JPH10107129A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 交換などのメンテナンスを容易に行え、かつ
薬液などに腐食されない係止ピンを有する基板処理装置
を提供すること。 【解決手段】 回転体上部で基板２８を保持して回転処
理を行う基板処理装置において、回転体に立設され、上
端面に第１の挿入孔２６が軸方向に沿って形成され、こ
れと交差する第２の挿入孔２７が径方向に沿って形成さ
れた支持部２５と、基板２８の下面を支持する支持ピン
３３と、第１の挿入孔２６に挿入されて基板２８の外周
を係止する係止ピン２９と、第２の挿入孔２７に挿入さ
れ係止ピン２９と係合して係止ピン２９の抜け出しを防
止する固定ピン３０と、を具備したことを特徴としてい
る。上記構成では、上記第１の挿入孔に係止ピンが着脱
自在に挿入されるので、係止ピンが消耗して交換する場
合に、上記保持部材から上記固定ピンを抜くだけで容易
に係止ピンを抜くことができ、メンテナンスが容易に行
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板を回転処理する
スピン処理装置の基板を保持する保持ピンの取り付け構
造に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、半導体製造装置や液晶製造装
置においては、基板（半導体ウエハや液晶用ガラス基板
等）に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフ
ォトプロセス等の工程がある。これらのプロセスでは、
上記基板を高速回転させて、洗浄、乾燥などの処理を行
うスピン処理装置がある。

【０００３】上記基板にスピン処理を行うためのスピン
処理装置は回転体を備えており、この回転体に円柱状
の、例えば合成樹脂から形成されている保持部材が立設
されている。この保持部材の上端には上記基板の周辺部
下面を支持する支持ピンと、上記基板の外周面に係合す
る係止ピンが設けられている。よって上記基板は下面周
辺部を上記支持ピンに支持されて基板の外周面を係止ピ
ンに係合されることにより保持される。

【０００４】この係止ピンには、上記保持部材と一体的
に設けられているものがある。すなわちこの場合、上記
係止ピンは上記保持部材の上端に切削加工を行って形成
されたものとなっている。

【０００５】また、上記係止ピンを上記保持部材と別体
的に設けた場合には、この保持部材の上端から下方に向
かい挿入孔が形成され、この挿入孔に上記係止ピンが挿
入される。この場合、上記係止ピンは例えばねじなどに
よって係止固定されるものとなっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に基板を繰り返しこの保持部材上に載置させ、そして高
速回転で処理を行った場合、この係止ピンが徐々に削ら
れてしまう。これは上記液晶用ガラス基板を上記係止ピ
ン上に載置させたり、この係止ピン上から移送させる場
合、この液晶用ガラス基板の外端部によって、例えば合
成樹脂より形成されている上記係止ピンが削られてしま
い、そのためこの液晶用ガラス基板を保持する場合にが
たが生じるなどの不具合が発生する。

【０００７】そのためこの係止ピンのメンテナンスが必
要となるが、上記係止ピンが上記保持部材と一体的に形
成されている場合、上記保持部材ごと交換しなければな
らないため、このメンテナンスにコストが掛かるものと
なっており、また上記保持部材ごと交換しなければなら
ないため、この交換作業も手間が掛かるものとなってい
る。

【０００８】また、上記係止ピンが上記保持部材と別体
的に設けられているタイプの場合、ねじでこの係止ピン
と保持部材とを固定することとなるが、上記基板に対し
て薬液などの処理液を上方から噴出させて処理を行う場
合、この固定ピンの固定に金属製のねじを使用すると、
このねじが腐食されてしまう。そのため、ねじを保持部
材から容易に外すことができなかったり、固定状態が損
なわれるなどのことがある。

