JPH10158065A - 立方晶窒化ホウ素焼結体およびその製造方法 - Google Patents

立方晶窒化ホウ素焼結体およびその製造方法

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JPH10158065A
JPH10158065A JP8317699A JP31769996A JPH10158065A JP H10158065 A JPH10158065 A JP H10158065A JP 8317699 A JP8317699 A JP 8317699A JP 31769996 A JP31769996 A JP 31769996A JP H10158065 A JPH10158065 A JP H10158065A
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cubic boron
nitride sintered
cbn
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Hitoshi Sumiya
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 切削工具として十分な強度、硬度、耐熱性お
よび放熱性を有する立方晶窒化ホウ素焼結体を提供す
る。 【解決手段】 低圧相窒化ホウ素を高温高圧下で直接変
換させると同時に焼結させて立方晶窒化ホウ素焼結体を
製造する方法において、ホウ素と酸素とを含む化合物
を、窒素と炭素とを含む化合物で還元することにより出
発物質としての低圧相窒化ホウ素を準備する。得られた
立方晶窒化ホウ素焼結体の(220)面のX線回折強度
220 と、(111)面のX線回折強度I111 との比I
220 /I111は0.1以上である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、立方晶窒化ホウ
素焼結体およびその製造方法に関し、特に、低圧相窒化
ホウ素を直接変換させると同時に焼結させることにより
得られる立方晶窒化ホウ素焼結体およびその製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】立方
晶窒化ホウ素(以下、「cBN」と称する)焼結体は、
ダイヤモンドに次ぐ硬度を有し、鉄系材料と反応しない
という特徴があるため、従来より鉄系材料の切削工具と
して用いられている。
【0003】切削工具として用いられるcBNの焼結体
は、一般に、cBNの粉末を、TiN、TiC、Coな
どからなるバインダを用いて超高圧下で焼結することに
より製造される。このようにして得られたcBN焼結体
には10〜40体積%程度の不純物が含まれる。この不
純物は、バインダを構成するTiN、TiC、Coなど
である。この不純物がcBN焼結体の強度、耐熱性、熱
放散性を低下させる原因となり、特に、鉄系材料を高速
で切削加工する場合には、刃先に欠損や亀裂が生じやす
く、切削工具としての寿命が短くなるという問題があ
る。
【0004】このような問題を解決するために、バイン
ダを用いないでcBN焼結体を製造する方法が知られて
いる。この方法では、六方晶窒化ホウ素(以下、「hB
N」と称する)を原料とし、ホウ窒化マグネシウムなど
の触媒を用いてこの原料を反応・焼結させてcBN焼結
体を製造している。このようにして得られた焼結体には
不純物が少なくcBN粒子が強く結合しているために熱
伝導率が6〜7W/cm・℃と高い。そのため、この焼
結体は、ヒートシンク材やTABボンディングツールな
どに用いられている。しかし、この焼結体中にはホウ窒
化マグネシウムなどの触媒が残留しているため、熱を加
えると、この触媒とcBNとの熱膨張差により、cBN
焼結体に微細なクラックが入りやすい。したがって、こ
の焼結体の耐熱温度は700℃程度と低く、切削工具と
して使えないという問題がある。また、cBN粒子の粒
径が10μm前後と大きいため、熱伝達率が高いもの
の、強度が低くなる。その結果、この焼結体を切削工具
の刃先とした場合には、大きな負荷で断続的に切削する
ことが困難となる。
【0005】一方、バインダや触媒を用いずにhBNを
超高温高圧下でcBN焼結体に直接変換する方法も知ら
れている。たとえば、特開昭47−34099号公報や
特開平3−159964号公報には、hBNを圧力7G
Pa、温度2100℃以上に保ち、cBN焼結体を得る
