JPH05315376A - 工具の取付構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コレット等の工具を工具ホルダに簡単に着脱
できる工具の取付構造を提供する。 【構成】 コレットホルダのコレット取付部６にコレッ
ト取付孔８が形成され、コレット取付部６には半径方向
に貫通するようにして取り付けられている係止ピン１５
が固定されている。係止ピン１５は断面円形で、断面に
おいてその一部がコレット取付部６のコレット取付孔８
内に突出配置している。この係止ピンはコレット９が挿
入されると、その先端部のテーパ部により半径方向外方
に弾性変形し、その変形部は係止ピン１５の背後に形成
されている逃げ凹所１６に収容され、さらにコレット９
が移動されると、コレット９の取付部１０の外周面に形
成された切欠部１７に係止ピン１５の変形部が元の状態
に復帰して挿入し、コレット９を係止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、工具を工具ホルダに取
り付ける構造に関し、例えば、半導体装置の製造工程で
使用される半導体ペレット（以下、ペレットという。）
の詰め装置、ペレットボンディング装置、あるいはワイ
ヤボンディング装置等におけるコレットの取付構造に利
用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程で使用されるペレ
ットボンディング装置において、ペレットを吸着するコ
レットの取付部をコレットホルダの取付孔に挿入して固
定するための従来の構造は、セットスクリューにより固
定する、マグネットの吸着性を利用して固定する、ある
いは真空吸着を利用して固定する等の手段、が採用され
ている。

【０００３】なお、ペレットボンディング装置を述べて
ある例としては、特開昭５９−２０１４５１号公報があ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セット
スクリューによって固定する工具の取付構造において
は、レンチ等の工具が必要になるとともに、手間がかか
るという問題がある。

【０００５】また、マグネットの吸着性を利用して固定
する工具の取付構造においては、コレットホルダにマグ
ネットが埋設され、コレットにマグネットもしくは鉄材
が埋設されるため、マグネットに磁性のごみが吸着され
る問題がある。

【０００６】真空吸着を利用して固定する工具の取付構
造においては、コレットホルダが重くなり、ボンディン
グヘッドの追従性が悪化する問題がある。

【０００７】本発明の目的は、コレット等の工具を工具
ホルダに簡単に着脱自在に取り付けることができる工具
の取付構造を提供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１０】すなわち、工具ホルダに形成されている取
付孔に工具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定
する工具の取付構造において、前記工具ホルダには半径
方向に貫通するようにして取り付けられ断面においてそ
の一部が取付孔内に配置している係止ピンが設けられて
いるとともに、この係止ピンは前記工具の挿入時の半径
方向の押圧力により半径方向外方に弾性変形して係止ピ
ンの背後に形成されている逃げ凹所内に収容可能であ
り、前記工具の取付部の外周面に前記係止ピンに係止さ
れる切欠部が形成されていることを特徴とする。

【００１１】また、工具ホルダに形成されている取付孔
に工具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する
工具の取付構造において、前記工具ホルダは半径方向に
貫通する係止ピン挿入孔と、この係止ピン挿入孔に挿入
されて回動可能な係止ピンを備えているとともに、この
係止ピンは係止ピン挿入孔内で回動することにより取付
孔内にその断面の一部が配置可能な断面欠円形状の係止
部を備えており、前記工具の取付部の外周面に前記係止
部に係止可能な切欠部が形成されていることを特徴とす
る。

【００１２】また、工具ホルダに形成されている取付孔
に工具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する
工具の取付構造において、前記工具ホルダの取付孔の内
周面に形成されている環状の凹所と、この環状の凹所に
配設されている環状の袋体と、この環状の袋体に圧縮空
気を吹き込む手段とを備えており、前記環状の袋体に空
気を吹き込み袋体を膨らませて取付孔内に挿入されてい
る工具の取付部の外周を袋体で挟圧保持することを特徴
とする。

【００１３】

【作用】前記した第１の手段によれば、工具ホルダの取
付孔に工具の取付部が挿入されると、工具の取付部の先
端部によって工具ホルダ側の係止ピンは半径方向外方に
弾性変形されて逃げ凹所内に一旦収容され、さらに工具
が移動されて工具の外周面の切欠部が係止ピン位置にく
ると、係止ピンは元の状態に復帰して工具の切欠部に挿
入される。このようにして、工具は工具ホルダに簡単に
装着できる。工具を工具ホルダから取り外す場合も、工
具を工具ホルダから抜けば、上記と同様な作用で、簡単
に取り外すことができる。

