JPH10167802A - セラミック焼結体及びその製造方法 - Google Patents
セラミック焼結体及びその製造方法Info
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- JPH10167802A JPH10167802A JP8326758A JP32675896A JPH10167802A JP H10167802 A JPH10167802 A JP H10167802A JP 8326758 A JP8326758 A JP 8326758A JP 32675896 A JP32675896 A JP 32675896A JP H10167802 A JPH10167802 A JP H10167802A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造材料等としての応用範囲が広いセラミッ
ク焼結体及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 母結晶用セラミックスに固溶用固体が固
溶されたセラミック焼結体において、前記固溶用固体の
固溶される構成元素の総量を、前記母結晶用セラミック
スの所定の構成元素に対して２ａｔ％以下とすることに
よって、母結晶中に互いに干渉しない複数のクラスター
５を形成、分散させた。前記固溶が置換型固溶のみであ
る。前記母結晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表さ
れる。前記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表される。
ク焼結体及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 母結晶用セラミックスに固溶用固体が固
溶されたセラミック焼結体において、前記固溶用固体の
固溶される構成元素の総量を、前記母結晶用セラミック
スの所定の構成元素に対して２ａｔ％以下とすることに
よって、母結晶中に互いに干渉しない複数のクラスター
５を形成、分散させた。前記固溶が置換型固溶のみであ
る。前記母結晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表さ
れる。前記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、セラミック焼結
体及びその製造方法に関する。
体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、母結晶用セラミックスに固溶
用固体が固溶されたセラミック焼結体が知られており、
このようなセラミック焼結体としては、例えば、母結晶
を形成するＡｌ2Ｏ3に所定量のＣｒ2Ｏ3を固溶させたも
の等がある。
用固体が固溶されたセラミック焼結体が知られており、
このようなセラミック焼結体としては、例えば、母結晶
を形成するＡｌ2Ｏ3に所定量のＣｒ2Ｏ3を固溶させたも
の等がある。
【０００３】前記Ａｌ2Ｏ3とＣｒ2Ｏ3は、高温では組成
の全域で完全に固溶することが報告されている（例え
ば、R.M.Spriggs and S.L.Bender, J.Am.Ceram.Soc.,53
(1962)p506 等）。これらＡｌ2Ｏ3とＣｒ2Ｏ3はいずれ
もコランダム構造を有し、しかもイオン半径がＡｌ3+で
は０．５３Å、Ｃｒ3+では０．６２Åと比較的近接して
いるため、置換型固溶体を形成する。
の全域で完全に固溶することが報告されている（例え
ば、R.M.Spriggs and S.L.Bender, J.Am.Ceram.Soc.,53
(1962)p506 等）。これらＡｌ2Ｏ3とＣｒ2Ｏ3はいずれ
もコランダム構造を有し、しかもイオン半径がＡｌ3+で
は０．５３Å、Ｃｒ3+では０．６２Åと比較的近接して
いるため、置換型固溶体を形成する。
【０００４】ここで、前記Ａｌ2Ｏ3に微量のＣｒ2Ｏ3を
固溶させるとＡｌ2Ｏ3が硬化されることが知られてお
り、このようなセラミック焼結体は研摩材として利用さ
れている。
固溶させるとＡｌ2Ｏ3が硬化されることが知られてお
り、このようなセラミック焼結体は研摩材として利用さ
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような母結晶用セラミックスに微量の固溶用固体を固溶
させたセラミック焼結体においては、機械的性質につい
ての研究は充分に行われておらず、硬度の上昇のメカニ
ズムも解明されていなかった。そのため、前記セラミッ