方法が記載されている。しかし、これらの方法では、工
業生産をするにはコストや生産性などの問題がある。ま
た、これらの方法では、高温中で焼結するため、cBN
の結晶が大きく成長しやすい。そのため、焼結体の強度
が低くなり、切削工具として使用した場合には、刃先が
欠けるなどの問題がある。また、この方法で用いられて
いるhBNは、<111>方向に配向しやすいため、こ
の原料から製造されたcBN焼結体も、<111>方向
に配向しやすくなる。そのため、この方法によって得ら
れたcBN焼結体を切削工具として使用した場合に、層
状亀裂や剥離などが生じるという問題がある。
【0006】また、バインダや触媒を用いずにcBN焼
結体を製造する方法として、熱分解窒化ホウ素(以下、
「pBN」と称する。)を原料にしてcBN焼結体を製
造する方法が、特公昭63−394号公報や特開平8−
47801号公報に記載されている。しかし、これらの
方法では、工業生産をするにはコストや生産性などの問
題がある。また、これらの方法では、原料として用いる
pBNが極めて高価であること、圧縮hBN(compress
ed hBN)がcBN焼結体中に残留しやすいこと、cBN
焼結体の配向性が強いため層状亀裂や剥離が生じやすい
ことなどが問題となる。
【0007】また、バインダや触媒を使わずにより低い
温度条件でcBN焼結体を製造する方法として、原料と
なる六方晶窒化ホウ素の粒子の平均粒径を3μm以下と
し、この原料を圧力6GPa、温度1100℃に保つこ
とにより、cBN焼結体を得る方法が特公昭49−27
518号公報に記載されている。しかし、この方法で
は、原料となる六方晶窒化ホウ素が微粉であるため、こ
の六方晶窒化ホウ素が数%の酸化ホウ素不純物や吸着ガ
スを含む。したがって、この不純物や吸着ガスの作用に
より、焼結が十分に進行しないという問題がある。ま
た、cBN焼結体中にホウ素の酸化物が含まれるため、
焼結体の硬度、強度、耐熱性が低くなり、切削工具とし
て用いることができないという問題がある。
【0008】そこで、この発明は上述のような問題点を
解決するためになされたものであり、切削工具として十
分な強度、硬度、耐熱性および放熱性を有するcBN焼
結体およびその製造方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明に従った立方晶
窒化ホウ素焼結体の製造方法は、低圧相窒化ホウ素を高
温高圧下で直接変換させると同時に焼結させて立方晶窒
化ホウ素焼結体を製造する方法であって、ホウ素と酸素
を含む化合物を、炭素と窒素とを含む化合物で還元する
ことにより、出発物質としての低圧相窒化ホウ素を準備
することを特徴とするものである。ここで、低圧相窒化
ホウ素(低圧相BN)とは、熱力学的に低圧域で安定な
窒化ホウ素で、六方晶系グラファイト型構造に類似した
六方晶BN(hBN)、菱面体BN(rBN)、乱層構
造のBN(tBN)および非晶質のBN(aBN)を含
む。一方、cBNは、高圧下で安定で、高圧相BNとも
呼ばれる。
【0010】このような製造方法を採用することによ
り、出発物質としての低圧相窒化ホウ素は高温で熱処理
しても配向しにくくかつ結晶粒子も大きくならないとい
う特徴がある。したがって、この低圧相窒化ホウ素から
高温高圧下で直接変換することにより得られるcBN焼
結体は、配向しにくく、言い換えれば等方性であり、か
つ結晶粒子の径が小さいものとなる。その結果、切削工
具として十分な強度および硬度を有するcBN焼結体を
得ることができる。
【0011】また、立方晶窒化ホウ素への直接変換は、
ホウ素と酸素とを含む化合物の沸点以上の温度で低圧相
窒化ホウ素を非酸化性雰囲気で加熱した後行なわれるこ
とが好ましい。この場合、ホウ素と酸素とを含む化合物
や吸着ガスが加熱により揮発するため、低圧相窒化ホウ
素中にホウ素と酸素とを含む化合物や吸着ガスが残らな
い。そのため、cBN粒子間の結合強度が大きくなり、
強度、硬度だけでなく、切削工具としての耐熱性および
放熱性に優れたcBN焼結体を得ることができる。ま
た、cBNへの変換を阻害する、酸素とホウ素とを含む
化合物を揮発させるため、cBNに変換しやすくなる。
そのため、従来の直接変換法のように、cBN焼結体中
にhBNが残留することがない。その結果、マイルドな
圧力、温度条件で高強度のcBN焼結体を得ることがで
きる。
【0012】また、低圧相窒化ホウ素には0.08〜1
