囲気内
に拡散しパ−ジ側空間４の水分蒸気圧を高めることにな
る。そして水分透過膜３を透過する水分子の移動速度
は、ＰWS＞ＰWRであればあるほど、また、水分透過膜３
内のサンプルガス流量に比べてパ−ジ側空間４の比較ガ
ス流量が大きいほど大きくなる。
３を透過する水分子は、ＰWS＞ＰWRの場合、サンプルガ
ス中の水分子が膜面に付着し高分子膜内を透過しパ−ジ
側空間４の水分透過膜表面に達する。該水分透過膜３の
表面に達した水分子は該パ−ジ側空間４のガス雰囲気内
に拡散しパ−ジ側空間４の水分蒸気圧を高めることにな
る。そして水分透過膜３を透過する水分子の移動速度
は、ＰWS＞ＰWRであればあるほど、また、水分透過膜３
内のサンプルガス流量に比べてパ−ジ側空間４の比較ガ
ス流量が大きいほど大きくなる。
【００１２】上記するように、この発明のガス導入装置
では、小型の膜式気相除湿器１を用いてパ−ジ側空間４
の比較ガスの流量を増大させることにより水分透過膜３
面における比較ガス流速を増大させ（即ち、比較ガスの
接触量を増大させ）、サンプルガスラインより透過して
きた水分子の吸着を防止すると共に拡散速度を増大させ
ることで出口近傍におけるサンプルガスの水分蒸気圧Ｐ
WS’と、パ−ジ側の水分蒸気圧ＰWR’とを近似させるも
のである。この場合、サンプルガスの温度は大気温度で
あり、比較ガスの温度は氷点下４０°Ｃ〜３０°Ｃ程度
であるが、前記膜式気相除湿器１の出口付近の温度は氷
点下２０°Ｃ程度で気相平衡させることができる。以上
のような作用によりサンプルガスと比較ガスとの水分蒸
気圧がほぼ等しくなったらそれぞれサンプルガス流出管
路７及び比較ガス流出用管路１５からサンプルガス（流
量ｑS ）と比較ガス（流量ｑR ）をそれぞれ流出させて
分析計１０へ導入して計測する。
では、小型の膜式気相除湿器１を用いてパ−ジ側空間４
の比較ガスの流量を増大させることにより水分透過膜３
面における比較ガス流速を増大させ（即ち、比較ガスの
接触量を増大させ）、サンプルガスラインより透過して
きた水分子の吸着を防止すると共に拡散速度を増大させ
ることで出口近傍におけるサンプルガスの水分蒸気圧Ｐ
WS’と、パ−ジ側の水分蒸気圧ＰWR’とを近似させるも
のである。この場合、サンプルガスの温度は大気温度で
あり、比較ガスの温度は氷点下４０°Ｃ〜３０°Ｃ程度
であるが、前記膜式気相除湿器１の出口付近の温度は氷
点下２０°Ｃ程度で気相平衡させることができる。以上
のような作用によりサンプルガスと比較ガスとの水分蒸
気圧がほぼ等しくなったらそれぞれサンプルガス流出管
路７及び比較ガス流出用管路１５からサンプルガス（流
量ｑS ）と比較ガス（流量ｑR ）をそれぞれ流出させて
分析計１０へ導入して計測する。
【００１３】図２はこの発明のガス導入装置の第２の実
施例の構成図である。この実施例においても中央部に配
置した水分透過膜（高分子膜）３の周囲にパ−ジ側空間
４を設けて外側ケ−ス２で覆うように構成した膜式気相
除湿器１が使用される。そして水分透過膜３の内部空間
３ａはサンプルガス導入管路５に接続されると共に導入
されたサンプルガスはサンプルガス流出管路７より分析
計１０へ導入される。
施例の構成図である。この実施例においても中央部に配
置した水分透過膜（高分子膜）３の周囲にパ−ジ側空間
４を設けて外側ケ−ス２で覆うように構成した膜式気相
除湿器１が使用される。そして水分透過膜３の内部空間
３ａはサンプルガス導入管路５に接続されると共に導入
されたサンプルガスはサンプルガス流出管路７より分析
計１０へ導入される。
【００１４】この実施例では更に、該水分透過膜３両端
部のサンプルガス流入管路５とサンプルガス流出管路７
にそれぞれ三方弁１４、１６を配置してサンプルガス循
環用管路１７を配管すると共に該管路１７にはポンプ１
９とフロ−メ−タ１８が配置されている。即ち、この実
施例ではサンプルガスの流通路にも循環ラインを構成さ
せるものである。
部のサンプルガス流入管路５とサンプルガス流出管路７
にそれぞれ三方弁１４、１６を配置してサンプルガス循
環用管路１７を配管すると共に該管路１７にはポンプ１
９とフロ−メ−タ１８が配置されている。即ち、この実
施例ではサンプルガスの流通路にも循環ラインを構成さ
せるものである。
【００１５】前記外側ケ−ス２には比較ガス導入口２ａ
と比較ガス流出口２ｂが設けられると共にこれらの比較
ガス導入口２ａと比較ガス流出口２ｂには比較ガス用循
環管路９が接続されている。更に、該比較ガス用循環管
路９の途中には比較ガス導入用弁６と比較ガス流出用弁
８が配置されると共に比較ガス循環用のポンプ１１とフ
ロ−メ−タ１２が配置されている。また、前記比較ガス
導入用弁６には比較ガス導入管路１３が接続され、比較
ガス流出用弁８には比較ガス流出管路１５が接続され、
比較ガス（流量ｑR ）はこの比較ガス流出管路１５より
分析計１０へ導入される。こうして比較ガスは、前記水
分透過膜３と外側ケ−ス２との間に形成されるパ−ジ側
空間４と、比較ガス用循環管路９との間を循環するよう
になっている。尚、循環用手段としてはポンプの出口側