ク焼結体の構造材料等としての応用範囲が制限されてい
るという問題点がある。
ような母結晶用セラミックスに微量の固溶用固体を固溶
させたセラミック焼結体においては、機械的性質につい
ての研究は充分に行われておらず、硬度の上昇のメカニ
ズムも解明されていなかった。そのため、前記セラミッ
ク焼結体の構造材料等としての応用範囲が制限されてい
るという問題点がある。
【０００６】この発明は、以上のような事情や問題点に
鑑みてなされたものであり、構造材料等としての応用範
囲が広いセラミック焼結体及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
鑑みてなされたものであり、構造材料等としての応用範
囲が広いセラミック焼結体及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の請求項１のセラミック焼結体の手段とするところは、
母結晶用セラミックスに固溶用固体が固溶されたセラミ
ック焼結体において、前記固溶用固体の固溶される構成
元素の総量を、前記母結晶用セラミックスの所定の構成
元素に対して２ａｔ％以下とすることによって、母結晶
中に互いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散さ
せたことにある。
の請求項１のセラミック焼結体の手段とするところは、
母結晶用セラミックスに固溶用固体が固溶されたセラミ
ック焼結体において、前記固溶用固体の固溶される構成
元素の総量を、前記母結晶用セラミックスの所定の構成
元素に対して２ａｔ％以下とすることによって、母結晶
中に互いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散さ
せたことにある。
【０００８】請求項２の手段とするところは、前記固溶
が置換型固溶のみであることにある。
が置換型固溶のみであることにある。
【０００９】請求項３の手段とするところは、前記母結
晶用セラミックスと固溶用固体が共に酸化物系セラミッ
クスであることにある。
晶用セラミックスと固溶用固体が共に酸化物系セラミッ
クスであることにある。
【００１０】請求項４の手段とするところは、前記母結
晶用セラミックスが酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックスであるこ
とにある。
晶用セラミックスが酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックスであるこ
とにある。
【００１１】請求項５の手段とするところは、前記母結
晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が少なくとも酸化物系セラミックス
を含むことにある。
晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が少なくとも酸化物系セラミックス
を含むことにある。
【００１２】請求項６の手段とするところは、前記母結
晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックス及び／又
は金属間化合物を含むことにある。
晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックス及び／又
は金属間化合物を含むことにある。
【００１３】請求項７の手段とするところは、前記母結
晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表されることにあ
る。
晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表されることにあ
る。
【００１４】請求項８の手段とするところは、前記固溶
用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表されることにある。
用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表されることにある。
【００１５】請求項９のセラミック焼結体の製造方法の
手段とするところは、母結晶用セラミックスと固溶用固
体を所定の割合で混合した粉末状混合物を焼結し、前記
母結晶用セラミックスに固溶用固体を固溶させるセラミ
ック焼結体の製造方法において、前記固溶用固体の混合
割合を、該固溶用固体の固溶される構成元素の総量が前
記母結晶用セラミックスの所定の構成元素に対して２ａ
ｔ％以下となるようにすることによって、母結晶中に互
いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散させるこ
とにある。
手段とするところは、母結晶用セラミックスと固溶用固
体を所定の割合で混合した粉末状混合物を焼結し、前記
母結晶用セラミックスに固溶用固体を固溶させるセラミ
ック焼結体の製造方法において、前記固溶用固体の混合
割合を、該固溶用固体の固溶される構成元素の総量が前
記母結晶用セラミックスの所定の構成元素に対して２ａ
ｔ％以下となるようにすることによって、母結晶中に互
いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散させるこ
とにある。
【００１６】請求項１０の手段とするところは、前記粉
末状混合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体
粉末をメカニカルミリングにより攪拌、混合したもので
あることにある。
末状混合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体
粉末をメカニカルミリングにより攪拌、混合したもので
あることにある。
【００１７】請求項１１の手段とするところは、前記粉
末状混合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体
ゾルをメカニカルミリングにより攪拌、混合したもので
あることにある。
末状混合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体
ゾルをメカニカルミリングにより攪拌、混合したもので
あることにある。
【００１８】請求項１２の手段とするところは、前記粉
末状混合物が、母結晶用セラミックス粉末の調製途中で
固溶用固体をあらかじめ混合したものであることにあ
る。
末状混合物が、母結晶用セラミックス粉末の調製途中で
固溶用固体をあらかじめ混合したものであることにあ
る。
【００１９】請求項１３の手段とするところは、前記固
溶が置換型固溶のみであることにある。
溶が置換型固溶のみであることにある。
【００２０】請求項１４の手段とするところは、前記母
結晶用セラミックスと固溶用固体が共に酸化物系セラミ
ックスであることにある。
結晶用セラミックスと固溶用固体が共に酸化物系セラミ
ックスであることにある。
【００２１】請求項１５の手段とするところは、前記母
結晶用セラミックスが酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックスであるこ
とにある。
結晶用セラミックスが酸化物系セラミックスであると共
に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックスであるこ
とにある。
【００２２】請求項１６の手段とするところは、前記母
結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると
共に、前記固溶用固体が少なくとも酸化物系セラミック
スを含むことにある。
結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると
共に、前記固溶用固体が少なくとも酸化物系セラミック
スを含むことにある。
【００２３】請求項１７の手段とするところは、前記母
結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると
共に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックス及び／
又は金属間化合物を含むことにある。
結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスであると
共に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックス及び／
又は金属間化合物を含むことにある。
【００２４】請求項１８の手段とするところは、前記母
結晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表されることに
ある。
結晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表されることに
ある。
【００２５】請求項１９の手段とするところは、前記固
溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表されることにある。
溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表されることにある。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態につい
て説明する。この実施形態に係るセラミック焼結体は、
母結晶用セラミックスに固溶用固体が固溶されたセラミ
ック焼結体において、前記固溶用固体の固溶される構成
元素の総量を、前記母結晶用セラミックスの所定の構成
元素に対して２ａｔ％以下とすることによって、母結晶
中に互いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散さ
せたものである。
て説明する。この実施形態に係るセラミック焼結体は、
母結晶用セラミックスに固溶用固体が固溶されたセラミ
ック焼結体において、前記固溶用固体の固溶される構成
元素の総量を、前記母結晶用セラミックスの所定の構成
元素に対して２ａｔ％以下とすることによって、母結晶
中に互いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散さ
せたものである。
【００２７】前記母結晶用セラミックスとしては、酸化
物系セラミックス又は非酸化物系セラミックスを使用で
きる。前記酸化物系セラミックスとしては、例えば、Ａ
ｌ2Ｏ3、ＭｇＯ、ＢａＴｉＯ3、Ｙ2Ｏ3等が挙げられ
る。前記非酸化物系セラミックスとしては、例えば、Ｓ
ｉ3Ｎ4等の窒化物系セラミックス、ＳｉＣ等の炭化物系
セラミックス、ＴｉＢ2等のホウ化物系セラミックス、
ＭｏＳｉ2等のケイ化物系セラミックス等が挙げられ
る。
物系セラミックス又は非酸化物系セラミックスを使用で
きる。前記酸化物系セラミックスとしては、例えば、Ａ
ｌ2Ｏ3、ＭｇＯ、ＢａＴｉＯ3、Ｙ2Ｏ3等が挙げられ
る。前記非酸化物系セラミックスとしては、例えば、Ｓ
ｉ3Ｎ4等の窒化物系セラミックス、ＳｉＣ等の炭化物系
セラミックス、ＴｉＢ2等のホウ化物系セラミックス、
ＭｏＳｉ2等のケイ化物系セラミックス等が挙げられ
る。
【００２８】前記固溶用固体としては、酸化物系セラミ
ックス、非酸化物系セラミックス、若しくは金属間化合
物、又は酸化物系セラミックスと非酸化物系セラミック
スを含むもの、あるいは、非酸化物系セラミックスと金
属間化合物を含むもの等を使用できる。前記酸化物系セ
ラミックスとしては、例えば、Ｃｒ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、Ｚ
ｒＯ2、Ｎａ2Ｏ、ＳｉＯ2等が挙げられる。前記非酸化
物系セラミックスとしては、例えば、ＡｌＮ、Ｚｒ
Ｂ2、ＷＳｉ2等が挙げられる。前記金属間化合物として
は、例えば、ＭｏＡｌ2等が挙げられる。
ックス、非酸化物系セラミックス、若しくは金属間化合
物、又は酸化物系セラミックスと非酸化物系セラミック
スを含むもの、あるいは、非酸化物系セラミックスと金
属間化合物を含むもの等を使用できる。前記酸化物系セ
ラミックスとしては、例えば、Ｃｒ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、Ｚ
ｒＯ2、Ｎａ2Ｏ、ＳｉＯ2等が挙げられる。前記非酸化
物系セラミックスとしては、例えば、ＡｌＮ、Ｚｒ
Ｂ2、ＷＳｉ2等が挙げられる。前記金属間化合物として
は、例えば、ＭｏＡｌ2等が挙げられる。
【００２９】前記母結晶用セラミックスと固溶用固体の
組合せとしては、種々の組合せが可能であり、母結晶用
セラミックスをＡ、固溶用固体をＢとして得られるセラ
ミック焼結体をＡ−Ｂのように表すと、例えば、Ａｌ2
Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3、ＭｇＯ−Ａｌ 2Ｏ3、ＢａＴｉＯ3−Ｚｒ
Ｏ2、Ｙ2Ｏ3−ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3−Ｎａ2Ｏ、Ａｌ2Ｏ3
−ＡｌＮ、Ｓｉ3Ｎ4−ＳｉＯ2、ＳｉＣ−（Ａｌ2Ｏ3，
ＡｌＮ）、Ｓｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）、ＴｉＢ2
−ＺｒＢ2、ＭｏＳｉ2−ＷＳｉ2、ＭｏＳｉ2−ＭｏＡｌ
2、ＭｏＳｉ2−（ＷＳｉ2，ＭｏＡｌ2）等が挙げられ
る。
組合せとしては、種々の組合せが可能であり、母結晶用
セラミックスをＡ、固溶用固体をＢとして得られるセラ
ミック焼結体をＡ−Ｂのように表すと、例えば、Ａｌ2
Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3、ＭｇＯ−Ａｌ 2Ｏ3、ＢａＴｉＯ3−Ｚｒ
