JPH0971475A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 グリーンシートの積層物２を、加熱焼成炉内
にて高温で焼成してセラミック基板にする場合、加熱む
らに起因する不良品の発生を、生産性を低下することな
く、低減する。 【構成】 前記積層物２を、上面と一つの側面とを開放
したボックス体１内に収納し、このボックス体の複数個
を、台板２の上面に、その一側面の開放部を同じ方向に
揃えて積み上げ、更に、前記台板の上面に、グリーンシ
ート積層物を収納した別のボックス体１′の複数個を、
その一側面における開放部が先に積み上げた各ボックス
体１の一側面における開放部と向かい合わせにして積み
上げ、この状態で加熱焼成炉に送り込む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、チップ抵抗器、サーマ
ルプリントヘッド又はハイブリッド集積回路等に使用さ
れるセラミック基板を製造する方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のセラミック基板は、未
だ柔らかいグリーンシートの状態で、その表面及び裏面
のうちいずれか一方又は両方に、当該セラミック基板を
小さい基板片ごとにブレイクするためのブレイク溝を刻
設し、次いで、その複数枚を積層状の積み重ね、このグ
リーンシート積層物を、ベルトコンベヤ等の移送手段に
載せて、加熱焼成炉に送り込み、先づ、例えば約１００
〜５００℃の温度に加熱して脱脂処理を行ったのち、例
えば約１５００〜１６００℃と言う高い温度で焼成する
ことによって製造される。

【０００３】そして、従来は、前記グリーンシート積層
物の焼成に際しては、生産性の向上を図ることのため
に、前記グリーンシート積層物の複数個を台板の上面に
載せ、この台板の複数枚を、その間に間隔をあけるため
のブロックを挟んで複数段に積み上げ、この状態で、加
熱焼成炉内に送り込むようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来
の方法では、各台板の上面に載せた各グリーンシート積
層物の表面が加熱焼成炉内に直接露出していることによ
り、この各グリーンシート積層物を各所等しく加熱する
ことができず、加熱むらが発生し易く、強く加熱される
部分では、加熱が弱い部分よりも大きく収縮することに
なって、各セラミック基板がいびつな形状になるから、
不良品の発生率が高いと言う問題があった。

【０００５】本発明は、高温での焼成に際しての不良品
の発生率を、生産性の低下を招来することなく、確実に
低減できるようにした方法を提供することを技術的課題
とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「クリーンシートの複数枚を積層状に
積み重ね、このグリーンシート積層物を、移送手段にて
加熱焼成炉に送り込み、高い温度で焼成するようにした
セラミック基板の製造方法において、前記グリーンシー
ト積層物を、上面と一つの側面とを開放するように形成
して成るボックス体内に収納し、このグリーンシート積
層物入りボックス体の複数個を、台板の上面に、二列の
多段状に、一方の列における各ボックス体の一側面にお
ける開放部と、他方の列における各ボックス体の一側面
における開放部とが互いに向かい合わせになるように積
み上げ、この状態で、前記加熱焼成炉に送り込むことを
特徴とする。」ものである。

【０００７】

【作 用】このようにすることにより、前記各ボック
ス体の上面における開放部、及び一側面における開放部
の各々を、各ボックス体の各々によって互いに塞ぐこと
ができ、前記各ボックス体内に収納されているグリーン
シート積層物の全表面を、ボックス体にて略完全に囲っ
た状態にすることができ、この状態で、各ボックス体内
におけるグリーンシート積層物を、ボックス体を介して
間接的に加熱することができるから、従来のように、グ
リーンシート積層物の全表面が加熱焼成炉内に直接露出
している場合よりも、各所等しく加熱することができ
て、加熱むらが発生することを確実に低減できるのであ
る。

【０００８】そころで、グリーンシート積層物をボック
ス体内に収納することによって、間接的に加熱するよう
にするには、前記ボックス体を、その上面のみを開放し
たものに構成することが好ましい。しかし、ボックス体
を、その上面のみを開放したものに構成した場合には、
当該ボックス体に対するグリーンシート積層物の挿入、
及び焼成後における取り出しを、左右両側から挟み付け
た状態で、上面の開放部から行うようにしなければなら
ないから、この際に、グリーンシートを変形したり、焼
成後のセラミック基板を割り損傷したりすることが発生
し易いのであり、しかも、積層物の外周面とボックス体
の内側面との間に、積層物を挟み付けためのクランプ体
等が入るだけの可成り大きい隙間をあけることが必要で
あり、換言すると、前記ボックス体は、グリーンシート
積層物に比べて可成り大きいものにしなればならないか
ら、加熱焼成炉に単位時間当たりに送り込むことができ
るグリーンシート積層物の個数が、当該グリーンシート
積層物を入れるボックス体が大きくなる分だけ少なくな
るから、セラミック基板の生産性が低下することにな
る。

【０００９】これに対して、本発明は、各ボックス体
を、前記したように、上面を開放することに加えて、一
つの側面をも開放するように構成したことにより、この
ボックス体に対するグリーンシート積層物の挿入、及び
焼成後における取り出しを、前記ボックス体の一側面に
おおける開放部より、横方向に滑らせて行うことかでき
るから、ボックス体に対する積層物の挿入及び取り出し
に際して、グリーンシートを変形したり、焼成後のセラ
ミック基板を割り損傷したりすることを確実に低減でき
ると共に、積層物の外周面とボックス体の内側面との間
の隙間を小さくして、ボックス体の小型化を図ることが
できるのである。