又は入口側のいずれかに流量調整用のバルブや圧力調整
器等を用いたものも含まれる。
と比較ガス流出口２ｂが設けられると共にこれらの比較
ガス導入口２ａと比較ガス流出口２ｂには比較ガス用循
環管路９が接続されている。更に、該比較ガス用循環管
路９の途中には比較ガス導入用弁６と比較ガス流出用弁
８が配置されると共に比較ガス循環用のポンプ１１とフ
ロ−メ−タ１２が配置されている。また、前記比較ガス
導入用弁６には比較ガス導入管路１３が接続され、比較
ガス流出用弁８には比較ガス流出管路１５が接続され、
比較ガス（流量ｑR ）はこの比較ガス流出管路１５より
分析計１０へ導入される。こうして比較ガスは、前記水
分透過膜３と外側ケ−ス２との間に形成されるパ−ジ側
空間４と、比較ガス用循環管路９との間を循環するよう
になっている。尚、循環用手段としてはポンプの出口側
又は入口側のいずれかに流量調整用のバルブや圧力調整
器等を用いたものも含まれる。
【００１６】上記するように、この発明のガス導入装置
の第２の実施例においては、比較ガスラインを循環ライ
ンとし、更にサンプルガスラインも循環ラインとするも
のである。こうしてサンプルガスライン中の水分子を水
分透過膜３における透過速度を大きくすることにより膜
式気相除湿器１の出口でのサンプルガスと比較ガスとの
気相平衡を実現し且つその効率を上げることができる。
但し、この場合サンプルガスの循環ラインにおける内容
積が大きくなる分だけ応答速度は遅くなることは避けら
れない。尚、サンプルガスの流路のみを循環ラインとし
ても本願発明の目的を達成することができる。いずれに
しても循環ラインの流速方向は比較ガスの循環流量が大
きくなればサンプルガスの流れる方向に対して順方向で
も逆方向でも効率は無関係となる。
の第２の実施例においては、比較ガスラインを循環ライ
ンとし、更にサンプルガスラインも循環ラインとするも
のである。こうしてサンプルガスライン中の水分子を水
分透過膜３における透過速度を大きくすることにより膜
式気相除湿器１の出口でのサンプルガスと比較ガスとの
気相平衡を実現し且つその効率を上げることができる。
但し、この場合サンプルガスの循環ラインにおける内容
積が大きくなる分だけ応答速度は遅くなることは避けら
れない。尚、サンプルガスの流路のみを循環ラインとし
ても本願発明の目的を達成することができる。いずれに
しても循環ラインの流速方向は比較ガスの循環流量が大
きくなればサンプルガスの流れる方向に対して順方向で
も逆方向でも効率は無関係となる。
【００１７】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明のガス導入
装置によれば、ガス分析に際し比較ガスとサンプルガス
との２系列ガスラインの間に水分濃度に差があっても、
パ−ジガスラインの比較ガスの流量を多くして循環させ
るため、水分透過膜表面における水分子の透過拡散速度
を大きくして気相平衡させて分析計へ導入することがで
きる。特に、このガス導入装置によれば膜式気相除湿器
を使用するため凝縮水やドレンの発生が無く、溶解性ガ
ス（ＳＯ2 、ＮＯ2 等）等を分析する際の応答速度を大
幅に改善することができる。
装置によれば、ガス分析に際し比較ガスとサンプルガス
との２系列ガスラインの間に水分濃度に差があっても、
パ−ジガスラインの比較ガスの流量を多くして循環させ
るため、水分透過膜表面における水分子の透過拡散速度
を大きくして気相平衡させて分析計へ導入することがで
きる。特に、このガス導入装置によれば膜式気相除湿器
を使用するため凝縮水やドレンの発生が無く、溶解性ガ
ス（ＳＯ2 、ＮＯ2 等）等を分析する際の応答速度を大
幅に改善することができる。
【図１】この発明のガス導入装置の第１の実施例の構成
図である。
図である。
【図２】この発明のガス導入装置の第２の実施例の構成
図である。
図である。
【図３】従来のガス導入装置の構成例図である。
１ 膜式気相除湿器 ２ 外側ケ−ス ２ａ 比較ガス導入口 ２ｂ 比較ガス流出口 ３ 水分透過膜 ３ａ 水分透過膜の内部空間 ４ パ−ジ側空間 ５ サンプルガス導入管路 ７ サンプルガス流出管路 ６ 比較ガス導入用弁 ８ 比較ガス流出用弁 ９ 比較ガス用循環管路 １０ 分析計 １１、１７ ポンプ １２、１８ フロ−メ−タ １３ 比較ガス導入管路 １５ 比較ガス流出管路 １４、１６ 三方弁 １７ サンプルガス循環用管路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 雅彦 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内
Claims (2)
- 【請求項１】 水分透過膜部と、該水分透過膜部との間
に一定の空間が形成されるように該水分透過膜部を覆い
且つパ−ジガス導入口とパ−ジガス流出口とを設けた外
側ケ−スとより成る膜式除湿器の該水分透過膜部に、サ
ンプルガス導入管路とサンプルガスを分析計へ導入する
サンプルガス流出管路とを接続し、前記外側ケ−スのパ
−ジガス導入口とパ−ジガス流出口に、途中に比較ガス