Ｏ2、Ｙ2Ｏ3−ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3−Ｎａ2Ｏ、Ａｌ2Ｏ3
−ＡｌＮ、Ｓｉ3Ｎ4−ＳｉＯ2、ＳｉＣ−（Ａｌ2Ｏ3，
ＡｌＮ）、Ｓｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）、ＴｉＢ2
−ＺｒＢ2、ＭｏＳｉ2−ＷＳｉ2、ＭｏＳｉ2−ＭｏＡｌ
2、ＭｏＳｉ2−（ＷＳｉ2，ＭｏＡｌ2）等が挙げられ
る。
【００３０】前記固溶の型としては、置換型固溶、侵入
型固溶、又は侵入型固溶を伴う置換型固溶がある。
型固溶、又は侵入型固溶を伴う置換型固溶がある。
【００３１】前記置換型固溶は、例えば、Ａｌ2Ｏ3−Ｃ
ｒ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3−ＡｌＮ、Ｓｉ3Ｎ4−ＳｉＯ2、Ｓｉ
Ｃ−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）、Ｓｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，Ａ
ｌＮ）、ＴｉＢ2−ＺｒＢ2、ＭｏＳｉ2−ＷＳｉ2、Ｍｏ
Ｓｉ2−ＭｏＡｌ2、ＭｏＳｉ 2−（ＷＳｉ2，ＭｏＡ
ｌ2）等で起こる。
ｒ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3−ＡｌＮ、Ｓｉ3Ｎ4−ＳｉＯ2、Ｓｉ
Ｃ−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）、Ｓｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，Ａ
ｌＮ）、ＴｉＢ2−ＺｒＢ2、ＭｏＳｉ2−ＷＳｉ2、Ｍｏ
Ｓｉ2−ＭｏＡｌ2、ＭｏＳｉ 2−（ＷＳｉ2，ＭｏＡ
ｌ2）等で起こる。
【００３２】即ち、Ａｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3の場合には、所
定量のＡｌサイトがＣｒで置換される。Ａｌ2Ｏ3−Ａｌ
Ｎの場合には、ＯサイトがＮで置換される。Ｓｉ3Ｎ4−
ＳｉＯ2の場合には、ＮサイトがＯで置換される。Ｓｉ
Ｃ−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）の場合には、ＳｉサイトがＡ
ｌで、ＣサイトがＯ及び／又はＮでそれぞれ置換され
る。Ｓｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）の場合には、Ｓｉ
サイトがＡｌで、ＮサイトがＯでそれぞれ置換される。
ＴｉＢ2−ＺｒＢ2の場合には、ＴｉサイトがＺｒで置換
される。ＭｏＳｉ2−ＷＳｉ2の場合には、Ｍｏサイトが
Ｗで置換される。ＭｏＳｉ2−ＭｏＡｌ2の場合には、Ｓ
ｉサイトがＡｌで置換される。ＭｏＳｉ2−（ＷＳｉ2，
ＭｏＡｌ2）の場合には、ＭｏサイトがＷで、Ｓｉサイ
トがＡｌでそれぞれ置換される。
定量のＡｌサイトがＣｒで置換される。Ａｌ2Ｏ3−Ａｌ
Ｎの場合には、ＯサイトがＮで置換される。Ｓｉ3Ｎ4−
ＳｉＯ2の場合には、ＮサイトがＯで置換される。Ｓｉ
Ｃ−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）の場合には、ＳｉサイトがＡ
ｌで、ＣサイトがＯ及び／又はＮでそれぞれ置換され
る。Ｓｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）の場合には、Ｓｉ
サイトがＡｌで、ＮサイトがＯでそれぞれ置換される。
ＴｉＢ2−ＺｒＢ2の場合には、ＴｉサイトがＺｒで置換
される。ＭｏＳｉ2−ＷＳｉ2の場合には、Ｍｏサイトが
Ｗで置換される。ＭｏＳｉ2−ＭｏＡｌ2の場合には、Ｓ
ｉサイトがＡｌで置換される。ＭｏＳｉ2−（ＷＳｉ2，
ＭｏＡｌ2）の場合には、ＭｏサイトがＷで、Ｓｉサイ
トがＡｌでそれぞれ置換される。
【００３３】前記侵入型固溶は、例えば、Ａｌ2Ｏ3−Ｎ
ａ2Ｏ等で起こる。即ち、この場合、母結晶の格子間に
Ｎａ+ が侵入する。
ａ2Ｏ等で起こる。即ち、この場合、母結晶の格子間に
Ｎａ+ が侵入する。
【００３４】前記侵入型固溶を伴う置換型固溶は、例え
ば、ＭｇＯ−Ａｌ2Ｏ3、ＢａＴｉＯ 3−ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3
−ＺｒＯ2等で起こる。即ち、Ｙ2Ｏ3−ＺｒＯ2の場合に
は、ＹサイトがＺｒで置換され、つまりＹ3+がＺｒ4+で