重量%の酸素が含まれていることが好ましい。酸素の含
有量を0.08重量%以上としたのは本発明による低結
晶性低圧相BNには除去不可能な酸素が0.08重量%
未満含まれるからである。また、酸素の含有率が1重量
%を超える低圧相窒化ホウ素は、cBNに変換しにくい
ため、このような低圧相BNを出発物質とすれば、cB
N焼結体の内部に未変換の低圧相BNが残留することに
なり強度、硬度が低下することになる。
【0013】また、立方晶窒化ホウ素への変換は、低圧
相窒化ホウ素の粉末を非酸化性雰囲気で加熱した後成形
することによって成形体を得て、その成形体をさらに加
熱した後、行なわれることが好ましい。この場合、成形
体を加熱することにより、成形体中に含まれる吸着ガス
が除去される。したがって、cBNの粒子間の結合強度
が大きくなり、cBNの強度、硬度、耐熱性および放熱
性がさらに向上する。
【0014】この発明の立方晶窒化ホウ素焼結体は、低
圧相窒化ホウ素を高温高圧下で直接変換させると同時に
焼結させて得られるものであって、その立方晶窒化ホウ
素焼結体の(220)面のX線回折強度(I220 )と、
(111)面のX線回折強度(I111 )との比(I220
/I111 )が0.1以上である。この場合、I220 の割
合が比較的大きいため立方晶窒化ホウ素焼結体が等方性
であり、強度、硬度、耐熱性および放熱性に優れたcB
N焼結体を得ることができる。ここで、I220/I111
が0.1未満であれば、cBN焼結体は、<111>方
向への配向が強いといえる。すなわち、この場合、cB
N焼結体は、異方性であるため、層状亀裂や剥離が生じ
やすくなる。
【0015】また、立方晶窒化ホウ素焼結体中の立方晶
窒化ホウ素結晶の粒径は1μm以下であることが好まし
い。この場合、cBNの結晶が小さいため、cBN焼結
体の強度をさらに上げることができる。ここで、立方晶
窒化ホウ素の結晶の粒径が1μmを超えると、粒内破壊
が生じやすくなるため、cBN焼結体の強度が低下す
る。
【0016】また、立方晶窒化ホウ素焼結体の硬度は4
500Kg/mm2 以上であることが好ましい。
【0017】また、立方晶窒化ホウ素焼結体は、非酸化
性雰囲気での耐熱温度が温度1200℃以上であること
が好ましい。
【0018】
【実施例】
実施例1 まず、酸化ホウ素(B2 3 )とメラミン(C3 6
6 )を3:1のモル比で配合し、乳鉢を用いて均一に混
合した。この混合物を管状炉に入れて窒素ガス中で温度
950℃で2時間熱処理することにより粉末を得た。こ
の粉末をエタノールで洗浄して未反応のB2 3 を除去
した。さらに、この粉末を高周波炉で窒素ガス中温度2
100℃で2時間熱処理して窒素ホウ素の粉末を得た。
ガス分析により、窒素ホウ素の粉末中の酸素含有量を測
定すると0.66重量%であった。また、窒素ホウ素粉
末の結晶構造をX線回折により調べた、X線源としてC
uKα線源を用いた。X線の波長は1.54Åであっ
た。このX線回折により得られた回折線を図1に示す。
【0019】図1から、hBNの(102)面の回折線
がなく、hBNの(002)に対応する回折線が非常に
ブロードで、等方的に結晶が成長していることがわか
る。また、hBNの(002)面の回折線の半値幅(図
中W:単位degree)を求めた。Wを以下の式に代
入し、ラジアン半値幅BMを求めた。
【0020】
【数1】
【0021】ラジアン半値幅BMと、機械誤差BS(=
4.0×10-3)を以下の式に代入し、真の半値幅Bを
求めた。
【0022】
【数2】
【0023】真の半値幅Bと、X線の波長(λ=1.5
4Å)、(002)面で回折が起きるときの角度(図1
のAの半分の値)より結晶粒子の直径tを、以下に示す
式から算出した。
【0024】
【数3】
【0025】この式から計算した結晶粒子の直径tは、
13nmであった。次に、上述の手順で合成した低圧相
BNの粉末を圧力6×103 Kg・f/cm2 で型押し
成形し、直径8mm、厚さ3mmの成形体を作製した。
この成形体を高周波炉で、窒素ガス中、温度2100℃
で2時間熱処理した。次に、この成形体をモリブデン
(Mo)からなるカプセルに入れ、ベルト型超高圧発生
装置で圧力6.5GPa、温度1850℃に15分間保
つことによりcBN焼結体を得た。
【0026】この焼結体の構造をX線回折によって調べ
たところ、cBNのみからなることがわかった。また、
X線回折において、cBNの(220)面の回折強度I