【０００９】本発明は上記の事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、交換などのメンテナン
スを容易に行え、かつ薬液などに腐食されない係止ピン
を有する基板処理装置を提供しようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、回転盤を有し、この回転盤
上部で基板を保持して回転処理を行う基板処理装置にお
いて、上記回転盤に立設され、上端面に開放した第１の
挿入孔が軸方向に沿って形成されているとともに、上記
挿入孔と交差する第２の挿入孔が径方向に沿って形成さ
れた保持部材と、上記保持部材の上端部に設けられて上
記基板の下面を支持する支持ピンと、上記第１の挿入孔
に着脱自在に挿入されて上記基板の外周を係止する係止
ピンと、上記第２の挿入孔に着脱自在に挿入され、上記
係止ピンの側方部と係合してこの係止ピンの抜け出しを
防止する固定ピンとを具備したことを特徴としている。

【００１１】請求項２記載の発明は、上記係止ピンの外
周面には、上記固定ピンが係合する溝状の係止部が形成
されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装
置である。

【００１２】請求項３記載の発明は、上記係止ピンには
保持部材の上端面に係合する鍔部が設けられていること
を特徴とする請求項１または請求項２記載の基板処理装
置である。

【００１３】請求項４記載の発明は、上記係止ピンおよ
び上記固定ピンのうち少なくとも係止ピンは合成樹脂よ
り形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求
項３記載の基板処理装置である。

【００１４】請求項１の発明によると、上記保持部材に
は第１の挿入孔が形成され、この第１の挿入孔に上記基
板の外周を係止する係止ピンが着脱自在に挿入されるの
で、上記係止ピンが使用によって消耗して交換する場合
に、上記保持部材から上記固定ピンを容易に抜くことが
できる。そのため係止ピンのメンテナンスが容易に行え
る。

【００１５】請求項２の発明によると、上記係止ピンの
外周面には、上記固定ピンが係合する溝状の係止部が形
成されているため、係止ピンの挿入後、上記第２の挿入
孔に固定ピンを挿入するだけで、この固定ピンが上記溝
状の係止部に係合し、よって簡単に上記係止ピンの抜け
出しを防止することが可能となる。

【００１６】請求項３の発明によると、上記係止ピンに
は支柱の上端面に係合する鍔部が設けられているため、
この係止ピンの挿入および抜出の際にこの係止ピンを工
具で容易に把持することが可能となり、よってこの係止
ピンの上記第１の挿入孔に挿入される部分に工具の把持
によって損傷が生じなく、かつ工具での把持により係止
ピンの挿入および抜出が容易となる。

【００１７】請求項４の発明によると、上記係止ピンお
よび上記固定ピンのうち少なくとも係止ピンは合成樹脂
より形成されているため、薬液を使用する場合でも上記
係止ピンの薬液による腐食を防止することが可能となっ
ている。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて、図１ないし図３に基づいて説明する。図１に示す
この発明の基板処理装置は本体ベ−ス１を有する。この
本体ベ−ス１には円筒状の支持体２が上下方向に貫通し
て設けられている。この支持体２には同じく円筒状の回
転軸３が中途部を軸受４によって回転自在に支持されて
設けられている。

【００１９】上記回転軸３の下端部は上記支持体２から
突出し、その下端部には従動プ−リ５が嵌着されてい
る。この従動プ−リ５の近傍にはステップモ−タ６が配
設されている。このステップモ−タ６の回転軸６ａには
駆動プ−リ７が嵌着され、この駆動プ−リ７と上記従動
プ−リ５とにはベルト８が張設されている。したがっ
て、上記ステップモ−タ６が作動すれば、上記回転軸３
が回転駆動されるようになっている。

【００２０】上記本体ベース１の上部側には回転軸３の
上部を収容する処理容器９が設けられている。この処理
容器９は、上面が開放した有底状の下カップ９ａと、こ
の下カップ９ａに対して周壁が傾斜した筒状の上カップ
９ｂとからなっている。この上カップ９ｂは、上下動自
在に設けられ、図示しない上下駆動シリンダのロッド１
０が連結されている。このシリンダが作動することで上
カップ９ｂが上下に駆動される。

【００２１】上記下カップ９ａの底部には、周辺部に複
数の排出管１１の一端部が接続され、中心部には周囲が
フランジ１２によって囲まれた挿通孔１３が形成されて
いる。この挿通孔１３には、上記回転軸３の一端部が挿
通されている。

