JPH0990412A - 液晶表示装置の製造方法及びその方法によって製造された液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法及びその方法によって製造された液晶表示装置Info
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- JPH0990412A JPH0990412A JP24262395A JP24262395A JPH0990412A JP H0990412 A JPH0990412 A JP H0990412A JP 24262395 A JP24262395 A JP 24262395A JP 24262395 A JP24262395 A JP 24262395A JP H0990412 A JPH0990412 A JP H0990412A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ブラックストライプとしての黒色絶縁体を用
いた液晶表示装置において、黒色絶縁体から発生するイ
オン性不純物や配向膜などの溶剤による溶解イオン等が
液晶中へ染み出ることによる電圧保持特定の悪化、コン
トラストの低下等を防ぎ、高品質の表示を得る。 【解決手段】 黒色絶縁体の形成後に、有機溶剤を用い
た洗浄を行う。配向膜の硬化後、さらにラビング処理後
に洗浄してもよい。
いた液晶表示装置において、黒色絶縁体から発生するイ
オン性不純物や配向膜などの溶剤による溶解イオン等が
液晶中へ染み出ることによる電圧保持特定の悪化、コン
トラストの低下等を防ぎ、高品質の表示を得る。 【解決手段】 黒色絶縁体の形成後に、有機溶剤を用い
た洗浄を行う。配向膜の硬化後、さらにラビング処理後
に洗浄してもよい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は非線形素子を有する
液晶表示装置の製造方法及びその方法を用いて製作され
た液晶表示装置に関するものである。
液晶表示装置の製造方法及びその方法を用いて製作され
た液晶表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】非線形素子としてアモルファスシリコン
の薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと略記する）を用い
た液晶表示装置の従来例を以下に説明する。
の薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと略記する）を用い
た液晶表示装置の従来例を以下に説明する。
【０００３】図２はそのような液晶表示装置の液晶パネ
ル部の平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ’断面図であ
る。先ず、第１のガラス基板（アレイ基板）１上にクロ
ムからなるゲート配線２とＩＴＯからなる透明画素電極
３とを形成し、その後、窒化ケイ素からなるゲート絶縁
膜４を一面に堆積させる。さらに、非晶質シリコンから
なる半導体層５を形成し、ゲート絶縁膜に穴６を開け、
半導体層と一部重なるようにソース配線を形成し、半導
体層の一部と穴６に重なるようにドレイン電極７を形成
する。そして、黒色の絶縁材料で各配線を隠すブラック
ストライプ８をフォトリソグラフィによって形成する。
この様な手法により、第２の基板（対向基板）上に黒色
誘電体を設ける場合に比べて、配線に対するずれを小さ
くすることができ、効果的に画素電極間の隙間を遮光す
ることができる。
ル部の平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ’断面図であ
る。先ず、第１のガラス基板（アレイ基板）１上にクロ
ムからなるゲート配線２とＩＴＯからなる透明画素電極
３とを形成し、その後、窒化ケイ素からなるゲート絶縁
膜４を一面に堆積させる。さらに、非晶質シリコンから
なる半導体層５を形成し、ゲート絶縁膜に穴６を開け、
半導体層と一部重なるようにソース配線を形成し、半導
体層の一部と穴６に重なるようにドレイン電極７を形成
する。そして、黒色の絶縁材料で各配線を隠すブラック
ストライプ８をフォトリソグラフィによって形成する。
この様な手法により、第２の基板（対向基板）上に黒色
誘電体を設ける場合に比べて、配線に対するずれを小さ
くすることができ、効果的に画素電極間の隙間を遮光す
ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の黒色絶縁体を用いた液晶表示装置にあって
は、黒色絶縁体から発生するイオン性不純物や配向膜な
どの溶剤による溶解イオン等が液晶中へ染み出ることに
より、電圧保持特性が悪化してコントラストが低下し、