220と、cBNの(111)面の回折強度I111 との比
率I220 /I111 は0.18であった。このことから、
このcBN焼結体は、配向性が小さく、等方性の焼結体
であることがわかった。また、このcBN焼結体の微細
構造を透過型電子顕微鏡で観察したところ、cBNの結
晶粒子の大きさは約0.5μmであり、微細なものであ
ることがわかった。また、この観察により、結晶粒子間
には不純物がなく、結晶粒子同士が強く結合しているこ
とがわかった。
【0027】次に、このようにして得られたcBN焼結
体の硬度をマイクロヌープ圧子で測定したところ、硬度
は5500Kg/mm2 であり、硬度が高いことがわか
った。また、レーザフラッシュ法で熱伝導率を測定する
と、約6W/cm・℃であり、熱伝導率が高いことがわ
かった。また、真空炉で熱処理をする前の硬度と、真空
炉で熱処理した後の硬度とを比較することにより、耐熱
性を評価したところ、このcBN焼結体は、温度135
0℃まで安定であり、耐熱性が高いことがわかった。ま
た、本発明により得られたcBN焼結体から切削工具を
製作し、鋳鉄の断続高速切削テストを行なった。また、
Coをバインダとして形成されたcBN焼結体からなる
市販の切削工具についても鋳鉄の断続高速切削テストを
行なった。この2つのテストから、この発明のcBN焼
結体から製作した切削工具は、市販の切削工具に対して
10倍の寿命があることがわかった。
【0028】実施例2 実施例1では酸化ホウ素とメラミンの混合物を管状炉
で、窒素ガス中、温度950℃で2時間熱処理したが、
実施例2では酸化ホウ素とメラミンの混合物を、管状炉
で、窒素ガス中、温度850℃で2時間熱処理した。そ
の他の製造工程に関しては、実施例1と同様とした。こ
のようにして得られた低圧相BN粉末の酸素含有量をガ
ス分析により測定すると0.8重量%であった。また、
低圧相BN粉末の構造をX線回折により調べたところ、
X線回折図形には、hBNの(102)面の回折線がな
く、hBNの(002)面回折に対応する回折線が非常
にブロードであったことから、この低圧相BN粉末を構
成する低圧相BNの結晶粒子はかなり小さいことがわか
った。また、hBNの(002)面回折に対応する回折
線の半値幅から上述の(数1〜3)で示す式を用いて結
晶粒子の直径tを求めたところ、t=8nmであった。
【0029】このようにして得られた低圧相BNを原料
として、実施例1と同様にしてcBN焼結体を作製し
た。得られたcBN焼結体の構造をX線回折によって調
べたところ、cBNの(220)面の回折強度I
220 と、cBNの(111)面の回折強度I111 との比
220 /I111 は0.2であり、この焼結体を構成する
結晶粒子は等方性であることがわかった。また、このc
BN焼結体の結晶の粒径、硬度、熱伝導率、耐熱性は実
施例1と同様の値を示し、鋳鉄の断続高速切削テストで
も同様の結果を示した。
【0030】実施例3 実施例1では酸化ホウ素とメラミンの混合物を、管状炉
で、窒素ガス中、温度950℃で2時間熱処理したが、
実施例3では酸化ホウ素とメラミンの混合物を管状炉
で、窒素ガス中温度1050℃で2時間熱処理した。そ
れ以外の製造プロセスは、実施例1と同様とした。この
ようにして得られた低圧相BN粉末の酸素含有量をガス
分析により測定すると0.2重量%であった。また、得
られた低圧相BN粉末の結晶構造をX線回折により調べ
たところ、X線回折図形には、hBNの(102)面の
回折線がなく、hBNの(002)面回折に対応する回
折線がブロードで、結晶性が低いことを示した。また、
hBNの(002)面回折に対応する回折線の半値幅
と、回折が起こる角度と、X線の波長から、結晶粒子の
直径tを求めた。直径tは約35nmであった。また、
この低圧相BNの粉末の結晶構造を走査型電子顕微鏡で
観察したところ、結晶の粒径は1μmであり、微細な結
晶からなるものであることがわかった。
【0031】この低圧相BNを原料として実施例1と同
様にcBN焼結体を作製した。得られたcBN焼結体の
結晶構造をX線回折により調べた。X線回折図形から、
cBNの(220)面の回折強度I220 と、cBNの
(111)面の回折強度I111との比I220 /I
111 は、0.12であり、このcBN焼結体を構成する
結晶は等方性であることがわかった。また、このcBN
焼結体の硬度、熱伝導性、耐熱性、結晶の粒径は実施例
