JPH10162357A - テープ状磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 信頼性の高いテープ状磁気記録媒体が効率よ
く生産されるようにしたテープ状磁気記録媒体の製造装
置を提供する。 【解決手段】 密閉空間部を構成する１個のチャンバー
２内に、テープ状非磁性支持体２０を送り出す供給部１
１及び製造された薄膜型磁気テープ２１の巻き取りを行
う巻取部１２と、クーリングキャン５と、磁性材料２５
を蒸発させる蒸発手段６及びこの蒸発手段６を収納した
蒸着室３とからなる真空蒸着ユニットが複数組備えられ
る。非磁性支持体２０は、チャンバー２内を、真空蒸着
ユニットを選択されて走行されることにより、仕様を異
にする磁性層が成膜されてテープ状磁気記録媒体２１を
製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テープ状磁気記録
媒体の製造方法及び製造装置に関し、さらに詳しくは非
磁性支持体の表面上に真空蒸着法により金属磁性層が連
続的に成膜されてなるテープ状磁気記録媒体の製造を行
うテープ状磁気記録媒体の製造方法及び製造装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】強磁性金属薄膜型のテープ状磁気記録媒
体（以下、単に薄膜型磁気テープと略称する。）は、一
般に、その磁性層が金属あるいはＣｏ−Ｎｉ等の合金の
連続膜から構成され、塗布型磁気テープと比較して、薄
厚であるとともに、保磁力、角形比、短波長域における
電磁変換特性等に優れるといった特徴を有している。ま
た、この薄膜型磁気テープは、磁性層の薄膜化が可能で
あるために記録減磁や再生時の厚み損失を著しく小さく
することができ、さらに磁性層中に非磁性材料である結
合剤等を混入する必要がないために磁性材料の充填密度
を高くできる等の数々の利点を有している。

【０００３】薄膜型磁気テープは、一般に磁性層が真空
蒸着法によって成膜され、例えば加熱蒸発された磁性材
料を広幅で長尺のテープ状非磁性支持体の表面上に対し
て斜め方向から入射して被着させる、いわゆる斜め蒸着
法が実用化されている。この斜め蒸着法は、真空槽内に
所定の温度に冷却または加熱される大径のクーリングキ
ャンを配設し、このクーリングキャンの外周面に非磁性
支持体を所定の方向に移動走行させた状態で、電子銃等
の加熱手段により加熱溶融されたルツボ内の磁性材料を
上記非磁性支持体の表面上に所定の入射角をなして入射
させることによってその表面上に強磁性金属薄膜を成膜
している。また、この斜め蒸着法においては、磁性層の
成膜工程において、磁性薄膜の磁気特性及び耐蝕性の向
上を図るために上記非磁性支持体の表面上に酸素ガスが
供給される。

【０００４】ところで、この薄膜型磁気テープにおいて
は、その電磁変換特性が残留磁束密度Ｂｒや飽和磁化б
ｓや保磁力Ｈｃに比例することが知られている。また、
薄膜型磁気テープは、磁性層が例えばＣｏ８０Ｎｉ20
（数値は重量％を示す。）から構成される。これによ
り、薄膜型磁気テープは、Ｎｉの添加量を減少させた
り、あるいは上述のように非磁性支持体の表面上に供給
する酸素ガスの供給量を少なくして磁性薄膜表面の酸化
物の量を減少させることによって、残留磁束密度Ｂｒを
増大させ電磁変換特性の向上を図るようにしている。

【０００５】薄膜型磁気テープにおいては、磁性材料を
蒸着する際に非磁性支持体の表面上に供給する酸素ガス
の供給量が少ない場合に、スチル時間が低下して耐久性
が劣化する。また、薄膜型磁気テープは、酸素ガスの供
給量を少なくすることによって磁性層の出力特性の向上
を図ることが可能とされるが、その一方でＣ／Ｎ値が著
しく劣化してしまうといった問題が生じる。

【０００６】薄膜型磁気テープにおいては、上述した問
題点の解決を図るために、例えば非磁性支持体の表面上
に複数の磁性薄膜を積層形成することによって磁性層を
多層化する方法が採用されている。薄膜型磁気テープ
は、かかる多層化磁性層の構成によって、良好な耐久性
およびＣ／Ｎ値を確保し、かつ残留磁束密度Ｂｒや保磁
力Ｈｃ等の向上が図られる。

【０００７】ところで、薄膜型磁気テープにおいては、
上述したように特性面において優れた電磁変換特性を有
するが、その一方で全体として薄厚とされることから耐
久特性が悪いといった問題を有している。薄膜型磁気テ
ープは、例えば非磁性支持体の表面上に下塗り層を形成
して適当な粗度を付与したり、磁性層の表面上に各種潤
滑剤を塗布して潤滑層を形成することによって、スチル
特性やシャトル特性等の耐久性を向上させる対応が図ら
れている。さらに、薄膜型磁気テープは、成膜した磁性
層の表面上にカーボン膜等による保護膜を形成すること
によって優れた保護効果を得るように構成されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】薄膜型磁気テープの製
造方法においては、真空槽内で行われる磁性層の成膜工
程に際して、槽内の排気処理を行って真空状態とする段
取り工程が必要である。このため、薄膜型磁気テープの
製造方法は、塗布型磁気テープの製造方法と比較して段
取り時間が長くなり生産性が悪いといった問題点を有し
ていた。また、薄膜型磁気テープは、上述したように非
磁性支持体の表面上に多層の磁性層が成膜形成されるこ
とから多数回の成膜工程が施される。したがって、この
薄膜型磁気テープの製造方法においては、各層を成膜す
る毎に段取り時間を要するためにますます生産性が悪く
なっていた。

