JPH10163246A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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JPH10163246A
JPH10163246A JP8334913A JP33491396A JPH10163246A JP H10163246 A JPH10163246 A JP H10163246A JP 8334913 A JP8334913 A JP 8334913A JP 33491396 A JP33491396 A JP 33491396A JP H10163246 A JPH10163246 A JP H10163246A
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JP
Japan
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wire
air
blowing means
air blowing
wire bonding
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Withdrawn
Application number
JP8334913A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Torihata
稔 鳥畑
Hiroto Urabayashi
寛人 浦林
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Shinkawa Ltd
Original Assignee
Shinkawa Ltd
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Publication date
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Priority to KR1019970044437A priority patent/KR100273669B1/ko
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Priority to US08/980,991 priority patent/US6024271A/en
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071—Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711—Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/002—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating specially adapted for particular articles or work
    • B23K20/004—Wire welding
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワイヤが急激に又は周期的に揺さぶられて曲が
ったり、表面に傷が付いたり汚れが付着したりするのを
防止する。 【解決手段】エアー吹き付け手段４と電磁弁８との間に
エアー５を貯える予備タンク２０を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤボンディング
装置に係り、特にワイヤにバックテンションを与えるバ
ックテンション装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置においては、例
えば特公昭６３−５２７７８号公報、特公平１−４８６
５６号公報、特公平８−８２７１号公報に示すように、
ワイヤにバックテンション装置でバックテンションを与
えている。この構造を図２により説明する。図示しない
スプールに巻回されたワイヤ１は、ワイヤクランパ２を
通してボンディングツール３の先端に延在している。そ
して、スプールとワイヤクランパ２との間でワイヤ１に
エアーノズル等よりなるエアー吹き付け手段４よりエア
ー５を吹き付けてワイヤ１にバックテンションを与えて
いる。なお、エアー５が吹いていない時は、ワイヤ１は
２点鎖線で示すように弛んだ状態になっている。図中、
６はエアー吹き付け手段４に取付けられたエアーガイ
ド、７はワイヤガイドを示す。
【０００３】なお、上記公報には開示されていないが、
エアー吹き付け手段４は、電磁弁８、流量計９及びレギ
ュレータ１０を介してコンプレッサー１１に接続されて
いる。そこで、ワイヤ１へのバックテンションは、電磁
弁８を常時オンで開いた状態か、又はワイヤボンディン
グ停止の際に一定時間後にオフとし、再度ワイヤボンデ
ィングが開始されると電磁弁８をオンにして開いてい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、電磁
弁８をオフにしてエアー吹き付け手段４へのエアー５の
供給を停止している状態より、電磁弁８をオンにしてエ
アー吹き付け手段４にエアー５を供給すると、急激な変
動を伴ったエアー圧力でエアー５が送られるので、エア
ー吹き付け手段４よりエアー５が急激に吹き出してしま
う。またエアー５の圧力に周期的な変動があると、それ
に伴いワイヤ１に与えられるバックテンションも周期的
に変動する。即ち、ワイヤ１は、急激に吹き出したエア
ー５により大きく揺さぶられたりバックテンションの周
期的な変動により周期的に揺さぶられたりする。その結
果、エアーガイド板６やワイヤガイド７に打ち付けられ
たり擦り付けられてしまい、ワイヤ１が曲がってしまっ
たり、ワイヤ１の表面に傷や汚れが付着してしまうとい
う問題があった。この現象はワイヤ１が細くなるほど顕
著に現れる。
【０００５】本発明の課題は、ワイヤが急激に又は周期
的に揺さぶられて曲がったり、表面に傷が付いたり汚れ
が付着したりするのを防止することができるバックテン
ション装置を備えたワイヤボンディング装置を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、ワイヤが巻回されたスプールとボン
ディングツールとの間に設けられ、ワイヤにエアーを吹
き付けてバックテンションを与えるエアー吹き付け手段
を有し、このエアー吹き付け手段は、電磁弁を介してコ
ンプレッサーに接続されたワイヤボンディング装置にお
いて、前記エアー吹き付け手段と前記電磁弁との間にエ
アーを貯える予備タンクを設けたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１によ
り説明する。なお、図２と同じ又は相当部材には同一符
号を付し、その詳細な説明は省略する。エアー吹き付け
手段４は、エアー５を貯える予備タンク２０、流量計
９、電磁弁８及びレギュレータ１０を介してコンプレッ
サー１１に接続されている。即ち、エアー吹き付け手段
４と電磁弁８との間に予備タンク２０及び流量計９が設
けられている。
【０００８】従って、電磁弁８をオンにして開くと、エ
アー５は流量計９を通り予備タンク２０に送られてから
エアー吹き付け手段４に送られ、ワイヤ１にバックテン
ションが与えられる。即ち、電磁弁８からエアー吹き付
け手段４へ供給されるエアー５の急激な変動、または周
期的な変動は、予備タンク２０で緩衝されてエアー吹き
付け手段４に供給されるので、ワイヤ１には緩やかにバ
ックテンションが与えられる。これにより、ワイヤ１が
揺さぶられず、エアーガイド板６やワイヤガイド７に打
ち付けられたり擦り付けられたりしないので、ワイヤ１
が曲がったり、ワイヤ１の表面に傷が付いたり汚れが付
着したりするのが防止される。
【０００９】なお、上記実施の形態においては、流量計
９を予備タンク２０と電磁弁８との間に設けたが、電磁
弁８とレギュレータ１０との間に設けてもよい。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、エアー吹き付け手段と
前記電磁弁との間にエアーを貯える予備タンクを設けた
ので、ワイヤが急激に又は周期的に揺さぶられて曲がっ
たり、表面に傷が付いたり汚れが付着したりするのを防
止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワイヤボンディング装置の一実施の形
態を示す説明図である。
【図２】従来のワイヤボンディング装置の説明図であ
る。
【符号の説明】
１ ワイヤ ３ ボンディングツール ４ エアー吹き付け手段 ５ エアー ８ 電磁弁 ９ 流量計 １１ コンプレッサー ２０ 予備タンク

