JPH098166A - パッケージ装置 - Google Patents
パッケージ装置Info
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- JPH098166A JPH098166A JP14738195A JP14738195A JPH098166A JP H098166 A JPH098166 A JP H098166A JP 14738195 A JP14738195 A JP 14738195A JP 14738195 A JP14738195 A JP 14738195A JP H098166 A JPH098166 A JP H098166A
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- JP
- Japan
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- pads
- solder
- package
- ball
- diameter
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3431—Leadless components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3465—Application of solder
- H05K3/3478—Application of solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、BGAパッケージにおいて、結合の
信頼性を低下させることなく、半田ブリッジの発生を低
減できるようにすることを最も主要な特徴とする。 【構成】たとえば、半導体チップ15が搭載されるパッ
ケージ本体11の下面に、0.5mm径の大面積のボー
ル実装用パッド12aと0.3mm径の小面積のボール
実装用パッド12bとを交互に格子状に配置する。そし
て、それらパッド12a,12bのそれぞれに、0.7
mm径の半田ボール13を半田ペースト14により固着
する。このとき、半田ボール13のピッチ間隔が1.0
mmとなるように、上記各パッド12a,12bを配置
する。こうして、パッド12a,12b間の間隔を広げ
て半田ブリッジの発生を防止できるようにするととも
に、保持に必要な半田ペースト14を十分に確保する構
成となっている。
信頼性を低下させることなく、半田ブリッジの発生を低
減できるようにすることを最も主要な特徴とする。 【構成】たとえば、半導体チップ15が搭載されるパッ
ケージ本体11の下面に、0.5mm径の大面積のボー
ル実装用パッド12aと0.3mm径の小面積のボール
実装用パッド12bとを交互に格子状に配置する。そし
て、それらパッド12a,12bのそれぞれに、0.7
mm径の半田ボール13を半田ペースト14により固着
する。このとき、半田ボール13のピッチ間隔が1.0
mmとなるように、上記各パッド12a,12bを配置
する。こうして、パッド12a,12b間の間隔を広げ
て半田ブリッジの発生を防止できるようにするととも
に、保持に必要な半田ペースト14を十分に確保する構
成となっている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえばパッケージ
本体にそれぞれパッドを介してボール電極を固着してな
る、いわゆるボール・グリッド・アレイ(Ball Grid Ar
ray )型のパッケージ装置に関するものである。
本体にそれぞれパッドを介してボール電極を固着してな
る、いわゆるボール・グリッド・アレイ(Ball Grid Ar
ray )型のパッケージ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、多ピン・小型のパッケージ装置と
して、パッケージ本体の上面または下面に、球状のボー
ル電極を格子状に配置してなるBGAパッケージが実用
化されている。このBGAパッケージは、PGA(Pin
Grid Array)パッケージに比べてパッケージング・コス
トや実装性に優れ、適用範囲の拡大が期待されている。
して、パッケージ本体の上面または下面に、球状のボー
ル電極を格子状に配置してなるBGAパッケージが実用
化されている。このBGAパッケージは、PGA(Pin
Grid Array)パッケージに比べてパッケージング・コス
トや実装性に優れ、適用範囲の拡大が期待されている。
【0003】図7は、従来のBGAパッケージの構成を
概略的に示すものである。なお、同図(a)はBGAパ
ッケージの内部を透視して示す上面図、同図(b)はB
GAパッケージの下面図、同図(c)は上記図(b)の
A−A線に沿う略断面図である。
概略的に示すものである。なお、同図(a)はBGAパ
ッケージの内部を透視して示す上面図、同図(b)はB
GAパッケージの下面図、同図(c)は上記図(b)の
A−A線に沿う略断面図である。
【0004】すなわち、BGAパッケージは、たとえば
セラミックやプラスチックを積層してなるパッケージ本
体(ランド・グリッド・アレイ)1の下面に、円盤状の
複数のボール実装用パッド2が格子状に配置され、各パ