【０００９】さらに、従来の薄膜型磁気テープの製造方
法においては、磁性層を構成する各層の成膜工程が非磁
性支持体に対してバッチで処理されていた。

【００１０】ところで、薄膜型磁気テープ製造方法にお
いては、真空槽内で行われる磁性層の成膜工程に際し
て、槽内の排気処理を行って真空状態とする段取り工程
が必要であることから、塗布型磁気テープの製造方法と
比較して段取り時間が長くなって生産性が悪いといった
問題点を有していた。

【００１１】薄膜型磁気テープは、上述したように非磁
性支持体に対する加工処理工程が増えるにしたがって、
それぞれの工程での生産性が問題となり、全体の生産性
の向上を図るためには従来のバッチ処理を行う装置での
対応では困難である。

【００１２】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたもので、信頼性を確保しかつ生産性の向上を
図ったテープ状磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。

【００１３】また、本発明は、信頼性の高いテープ状磁
気記録媒体が効率よく生産されるようにしたテープ状磁
気記録媒体の製造装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
本発明に係るテープ状磁気記録媒体の製造方法は、非磁
性支持体を供給する供給部と、クーリングキャンと、磁
性材蒸発手段と、磁性層が成膜されてなる磁気記録媒体
を巻き取る巻取部とからなる真空蒸着ユニットが複数組
備えられた１つの真空チャンバー内において行われる。
供給部から送り出されたテープ状の非磁性支持体は、ク
ーリングキャンの外周面に走行され、このクーリングキ
ャンの外周部の近傍に配設した磁性材蒸着手段によって
加熱蒸発された磁性材料がその表面上に蒸着されて磁性
層を成膜してテープ状磁気記録媒体を形成する。形成さ
れたテープ状磁気記録媒体は、クーリングキャンの外周
面から巻取部へと導かれて巻き取られる。

【００１５】本発明に係るテープ状磁気記録媒体の製造
方法によれば、非磁性支持体の走行路を選択して上記真
空蒸着ユニットのいずれかを走行させることにより、そ
の表面上に仕様を異にする磁性層が成膜される。

【００１６】また、上述した目的を達成する本発明に係
るテープ状磁気記録媒体の製造装置は、テープ状の非磁
性支持体を送り出す供給部と、非磁性支持体を外周面に
走行させるクーリングキャンと、このクーリングキャン
の外周部の近傍に配設されるとともに磁性材料を加熱蒸
発させて非磁性支持体の表面上に蒸着させることにより
磁性層を成膜する磁性材蒸着手段と、磁性層が成膜され
てなる磁気記録媒体の巻き取りを行う巻取部とからなる
真空蒸着ユニットが、密閉された１個の真空チャンバー
内に複数組備えられて構成される。

【００１７】以上のように構成された本発明に係るテー
プ状磁気記録媒体の製造装置によれば、いずれか１つの
供給部から送り出されたテープ状の非磁性支持体が、真
空槽内において走行路を選択されて上記真空蒸着ユニッ
トのいずれかを走行されていずれか１つの巻取部によっ
て巻き取られることにより、その表面上に仕様を異にす
る磁性層が成膜されてなるテープ状記録媒体を製造す
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るテープ状磁気
記録媒体の製造方法及びその製造装置の実施の形態を図
面を参照して詳細に説明する。薄膜型磁気テープ２１
は、後述する真空蒸着装置１内において、供給された非
磁性支持体２０の表面上に磁性材料２５が蒸着されて適
宜の磁性層が成膜形成されてなる。非磁性支持体２０
は、幅広で長尺とされたいわゆる原反として真空蒸着装
置１に供給され、その材料として例えばポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレンー２、６ーナフタレート等
のポリエステル樹脂や芳香族ポリアミドフィルム、ポリ
イミド樹脂フィルム等があげられる。したがって、薄膜
型磁気テープ２１は、真空蒸着装置１から取り出された
後、長さ方向に沿って適当な幅に裁断する裁断工程を経
て形成される。

【００１９】磁性材料２５は、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
等の磁性金属材料や、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−
Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等の合金材料があげられる。磁性
材料２５は、後述するように電子ビームｅ^-が照射され
て加熱蒸発し、非磁性支持体２０の表面上に所定の角度
を以って蒸着して磁性層を成膜する。薄膜型磁気テープ
２１は、このように磁性材料２５が所定の角度を以って
蒸着されるいわゆる斜め蒸着法によって成膜される。な
お、以下の実施の形態においては、磁性材料２５として
Ｃｏ−Ｎｉが用いられる。

