JPH10165883A - 回転式薄膜形成方法 - Google Patents
回転式薄膜形成方法Info
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- JPH10165883A JPH10165883A JP35224696A JP35224696A JPH10165883A JP H10165883 A JPH10165883 A JP H10165883A JP 35224696 A JP35224696 A JP 35224696A JP 35224696 A JP35224696 A JP 35224696A JP H10165883 A JPH10165883 A JP H10165883A
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- Japan
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- thin film
- resist solution
- coating agent
- coated
- wafer
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- Pending
Links
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims 4
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- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 7
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハーを回転盤に載せて高速度で回転させ
つつ、その中央部にレジスト液を滴下し、遠心力により
ウエハーの全面に均一な塗膜を形成していた従来の方法
ではレジスト液が糸状に拡散して未塗布部分を残さない
ために、必要量の数十倍〜数百倍の量を滴下しているの
が実状であって、高価なレジスト液が無駄に消費され、
コスト低減の妨げとなっていた。 【解決手段】 水平な回転盤１の上に被コーティング物
ａを載せて回転させつつコーティング剤を霧状にして吹
き付けるようにした。
つつ、その中央部にレジスト液を滴下し、遠心力により
ウエハーの全面に均一な塗膜を形成していた従来の方法
ではレジスト液が糸状に拡散して未塗布部分を残さない
ために、必要量の数十倍〜数百倍の量を滴下しているの
が実状であって、高価なレジスト液が無駄に消費され、
コスト低減の妨げとなっていた。 【解決手段】 水平な回転盤１の上に被コーティング物
ａを載せて回転させつつコーティング剤を霧状にして吹
き付けるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウエハーやガラス基
板などの被コーティング物にレジスト液などのコーティ
ング剤を均一に塗布する方法に関する。
板などの被コーティング物にレジスト液などのコーティ
ング剤を均一に塗布する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハーにレジストの膜を形成す
るにはウエハーを回転盤に載せて高速度で回転させつ
つ、その中央部にレジスト液を滴下し、遠心力によりウ
エハーの全面に均一な塗膜を形成していた。
るにはウエハーを回転盤に載せて高速度で回転させつ
つ、その中央部にレジスト液を滴下し、遠心力によりウ
エハーの全面に均一な塗膜を形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法ではレジスト液が糸状に拡散して未塗布部分を残さ
ないために、必要量の数十倍〜数百倍の量を滴下してい
るのが実状であって、高価なレジスト液が無駄に消費さ
れ、コスト低減の妨げとなっていた。
方法ではレジスト液が糸状に拡散して未塗布部分を残さ
ないために、必要量の数十倍〜数百倍の量を滴下してい
るのが実状であって、高価なレジスト液が無駄に消費さ
れ、コスト低減の妨げとなっていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】上記課題
を解決するための手段として、請求項１の発明は水平な
回転盤の上に被コーティング物を載せて回転させつつコ
ーティング剤を霧状にして吹き付けるようにしたからコ
ーティング剤が被コーティング物の表面にほぼ均一に塗
布された後に遠心力により膜状に広がるのであって短時
間で均一な膜が形成されるとともに無駄に飛び散るコー
ティング剤が少なくなってコストの低減が図られる効果
があり、請求項２の発明は請求項１の発明において回転
盤の回転数が低い状態でコーティング剤を吹き付けた後
に高速度で回転させるようにしたから低速回転時にコー
ティング剤をほぼ均一に塗着させた後に高速回転させて
遠心力により薄く広げられるのであって無駄に飛び散る
コーティング剤がさらに少なくなり、請求項３の発明は
請求項１または２の発明においてコーティング剤を吹き
付けるノズルを回転盤の半径方向に任意の速度で進退さ
せるようにしたからコーティング剤をより均一に被コー
ティング物に塗着させることができ、請求項４の発明は
請求項３の発明においてノズルが噴射方向変更可能にな
っているようにしたから例えば周速度の高い被コーティ
ング物の外周部分を中心部分よりコーティング剤を多量
に塗布させることにより全体として均一に塗着させるこ
とができる効果がある。
を解決するための手段として、請求項１の発明は水平な
回転盤の上に被コーティング物を載せて回転させつつコ
ーティング剤を霧状にして吹き付けるようにしたからコ
ーティング剤が被コーティング物の表面にほぼ均一に塗
布された後に遠心力により膜状に広がるのであって短時
間で均一な膜が形成されるとともに無駄に飛び散るコー
ティング剤が少なくなってコストの低減が図られる効果
があり、請求項２の発明は請求項１の発明において回転
盤の回転数が低い状態でコーティング剤を吹き付けた後
に高速度で回転させるようにしたから低速回転時にコー
ティング剤をほぼ均一に塗着させた後に高速回転させて
遠心力により薄く広げられるのであって無駄に飛び散る
コーティング剤がさらに少なくなり、請求項３の発明は
請求項１または２の発明においてコーティング剤を吹き