ッド2のそれぞれに同一サイズの半田ボール3が当接さ
れて半田ペースト4により固着されてなるとともに、上
記パッケージ本体1上に半導体チップ5が搭載されて、
その上面がリッジ部6によって覆われた構成となってい
る。
セラミックやプラスチックを積層してなるパッケージ本
体(ランド・グリッド・アレイ)1の下面に、円盤状の
複数のボール実装用パッド2が格子状に配置され、各パ
ッド2のそれぞれに同一サイズの半田ボール3が当接さ
れて半田ペースト4により固着されてなるとともに、上
記パッケージ本体1上に半導体チップ5が搭載されて、
その上面がリッジ部6によって覆われた構成となってい
る。
【0005】そして、上記半導体チップ5の、その上面
に配された各チップ電極(図示していない)は、チップ
搭載部を囲むようにして配された配線パターン7のそれ
ぞれとワイヤボンディング接続されることにより、スル
ーホールなどの内部配線8を介して上記半田ボール3の
それぞれと電気的に接続されている。
に配された各チップ電極(図示していない)は、チップ
搭載部を囲むようにして配された配線パターン7のそれ
ぞれとワイヤボンディング接続されることにより、スル
ーホールなどの内部配線8を介して上記半田ボール3の
それぞれと電気的に接続されている。
【0006】このような構成のBGAパッケージとして
は、現在では、たとえば図8に示すように、20mm角
程度のパッケージ本体1に対して、0.5mm径のボー
ル実装用パッド2を0.5mm間隔で配置し、それぞれ
のパッド2に0.7mm径の半田ボール3を1.0mm
のピッチ間隔で固着して、324個の多ピン・小型パッ
ケージが実現されている。
は、現在では、たとえば図8に示すように、20mm角
程度のパッケージ本体1に対して、0.5mm径のボー
ル実装用パッド2を0.5mm間隔で配置し、それぞれ
のパッド2に0.7mm径の半田ボール3を1.0mm
のピッチ間隔で固着して、324個の多ピン・小型パッ
ケージが実現されている。
【0007】しかしながら、上記した従来のBGAパッ
ケージにおいては、隣接するパッド2の間隔を考慮する
と、半田付け性と半田付け強度とを両立させるのが難し
いという問題があった。
ケージにおいては、隣接するパッド2の間隔を考慮する
と、半田付け性と半田付け強度とを両立させるのが難し
いという問題があった。
【0008】すなわち、BGAパッケージでは、半田ボ
ール3が球形のため、保持力が弱いこともあり、ペース
ト4の溶解時(半田リフロー時)にボール3が動き、そ
れによってパッド2の相互が半田ペースト4によって電
気的に接続される半田ブリッジ9を発生しやすいという
欠点があった。これは、隣接するパッド2の間隔が0.
5mmの場合であっても完全に防ぐことは難しく、それ
を修正およびリペアすることは多ピンであるために困難
である。
ール3が球形のため、保持力が弱いこともあり、ペース
ト4の溶解時(半田リフロー時)にボール3が動き、そ
れによってパッド2の相互が半田ペースト4によって電
気的に接続される半田ブリッジ9を発生しやすいという
欠点があった。これは、隣接するパッド2の間隔が0.
5mmの場合であっても完全に防ぐことは難しく、それ
を修正およびリペアすることは多ピンであるために困難
である。
【0009】この対策として、保持力の向上のために、
パッド2の面積を大きくし、半田ペースト4の量を増加
することが考えられる。しかし、パッド2の面積を大き
くすることは各パッド2間の間隔を狭くするので、保持
力が強まる一方で、ペースト4の量の増加にともなって
半田ブリッジ9が発生する可能性も高くなる。
パッド2の面積を大きくし、半田ペースト4の量を増加
することが考えられる。しかし、パッド2の面積を大き
くすることは各パッド2間の間隔を狭くするので、保持
力が強まる一方で、ペースト4の量の増加にともなって
半田ブリッジ9が発生する可能性も高くなる。
【0010】また、半田ブリッジ9の発生を防止するた
めの別の対策としては、パッド2のサイズ(面積)を小
さくして相互の間隔をさらに広げることが考えられる。
しかし、パッド2のサイズを単に小さくすることは、半
田ボール3を保持するための半田ペースト4の量の減少
につながるため、保持力の低下によって結合の信頼性を
悪化させる結果となる。
めの別の対策としては、パッド2のサイズ(面積)を小
さくして相互の間隔をさらに広げることが考えられる。
しかし、パッド2のサイズを単に小さくすることは、半
田ボール3を保持するための半田ペースト4の量の減少
につながるため、保持力の低下によって結合の信頼性を
悪化させる結果となる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
においては、パッドの間隔が狭くて半田ブリッジが発生
しやすいという問題があり、それを防止するために、パ
ッドのサイズを小さくすると保持力の低下によって結合
の信頼性が悪化するという欠点があった。
においては、パッドの間隔が狭くて半田ブリッジが発生
しやすいという問題があり、それを防止するために、パ
ッドのサイズを小さくすると保持力の低下によって結合
の信頼性が悪化するという欠点があった。
【0012】そこで、この発明は、結合の信頼性の悪化
を招くことなく、半田ブリッジなどの不良の発生を低減