【００２０】真空蒸着装置１は、図１に示すように、密
閉された内部空間部を構成するチャンバー（真空槽）２
と、このチャンバー２の内部に配置された複数組（図１
においては２組）の真空蒸着ユニットとから構成され
る。真空蒸着装置１は、２組の真空蒸着ユニットをチャ
ンバー２の内部に上下に配設したいわゆる縦型として構
成されている。

【００２１】チャンバー２は、後述する非磁性支持体２
０に対する蒸着処理に際して、図示しない真空ポンプに
よって内部空間部の排気が行われてこの内部空間部が略
真空環境とされる。チャンバー２は、その内部空間部が
複数の隔壁によってさらに主空間部２ａと、複数の蒸着
室３（図１においては、上下の第１の蒸着室３ａと第２
の蒸着室３ｂとの２室）とに区割りされて構成されてい
る。なお、チャンバー２には、図示しないがその内部に
蒸着室３に連続してスパッタ室が設けられる。

【００２２】チャンバー２には、主空間部２ａに、第１
の供給巻取部４ａと第２の供給巻取部４ｂ及び第１のク
ーリングキャン５ａと第２のクーリングキャン５ｂとが
配置されている。なお、以下の説明において、２組の蒸
着ユニットの各構成部材については、上述したように最
初に第１のクーリングキャン５ａ，第２のクーリングキ
ャン５ｂと別表記するが、特に個別に説明する場合を除
き説明の便宜上クーリングキャン５のように代表して表
記するものとする。

【００２３】クーリングキャン５は、非磁性支持体２０
の幅寸法よりもやや大きな幅寸法を有する大径のローラ
体によって構成され、その外周の一部が蒸着室３に臨ま
されてチャンバー２内に回転自在に支持されている。ク
ーリングキャン５は、図示しない駆動源によって図１矢
印に示すように、時計方向に回転駆動される。クーリン
グキャン５は、蒸着室３に臨まされた外周領域が、後述
するようにその外周を走行される非磁性支持体２０に対
する磁性材料２５の蒸着領域とされる。クーリングキャ
ン５には、図示しないがその内部に非磁性支持体２０を
冷却するための冷却装置が配設されている。クーリング
キャン５は、これによって磁性材料２５が蒸着される際
に加熱される非磁性支持体２０を所定の温度に冷却する
ことによりその変形等を防止するようにしている。

【００２４】第１の蒸着室３ａには、第１の電子銃６ａ
と、磁性材料２５が充填される第１のルツボ７ａと、第
１の電子偏向体８ａ及び第１のシャッタ部材９ａが配置
されている。また、第１の蒸着室３ａには、室内に酸素
ガスを供給する第１の酸素供給部１０ａが設けられてい
る。同様に、第２の蒸着室３ｂには、第２の電子銃６ｂ
と、磁性材料２５が充填される第２のルツボ７ｂと、第
２の電子偏向体８ｂ及び第２のシャッタ部材９ｂとが配
置されている。また、第２の蒸着室３ｂには、室内に酸
素ガスを供給する第２の酸素供給部１０ｂが設けられて
いる。

【００２５】電子銃６は、各蒸着室３の側方部に位置し
てそれぞれ配設され、電子ビームをこの蒸着室３内へと
出射することによってルツボ７に充填された磁性材料２
５の加熱手段を構成する。ルツボ７は、クーリングキャ
ン５の下方部に位置して各蒸着室３の内部に配設され
る。このルツボ７は、クーリングキャン５の幅寸法とほ
ぼ等しい開口部を有しており、蒸発された磁性材料２５
がクーリングキャン５の外周部に均等に導かれるように
する。

【００２６】なお、ルツボ７は、例えばクーリングキャ
ン５の幅方向に対して３分割された構成とするとともに
対応して設けた３個の電子銃６からそれぞれ電子ビーム
を照射されるようにすることによって、磁性材料２５の
均一な蒸発が促進されて幅広の非磁性支持体２０に対し
てより均一な磁性層が成膜されるように構成してもよ
い。また、ルツボ７は、加熱器が付設されており、例え
ば予め５００°Ｃに余熱されることによって、充填され
た磁性材料２５に含まれた不純物や吸着ガスを除去する
ようにしてもよい。さらに、蒸着室３は、非磁性支持体
２０の掛合せ作業や形成された薄膜型磁気テープ２１の
取出し作業等の段取り作業に際して開放されるために、
ルツボ７を一時的に隔離保管して高温状態に保持する保
管室を付設するようにしてもよい。

【００２７】電子偏向体８は、偏向磁石によって構成さ
れ、ルツボ７を挟んで電子銃６の出射部に対向して蒸着
室３内に配設されている。電子偏向体８は、電子銃６か
ら出射された電子ビームに対して磁力を作用させること
により、電子線ｅ^-をルツボ７に充填された磁性材料２
５ｂに照射させるようにする。磁性材料２５ｂは、これ
によって加熱されて蒸着室３内に蒸発し、シャッタ部材
９によって制御されて非磁性支持体２０の表面に蒸着さ
れる。