置換されるので、電気的中性を保持するために母結晶の
格子間にＯ2-が侵入する。ＭｇＯ−Ａｌ2Ｏ3やＢａＴｉ
Ｏ3−ＺｒＯ2の場合についても同様である。
ば、ＭｇＯ−Ａｌ2Ｏ3、ＢａＴｉＯ 3−ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3
−ＺｒＯ2等で起こる。即ち、Ｙ2Ｏ3−ＺｒＯ2の場合に
は、ＹサイトがＺｒで置換され、つまりＹ3+がＺｒ4+で
置換されるので、電気的中性を保持するために母結晶の
格子間にＯ2-が侵入する。ＭｇＯ−Ａｌ2Ｏ3やＢａＴｉ
Ｏ3−ＺｒＯ2の場合についても同様である。
【００３５】前記固溶用固体の固溶される構成元素は、
置換型固溶により前記母結晶用セラミックスのいずれか
の構成元素を置換するものや、侵入型固溶により母結晶
の格子間に侵入するものである。従って、その総量は、
置換型固溶される構成元素と侵入型固溶される構成元素
のいずれか又は両方を合わせたものである。例えば、上
記のＳｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）のように、Ｓｉサ
イトとＮサイトの両方が固溶用固体の構成元素でそれぞ
れ置換される場合には、前記総量は、これら置換型固溶
される固溶用固体のそれぞれの構成元素の量を合わせた
ものとなる。また、上記のＹ2Ｏ3−ＺｒＯ2のように、
Ｙ3+がＺｒ4+で置換されると共に、母結晶の格子間にＯ
2-が侵入する侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合には、
前記総量は、固溶用固体の固溶される構成元素であるＺ
ｒ4+とＯ2-を合わせたものとなる。
置換型固溶により前記母結晶用セラミックスのいずれか
の構成元素を置換するものや、侵入型固溶により母結晶
の格子間に侵入するものである。従って、その総量は、
置換型固溶される構成元素と侵入型固溶される構成元素
のいずれか又は両方を合わせたものである。例えば、上
記のＳｉ3Ｎ4−（Ａｌ2Ｏ3，ＡｌＮ）のように、Ｓｉサ
イトとＮサイトの両方が固溶用固体の構成元素でそれぞ
れ置換される場合には、前記総量は、これら置換型固溶
される固溶用固体のそれぞれの構成元素の量を合わせた
ものとなる。また、上記のＹ2Ｏ3−ＺｒＯ2のように、
Ｙ3+がＺｒ4+で置換されると共に、母結晶の格子間にＯ
2-が侵入する侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合には、
前記総量は、固溶用固体の固溶される構成元素であるＺ
ｒ4+とＯ2-を合わせたものとなる。
【００３６】ここで、前記総量を決定するための基準
は、前記母結晶用セラミックスの所定の構成元素であ
る。即ち、母結晶用セラミックスのいずれか１種の構成
元素のみが置換される置換型固溶の場合には、その置換
される構成元素を基準とする。母結晶用セラミックスの
２種以上の構成元素がそれぞれ置換される置換型固溶の
場合において、この母結晶用セラミックスの構成元素に
金属元素を含んでいる時にはその金属元素を基準とし、
金属元素を含まずにＳｉ等の半金属元素を含んでいる時
にはその半金属元素を基準とするのが望ましい。母結晶
の格子間に固溶用固体の構成元素が侵入する侵入型固溶
の場合には、母結晶用セラミックスの金属元素を基準と
する。侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合には、母結晶
用セラミックスの置換される構成元素を基準とするのが
望ましい。
は、前記母結晶用セラミックスの所定の構成元素であ
る。即ち、母結晶用セラミックスのいずれか１種の構成
元素のみが置換される置換型固溶の場合には、その置換
される構成元素を基準とする。母結晶用セラミックスの
２種以上の構成元素がそれぞれ置換される置換型固溶の
場合において、この母結晶用セラミックスの構成元素に
金属元素を含んでいる時にはその金属元素を基準とし、
金属元素を含まずにＳｉ等の半金属元素を含んでいる時
にはその半金属元素を基準とするのが望ましい。母結晶
の格子間に固溶用固体の構成元素が侵入する侵入型固溶
の場合には、母結晶用セラミックスの金属元素を基準と
する。侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合には、母結晶
用セラミックスの置換される構成元素を基準とするのが
望ましい。
【００３７】当該セラミック焼結体は、上記のような母
結晶用セラミックスの所定の構成元素に対して、前記固
溶用固体の固溶される構成元素の総量を２ａｔ％以下と
しているので、前記母結晶用セラミックスのいずれかの