することが可能なパッケージ装置を提供することを目的
としている。
を招くことなく、半田ブリッジなどの不良の発生を低減
することが可能なパッケージ装置を提供することを目的
としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明のパッケージ装置にあっては、半導体チ
ップを搭載するランド・グリッド・アレイに、印刷配線
基板上への実装のための半田ボールを固着してなるボー
ル・グリッド・アレイ型のものにおいて、前記ランド・
グリッド・アレイに、前記半田ボールをそれぞれ固着す
る、少なくとも2種類の異なるサイズのパッドを格子状
に配置してなる構成とされている。
めに、この発明のパッケージ装置にあっては、半導体チ
ップを搭載するランド・グリッド・アレイに、印刷配線
基板上への実装のための半田ボールを固着してなるボー
ル・グリッド・アレイ型のものにおいて、前記ランド・
グリッド・アレイに、前記半田ボールをそれぞれ固着す
る、少なくとも2種類の異なるサイズのパッドを格子状
に配置してなる構成とされている。
【0014】
【作用】この発明は、上記した手段により、保持に必要
な半田の絶対量を確保しつつ、パッドの間隔を有効に拡
張できるようになるため、半田ボールの半田付け性と半
田付け強度とを両立することが可能となるものである。
な半田の絶対量を確保しつつ、パッドの間隔を有効に拡
張できるようになるため、半田ボールの半田付け性と半
田付け強度とを両立することが可能となるものである。
【0015】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照して説明する。図1は、本発明にかかるBGA(Ball
Grid Array )パッケージの構成を概略的に示すもので
ある。なお、同図(a)はBGAパッケージの内部を透
視して示す上面図、同図(b)はBGAパッケージの下
面図、同図(c)は上記図(b)のA−A線に沿う略断
面図である。
照して説明する。図1は、本発明にかかるBGA(Ball
Grid Array )パッケージの構成を概略的に示すもので
ある。なお、同図(a)はBGAパッケージの内部を透
視して示す上面図、同図(b)はBGAパッケージの下
面図、同図(c)は上記図(b)のA−A線に沿う略断
面図である。
【0016】すなわち、このBGAパッケージは、たと
えばセラミックやプラスチックを積層してなるパッケー
ジ本体(ランド・グリッド・アレイ)11の下面に、
大,小の2種類の面積の異なる複数のボール実装用パッ
ド12a,12bが交互に格子状に配置され、各パッド
12a,12bのそれぞれに同一サイズの半田ボール1
3が当接されて半田ペースト14により固着されてなる
とともに、上記パッケージ本体11上に半導体チップ1
5が搭載されて、その上面がリッジ部16によって覆わ
れた構成となっている。
えばセラミックやプラスチックを積層してなるパッケー
ジ本体(ランド・グリッド・アレイ)11の下面に、
大,小の2種類の面積の異なる複数のボール実装用パッ
ド12a,12bが交互に格子状に配置され、各パッド
12a,12bのそれぞれに同一サイズの半田ボール1
3が当接されて半田ペースト14により固着されてなる
とともに、上記パッケージ本体11上に半導体チップ1
5が搭載されて、その上面がリッジ部16によって覆わ
れた構成となっている。
【0017】また、上記パッケージ本体11には、半導
体チップ15が搭載されるチップ搭載部を囲むようにし
て複数の配線パターン17が配置されている。そして、
配線パターン17のそれぞれは、パッケージ本体11の
内部に配されたスルーホールや積層配線などの内部配線
18を個々に介して、上記各ボール実装用パッド12
a,12bに接続されている。
体チップ15が搭載されるチップ搭載部を囲むようにし
て複数の配線パターン17が配置されている。そして、
配線パターン17のそれぞれは、パッケージ本体11の
内部に配されたスルーホールや積層配線などの内部配線
18を個々に介して、上記各ボール実装用パッド12
a,12bに接続されている。
【0018】したがって、上記半導体チップ15の、そ
の上面に配された各チップ電極(図示していない)は、
上記パッケージ本体11上の配線パターン17のそれぞ
れとワイヤボンディング接続されることにより、上記各
半田ボール13と電気的に接続される。
の上面に配された各チップ電極(図示していない)は、
上記パッケージ本体11上の配線パターン17のそれぞ
れとワイヤボンディング接続されることにより、上記各
半田ボール13と電気的に接続される。
【0019】なお、本実施例の場合、たとえば20mm
角程度のパッケージ本体11に対して、324個の半田
ボール13が固着された多ピン・小型パッケージとなっ
ている。
角程度のパッケージ本体11に対して、324個の半田
ボール13が固着された多ピン・小型パッケージとなっ
ている。
【0020】以下、この多ピン・小型パッケージを例
に、上記ボール実装用パッド12a,12bおよび半田
ボール13の配置パターンについて具体的に説明する。
図2は、上記パッケージ本体11におけるボール実装用
パッド12a,12bの配置パターンを示すものであ
る。