【００２８】酸素供給部１０は、図示しない供給源から
酸素ガスを蒸着室３の内部へと供給する。供給された酸
素ガスは、後述するように非磁性支持体２０の表面に蒸
着形成された磁性層と反応して酸化物を形成し、磁性層
の磁気特性、耐蝕性の向上を図る。したがって、酸素供
給部１０は、図１に示すように、クーリングキャン５の
外周面に近接して蒸着室３の入り口部分或いはシャッタ
部材９の一端部分に開口されている。

【００２９】シャッタ部材９は、クーリングキャン５の
外周面とほぼ等しい曲率を有する円弧状を呈して形成さ
れている。シャッタ部材９は、クーリングキャン５の外
周面の所定の領域を覆うようにしてルツボ７との間に位
置して配設されている。以上のように構成されたシャッ
タ部材９は、蒸着室３内に蒸発した磁性材料２５が非磁
性支持体２０の表面に対して蒸着される入射角の最低角
度を規定する。

【００３０】蒸着室３には、後述する非磁性支持体２０
に対する蒸着処理に際して、酸素供給部１０を介して図
示しない供給源から少量の酸素ガスが供給される。この
酸素ガスは、成膜される磁性層の表面部分に酸化層を形
成して磁気特性及び耐蝕性の向上を図る。

【００３１】第１の供給巻取部４ａには、上下に離間し
てそれぞれ第１の供給軸１１ａと第１の巻取軸１２ａと
が配設されている。第１の供給軸１１ａは、図示しない
駆動源によって図１において時計方向へと回転駆動され
る。また、第１の巻取軸１２ａも、図示しない駆動源に
よって図１において時計方向へと回転駆動される。これ
ら第１の供給軸１１ａと第１の巻取軸１２ａは、第１の
クーリングキャン５ａと同期して回転駆動される。第１
の供給軸１１ａには、非磁性支持体２０を巻回してなる
非磁性支持体ロール２２が掛け合わされる。また、第１
の巻取軸１２ａには、磁性層が成膜された薄膜型磁気テ
ープ２１が巻回される磁気テープロール２３が掛け合わ
される。

【００３２】第２の供給巻取部４ｂも上述した第１の供
給巻取部４ａと同様に構成され、上下に離間してそれぞ
れ第２の供給軸１１ｂと第２の巻取軸１２ｂとが配設さ
れている。第２の供給軸１１ｂは、図示しない駆動源に
よって図１において時計方向へと回転駆動される。ま
た、第２の巻取軸１２ｂも、図示しない駆動源によって
図１において時計方向へと回転駆動される。これら第２
の供給軸１１ｂと第２の巻取軸１２ｂは、第２のクーリ
ングキャン５ｂと同期して回転駆動される。第２の供給
軸１１ｂには、非磁性支持体２０を巻回してなる非磁性
支持体ロール２２が掛け合わされる。また、第２の巻取
軸１２ｂには、磁性層が成膜された薄膜型磁気テープ２
１が巻回される磁気テープロール２３が掛け合わされ
る。

【００３３】チャンバー２には、主空間部２ａの第１の
供給巻取部４ａに、第１の供給軸１１ａと第１のクーリ
ングキャン５ａとの間に位置して、互いに平行に対峙す
る一対の板状電極からなる第１の供給側ボンバード電極
１３ａが配設されている。また、主空間部２ａには、第
１の供給巻取部４ａの第１の巻取軸１２ａと第１のクー
リングキャン５ａとの間に位置して、互いに平行に対峙
する一対の板状電極からなる第１の巻取側ボンバード電
極１４ａが配設されている。

【００３４】また、チャンバー２には、主空間部２ａの
第２の供給巻取部４ｂに、第２の供給軸１１ｂと第２の
クーリングキャン５ｂとの間に位置して、互いに平行に
対峙する一対の板状電極からなる第２の供給側ボンバー
ド電極１３ｂが配設されている。また、主空間部２ａに
は、第２の供給巻取部４ｂの第２の巻取軸１２ｂと第２
のクーリングキャン５ｂとの間に位置して、互いに平行
に対峙する一対の板状電極からなる第２の巻取側ボンバ
ード電極１４ｂが配設されている。

【００３５】供給側ボンバード電極１３は、後述するよ
うに供給巻取部４から送り出される非磁性支持体２０の
走行路の一部を構成するとともに、この非磁性支持体２
０に対してその表面に付着した酸化物等を除去するボン
バード処理を施す。非磁性支持体２０は、このボンバー
ド処理を施こされることによって、成膜される磁性層の
電磁変換特性の向上が図られる。

【００３６】また、巻取側ボンバード電極１４は、後述
するように磁性層が成膜されて蒸着室３から送り出され
て供給巻取部４に巻き取られる薄膜型磁気テープ２１の
走行路の一部を構成する。巻取側ボンバード電極１４
は、走行する薄膜型磁気テープ２１に対して、後工程に
おいて磁性層の表面に潤滑層や防錆層を形成する際に安
定性を向上させるようにする。

