JPS5968937A - ワイヤボンダ−におけるワイヤテンシヨン方法 - Google Patents
ワイヤボンダ−におけるワイヤテンシヨン方法Info
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- JPS5968937A JPS5968937A JP57179111A JP17911182A JPS5968937A JP S5968937 A JPS5968937 A JP S5968937A JP 57179111 A JP57179111 A JP 57179111A JP 17911182 A JP17911182 A JP 17911182A JP S5968937 A JPS5968937 A JP S5968937A
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- JP
- Japan
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- wire
- tension
- bonder
- spool
- air
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
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- H10W72/07168—Means for storing or moving the material for the connector
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
Landscapes
- Wire Processing (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンダーにおいてワイヤに一定のテンシ
ョンを与えるワイヤテンション方法に関する。
ョンを与えるワイヤテンション方法に関する。
周知の如く、スプールに巻回されたワイヤはスプールよ
り巻き戻されてキャピラリより繰り出される。このよう
に、スプールよりワイヤが巻き戻される時、ワイヤがス
プールに密着及びワイヤ同志が密着してスプールよりス
ムーズに巻き戻されないことが生じる。特にこの傾向は
多重巻きされている場合に著しい。
り巻き戻されてキャピラリより繰り出される。このよう
に、スプールよりワイヤが巻き戻される時、ワイヤがス
プールに密着及びワイヤ同志が密着してスプールよりス
ムーズに巻き戻されないことが生じる。特にこの傾向は
多重巻きされている場合に著しい。
従来、このような問題を除去するため、スプール側に第
１図に示すようなワイヤを軽く挾持するワイヤクランパ
が配設されている。即ち、ワイヤ１は２個のワイヤクラ
ンプ板２．３によって挾持される。一方のワイヤクラン
プ板２はフレーム４に固定されており、他方のワイヤク
ランプ板３は図示しないカムリンク機構等によって開閉
動する可動板５に固定されている。
１図に示すようなワイヤを軽く挾持するワイヤクランパ
が配設されている。即ち、ワイヤ１は２個のワイヤクラ
ンプ板２．３によって挾持される。一方のワイヤクラン
プ板２はフレーム４に固定されており、他方のワイヤク
ランプ板３は図示しないカムリンク機構等によって開閉
動する可動板５に固定されている。
しかしながら、かかるワイヤクランパは次のような欠点
を有する。ワイヤクランプ板２．３によってワイヤ１を
クランプするので、ワイヤ１に傷が付き易い。ワイヤが
接続される第１ボンド点から第２ボンド点にキャピラリ
が移動する時にワイヤボンダーに生じる振動と慣性力に
よりクランプ力が変化するため、ワイヤ１のテンション
が変動する。ワイヤ１がキャピラリより繰り出される時
、ワイヤクランプ板２．３でワイヤ１をクランプしたま
まの状態でワイヤクランプ板２．３間をすべつて繰り出
されるので、ワイヤクランプ板２．３のワイヤクランプ
面は鏡面仕上げをしなければならない。更にワイヤクラ
ンプ板２．３のワイヤクランプ面の平行度は、ワイヤ１
を平均的にクランプさせるために、かなりの精度が要求
される。
を有する。ワイヤクランプ板２．３によってワイヤ１を
クランプするので、ワイヤ１に傷が付き易い。ワイヤが
接続される第１ボンド点から第２ボンド点にキャピラリ
が移動する時にワイヤボンダーに生じる振動と慣性力に
よりクランプ力が変化するため、ワイヤ１のテンション
が変動する。ワイヤ１がキャピラリより繰り出される時
、ワイヤクランプ板２．３でワイヤ１をクランプしたま
まの状態でワイヤクランプ板２．３間をすべつて繰り出
されるので、ワイヤクランプ板２．３のワイヤクランプ
面は鏡面仕上げをしなければならない。更にワイヤクラ
ンプ板２．３のワイヤクランプ面の平行度は、ワイヤ１
を平均的にクランプさせるために、かなりの精度が要求
される。
本発明は上記従来技術の欠点を除去したワイヤボンダー
におけるワイヤテンション方法を提供することを目的と
する。