表示ムラや焼付け等が発生するという問題があった。
ような従来の黒色絶縁体を用いた液晶表示装置にあって
は、黒色絶縁体から発生するイオン性不純物や配向膜な
どの溶剤による溶解イオン等が液晶中へ染み出ることに
より、電圧保持特性が悪化してコントラストが低下し、
表示ムラや焼付け等が発生するという問題があった。
【０００５】そこで、本発明は、上記のような従来の液
晶表示装置における問題を解決し、高い電圧保持率、ひ
いては高コントラスト、高品質の表示が得られる液晶表
示装置を提供することを目的とする。
晶表示装置における問題を解決し、高い電圧保持率、ひ
いては高コントラスト、高品質の表示が得られる液晶表
示装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明による液晶表示装置の製造方法は黒色絶縁体の
形成後に洗浄工程を含んでいることを特徴とする。洗浄
は、有機溶剤を用いて行うことが好ましい。
の本発明による液晶表示装置の製造方法は黒色絶縁体の
形成後に洗浄工程を含んでいることを特徴とする。洗浄
は、有機溶剤を用いて行うことが好ましい。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明によれば、黒色絶縁体形成
後に溶剤で洗浄することによって、黒色絶縁体中のイオ
ンが溶剤により抽出され、又、配向膜溶剤により溶解し
イオンを発生するような成分は予め取り除くことができ
る。この様な溶剤による洗浄は配向膜形成後においても
有効である。溶剤による洗浄の前に配向膜を形成した場
合、黒色絶縁体中のイオン成分は予め配向膜中に拡散
し、又、配向膜溶剤により黒色絶縁体の一部が溶解して
配向膜中に拡散している状態にあると考えられる。この
状態で溶剤による洗浄を行うことにより、配向膜中に拡
散したイオン性不純物を抽出することができる。この結
果、液晶注入を行っても液晶中への不純物イオンの拡散
は無くなるため電圧保持率の低下はなく、最終的に表示
ムラ、焼き付きなどの無い良好な表示品位の液晶表示装
置を得るすることができる。
後に溶剤で洗浄することによって、黒色絶縁体中のイオ
ンが溶剤により抽出され、又、配向膜溶剤により溶解し
イオンを発生するような成分は予め取り除くことができ
る。この様な溶剤による洗浄は配向膜形成後においても
有効である。溶剤による洗浄の前に配向膜を形成した場
合、黒色絶縁体中のイオン成分は予め配向膜中に拡散
し、又、配向膜溶剤により黒色絶縁体の一部が溶解して
配向膜中に拡散している状態にあると考えられる。この
状態で溶剤による洗浄を行うことにより、配向膜中に拡
散したイオン性不純物を抽出することができる。この結
果、液晶注入を行っても液晶中への不純物イオンの拡散
は無くなるため電圧保持率の低下はなく、最終的に表示
ムラ、焼き付きなどの無い良好な表示品位の液晶表示装
置を得るすることができる。
【０００８】尚、この洗浄工程は黒色レジストを用いた
場合の現像後の水洗工程、又は通常のアレー形成後パネ
ル作成前の洗浄工程とは別に行われるのものである。
又、イソプロピルアルコールのような洗浄能力の高い有
機溶剤を用いて洗浄すれば効果的である。
場合の現像後の水洗工程、又は通常のアレー形成後パネ
ル作成前の洗浄工程とは別に行われるのものである。
又、イソプロピルアルコールのような洗浄能力の高い有
機溶剤を用いて洗浄すれば効果的である。
【０００９】具体的な液晶の製造工程における本発明の
３通りの実施形態を図１（ａ）〜（ｃ）に示す。これら
の図に示す製造工程は、第１の基板上に黒色絶縁体（黒
色誘電体ともいう）を形成した後、パネルを貼り合わせ
るまでの工程であり、図１（ａ）は黒色絶縁体形成後に
洗浄を行う実施形態。図１（ｂ）は配向膜硬化後に洗浄
を行う実施形態、そして図２（ｃ）はラビング処理後に
洗浄を行う実施形態をそれぞれ示している。なお、比較
のために、洗浄を行わない従来の工程を図４に示す。
３通りの実施形態を図１（ａ）〜（ｃ）に示す。これら
の図に示す製造工程は、第１の基板上に黒色絶縁体（黒
色誘電体ともいう）を形成した後、パネルを貼り合わせ
るまでの工程であり、図１（ａ）は黒色絶縁体形成後に
洗浄を行う実施形態。図１（ｂ）は配向膜硬化後に洗浄
を行う実施形態、そして図２（ｃ）はラビング処理後に
洗浄を行う実施形態をそれぞれ示している。なお、比較
のために、洗浄を行わない従来の工程を図４に示す。
【００１０】
【実施例】以下、上記実施形態に対応する実施例を説明
する。まず、アレー形成後にネガ型感光性レジストをス
ピンナーで塗布し、露光、現像後に水洗を行って黒色絶
縁体を形成した。それから、イソプロピルアルコールに
５分間浸積することによって図１（ａ）に示すように洗
浄を行った。そして、パネルの水洗を１０分行い、乾燥
した後、配向膜印刷を行い、硬化及びラビング処理を行
った。その後、通常の方法によりパネル製作を行った。