1と同様の値を示した。また、鋳鉄の断続高速切削テス
トでも同様の結果を示した。
【0032】実施例4 実施例2では、低圧相BNの成形体をモリブデンカプセ
ルに入れ、ベルト型超高圧発生装置で圧力6.5GP
a、温度1850℃に15分間保ったが、実施例4で
は、実施例2と同様に製造した低圧相BNからなる成形
体をモリブデンカプセルに入れ、ベルト型超高圧発生装
置で圧力6GPa、温度1550℃に保った。それ以外
の製造プロセスに関しては、実施例2と同様にしてcB
N焼結体を作製した。
【0033】このようにして得られたcBN焼結体の特
性、切削性能は、実施例2で得られた焼結体と同様であ
った。
【0034】比較例1 市販されているhBNの成形体を原料として用いた。こ
のhBNの成形体の粒径は3〜10μmであった。この
成形体を高周波炉に入れ、窒素ガス中、温度2100℃
で2時間熱処理してサンプルを得た。このサンプルの酸
素含有量をガス分析により測定した。この測定の結果、
酸素含有量は0.03重量%であった。サンプルを、実
施例1と同様にモリブデンカプセルに入れ、ベルト型超
高圧発生装置で圧力6.5GPa、温度1850℃に1
5分間保った。このようにして得られた物質を調べる
と、ほとんど焼結していないことがわかった。また、こ
の物質中のcBNの割合をX線回折により調べると、c
BNは約10体積%であり、残りの約90体積%はhB
Nのままであった。
【0035】比較例2 市販されているpBNの成形体を原料として用いた。こ
の成形体を高周波炉で窒素ガス中温度2100℃で2時
間熱処理してサンプルを得た。このサンプルの酸素含有
量をガス分析により測定した。酸素含有量は0.02重
量%であった。次に、このサンプルを実施例1と同様に
モリブデンカプセルに入れ、ベルト型超高圧発生装置で
圧力6.5GPa、温度1850℃に15分間保った。
このようにして得られた物質を調べると、十分に焼結し
ていないことがわかった。また、この物質中のcBNの
割合をX線回折により調べると、約90体積%がcBN
であったが、残りの約10体積%はhBNが圧縮された
ものであった。
【0036】比較例3 原料として、市販されているhBNの成形体を用いた。
この成形体中のhBNの結晶粒径は3〜10μmであっ
た。この成形体を高周波炉で窒素ガス中温度2100℃
で2時間熱処理してサンプルを形成した。このサンプル
中の酸素含有量をガス分析により測定した。酸素含有量
は0.03重量%であった。次に、このサンプルをモリ
ブデンカプセルに入れ、ベルト型超高圧発生装置で圧力
7.7GPa、温度2200℃に15分間保つことによ
り強固なcBN焼結体を得た。
【0037】このcBN焼結体の構造をX線回折により
調べたところ、cBNの(220)面の回折強度I220
と、cBNの(111)面の回折強度I111 との比I
220 /I111 は0.06であり、<111>方向に選択
的に配向した異方性のcBN焼結体が得られたことがわ
かった。また、X線回折により、面間隔d=3.1Å付
近に圧縮されたhBNが微量ながらあることがわかっ
た。また、このcBN焼結体の硬度をマイクロヌープ圧
子で測定したところ、硬度は5000Kg/mm2であ
った。また、このhBN焼結体の熱伝導率をレーザフラ
ッシュ法で測定したところ熱伝導率は約5.5W/cm
・℃であった。また、このcBN焼結体から切削工具を
作製し、実施例1と同様の鋳鉄の断続高速切削テストを
行なった。その結果、市販のcBN焼結体からなる工具
に比べて約2倍の寿命を示したものの、刃先部が層状に
剥離したと思われるような欠損が生じていた。
【0038】比較例4 原料として市販のpBNの成形体を用いた。この成形体
を高周波炉で窒素ガス中温度2100℃で2時間熱処理
してサンプルを得た。このサンプル中の酸素含有量をガ
ス分析により測定した。酸素含有量は0.02重量%で
あった。このサンプルをモリブデンカプセルに入れ、ベ
ルト型超高圧発生装置で圧力7.5GPa、温度210
0℃に15分間保つことにより強固なcBN焼結体が得
られた。このcBN焼結体の構造をX線回折によって調
べたところ、cBNの(220)面の回折線はほとんど
見られず、cBNの(220)面の回折強度I220 と、
cBNの(111)面の回折強度I111 との比I220
111 はほぼ0であることがわかった。このことから、
このcBN焼結体は、<111>方向に選択的に配向し
た非常に異方性の強い焼結体であることがわかった。ま