【００１４】また、前記した第２の手段によれば、工具
ホルダの係止ピン挿入孔に挿入されている係止ピンの係
止部の断面の一部が取付孔内に配置しない状態にセット
し、この状態で工具の取付部を工具ホルダの取付孔に挿
入した後、係止ピンを回動することにより係止ピンの係
止部の断面の一部が取付孔内に配置されると、この部分
が工具の外周面の切欠部に挿入される。このようにし
て、工具は工具ホルダに簡単に装着できる。工具を工具
ホルダから取り外す場合は、係止ピンを回動して工具の
切欠部との係合状態を解除して、工具を工具ホルダから
抜けば、簡単に取り外すことができる。

【００１５】また、前記した第３の手段によれば、工具
の取付部を工具ホルダの取付孔に挿入した後、環状の袋
体に圧縮空気を吹き込めば、環状の袋体が圧縮空気によ
って膨らみ、工具の外周が袋体によって挟圧保持され
る。このようにして、工具は工具ホルダに簡単に装着で
きる。工具を工具ホルダから取り外す場合は、袋体の空
気を抜いて、工具を工具ホルダから抜けば、簡単に取り
外すことができる。

【００１６】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるコレットの取
付構造を示すもので、（ａ）は平面断面図、（ｂ）はコ
レットホルダの取付孔にコレットが取り付けられた状態
を示す正面縦断面図である。図２はペレットボンディン
グ装置におけるボンディングヘッドを示す正面断面図で
ある。

【００１７】本実施例において、本発明に係る工具の取
付構造は、ペレットボンディング装置におけるボンディ
ングヘッドのアームにコレットを着脱自在に取り付ける
ための構造として使用されている。

【００１８】本実施例において、ペレットボンディング
装置のボンディングヘッド１は、図示外の装置本体から
水平方向に延びているアーム２の先端に垂直方向に取付
孔３を備えており、この取付孔３内に軸受１８を介して
コレットホルダ４が垂直方向に移動可能に挿入されてい
る。

【００１９】コレットホルダ４はコレットホルダ４の外
周に形成されている外周溝に装着されたストッパリング
５によって下方の移動を規制されているとともに、コレ
ットホルダ４の下部の大径部のコレット取付部６の上面
とアーム２の下面との間に圧縮スプリング７が蓄力状態
で介装されている。

【００２０】そして、このコレットホルダ４の下部のコ
レット取付部６に垂直方向に形成されているコレット取
付孔８にコレット９の取付部１０が装着される。

【００２１】コレットホルダ４およびコレット９には互
いに連通する空気流路１１，１２がそれぞれ形成されて
おり、コレットホルダ４の空気流路１１の上端はコレッ
トホルダ４の上端部に接続されたパイプ１３を介して図
示外の真空ポンプに接続されており、コレット９の空気
流路１２の下端はコレット９の底面に形成されている凹
所１４に接続されている。

【００２２】したがって、真空ポンプが作動されると、
コレット９の底面にペレットを真空吸着することがで
き、ペレットボンディング装置においてはコレット９の
底面にペレットが真空吸着されてアーム２が移動され、
所定のボンディング位置にペレットが移送される。

【００２３】以下、コレット９とコレットホルダ４との
着脱自在な取付構造を詳細に説明する。

【００２４】コレットホルダ４の下部のコレット取付部
６には垂直方向に断面円形形状のコレット取付孔８が形
成されている。さらに、コレット取付部６には係止ピン
１５が半径方向に貫通するようにして取り付けられて固
定されている。

【００２５】この係止ピン１５は断面円形で、断面にお
いてその一部がコレット取付孔８内に突出するように配
置されている。また、この係止ピン１５はコレット９の
挿入時に、コレット９の先端部のテーパ部による半径方
向の押圧力により半径方向外方に弾性変形可能である。
コレットホルダ４にはこの係止ピン１５の半径方向の弾
性変形時に、その弾性変形部分を収容する逃げ凹所１６
が係止ピン１５の背後に形成されている。

【００２６】そして、コレット９の断面円形中実形状の
取付部１０の外周面には係止ピン１５に係止可能な切欠
部１７が形成されており、切欠部１７はコレット９の取
付部１０の外周面の一部に接線方向に断面三角形状に形
成されている。

【００２７】次に、コレット９のコレットホルダ４への
着脱作業を説明する。コレットホルダ４のコレット取付
孔８にコレット９の取付部１０が挿入されると、コレッ
ト９の先端部のテーパ部によって係止ピン１５が半径方
向外方に押圧されて弾性変形し、この弾性変形部分は逃
げ凹所１６に一旦収容される。