【００２２】上記回転軸３の上端には、上面に合成樹脂
等からなるテーブル１４が接合された回転盤１５が一体
的に取り付けられている。この回転盤１５の下面側で
は、上記回転軸３の上部外周面に円筒状のロック筒体１
６が回転自在に設けられている。このロック筒体１６の
上端には、図１および図２に示すようにフランジ１７が
設けられ、このフランジ１７の上面には周方向に９０度
間隔で４本の係合ピン１８が突設されている。

【００２３】上記係合ピン１８はレバー１９の一端に開
放して形成された係合溝２０に係合している。このレバ
ー１９の他端には、保持部材２１の支軸２２の上記回転
盤１５よりも下面に突出した下端部に連結固定されてい
る。したがって、上記ロック筒体１６を時計方向に回転
させ、係合ピン１８によりレバー１９を回動させれば、
このレバー１９に連結された上記支軸２２を介して保持
部材２１を回動させることができる。

【００２４】上記回転盤１５の外周部には、周方向に９
０度間隔で４本の上記保持部材２１がブッシュ２３を介
して回転自在に立設されている。上記保持部材２１は図
２に示すように、上端が閉塞されて下端が開口した円筒
部２４を有している。この円筒部２４からは支軸２２が
下端部をこの円筒部２４より突出させて垂設され、この
支軸２２が上記ブッシュ２３を介して回転盤１５に支持
されている。

【００２５】上記円筒部２４の上面には断面が、例えば
流線形状に形成された支持部２５が一体的に設けられて
いる。この支持部２５は、合成樹脂などによって形成さ
れており、また上記支軸２２と軸中心をほぼ一致させて
設けられている。

【００２６】上記支持部２５には、図３（ａ），（ｂ）
に示すように、上端面に開放した第１の挿入孔２６が軸
方向に沿って所定の深さで形成されている。また、上記
支持部２５の上記回転盤１５の回転中心側の側面２５ａ
から径方向に沿って、第２の挿入孔２７が外方側に向か
い貫通して形成されている。

【００２７】この第２の挿入孔２７には、上記回転盤１
５の回転中心側から所定位置まで大径部２７ａを有して
形成されており、また上記第２の挿入孔２７に対してこ
の第１の挿入孔２６の一部分が交差するように形成され
ている。

【００２８】上記第１の挿入孔２６には基板２８の外周
を係止する係止ピン２９が着脱自在に挿入され、上記第
２の挿入孔２７に固定ピン３０が着脱自在に挿入され
る。上記係止ピン２９は、例えば三フッ化塩化エチレン
樹脂のような合成樹脂を材質として形成されており、こ
の高さは後述する支持ピン３３よりも高く形成されてい
る。また上方側には環状に形成された鍔部３１がこの係
止ピン２９の外径よりも大径に形成されている。この鍔
部３１が上記支持部２５の上端面に係止して、上記第１
の挿入孔２６への上記係止ピン２９の挿入深さを規制し
ている。

【００２９】このように上記係止ピン２９を上記第１の
挿入孔２６への挿入が規制される深さまで挿入した場
合、上記係止ピン２９には溝状の係止部３２が上記第１
の挿入孔２６と第２の挿入孔２７の交差する部分に周方
向に沿って環状に形成されている。そのためこの状態で
上記固定ピン３０を上記第２の挿入孔２７に挿入すれ
ば、この係止部３２にこの固定ピン３０が係止して、上
記係止ピン２９の上下方向への摺動が規制され、上記第
１の挿入孔２６から上記係止ピン２９が抜け出さないよ
うになっている。

【００３０】また上記固定ピン３０は、材質を例えばピ
ーク材や三フッ化エチレン樹脂のような合成樹脂として
おり、この端部に径大な頭部３０ａが形成されている。
そのため、上記固定ピン３０は、この頭部３０ａで上記
大径部２７ａに係止され、上記第２の挿入孔２７から挿
入方向へ抜出するのが規制されるようになっている。

【００３１】上記支持部２５の上端面の上記回転盤１５
の回転中心側には、上記第１の挿入孔２６に挿入される
係止ピン２９に近接するように、合成樹脂を材質とする
支持ピン３３が、一体成形またはねじなどにより取り付
けられている。この支持ピン３３は、上面に上記基板２
８を載置し、上記係止ピン２９とで基板２８を保持する
ようになっている。