付けるノズルを回転盤の半径方向に任意の速度で進退さ
せるようにしたからコーティング剤をより均一に被コー
ティング物に塗着させることができ、請求項４の発明は
請求項３の発明においてノズルが噴射方向変更可能にな
っているようにしたから例えば周速度の高い被コーティ
ング物の外周部分を中心部分よりコーティング剤を多量
に塗布させることにより全体として均一に塗着させるこ
とができる効果がある。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添
付図面に基づいて説明する。
付図面に基づいて説明する。
【０００６】図において、１は図示しないモーターによ
り回転駆動される回転盤であって、その上面にウエハー
やガラス基板などの平らな被コーティング物ａが載置さ
れている。
り回転駆動される回転盤であって、その上面にウエハー
やガラス基板などの平らな被コーティング物ａが載置さ
れている。
【０００７】３はエクステンション２の先端に取り付け
られたノズルであって、エクステンション２から圧送さ
れたコーティング剤が霧状となって被コーティング物ａ
に吹き付けられ、塗着するようになっている。
られたノズルであって、エクステンション２から圧送さ
れたコーティング剤が霧状となって被コーティング物ａ
に吹き付けられ、塗着するようになっている。
【０００８】本実施の形態は、水平な回転盤１の上に被
コーティング物ａを載せて回転させつつコーティング剤
を霧状にして吹き付けるようにしたからコーティング剤
が被コーティング物の表面にほぼ均一に塗布された後に
遠心力により膜状に広がるのであって短時間で均一な膜
が形成されるとともに無駄に飛び散るコーティング剤が
少なくなってコストの低減が図られる効果がある。
コーティング物ａを載せて回転させつつコーティング剤
を霧状にして吹き付けるようにしたからコーティング剤
が被コーティング物の表面にほぼ均一に塗布された後に
遠心力により膜状に広がるのであって短時間で均一な膜
が形成されるとともに無駄に飛び散るコーティング剤が
少なくなってコストの低減が図られる効果がある。
【０００９】上記実施の形態において回転盤１の回転数
が３００〜６００ＲＰＭ程度の低い状態でコーティング
剤を吹き付けた後に２０００ＲＰＭ以上の高速度で回転
させるようにすると低速回転時にコーティング剤をほぼ
均一に塗着させた後に高速回転による遠心力によって薄
く広げられるのであって無駄に飛び散るコーティング剤
がさらに少なくなる。
が３００〜６００ＲＰＭ程度の低い状態でコーティング
剤を吹き付けた後に２０００ＲＰＭ以上の高速度で回転
させるようにすると低速回転時にコーティング剤をほぼ
均一に塗着させた後に高速回転による遠心力によって薄
く広げられるのであって無駄に飛び散るコーティング剤
がさらに少なくなる。
【００１０】また、上記実施の形態においてコーティン
グ剤を吹き付けるノズル３を回転盤１の半径方向に任意
の速度で進退させるようにするとコーティング剤をより
均一に被コーティング物に塗着させることができる。
グ剤を吹き付けるノズル３を回転盤１の半径方向に任意
の速度で進退させるようにするとコーティング剤をより
均一に被コーティング物に塗着させることができる。
【００１１】さらに、上記実施の形態においてノズル１
の噴射方向が変更可能になっていると、例えば周速度の
高い被コーティング物ａの外周部分を中心部分よりコー
ティング剤を多量に塗布させることにより全体として均
一に塗着させることができる。
の噴射方向が変更可能になっていると、例えば周速度の
高い被コーティング物ａの外周部分を中心部分よりコー
ティング剤を多量に塗布させることにより全体として均
一に塗着させることができる。
【図１】本発明の一実施の形態の側面図である。
１：回転盤 ３：ノズル ａ：被コーティング物
Claims (4)
- 【請求項１】 水平な回転盤の上に被コーティング物を
載せて回転させつつコーティング剤を霧状にして吹き付
けることを特徴とする回転式薄膜形成方法。 - 【請求項２】 回転盤の回転数が低い状態でコーティン
グ剤を吹き付けた後に高速度で回転させることを特徴と
する請求項１記載の回転式薄膜形成方法。 - 【請求項３】 コーティング剤を吹き付けるノズルを回
転盤の半径方向に任意の速度で進退させることを特徴と
する請求項１または２記載の回転式薄膜形成方法。 - 【請求項４】 前記ノズルが噴射方向変更可能になって
いることを特徴とする請求項３記載の回転式薄膜形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35224696A JPH10165883A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | 回転式薄膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35224696A JPH10165883A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | 回転式薄膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10165883A true JPH10165883A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18422760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35224696A Pending JPH10165883A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | 回転式薄膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10165883A (ja) |
-
1996
- 1996-12-11 JP JP35224696A patent/JPH10165883A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040819 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041119 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050401 |