JPH10120171A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. プレート状の基板を、上方縁領域および下方縁領域を有する平行六面体の基板ホルダを用いて、少なくとも１つの処理ステーションを有する真空処理システム内におよび同システムを通じて搬送するための装置であって、該基板は該基板ホルダ内で垂直面に保持されるように適合され、かつ該基板ホルダは該処理ステーション内で垂直面に保持されるように適合され、該装置は、
   該処理ステーション内に、該基板ホルダを支持しかつ該基板ホルダを該処理ステーション内の水平方向の搬送経路に沿って駆動するために、該基板ホルダの下方縁領域と係合する駆動手段を含み、該駆動手段は、該基板ホルダが該水平方向の搬送経路に対して横方向におよび該駆動手段を中心に傾斜することを許容し、該装置はさらに、
   該処理ステーション内に、該駆動手段の上方に垂直方向に間隔をおかれて配置され、かつ該基板ホルダの該上方縁領域と動作的に係合される磁気手段を含み、該磁気手段は、該基板ホルダの傾斜を阻止するように該基板ホルダの該上方縁領域を該磁気手段に対して中心に位置付けて、該基板ホルダが該駆動手段によって該水平方向の搬送経路に沿って動かされる間、該基板ホルダを垂直方向に維持する、装置。
2. 該駆動手段は、
   該基板ホルダの該下方縁領域を受取りかつ支持するための駆動テープであって、かつ該水平方向の搬送経路に沿った移動に適合された駆動テープと、
   該テープと係合して、該テープを該水平方向の搬送経路に沿って動かすためのローラとを含む、請求項１に記載の装置。
3. 各ローラ上に、該基板ホルダの該下方縁領域を該水平方向の搬送経路に沿って案内するための２組のピンを含む、請求項２に記載の装置。
4. 該駆動手段は、該基板ホルダの該下方縁領域と係合する摩擦車輪を含み、該摩擦車輪は、該基板ホルダを該水平方向の搬送経路に沿って動かすように回転可能である、請求項１に記載の装置。
5. 各摩擦車輪は、該基板ホルダの該下方縁領域と該摩擦車輪との摩擦係合を向上させるように、該基板ホルダの該下方縁領域の断面形状と合致する断面形状を有する、請求項４に記載の装置。
6. 該磁気手段は、該処理ステーション内に、該基板ホルダの該上方縁領域を受けるように該水平方向の搬送経路に沿って延びる間隙を規定する手段と、該基板ホルダの該上方縁領域内に、該上方縁領域の対向する各側に対向する各極を有する第１の磁石と、該処理ステーション内の該間隙の対向する各側に、該第１の磁石の対向する各極と互いに反発し合って該基板ホルダの該上方縁領域を該間隙内の中心に位置付けるための１対の第２の磁石とを含む、請求項１に記載の装置。
7. 該駆動手段は、
   該基板ホルダの該下方縁領域を受取りかつ支持するための駆動テープであって、該水平方向の搬送経路に沿った移動に適合された駆動テープと、
   該テープと係合して、該テープを該水平方向の搬送経路に沿って動かすためのローラとを含む、請求項６に記載の装置。
8. 各ローラ上に、該基板ホルダの該下方縁領域を該水平方向の搬送経路に沿って案内するための２組のピンを含む、請求項７に記載の装置。
9. 該駆動手段は、該基板ホルダの該下方縁領域と係合する摩擦車輪を含み、該摩擦車輪は、該基板ホルダを該水平方向の搬送経路に沿って動かすように回転可能である、請求項６に記載の装置。
10. 各摩擦車輪は、該基板ホルダの該下方縁領域と該摩擦車輪との摩擦係合を向上させるように、該基板ホルダの該下方縁領域の断面形状と合致する断面形状を有する、請求項９に記載の装置。
11. 該処理ステーション内に、該磁気手段のための冷却手段を含み、かつ、該処理ステーション内に、該磁気手段を遮蔽するための遮蔽手段を含む、請求項６に記載の装置。
12. 該処理ステーション内に、該磁気手段のための冷却手段を含み、かつ、該処理ステーション内に、該磁気手段を遮蔽するための遮蔽手段を含む、請求項１に記載の装置。