【００３２】上記回転盤１５とテーブル１４との中心部
分には図１に示すように通孔３４が形成されている。こ
の通孔３４にはノズル体３５が非接触状態で嵌挿されて
いる。このノズル体３５は円錐形状をなしていて、その
上面にはノズル孔３６が一端を開放して形成されてい
る。このノズル体３５の下端面には支持軸３７の上端が
連結されている。この支持軸３７の上部は上記回転軸３
内に軸受３８によって回転自在に支持されたブラケット
３９に保持されている。

【００３３】また、回転軸３の内部の上記ブラケット３
９の下方には、上記軸受３８と他の軸受４０とによって
上下端部が回転自在に支持されたハウジング４１が設け
られている。このハウジング４１には上記支持軸３７が
挿通される第１の貫通孔４２と、上記ノズル孔３６に一
端を接続した供給チュ−ブ４３が挿通された第２の貫通
孔４４とが穿設されている。上記供給チュ−ブ４３の他
端は図示しない洗浄液の供給部に連通している。

【００３４】したがって、ノズル孔３６からは、上記供
給チューブ４３からの洗浄液を保持部材２１に保持され
た基板２８の下面中心部に向けて噴射することができる
ようになっている。

【００３５】また、上記係止ピン２９および上記支持ピ
ン３３に基板２８が保持された場合に、この基板２８に
対して上方から洗浄液を吐出する、図示しないノズルな
どが設けられている。

【００３６】また上記本体ベース１には、上記係止ピン
２９による基板２８の係止および係止の解除を行う解除
機構４５が設けられている。このような構成の基板処理
装置によると、上記係止ピン２９は支持部２５に着脱自
在に取り付けられ、かつ上記第２の挿入孔２７への固定
ピン３０の挿入によってこの係止ピン２９の抜けを規制
している。そのため、この係止ピン２９が使用に伴って
消耗して交換の必要性が生じた場合、上記固定ピン３０
を抜けば係止ピン２９を容易に抜くことができる。よっ
てこの係止ピン２９の交換を容易に行うことが可能とな
る。そのために係止ピン２９が消耗して交換の必要性が
生じても係止ピン２９のみの交換を行えばよく、他の部
分を一体的に交換する必要がないから、このメンテナン
スにコストが掛からない。

【００３７】また上記係止ピン２９の外周面には上記固
定ピン３０が係合する溝状の係止部３２が形成されてい
るため、係止ピン２９の挿入後、上記第２の挿入孔２７
に上記固定ピン３０を挿入するだけで、この固定ピン３
０を上記溝状の係止部３２に係合させることができる。
よって、上記係止ピン２９の抜け出しを簡単に防止する
ことが可能となる。

【００３８】さらに上記固定ピン３０には、上記回転盤
１５の回転に伴って径方向外方に向かう遠心力が生じる
が、上記固定ピン３０に形成された頭部３０ａが上記第
２の挿入孔２７の大径部２７ａに係止される。そのた
め、固定ピン３０が第２の挿入孔２７に着脱自在に挿通
されていても、回転処理時に上記固定ピン３０が抜け出
すことがない。

【００３９】また、上記係止ピン２９にメンテナンスな
どが必要となって、上記固定ピン３０を抜く場合には、
支持部２５の外方側から上記第２の挿入孔２７に挿入さ
れている固定ピン３０を、例えば押出し棒などによって
押し出せば、この固定ピン３０を簡単に抜くことが可能
となる。それによって、上記係止ピン２９も第１の挿入
孔２６から容易に取り外すことができる。

【００４０】さらに、上記係止ピン２９には支持部２５
の上端面に係合する鍔部３１が設けられているため、こ
の係止ピン２９の挿入および取り出しの際にこの係止ピ
ン２９の鍔部３１を工具で把持して容易に抜くことが可
能となる。そのため上記係止ピン２９の側面部を工具に
よって損傷することがない。