【００２８】さらに、コレット９が移動されて、コレッ
ト９の外周面の切欠部１７が係止ピン１５位置にくる
と、係止ピン１５は弾性力によって元の状態に復帰して
コレット９の切欠部１７に挿入される。

【００２９】以上のようにして、コレット９はコレット
ホルダ４にワンタッチ操作にて簡単に装着することがで
きる。

【００３０】コレット９をコレットホルダ４から取り外
す場合は、コレット９をコレットホルダ４から強く引き
抜けば、上記と同様にして、係止ピン１５は弾性変形し
て一旦逃げて凹所１６内に収容されるので、ワンタッチ
操作にて簡単に取り外すことができる。

【００３１】前記実施例によれば次の効果が得られる。 コレットホルダ側に設けられた係止ピンの弾性変形
を利用してコレットを着脱するので、ワンタッチでコレ
ットをコレットホルダに着脱することができ、コレット
の着脱作業が容易で、コレットの着脱時間の短縮化を図
れ、しいては、生産性を向上することができる。

【００３２】 コレットホルダ側に設けられた係止ピ
ンの弾性変形を利用してコレットを着脱するので、マグ
ネット等は不要であり、磁性のごみ等がコレットやコレ
ットホルダに付着することがない。

【００３３】 構造が簡単で、軽量化も果たせる。

【００３４】図３は本発明の実施例２である工具の取付
構造を示すもので、（ａ）は平面断面図、（ｂ）は正面
断面図である。

【００３５】本実施例２において、コレットホルダ４の
下部に形成された大径のコレット取付部６には、半径方
向に貫通する断面円形形状の係止ピン挿入孔２０が形成
されている。そして、係止ピン挿入孔２０には係止ピン
２１が回転自在に嵌入されている。

【００３６】この係止ピン２１は頭部付きの断面円形形
状に一体成形されており、長手方向の中間部には係止部
２２が、断面の一部が平坦に切欠されて断面半円形状に
形成されている。この係止ピン２１を係止ピン挿入孔２
０内で回動することにより、コレット取付孔８内にその
断面の一部が配置可能なように構成されている。

【００３７】コレット９の取付部１０の外周面には切欠
部２３が、係止ピン２１のコレット取付孔８内に突出配
置される係止部２２に係止されるように形成されてお
り、切欠部２３はコレット９の取付部１０の外周面の一
部に接線方向に断面三角形状に形成されている。

【００３８】以下、コレット９のコレット取付部６への
着脱作業を説明する。

【００３９】まず、コレット取付部６の係止ピン挿入孔
２０に挿入されている係止ピン２１は、その係止部２２
の断面の一部がコレット取付孔８内に配置しない状態に
セットされる。

【００４０】この状態で、コレット９の取付部１０がコ
レット取付部６のコレット取付孔８に挿入された後、係
止ピン２１が回動されることにより、係止ピン２１の係
止部２２の一部がコレット取付孔８内に配置される。こ
の係止部２２がコレット９の取付部１０の外周面の切欠
部２３に挿入されると、コレット９はコレット取付部６
に固定的に装着された状態になる。

【００４１】コレット９がコレット取付部６から取り外
される場合は、係止ピン２１が回動されて、コレット９
の切欠部２３との係合状態が解除されてから、コレット
９をコレットホルダ４から抜けば、簡単に取り外すこと
ができる。

【００４２】本実施例２によれば、前記実施例１と同様
の効果が得られる。

【００４３】図４は本発明の実施例３である工具の取付
構造を示すもので、（ａ）は平面断面図、（ｂ）は正面
断面図である。

【００４４】本実施例３においてコレットホルダ４のコ
レット取付部６のコレット取付孔８の内周面には環状の
凹所３０が形成されており、この環状の凹所３０内には
袋体３１が配設されている。

【００４５】袋体３１はゴム等の弾性材料が用いられ
て、円形リング形状の気密な中空体に形成されている。
環状の袋体３１の外周の一部には空気供給パイプ３２が
接続されて突出されており、このパイプ３２はコレット
ホルダ４に半径方向に貫通して形成されている透孔３３
を挿通して外部に突出して、図示外のパイプを通じて図
示外の空気圧縮源に接続されている。