【００１０】

【発明の効果】従って、本発明によると、 ．グリーンシート積層物を、ボックス体内に収納した
状態で間接的に加熱することにより、加熱に際して発生
する加熱むらを小さくできるから、いびつな形状の不良
品の発生率か確実に低減できる。 ．前記ボックス体に対する積層体の出し入りを、当該
ボックス体の一側面における開放部から行うことができ
ることにより、その出し入れに際して、積層体を損傷す
ることを確実に低減できると共に、ボックス体の小型化
により生産性の低下を防止できる。 と言う効果を有する。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図面について説明
する。先づ、図１〜図３に示すように、耐熱材料にて上
面と一つの側面とを開放するように形成したボックス体
１を用意して、このボックス体１内に、複数枚のグリー
ンシートを積層状に積み重ねて成るグリーンシート積層
物２を収納する。

【００１２】次いで、前記グリーンシート積層物２を入
れたボックス体１の複数個を、図４に示すように、台板
（又はパレット）３の上面に、当該各ボックス体１の一
側面における開放部を同じ方向に揃えて多段に積み上げ
る。更に、最上段におけるボックス体１の上面には、耐
熱材料製の蓋板４を載置する。なお、前記各ボックス体
１の三側面の上面には、熱気の流通を図るための凹所１
ａが設けられている。

【００１３】一方、前記台板（又はパレット）３の上面
のうち前記積み上げたボックス体１に近接する部位に
は、図５及び図６に示すように、耐熱材料にて前記ボッ
クス体１と同様に上面と一つの側面とを開放するように
形成し且つグリーンシート積層物２を収納して成る別の
ボックス体１′の複数個を、当該各別のボックス体１の
一側面における開放部を同じ方向に揃えて多段に積み上
げる。このとき、各別のボックス１′は、その一側面に
おける開放部が先に先に積み上げた各ボックス体１の一
側面における開放部と向かい合わせになるようにして多
段に積み上げたのち、その最上段におけるボックス体
１′の上面には、耐熱材料製の蓋板４′を載置する。

【００１４】なお、この各別のボックス体１′の三側面
の上面にも、前記ボックス体１と同様に、熱気の流通を
図るための凹所１ａ′が設けられている。このように、
グリーンシート積層物２を入れたボックス体１の複数個
と、同じくグリーンシート積層物２を入れた別のボック
ス体１′の複数個とを、台板２の上面に、これら各ボッ
クス体１，１′の一側面における開放部が互いに向かい
合わせになるようにして、二列の多段状に積み上げたの
ち、その最上段におけるボックス体１′の上面に、耐熱
材料製の蓋板４′を載置することにより、前記各ボック
ス体１，１′の上面における開放部、及び一側面におけ
る開放部の各々を、互いに塞ぐことができるから、前記
ボックス体１，１′内に収納されているグリーンシート
積層物２の全表面を、ボックス体１，１′にて囲った状
態にすることができる。

【００１５】そこで、この状態で、台板２と一緒に、ベ
ルトコンベア等の移送手段にて加熱焼成炉中に送り込む
ことにより、前記各グリーンシート積層物２は、その全
表面がボックス体１，１′にて囲われた状態で、ボック
ス体１，１′を介して間接的に加熱されることになるか
ら、従来のように、グリーンシート積層物の全表面が加
熱焼成炉内に直接露出している場合よりも、各所等しく
加熱することができて、加熱むらが発生することを確実
に低減できるのである。

【００１６】なお、前記各ボックス体１，１′に対する
グリーンシート積層物２の挿入、及び焼成後の取り出し
は、当該ボックス体１，１′の一側面における開口部か
ら横方向に滑らせて行うようにするのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に使用するボックス体の斜視図
である。

【図２】図１のII−II視断面図である。

【図３】図１のIII −III 視断面図である。

【図４】前記ボックス体を台板の上面に多段状に積み上
げた状態の斜視図である。

【図５】前記ボックス体を台板の上面に二列の多段状に
積み上げた状態の斜視図である。

【図６】図５の縦断正面図である。

【符号の説明】

１，１′ ボックス体 ２ グリーンシート積層物 ３ 台板 ４，４′ 蓋板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】グリーンシートの複数枚を積層状に積み重
   ね、このグリーンシート積層物を、移送手段にて加熱焼
   成炉に送り込み、高い温度で焼成するようにしたセラミ
   ック基板の製造方法において、前記グリーンシート積層
   物を、上面と一つの側面とを開放するように形成して成
   るボックス体内に収納し、このグリーンシート積層物入
   りボックス体の複数個を、台板の上面に、二列の多段状
   に、一方の列における各ボックス体の一側面における開
   放部と、他方の列における各ボックス体の一側面におけ
   る開放部とが互いに向かい合わせになるように積み上
   げ、この状態で、前記加熱焼成炉に送り込むことを特徴
   とするセラミック基板の製造方法。