【００３７】チャンバー２には、主空間部２ａの第１の
供給巻取部４ａに第１の供給軸１１ａと第１のクーリン
グキャン５ａとの間に位置して、第１の供給ガイドロー
ラ１５ａが設けられている。この第１の供給ガイドロー
ラ１５ａには、非磁性支持体２０が掛け合わされて走行
することによってこの非磁性支持体２０を第１のクーリ
ングキャン５ａへと導く走行路を構成する。また。チャ
ンバー２には、第１の供給巻取部４ａに、第１のクーリ
ングキャン５ａと第１の巻取軸１２ａとの間に位置して
第１の巻取ガイドローラ１６ａが設けられている。この
第１の巻取ガイドローラ１６ａには、薄膜型磁気テープ
２１が掛け合わされて走行することによってこの薄膜型
磁気テープ２１を第１のクーリングキャン５ａへと導く
走行路を構成する。

【００３８】以上のように構成された真空蒸着装置１に
は、供給巻取部４の供給軸１１に非磁性支持体２０を巻
回してなる非磁性支持体ロール２２が装着される。真空
蒸着装置１は、この非磁性支持体ロール２２から非磁性
支持体２０を引き出して、供給側ボンバード電極１３の
間を通して供給ガイドローラ１５に掛け合わせた後、ク
ーリングキャン５の外周部に周回されて蒸着室３内へと
導くようにする。真空蒸着装置１は、さらにこの非磁性
支持体２０をクーリングキャン５の外周部に周回させた
後、蒸着室３の他方側から引き出して巻取ガイドローラ
１６に掛け合わせる。真空蒸着装置１は、巻取ガイドロ
ーラ１６を介して非磁性支持体２０を巻取側ボンバード
電極１４間に通過させた後、供給巻取部４の巻取軸１２
に装着された磁気テープロール２３の外周部に掛止めす
る。

【００３９】真空蒸着装置１は、上述したようにチャン
バー２内に非磁性支持体２０を装着した後、図示しない
真空ポンプが駆動されることによってこのチャンバー２
内の真空抜きが行われる。真空蒸着装置１は、酸素供給
部６から蒸着室３内に所定量の酸素ガスが供給されると
ともに、供給軸１１、クーリングキャン５及び巻取軸１
２が駆動されて非磁性支持体ロール２２から非磁性支持
体２０の送り出しを行う。真空蒸着装置１は、この状態
で電子銃６が駆動されて電子ビームが蒸着室３内へと出
射され、電子偏向体８の磁力によって進行方向を偏向さ
せてルツボ７に充填された磁性材料２５ｂに電子線ｅ^-
を照射させる。また、真空蒸着装置１は、供給側ボンバ
ード電極１３及び巻取側ボンバード電極１４に電源が供
給される。

【００４０】真空蒸着装置１は、電子線ｅ^-の照射によ
って加熱された磁性材料２５を蒸着室３内で蒸発させ、
この蒸着室３内においてクーリングキャン５の外周部を
走行する非磁性体２０の表面に蒸着させる。真空蒸着装
置１は、この場合、シャッタ部材９によって非磁性支持
体２０の表面に対して、磁性材料２５をその最低入射角
度を規定しながら斜めから入射することによって斜め蒸
着を行う。真空蒸着装置１は、このようにして非磁性支
持体２０の表面に磁性層を斜め蒸着することによって成
膜して薄膜型磁気テープ２１を形成する。

【００４１】薄膜型磁気テープ２１は、クーリングキャ
ン５の外周部から図示しないスパッタ室へと導かれて磁
性層の表面に適宜のトップコート層が形成された後、巻
取ガイドローラ１６に掛け合わされて走行される。薄膜
型磁気テープ２１は、巻取側ボンバード電極１４の間を
通過することによってボンバード処理が施された後、巻
取軸１２に装着された磁気テープロール２３によって巻
き取られる。

【００４２】以上のように構成された真空蒸着装置１
は、チャンバー２の内部に第１の真空蒸着ユニットと第
２の真空蒸着ユニットとを備えることによって、磁性層
の仕様を異にした複数の薄膜型磁気テープ２１を製造す
ることを可能としている。すなわち、真空蒸着装置１
は、図２に示すように、第１の供給巻取部４ａの供給軸
１１ａに非磁性支持体ロール２２が装着されるとともに
第２の供給巻取部４ｂの巻取軸１２ｂに磁気テープロー
ル２３が装着される。真空蒸着装置１は、非磁性支持体
２０が第１の真空蒸着ユニットと第２の真空蒸着ユニッ
トとに連続して走行されることによって多層の磁性層を
有する薄膜型磁気テープ２１を製造する。

【００４３】すなわち、真空蒸着装置１は、非磁性支持
体ロール２２から非磁性支持体２０を引き出して、第１
の供給側ボンバード電極１３ａの間を通して第１の供給
ガイドローラ１５ａに掛け合わせた後、第１のクーリン
グキャン５ａの外周部に周回させて第１の蒸着室３ａ内
へと導くようにする。真空蒸着装置１は、さらに非磁性
支持体２０を第１のクーリングキャン５ａの外周部に走
行させる過程でその表面に磁気層を成膜した後、磁気テ
ープ中間体２４として第１の蒸着室３ａの他方側から引
き出して第１の巻取ガイドローラ１６ａに掛け合わせる
ようにする。