配向膜にはポリイミドを用いた。
する。まず、アレー形成後にネガ型感光性レジストをス
ピンナーで塗布し、露光、現像後に水洗を行って黒色絶
縁体を形成した。それから、イソプロピルアルコールに
５分間浸積することによって図１（ａ）に示すように洗
浄を行った。そして、パネルの水洗を１０分行い、乾燥
した後、配向膜印刷を行い、硬化及びラビング処理を行
った。その後、通常の方法によりパネル製作を行った。
配向膜にはポリイミドを用いた。
【００１１】電圧保持率のテストのために、アレーを形
成していない電極付きパネルを上記の方法で製作した。
所定の電圧波形を印加して保持率の測定を行ったとこ
ろ、６０℃において９７％という良好な保持率が得られ
た。ちなみに溶剤による洗浄工程を含まない従来の工程
で作成した液晶パネルの６０℃での保持率は８０％であ
った。
成していない電極付きパネルを上記の方法で製作した。
所定の電圧波形を印加して保持率の測定を行ったとこ
ろ、６０℃において９７％という良好な保持率が得られ
た。ちなみに溶剤による洗浄工程を含まない従来の工程
で作成した液晶パネルの６０℃での保持率は８０％であ
った。
【００１２】又、図１（ｂ）に示すように、配向膜硬化
後の非線形素子を有するパネルで洗浄を行ったところ、
コントラストは１５０以上であり、ムラや焼き付きの無
い良好な表示特性が得られた。一方、洗浄工程を含まな
い従来の工程で製作された非線形素子付きパネルでは、
コントラストは５０と低く、ムラや焼付けが多く発生し
た。
後の非線形素子を有するパネルで洗浄を行ったところ、
コントラストは１５０以上であり、ムラや焼き付きの無
い良好な表示特性が得られた。一方、洗浄工程を含まな
い従来の工程で製作された非線形素子付きパネルでは、
コントラストは５０と低く、ムラや焼付けが多く発生し
た。
【００１３】イソプロピルアルコールに代えて、シュン
マ、γブチルラクトン、Ｎメチルピロリドン等を用いて
洗浄を行ったところ、同様の効果が得られた。このよう
な効果はこれらの溶媒を用いた場合に限定されるわけで
はない。アレー構成に関しても、図２に示したアレー構
成に限定されるものではない。
マ、γブチルラクトン、Ｎメチルピロリドン等を用いて
洗浄を行ったところ、同様の効果が得られた。このよう
な効果はこれらの溶媒を用いた場合に限定されるわけで
はない。アレー構成に関しても、図２に示したアレー構
成に限定されるものではない。
【００１４】又、図１（ｂ）に示したように、配向膜硬
化後で、さらにラビング処理後に上記のような洗浄を行
ったところ、上記と同様の効果が得られた。この場合、
電圧保持率は９５％であり、図１（ｂ）、（ｃ）の工程
の場合に比べると僅かに低い値を示した。
化後で、さらにラビング処理後に上記のような洗浄を行
ったところ、上記と同様の効果が得られた。この場合、
電圧保持率は９５％であり、図１（ｂ）、（ｃ）の工程
の場合に比べると僅かに低い値を示した。
【００１５】尚、洗浄時に超音波等を印加すると洗浄効
果が上がった。また、温度を上げて洗浄を行なえば洗浄
効果が上がることも確認された。つまり、電圧保持率が
一層高くなり、表示特性もさらに向上した。
果が上がった。また、温度を上げて洗浄を行なえば洗浄
効果が上がることも確認された。つまり、電圧保持率が
一層高くなり、表示特性もさらに向上した。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の液晶表示
装置の製造方法によって製作された液晶表示装置は高い
電圧保持率を示し、その結果、コントラストが高く表示
ムラ及び焼付けが無い高品質の表示を得ることができ
る。
装置の製造方法によって製作された液晶表示装置は高い
電圧保持率を示し、その結果、コントラストが高く表示
ムラ及び焼付けが無い高品質の表示を得ることができ
る。
【図１】本発明の実施形態に係る液晶表示装置の製造工
程図
程図
【図２】液晶表示装置の平面図
【図３】図２の液晶表示装置のＡ−Ａ´断面図
【図４】従来の液晶表示装置の製造工程図
１ ガラス基板 ２ ゲート配線 ３ 画素電極 ４ ゲート絶縁膜 ５ ソース電極 ６ ゲート絶縁膜中の穴 ７ ドレイン電極 ８ 黒色絶縁体
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の行電極及び複数の列電極からなる
マトリクス配線の各交点に非線形素子を介して画素電極
を接続し、行電極及び列電極の一方又は両方を覆うよう
に配線に沿って黒色絶縁部材を形成した第１の基板と、
透明電極を有する第２の基板との間に液晶を充填してな
る液晶表示装置の製造方法であって、前記第１の基板に
黒色絶縁体を形成した後に所定の溶剤で洗浄することを
特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項２】 前記溶剤が有機溶剤である請求項１記載