に、上記ボール実装用パッド12a,12bおよび半田
ボール13の配置パターンについて具体的に説明する。
図2は、上記パッケージ本体11におけるボール実装用
パッド12a,12bの配置パターンを示すものであ
る。
【0021】すなわち、上記パッケージ本体11の下面
には、たとえば0.5mm径の円盤状の実装用パッド1
2aと0.3mm径の円盤状の実装用パッド12bとが
交互に、かつ、格子状に配置されている。上記実装用パ
ッド12a,12bは、それぞれの中心までの距離が
1.0mmのピッチ間隔をもって配置されて、縦および
横方向に対する相互の距離(間隔)が0.6mmにまで
広げられている。
には、たとえば0.5mm径の円盤状の実装用パッド1
2aと0.3mm径の円盤状の実装用パッド12bとが
交互に、かつ、格子状に配置されている。上記実装用パ
ッド12a,12bは、それぞれの中心までの距離が
1.0mmのピッチ間隔をもって配置されて、縦および
横方向に対する相互の距離(間隔)が0.6mmにまで
広げられている。
【0022】このように、大面積の実装用パッド12a
の相互に小面積の実装用パッド12bを配置すること
で、各パッド12a,12b間の間隔を0.6mmまで
拡張することができ、すべてのパッド面積を同一のもの
とした従来装置に比べ、半田ブリッジの発生を抑制でき
るようになる。
の相互に小面積の実装用パッド12bを配置すること
で、各パッド12a,12b間の間隔を0.6mmまで
拡張することができ、すべてのパッド面積を同一のもの
とした従来装置に比べ、半田ブリッジの発生を抑制でき
るようになる。
【0023】図3,図4は、上記BGAパッケージにお
ける半田ボール13の配置パターンを示すものである。
なお、図3はBGAパッケージの要部を示す斜視図であ
り、図4は同じく要部の側面図である。
ける半田ボール13の配置パターンを示すものである。
なお、図3はBGAパッケージの要部を示す斜視図であ
り、図4は同じく要部の側面図である。
【0024】すなわち、格子状に配置された各パッド1
2a,12b上に、同一サイズ、たとえば0.7mm径
の球状の半田ボール13が、半田ペースト14によりそ
れぞれ固着されている。
2a,12b上に、同一サイズ、たとえば0.7mm径
の球状の半田ボール13が、半田ペースト14によりそ
れぞれ固着されている。
【0025】この場合、0.5mm径と0.3mm径
と、面積の異なる2種類の実装用パッド12a,12b
を交互に配置することにより、すべてのパッドを一義的
に小さくする場合よりも、保持に必要な半田ペースト1
4の量を十分に確保することが可能となる。
と、面積の異なる2種類の実装用パッド12a,12b
を交互に配置することにより、すべてのパッドを一義的
に小さくする場合よりも、保持に必要な半田ペースト1
4の量を十分に確保することが可能となる。
【0026】特に、パッケージ本体11の要所、たとえ
ば最も大きな外力が加わるパッケージ本体11の各角部
に面積の広いパッド12aをそれぞれ配置するようにす
ることで、実装時における接合の信頼性が大きく損なわ
れることもない。
ば最も大きな外力が加わるパッケージ本体11の各角部
に面積の広いパッド12aをそれぞれ配置するようにす
ることで、実装時における接合の信頼性が大きく損なわ
れることもない。
【0027】上記したように、保持に必要な半田ペース
トの絶対量を確保しつつ、ボール実装用パッドの間隔を
有効に拡張できるようにしている。すなわち、径(面
積)の異なるボール実装用パッドを交互に格子状に配置
するようにしている。これにより、パッド間の間隔を広
げられるようになるとともに、保持に必要な半田ペース
トの量を十分に確保することが可能となる。したがっ
て、半田ボールの半田付け性と半田付け強度とを両立さ
せることができるため、接合の信頼性を損なうことなし
に、ブリッジなどの不良の発生を低減できるようになる
ものである。
トの絶対量を確保しつつ、ボール実装用パッドの間隔を
有効に拡張できるようにしている。すなわち、径(面
積)の異なるボール実装用パッドを交互に格子状に配置
するようにしている。これにより、パッド間の間隔を広
げられるようになるとともに、保持に必要な半田ペース
トの量を十分に確保することが可能となる。したがっ
て、半田ボールの半田付け性と半田付け強度とを両立さ
せることができるため、接合の信頼性を損なうことなし
に、ブリッジなどの不良の発生を低減できるようになる
ものである。
【0028】なお、上記実施例においては、サイズの異
なるボール実装用パッドを交互に配置するようにしてな
るBGAパッケージを例に説明したが、これに限らず、
たとえば図5に示すように、パッケージ本体11の要所
とそれ以外の場所とでボール実装用パッドのサイズを変
えるようにしても良い。
なるボール実装用パッドを交互に配置するようにしてな
るBGAパッケージを例に説明したが、これに限らず、
たとえば図5に示すように、パッケージ本体11の要所
とそれ以外の場所とでボール実装用パッドのサイズを変
えるようにしても良い。
【0029】この場合、たとえば図6に示すように、特
に外力のかかるパッケージ本体11の各角部に相当する
位置にのみ大面積のボール実装用パッド1aを、それ以
外の位置に小面積のボール実装用パッド12bを配置す