【００４４】真空蒸着装置１は、この第１の巻取ガイド
ローラ１６ａによって磁気テープ中間体２４を折り返し
て第２のクーリングキャン５ｂの外周部に周回させて第
２の蒸着室３ｂ内へと導くようにする。真空蒸着装置１
は、磁気テープ中間体２４を第２のクーリングキャン５
ｂの外周部に走行させる過程で上述した第１の蒸着ユニ
ットにおいて成膜された第１の磁性層上に第２の磁性層
を成膜して薄膜型磁気テープ２１を形成する。真空蒸着
装置１は、この薄膜型磁気テープ２１を第２の蒸着室３
ｂの他方側から引き出して第２の巻取ガイドローラ１６
ｂに掛け合わせる。真空蒸着装置１は、第２の巻取ガイ
ドローラ１６ｂを介して薄膜型磁気テープ２１を第２の
巻取側ボンバード電極１４ｂ間に通過させた後、第２の
供給巻取部４ｂの巻取軸１２ｂに装着された磁気テープ
ロール２３によって巻き取る要にする。

【００４５】真空蒸着装置１は、第１の蒸着室３ａと第
２の真空蒸着室３ｂとがその室内の環境条件を互いに異
にしてそれぞれ所定の条件に設定されている。したがっ
て、真空蒸着装置１は、非磁性支持体２０に対して仕様
を異にする第１の磁性層と第２の磁性層とを成膜すると
ともに、これら第１の磁性層と第２の磁性層とを成膜す
るに際してその都度チャンバー２内の排気操作及び清掃
作業等の段取り作業を不要として多層薄膜型磁気テープ
２１の製造を可能とする。真空蒸着装置１は、この段取
り作業の合理化によって生産性の大幅な向上を図るとと
もに安定したロット生産を可能とする。

【００４６】また、真空蒸着装置１は、チャンバー２内
に第１の真空蒸着ユニットと第２の真空蒸着ユニットと
を備えることによって、同一仕様の薄膜型磁気テープ２
１を生産し、或いは仕様を異にする２種類の薄膜型磁気
テープ２１の生産を可能とする。すなわち、真空蒸着装
置１は、図３に示すように、第１の真空蒸着ユニットを
構成する第１の供給巻取部４ａに第１の非磁性支持体ロ
ール２２ａを装着するとともに、第２の真空蒸着ユニッ
トを構成する第２の供給巻取部４ｂに第２の非磁性支持
体ロール２２ｂを装着する。これら第１の非磁性支持体
ロール２２ａ及び第２の非磁性支持体ロール２２ｂから
引き出された非磁性支持体２０ａ，２０ｂは、上述した
経路を走行して、それぞれ巻取軸１２ａ，１２ｂに装着
された磁気テープロール２３ａ，２３ｂに巻き取られ
る。

【００４７】真空蒸着装置１は、第１の蒸着室３ａと第
２の蒸着室３ｂとを同一環境に設定するとともに同一磁
性材料２５を用いることによって、同時に２本の磁気テ
ープ２１の製造を行う。したがって、真空蒸着装置１
は、２回の段取り作業が１回となることにより生産性の
向上が図らるとともに、同一条件での製造による安定し
たロット生産を可能とする。

【００４８】また、真空蒸着装置１は、第１の蒸着室３
ａと第２の蒸着室３ｂとを異なる環境に設定し、或いは
異なる磁性材料２５を用いることによって、仕様を異に
する２本の磁気テープ２０ａ，２０ｂを同時に製造す
る。したがって、真空蒸着装置１は、仕様毎の段取り作
業が不要とされることから生産性の向上が図らるととも
に、同一条件での製造による安定したロット生産を可能
とする。

【００４９】本発明は、上述した第１の実施の形態に限
定されるものではなく、例えば図４及び図５に示した真
空蒸着装置３０及びこの真空蒸着装置３０を用いた薄膜
型磁気テープの製造等にも展開される。真空蒸着装置３
０は、上述した縦型真空蒸着装置１に対して蒸着室３や
クーリングキャン５等の蒸着ユニットを水平方向に併設
してなる横置型とした構成に特徴を有している。なお、
真空蒸着装置３０は、その基本的な構成を上述した縦型
真空蒸着装置１と同等とされて構成されることから、同
一部分については同一符号を付すことによって以下その
詳細な説明を省略する。

【００５０】真空蒸着装置３０は、チャンバー２の下部
に蒸着室３が配置されていることから、この蒸着室３の
下側にルツボ７を一時的に移動して保管可能とする真空
保管室３１（３１ａ，３１ｂ）が設置されている。真空
保管室３１は、内部に図示しないが温度コントロール付
きの加熱源が設けられており、ルツボ７を例えば５００
°Ｃに保持した状態で保管する。したがって、ルツボ７
は、蒸着工程を終了した後この真空保管室に移動保管す
ることにより、次の蒸着工程のために主空間部２ａや蒸
着室３を開放した場合でも高温状態に保持される。