【００４６】以下、コレット９のコレット取付部６への
着脱作業を説明する。

【００４７】まず、コレット９の取付部１０がコレット
取付部６のコレット取付孔８に挿入される。続いて、環
状の袋体３１に圧縮空気源から圧縮空気が吹き込まれる
と、環状の袋体３１が圧縮空気によって膨らむ。袋体３
１が膨張すると、コレット９の取付部１０の外周が袋体
３１によって挟圧保持される。このようにして、コレッ
ト９はコレットホルダ４に簡単に装着できる。

【００４８】コレット９をコレット取付部６から取り外
す場合は、袋体３１の空気が排出されると、挟圧保持が
解除されるため、コレット９をコレットホルダ４から抜
けば簡単に取り外すことができる。

【００４９】前記実施例３によれば、実施例１と同様な
効果が得られる。

【００５０】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるペレッ
トボンディング装置におけるコレットの取付構造に適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、この他ペレット詰め装置やワイヤボンディング
装置等の半導体装置の製造工程において使用される装置
におけるコレットの取付構造や、その他の工具の取付構
造全般に適用することができる。

【００５２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５３】工具ホルダ側に設けられた係止ピンの弾性
変形を利用して工具を着脱するので、ワンタッチで工具
を工具ホルダに着脱することができ、工具の着脱作業が
容易で、工具の着脱時間の短縮化を図れ、生産性を向上
することができる。

【００５４】断面欠円形状の係止部を備える係止ピンの
回動操作により工具を着脱できるので、工具の着脱作業
が容易で、工具の着脱時間の短縮化を図れ、生産性を向
上することができる。

【００５５】圧縮空気により膨らむ環状の袋体により工
具の外周を挟圧することにより工具を装着することがで
き、圧縮空気を抜くことにより工具を取り外すことがで
きるので、工具の着脱作業が容易で、工具の着脱時間の
短縮化を図れ、生産性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である工具の取付構造を示す
もので、（ａ）は平面断面図、（ｂ）は正面断面図であ
る。

【図２】ペレットボンディング装置におけるボンディン
グヘッド部分を示す正面断面図である。

【図３】本発明の実施例２である工具の取付構造を示す
もので、（ａ）は平面断面図、（ｂ）は正面断面図であ
る。

【図４】本発明の実施例３である工具の取付構造を示す
もので、（ａ）は平面断面図、（ｂ）は正面断面図であ
る。

【符号の説明】

１…ボンディングヘッド、２…アーム、３…取付孔、４
…コレットホルダ（工具ホルダ）、５…ストッパリン
グ、６…コレット取付部（工具取付部）、７…圧縮スプ
リング、８…コレット取付孔、９…コレット（工具）、
１０…コレットの取付部、１１、１２…空気流路、１３
…パイプ、１４…凹所、１５…係止ピン、１６…逃げ凹
所、１７…切欠部、１８…軸受、２０…係止ピン挿入
孔、２１…係止ピン、２２…係止部、２３…切欠部、３
０…環状凹所、３１…袋体、３２…パイプ、３３…透
孔。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 工具ホルダに形成されている取付孔に工
   具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する工具
   の取付構造において、 前記工具ホルダには半径方向に貫通するようにして取り
   付けられ断面においてその一部が取付孔内に配置してい
   る係止ピンが設けられているとともに、この係止ピンは
   前記工具の挿入時の半径方向の押圧力により半径方向外
   方に弾性変形して係止ピンの背後に形成されている逃げ
   凹所内に収容可能であり、前記工具の取付部の外周面に
   前記係止ピンに係止される切欠部が形成されていること
   を特徴とする工具の取付構造。
2. 【請求項２】 工具ホルダに形成されている取付孔に工
   具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する工具
   の取付構造において、 前記工具ホルダは半径方向に貫通する係止ピン挿入孔
   と、この係止ピン挿入孔に挿入されて回動可能な係止ピ
   ンを備えているとともに、この係止ピンは係止ピン挿入
   孔内で回動することにより取付孔内にその断面の一部が
   配置可能な断面欠円形状の係止部を備えており、前記工
   具の取付部の外周面に前記係止部に係止可能な切欠部が
   形成されていることを特徴とする工具の取付構造。
3. 【請求項３】 工具ホルダに形成されている取付孔に工
   具の取付部を挿入して工具を工具ホルダに固定する工具
   の取付構造において、 前記工具ホルダの取付孔の内周面に形成されている環状
   の凹所と、この環状の凹所に配設されている環状の袋体
   と、この環状の袋体に圧縮空気を吹き込む手段とを備え
   ており、前記環状の袋体に空気を吹き込み袋体を膨らま
   せて取付孔内に挿入されている工具の取付部の外周を袋
   体で挟圧保持することを特徴とする工具の取付構造。