ることで、上記した実施例とほぼ同様の効果が期待でき
る。
に外力のかかるパッケージ本体11の各角部に相当する
位置にのみ大面積のボール実装用パッド1aを、それ以
外の位置に小面積のボール実装用パッド12bを配置す
ることで、上記した実施例とほぼ同様の効果が期待でき
る。
【0030】また、パッケージ本体のサイズや半田ボー
ルの個数も上記実施例に限定されるものではない。その
他、この発明の要旨を変えない範囲において、種々変形
実施可能なことは勿論である。
ルの個数も上記実施例に限定されるものではない。その
他、この発明の要旨を変えない範囲において、種々変形
実施可能なことは勿論である。
【0031】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、結合の信頼性の悪化を招くことなく、半田ブリッジ
などの不良の発生を低減することが可能なパッケージ装
置を提供できる。
ば、結合の信頼性の悪化を招くことなく、半田ブリッジ
などの不良の発生を低減することが可能なパッケージ装
置を提供できる。
【図1】この発明の一実施例にかかるBGAパッケージ
を概略的に示す構成図。
を概略的に示す構成図。
【図2】同じく、BGAパッケージにおけるボール実装
用パッドの配置パターンを説明するために示す要部の平
面図。
用パッドの配置パターンを説明するために示す要部の平
面図。
【図3】同じく、BGAパッケージにおける半田ボール
の配置パターンを説明するために示す要部の斜視図。
の配置パターンを説明するために示す要部の斜視図。
【図4】同じく、BGAパッケージにおける半田ボール
の配置パターンを説明するために示す要部の側面図。
の配置パターンを説明するために示す要部の側面図。
【図5】この発明の他の実施例にかかるBGAパッケー
ジの概略構成図。
ジの概略構成図。
【図6】同じく、BGAパッケージにおけるボール実装
用パッドの配置パターンを説明するために示す要部の平
面図。
用パッドの配置パターンを説明するために示す要部の平
面図。
【図7】従来技術とその問題点を説明するために示すB
GAパッケージの概略構成図。
GAパッケージの概略構成図。
【図8】同じく、従来のBGAパッケージにおける半田
ボールの配置パターンを説明するために示す要部の概略
断面図。
ボールの配置パターンを説明するために示す要部の概略
断面図。
11…パッケージ本体(ランド・グリッド・アレイ)、
12a,12b…ボール実装用パッド、13…半田ボー
ル、14…半田ペースト、15…半導体チップ、16…
リッジ部、17…配線パターン、18…内部配線。
12a,12b…ボール実装用パッド、13…半田ボー
ル、14…半田ペースト、15…半導体チップ、16…
リッジ部、17…配線パターン、18…内部配線。
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体チップを搭載するランド・グリッ
ド・アレイに、印刷配線基板上への実装のための半田ボ
ールを固着してなるボール・グリッド・アレイ型のパッ
ケージ装置において、 前記ランド・グリッド・アレイに、前記半田ボールをそ
れぞれ固着する、少なくとも2種類の異なるサイズのパ
ッドを格子状に配置してなることを特徴とするパッケー
ジ装置。 - 【請求項2】 前記パッドは、面積の広いパッドと狭い
パッドとが交互に配置されてなることを特徴とする請求
項1に記載のパッケージ装置。 - 【請求項3】 前記パッドは、前記ランド・グリッド・
アレイの要所にのみ面積の広いパッドが配置されてなる
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14738195A JPH098166A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | パッケージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14738195A JPH098166A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | パッケージ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH098166A true JPH098166A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15428967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14738195A Pending JPH098166A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | パッケージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH098166A (ja) |
-
1995
- 1995-06-14 JP JP14738195A patent/JPH098166A/ja active Pending
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