【００５１】また、真空蒸着装置３０は、第１の供給巻
取部４ａと第２の供給巻取部４ｂ或いは第１のクーリン
グキャン５ａと第２のクーリングキャン５ｂとを同一高
さ位置に配置されている。したがって、真空蒸着装置３
０は、非磁性支持体ロール２３や磁気テープロール２３
の供給巻取部４からの着脱操作やクーリングキャン５の
清掃作業等が簡易に行うことが可能とされる。

【００５２】この真空蒸着装置３０においても、図４に
示すように、第１の供給巻取部４ａの供給軸１１ａに非
磁性支持体ロール２２を装着するとともに第２の供給巻
取部４ｂの巻取軸１２ｂに磁気テープロール２３を装着
し、非磁性支持体２０を第１の真空蒸着ユニットと第２
の真空蒸着ユニットとに連続して走行させることによっ
て多層の磁性層を有する薄膜型磁気テープ２１を製造す
ることを可能とする。

【００５３】また、真空蒸着装置３０は、図５に示すよ
うに、第１の真空蒸着ユニットを構成する第１の供給巻
取部４ａに第１の非磁性支持体ロール２２ａを装着する
とともに、第２の真空蒸着ユニットを構成する第２の供
給巻取部４ｂに第２の非磁性支持体ロール２２ｂを装着
することによって２本の磁気テープ２１の製造を同時に
行うことが可能とされる。非磁性支持体２０は、各真空
蒸着ユニットの供給軸１１に装着された非磁性支持体ロ
ール２２から引き出されて、供給側ボンバード電極１３
−供給ガイドローラ１５−クーリングキャン５−蒸着室
３−巻取ガイドローラ１６−巻取側ボンバード電極１４
の走行路を経て、巻取軸１２に装着された磁気テープロ
ール２３に巻き取られる。

【００５４】真空蒸着装置３０は、第１の蒸着室３ａと
第２の蒸着室３ｂとを同一環境に設定するとともに同一
磁性材料２５を用いることにより、同時に２本の磁気テ
ープ２１の製造を行う。したがって、真空蒸着装置１
は、２回の段取り作業が１回となることにより生産性の
向上が図らるとともに、同一条件での製造による安定し
たロット生産を可能とする。

【００５５】また、真空蒸着装置３０は、第１の蒸着室
３ａと第２の蒸着室３ｂとを異なる環境に設定し、或い
は異なる磁性材料２５を用いることにより、仕様を異に
する２本の磁気テープ２０ａ，２０ｂを同時に製造す
る。したがって、真空蒸着装置１は、仕様毎の段取り作
業が不要とされることから生産性の向上が図らるととも
に、同一条件での製造による安定したロット生産を可能
とする。

【００５６】本発明の他の実施の形態として図６に示し
た真空蒸着装置４０は、上述した縦型真空蒸着装置１に
対して蒸着室３やクーリングキャン５等の蒸着ユニット
を水平方向に併設してなる横置型とし、さらに蒸着室３
に対して電子銃６をその下方部に配設してなる下置型と
した構成に特徴を有している。なお、真空蒸着装置４０
は、その基本的な構成を上述した縦型真空蒸着装置１と
同等とされて構成されることから、同一部分については
同一符号を付すことによって以下その詳細な説明を省略
する。

【００５７】真空蒸着装置４０は、蒸着室３に対して電
子銃６をその下方部に配設してなる下置型としたため
に、電子銃６から射出される電子線を複数の電子偏向体
８により偏向させて各ルツボ７内の金属磁性材料に照射
させるような構成となっている。 この真空蒸着装置４
０においても、図６に示すように真空蒸着装置３０の図
４に示した実施例と同様に、第１の供給巻取部４ａの供
給軸１１ａに非磁性支持体ロール２２を装着するととも
に第２の供給巻取部４ｂの巻取軸１２ｂに磁気テープロ
ール２３を装着し、非磁性支持体２０を第１の真空蒸着
ユニットと第２の真空蒸着ユニットとに連続して走行さ
せることによって多層の磁性層を有する薄膜型磁気テー
プ２１を製造することを可能とする。

【００５８】また、真空蒸着装置４０は、図示しないが
真空蒸着装置３０の図５に示した実施例と同様に、第１
の真空蒸着ユニットを構成する第１の供給巻取部４ａに
第１の非磁性支持体ロール２２ａを装着するとともに、
第２の真空蒸着ユニットを構成する第２の供給巻取部４
ｂに第２の非磁性支持体ロール２２ｂを装着することに
よって２本の磁気テープ２１の製造を同時に行ってもよ
い。