におけるワイヤテンション方法を提供することを目的と
する。
以下、本発明を図示の一実施例により説明する。
１０はワイヤ１１をガイドするワイヤガイド孔１０ａが
形成されたワイヤガイド、１２は前記ワイヤガイド１０
に一体に固定されたノズル体で、ワイヤガイド１０の外
周と隙間１３を有しかつ一方（実施例は下方）が開口し
たノズル孔１２ａが形成されている。才たノズル体１２
にはノズル孔１２ａに連通ずる空気孔１２ｂが形成され
、この空気孔１２ｂにパイプ１４の一端が固定されてい
る。
形成されたワイヤガイド、１２は前記ワイヤガイド１０
に一体に固定されたノズル体で、ワイヤガイド１０の外
周と隙間１３を有しかつ一方（実施例は下方）が開口し
たノズル孔１２ａが形成されている。才たノズル体１２
にはノズル孔１２ａに連通ずる空気孔１２ｂが形成され
、この空気孔１２ｂにパイプ１４の一端が固定されてい
る。
前記パイプ１４の他端は図示しない配管チューブ、流量
計等を介してコンプレッサに接続されている。
計等を介してコンプレッサに接続されている。
かから構成される装置はワイヤ１１を巻回した図示しな
いスプールと図示しないキャビラリの間におけるスプー
ル側に配設されており、ワイヤ１１はスプールよりワイ
ヤガイド１０、図示しないワイヤカット用クランパーを
通してキャピラリに挿通されている。
いスプールと図示しないキャビラリの間におけるスプー
ル側に配設されており、ワイヤ１１はスプールよりワイ
ヤガイド１０、図示しないワイヤカット用クランパーを
通してキャピラリに挿通されている。
次に作用について説明する。パイプ１４より空気孔１２
ｂに圧縮空気を送ると、圧縮空気は隙間１３を通ってノ
ズル孔１２ａの下端より噴出し、ワイヤ１１を一緒に吹
き下げる。これによりワイヤ１１にはワイヤ１１をスプ
ールより巻き戻すテンションがかけられるので、ワイヤ
１１がスプールに密着及びワイヤ同志が密着するのは防
止される。
ｂに圧縮空気を送ると、圧縮空気は隙間１３を通ってノ
ズル孔１２ａの下端より噴出し、ワイヤ１１を一緒に吹
き下げる。これによりワイヤ１１にはワイヤ１１をスプ
ールより巻き戻すテンションがかけられるので、ワイヤ
１１がスプールに密着及びワイヤ同志が密着するのは防
止される。
この場合、圧縮空気はワイヤ２の軸線とほぼ平行に噴出
されるので、ワイヤ２の軸線に直角に吹き付ける場合に
比べ、大きなテンションは得られないが、噴出力が変化
してもテンションの変化は少なく、微小なテンションを
安定して得ることができる。
されるので、ワイヤ２の軸線に直角に吹き付ける場合に
比べ、大きなテンションは得られないが、噴出力が変化
してもテンションの変化は少なく、微小なテンションを
安定して得ることができる。
なお、上記実施例においては、スプールよりワイヤをほ
どく場合について説明したが、ワイヤループ形成のため
にキャピラリより繰り出されるワイヤを制御するために
用いることもできる。この場合は、ノズル孔１２ａを上
方に設けたテンション装置をキャピラリ側に配設してワ
イヤ１１を吹き上げるようにする。
どく場合について説明したが、ワイヤループ形成のため
にキャピラリより繰り出されるワイヤを制御するために
用いることもできる。この場合は、ノズル孔１２ａを上
方に設けたテンション装置をキャピラリ側に配設してワ
イヤ１１を吹き上げるようにする。
以上の説明から明らかな如く、本発明の方法によれば、
圧縮空気をワイヤの軸線とほぼ平行にワイヤに吹き付け
るので、テンション力のバラツキが少なく、小さなテン
ション力を安定して保持させることができる。またワイ
ヤをクランプしないため、ワイヤを傷付けることもなく
、更に平行度の調整も不要である。
圧縮空気をワイヤの軸線とほぼ平行にワイヤに吹き付け
るので、テンション力のバラツキが少なく、小さなテン
ション力を安定して保持させることができる。またワイ
ヤをクランプしないため、ワイヤを傷付けることもなく
、更に平行度の調整も不要である。
第１図は従来例の平面図、第２図は本発明の一実施例を
示し、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は平面図である。 １０・・・ワイヤガイド、 １０ａ・・・ワイヤガイ
ド孔、１１・・・ワイヤ、 １２・・・ノズル
体、１２ａ・・・ノズル孔、 １２ｂ・・・空気孔、
１３・・・隙間、 １４・・・パイプ。
示し、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は平面図である。 １０・・・ワイヤガイド、 １０ａ・・・ワイヤガイ
ド孔、１１・・・ワイヤ、 １２・・・ノズル
体、１２ａ・・・ノズル孔、 １２ｂ・・・空気孔、
１３・・・隙間、 １４・・・パイプ。
Claims (1)
- ワイヤが巻回されたスプールとキャピラリとの間でワイ
ヤに圧縮空気を吹き付けてエナーテンションを付与する
ワイヤボンダーにおけるワイヤテンション方法において
、前記圧縮空気を前記ワイヤの軸線とほぼ平行ζこワイ
ヤに吹き付けることを特徴とするワイヤボンダーにおけ