導入用弁と比較ガス流出用弁及び循環用手段を配置した
パ−ジガス用循環管路を接続し、更に、前記比較ガス流
出口に分析計へ比較ガスを導入する比較ガス流出管路を
接続して成ることを特徴とするガス導入装置。 - 【請求項２】 水分透過膜部と、該水分透過膜部との間
に一定の空間が形成されるように該水分透過膜を覆い且
つパ−ジガス導入口とパ−ジガス流出口とを設けた外側
ケ−スと、より成る膜式除湿器の該水分透過膜部にサン
プルガス導入管路とサンプルガスを分析計へ導入するサ
ンプルガス流出管路とを接続し、前記水分透過膜両端部
に接続したサンプルガス流入管路とサンプルガス流出管
路に配置した三方弁に、循環手段を配置したサンプルガ
ス循環用管路の両端部を接続し、前記外側ケ−スの比較
ガス導入口と比較ガス流出口に、途中に比較ガス導入用
弁と比較ガス流出用弁及び循環用手段を配置したパ−ジ
ガス用循環管路を接続し、更に、前記比較ガス流出口に
分析計へ比較ガスを導入する比較ガス流出管路を接続し
て成ることを特徴とするガス導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24065395A JPH0961352A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | ガス導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24065395A JPH0961352A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | ガス導入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961352A true JPH0961352A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17062699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24065395A Pending JPH0961352A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | ガス導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961352A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015158368A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | 三菱電機株式会社 | ガス分析装置およびガス分析方法 |
| CN112930472A (zh) * | 2018-10-31 | 2021-06-08 | 株式会社电装 | Pm传感器 |
| US20220260540A1 (en) * | 2019-07-25 | 2022-08-18 | National Institute For Materials Science | Measurement method and measurement device using gas sensor |
-
1995
- 1995-08-24 JP JP24065395A patent/JPH0961352A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015158368A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | 三菱電機株式会社 | ガス分析装置およびガス分析方法 |
| CN112930472A (zh) * | 2018-10-31 | 2021-06-08 | 株式会社电装 | Pm传感器 |
| US20220260540A1 (en) * | 2019-07-25 | 2022-08-18 | National Institute For Materials Science | Measurement method and measurement device using gas sensor |
| US12078627B2 (en) * | 2019-07-25 | 2024-09-03 | National Institute For Materials Science | Measurement method and measurement device using gas sensor |
| EP4006526B1 (en) * | 2019-07-25 | 2025-01-15 | National Institute for Materials Science | Gas-sensor-based measurement method and measurement device |
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