た、X線回折により、面間隔でd=3.1Å付近に圧縮
されたhBNがあることがわかった。このcBN焼結体
の硬度を測定したところ、硬度は4000Kg/mm2
であった。また、この焼結体の熱伝導率をレーザフラッ
シュ法で測定すると、熱伝導率は約4.5W/cm・℃
であった。また、このcBN焼結体から切削工具を作製
し、鋳鉄の断続高速切削テストを行なったところ、瞬時
にして刃先が欠損した。刃先の損傷を見ると、層状に剥
離している部分が多く見られた。
【0039】比較例5 B2 3 とアンモニアを反応させて低結晶の低圧相BN
を合成し、これを原料とした。この原料の結晶粒子の粒
径は0.5μmであった。この原料の組成を分析する
と、約3重量%のB2 3 が含まれていたので、このB
2 3 を除去するために高周波炉で窒素ガス中温度21
00℃で2時間熱処理した。この熱処理により酸素含有
量が0.1重量%程度となったが、hBNの結晶粒子が
成長しており、結晶粒子の粒径は3〜5μmであった。
これを原料として実施例1と同様にcBN焼結体の作製
を試みたが、hBNがcBNに変換せず、強固なcBN
焼結体は全く得られなかった。
【0040】今回開示された実施例はすべての点で例示
であって制限的なものではないと考えられるべきであ
る。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の
範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味およ
び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のcBN焼結体の原料となるhBNのX
線回折図形を示す図である。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 低圧相窒化ホウ素を高温高圧下で直接変
    換させると同時に焼結させて立方晶窒化ホウ素焼結体を
    製造する方法において、 ホウ素と酸素を含む化合物を、炭素と窒素とを含む化合
    物で還元することにより出発物質としての前記低圧相窒
    化ホウ素を準備することを特徴とする、立方晶窒化ホウ
    素焼結体の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記立方晶窒化ホウ素への直接変換は、
    前記ホウ素と酸素とを含む化合物の沸点以上の温度で前
    記低圧相窒化ホウ素を非酸化性雰囲気で加熱した後、行
    なわれることを特徴とする、請求項1に記載の立方晶窒
    化ホウ素焼結体の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記低圧相窒化ホウ素には0.08〜1
    重量%の酸素が含まれていることを特徴とする、請求項
    1または2に記載の立方晶窒化ホウ素焼結体の製造方
    法。
  4. 【請求項4】 前記立方晶窒化ホウ素への直接変換は、
    前記低圧相窒化ホウ素の粉末を非酸化性雰囲気で加熱し
    た後、成形することによって成形体を得て、その成形体
    をさらに加熱した後、行なわれることを特徴とする、請
    求項1〜3のいずれか1項に記載の立方晶窒化ホウ素焼
    結体の製造方法。
  5. 【請求項5】 低圧相窒化ホウ素を高温高圧下で直接変
    換させると同時に焼結させて製造された立方晶窒化ホウ
    素焼結体であって、 その立方晶窒化ホウ素焼結体の(220)面のX線回折
    強度(I220 )と、(111)面のX線回折強度(I
    111 )との比(I220 /I111 )が0.1以上であるこ
    とを特徴とする、立方晶窒化ホウ素焼結体。
  6. 【請求項6】 前記立方晶窒化ホウ素焼結体の立方晶窒
    化ホウ素結晶の粒径が1μm以下であることを特徴とす
    る、請求項5に記載の立方晶窒化ホウ素焼結体。
  7. 【請求項7】 硬度が4500Kg/mm2 以上である
    ことを特徴とする、請求項5または6に記載の立方晶窒
    化ホウ素焼結体。
  8. 【請求項8】 非酸化性雰囲気での耐熱温度が1200
    ℃以上であることを特徴とする、請求項5〜7のいずれ
    か1項に記載の立方晶窒化ホウ素焼結体。
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