るワイヤテンション方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57179111A JPS5968937A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | ワイヤボンダ−におけるワイヤテンシヨン方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57179111A JPS5968937A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | ワイヤボンダ−におけるワイヤテンシヨン方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5968937A true JPS5968937A (ja) | 1984-04-19 |
| JPH0141025B2 JPH0141025B2 (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=16060201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57179111A Granted JPS5968937A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | ワイヤボンダ−におけるワイヤテンシヨン方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5968937A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685044B1 (ko) | 2005-11-29 | 2007-02-20 | 주식회사 포스코 | 에어 가이드형 선재 가이더 |
| WO2011077681A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | アダマンド工業株式会社 | エアーテンション装置 |
| CN102658344A (zh) * | 2012-05-29 | 2012-09-12 | 深圳恒高自动技术有限公司 | 线材自动引导穿线装置及线材引导输送方法 |
| CN105304223A (zh) * | 2015-12-03 | 2016-02-03 | 浙江正导光电股份有限公司 | 一种微细铜线穿模引导装置 |
| CN113070417A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-06 | 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 | 一种极细铝丝自动绷直切割装置 |
-
1982
- 1982-10-14 JP JP57179111A patent/JPS5968937A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685044B1 (ko) | 2005-11-29 | 2007-02-20 | 주식회사 포스코 | 에어 가이드형 선재 가이더 |
| WO2011077681A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | アダマンド工業株式会社 | エアーテンション装置 |
| CN102630338A (zh) * | 2009-12-25 | 2012-08-08 | Adamant工业株式会社 | 空气张力装置 |
| JP5750644B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2015-07-22 | アダマンド株式会社 | エアーテンション装置 |
| CN102630338B (zh) * | 2009-12-25 | 2015-08-19 | Adamant工业株式会社 | 空气张力装置 |
| CN102658344A (zh) * | 2012-05-29 | 2012-09-12 | 深圳恒高自动技术有限公司 | 线材自动引导穿线装置及线材引导输送方法 |
| CN105304223A (zh) * | 2015-12-03 | 2016-02-03 | 浙江正导光电股份有限公司 | 一种微细铜线穿模引导装置 |
| CN113070417A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-06 | 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 | 一种极细铝丝自动绷直切割装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0141025B2 (ja) | 1989-09-01 |
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