の液晶表示装置の製造方法 - 【請求項３】 複数の行電極及び複数の列電極からなる
マトリクス配線の各交点に非線形素子を介して画素電極
が接続され、行電極及び列電極の一方又は両方を覆うよ
うに配線に沿って黒色絶縁部材が形成されている第１の
基板と、透明電極を有する第２の基板と、前記第１及び
第２の基板の間に狭持された液晶とを備えている液晶表
示装置であって、前記第１の基板上に黒色絶縁体が形成
された後に所定の溶剤で洗浄されていることを特徴とす
る液晶表示装置。 - 【請求項４】 前記溶剤が有機溶剤である請求項３記載
の液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24262395A JPH0990412A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 液晶表示装置の製造方法及びその方法によって製造された液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24262395A JPH0990412A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 液晶表示装置の製造方法及びその方法によって製造された液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0990412A true JPH0990412A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17091816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24262395A Pending JPH0990412A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 液晶表示装置の製造方法及びその方法によって製造された液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0990412A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1154305A1 (en) * | 2000-04-26 | 2001-11-14 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Color filter and liquid crystal display device |
| US6600532B2 (en) | 2000-01-25 | 2003-07-29 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Color filter and liquid crystal display subject to impurity extraction treatment for voltage holding ratio of 80% or more |
-
1995
- 1995-09-21 JP JP24262395A patent/JPH0990412A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6600532B2 (en) | 2000-01-25 | 2003-07-29 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Color filter and liquid crystal display subject to impurity extraction treatment for voltage holding ratio of 80% or more |
| EP1154305A1 (en) * | 2000-04-26 | 2001-11-14 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Color filter and liquid crystal display device |
| US6624861B2 (en) | 2000-04-26 | 2003-09-23 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Color filter subject to impurity extraction treatment and liquid crystal display device having high voltage holding ratio |
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