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワイヤが巻回されたスプールとボンディ
    ングツールとの間に設けられ、ワイヤにエアーを吹き付
    けてバックテンションを与えるエアー吹き付け手段を有
    し、このエアー吹き付け手段は、電磁弁を介してコンプ
    レッサーに接続されたワイヤボンディング装置におい
    て、前記エアー吹き付け手段と前記電磁弁との間にエア
    ーを貯える予備タンクを設けたことを特徴とするワイヤ
    ボンディング装置。
  2. 【請求項２】 前記予備タンクと前記電磁弁との間に流
    量計を設けたことを特徴とする請求項１記載のワイヤボ
    ンディング装置。
JP8334913A 1996-11-29 1996-11-29 ワイヤボンディング装置 Withdrawn JPH10163246A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8334913A JPH10163246A (ja) 1996-11-29 1996-11-29 ワイヤボンディング装置
KR1019970044437A KR100273669B1 (ko) 1996-11-29 1997-08-30 와이어본딩장치
TW086217119U TW399777U (en) 1996-11-29 1997-10-09 Wire bonding device
US08/980,991 US6024271A (en) 1996-11-29 1997-12-01 Wire bonding apparatus

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JP8334913A JPH10163246A (ja) 1996-11-29 1996-11-29 ワイヤボンディング装置

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US (1) US6024271A (ja)
JP (1) JPH10163246A (ja)
KR (1) KR100273669B1 (ja)
TW (1) TW399777U (ja)

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TW399777U (en) 2000-07-21
KR19980041858A (ko) 1998-08-17
KR100273669B1 (ko) 2001-01-15

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Effective date: 20040203