【００４１】また、上記係止ピン２９および上記固定ピ
ン３０は合成樹脂を材質として形成されているため、基
板２８を処理する薬液がこれら係止ピン２９および固定
ピン３０に付着してもこの薬液による上記係止ピン２９
および上記固定ピン３０の腐食を防止することが可能と
なる。

【００４２】以上、本発明の一実施の形態について説明
したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となってい
る。以下それについて述べる。上記支持部２５の形状は
これに限られるものではなく、係止ピン２９を挿入可能
であり、かつこの挿入された係止ピン２９と係合して規
制する固定ピン３０を挿入可能であれば、どのようなも
のでも構わない。また上記支持部２５を係止する周囲の
構成も本実施の形態に限られるものではなく、本発明の
要旨を変更しない範囲において種々変形可能となってい
る。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によると、上記保持部材には第１の挿入孔が形成さ
れ、この第１の挿入孔に上記基板の外周を係止する係止
ピンが着脱自在に挿入されるので、上記係止ピンが使用
によって消耗して交換する場合に、上記保持部材から上
記固定ピンを抜出すれば係止ピンを抜出できる。そのた
め係止ピンのメンテナンスが容易に行える。

【００４４】請求項２記載の発明によると、上記係止ピ
ンの外周面には、上記固定ピンが係合する溝状の係止部
が形成されているため、係止ピンの挿入後、上記第２の
挿入孔に固定ピンを挿入するだけで、この固定ピンが上
記溝状の係止部に係合し、よって簡単に上記係止ピンの
抜出を防止することができる。

【００４５】請求項３記載の発明によると、上記係止ピ
ンには支柱の上端面に係合する鍔部が設けられているた
め、この係止ピンの挿入および抜出の際にこの係止ピン
を工具で容易に把持することが可能となり、よってこの
係止ピンの上記第１の挿入孔に挿入される部分に工具の
把持によって損傷が生じなく、かつ工具での把持により
係止ピンの挿入および抜出が容易となる。

【００４６】請求項４記載の発明によると、上記係止ピ
ンおよび上記固定ピンのうち少なくとも係止ピンは合成
樹脂より形成されているため、薬液を使用する場合でも
上記係止ピンの薬液による腐食を防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わる基板処理装置に
設けられた係止ピンの取付状態を示す一側面図。

【図２】同実施の形態に係わる保持部材周辺の構造を示
す斜視図。

【図３】同実施の形態に係わる係止ピンの構成を示す図
で、（ａ）は側面断面図、（ｂ）は正面断面図。

【符号の説明】

１…本体ベース ２…支持体 ３…回転軸 ９…処理容器 １１…排出管 １５…回転盤 ２１…保持部材 ２５…支持部 ２６…第１の挿入孔 ２７…第２の挿入孔 ２８…基板 ２９…係止ピン ３０…固定ピン ３２…係止部 ３３…支持ピン ３４…通孔 ３５…ノズル体 ４１…ハウジング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/304 ３５１ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６４Ｃ ５６９Ｃ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転盤を有し、この回転盤上部で基板を
   保持して回転処理を行う基板処理装置において、 上記回転盤に立設され、上端面に開放した第１の挿入孔
   が軸方向に沿って形成されているとともに、上記挿入孔
   と交差する第２の挿入孔が径方向に沿って形成された保
   持部材と、 上記保持部材の上端面に設けられて上記基板の下面を支
   持する支持ピンと、 上記第１の挿入孔に着脱自在に挿入されて上記基板の外
   周を係止する係止ピンと、 上記第２の挿入孔に着脱自在に挿入され、上記係止ピン
   の側方部と係合してこの係止ピンの抜け出しを防止する
   固定ピンと、 を具備したことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 上記係止ピンの外周面には、上記固定ピ
   ンが係合する溝状の係止部が形成されていることを特徴
   とする請求項１記載の基板処理装置。
3. 【請求項３】 上記係止ピンには保持部材の上端面に係
   合する鍔部が設けられていることを特徴とする請求項１
   または請求項２記載の基板処理装置。
4. 【請求項４】 上記係止ピンおよび上記固定ピンのうち
   少なくとも係止ピンは合成樹脂より形成されていること
   を特徴とする請求項１ないし請求項３記載の基板処理装
   置。