【００５９】以上のように構成された真空蒸着装置４０
は、蒸着室３に対して電子銃６をその下方部に配設して
なる下置型としたことによって、２つの蒸着室３の間隔
を狭めて装置全体を小さくし、各ルツボ７から電子銃６
に飛来する金属蒸気が電子銃内に進入するのを防いで電
子銃６が汚れることにより生じる突発的な異常放電現象
（ブレークダウン）を阻止することが可能とされる。ま
た、真空蒸着装置４０は、真空蒸着装置１、３０と同様
に仕様毎の段取り作業が不要とされて生産性の向上が図
られる。上述した実施例においては、真空蒸着ユニット
が２組配設されているが、複数組の真空蒸着ユニットが
配設されていても良い。

【００６０】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係るテープ状磁気記録媒体の製造方法によれば、密
閉空間部を構成する１個のチャンバー内に少なくとも２
個以上の真空蒸着ユニットを備えた真空蒸着装置が用い
られ、この真空蒸着装置内において走行路を選択して非
磁性支持体に所定の磁性層を成膜形成するようにしたこ
とから、磁性層の仕様を異にした薄膜型磁気テープを各
磁性層の成膜工程毎の排気、清掃等の段取り工程を不要
として製造することができ、生産性の大幅な向上が図ら
れる。

【００６１】また、本発明に係るテープ状磁気記録媒体
の製造装置によれば、密閉空間部を構成する１個のチャ
ンバー内に少なくとも２個以上の真空蒸着ユニットが備
えられて構成されていることにより、供給した非磁性支
持体の走行路を選択して仕様を異にする磁性層を有する
薄膜型磁気テープが各磁性層の成膜工程毎に排気、清掃
等の段取り工程を不要として製造することができ、生産
性の大幅な向上が図られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態として示す真空蒸着装置の
構成を説明する模式図である。

【図２】同真空蒸着装置によって多層磁性層を有する薄
膜型磁気テープを製造する状態を説明する模式図であ
る。

【図３】同真空蒸着装置によって磁性層の仕様を異にす
る薄膜型磁気テープを製造する状態を説明する模式図で
ある。

【図４】本発明の他の実施の形態として示す真空蒸着装
置の構成を説明する模式図であり、多層磁性層を有する
薄膜型磁気テープを製造する状態を示す。

【図５】同真空蒸着装置によって磁性層の仕様を異にす
る薄膜型磁気テープを製造する状態を説明する模式図で
ある。

【図６】本発明の他の実施の形態として示す真空蒸着装
置の構成を説明する模式図であり、多層磁性層を有する
薄膜型磁気テープを製造する状態を示す。

【符号の説明】

１ 真空蒸着装置、２ チャンバー、３ 蒸着室、４
巻取供給部、５ クーリングキャン、６ 電子銃、７
ルツボ、８ 電子偏向体、９ シャッタ部材、１０ 酸
素ガス供給部、１１ 供給軸、１２ 巻取軸、１３ 第
１のボンバード電極、１４ 第２のボンバード電極、１
５ 供給ガイドローラ、１６ 巻取ガイローラ、２０
非磁性支持体、２１ 薄膜型磁気テープ、２２ 非磁性
支持体ロール体、２３ 磁気テープロール体、２４ 磁
気テープ中間体、２５ 磁性材料

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密閉された真空チャンバー内において、
   供給部から送り出されたテープ状の非磁性支持体をクー
   リングキャンの外周面に走行させるとともに、このクー
   リングキャンの外周部の近傍に配設した磁性材蒸着手段
   によって磁性材料を加熱蒸発させて上記非磁性支持体の
   表面上に磁性層を成膜した後に巻取部によって巻き取る
   ようにし、 上記真空チャンバーは、１個で構成されるとともに、そ
   の内部に上記非磁性支持体を供給する供給部と、クーリ
   ングキャンと、磁性材蒸発手段が収納された蒸発室と、
   磁性層が成膜されてなる磁気記録媒体を巻き取る巻取部
   とからなる真空蒸着ユニットが複数組備えられ、 上記非磁性支持体をその走行経路を選択して上記いずれ
   かの真空蒸着ユニットに走行させることにより、磁性層
   の仕様を異にするテープ状磁気記録媒体を製造すること
   を特徴とするテープ状磁気記録媒体の製造方法。
2. 【請求項２】 テープ状の非磁性支持体を送り出す供給
   部と、上記非磁性支持体を外周面に走行させるクーリン
   グキャンと、このクーリングキャンの外周部の近傍に配
   設されるとともに磁性材料を加熱蒸発させて上記非磁性
   支持体の表面上に蒸着させることによって磁性層を成膜
   する磁性材蒸着手段が収納された蒸着室と、磁性層が成
   膜されてなる磁気記録媒体の巻き取りを行う巻取部とに
   よって真空蒸着ユニットを構成し、 密閉された１個の真空チャンバー内には、複数組の上記
   真空蒸着ユニットが備えられることを特徴とするテープ
   状磁気記録媒体の製造装置。
3. 【請求項３】 上記蒸着手段には、電子線を照射して磁
   性材料を加熱蒸発させる複数の電子銃が備えられるとと
   もに、これら電子線の偏向手段が複数備えられることを
   特徴とする請求項２記載のテープ状磁気記録媒体の製造
   装置。