構成元素を不規則に置換した固溶用固体の構成元素を含
む所定範囲や、母結晶の格子間に不規則に侵入した固溶
用固体の構成元素を含む所定範囲を、互いに干渉しない
クラスターとすることができる。このように、母結晶中
に互いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散させ
ておけば、このセラミック焼結体の硬度やヤング率に加
えて、破壊強度も上昇させることができるという利点が
ある。
結晶用セラミックスの所定の構成元素に対して、前記固
溶用固体の固溶される構成元素の総量を２ａｔ％以下と
しているので、前記母結晶用セラミックスのいずれかの
構成元素を不規則に置換した固溶用固体の構成元素を含
む所定範囲や、母結晶の格子間に不規則に侵入した固溶
用固体の構成元素を含む所定範囲を、互いに干渉しない
クラスターとすることができる。このように、母結晶中
に互いに干渉しない複数のクラスターを形成、分散させ
ておけば、このセラミック焼結体の硬度やヤング率に加
えて、破壊強度も上昇させることができるという利点が
ある。
【００３８】次に、このような機械的性質の向上を、例
えばＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3を例にとり、下記に示すモデル
を用いて説明する。
えばＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3を例にとり、下記に示すモデル
を用いて説明する。
【００３９】図１及び図２に示すように、Ａｌ3+１とＣ
ｒ3+２は、いずれも６個のＯ2-３に囲まれて存在してい
る。この八面体を１つのクラスターと考え、それぞれ
〔ＡｌＯ6〕クラスター４、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の
ように表す。
ｒ3+２は、いずれも６個のＯ2-３に囲まれて存在してい
る。この八面体を１つのクラスターと考え、それぞれ
〔ＡｌＯ6〕クラスター４、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の
ように表す。
【００４０】ここで、それぞれの構成元素のイオン半径
は、Ａｌ3+１で０．５３Å、Ｃｒ3+２で０．６２Å、Ｏ
2-３で１．４０Åであるので、〔ＡｌＯ6〕クラスター
４の半径は１．９３Å、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の半
径は２．０２Åであり、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の方
が少し大きい。
は、Ａｌ3+１で０．５３Å、Ｃｒ3+２で０．６２Å、Ｏ
2-３で１．４０Åであるので、〔ＡｌＯ6〕クラスター
４の半径は１．９３Å、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の半
径は２．０２Åであり、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の方
が少し大きい。
【００４１】置換型固溶により、Ａｌ3+１がＣｒ3+２で
置換されると、図２に示すように、〔ＡｌＯ6〕クラス
ター４が〔ＣｒＯ6〕クラスター５で置換されることに
なる。従って、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の周辺には、
格子レベルの圧縮応力ＣＳと引張り応力ＴＳが生じる。
なお、圧縮応力ＣＳは、引張り応力ＴＳの２倍であるこ
とが知られており、そのため、〔ＣｒＯ6〕クラスター
５の周辺には圧縮応力ＣＳが存在していると考えられ
る。
置換されると、図２に示すように、〔ＡｌＯ6〕クラス
ター４が〔ＣｒＯ6〕クラスター５で置換されることに
なる。従って、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の周辺には、
格子レベルの圧縮応力ＣＳと引張り応力ＴＳが生じる。
なお、圧縮応力ＣＳは、引張り応力ＴＳの２倍であるこ
とが知られており、そのため、〔ＣｒＯ6〕クラスター
５の周辺には圧縮応力ＣＳが存在していると考えられ
る。
【００４２】ここで、ガラス中にアルミナ粒子を分散さ
せた系においては、ガラスの方が熱膨張係数が大きいた
め、アルミナ粒子周辺には圧縮応力（残留応力）が生じ
ることが知られている（香川 豊，八田 博史「セラミ
ックス基複合材料」アグネ承風社，p198）。この圧縮応
力（残留応力）の大きさは、図３に示すように、アルミ
ナ粒子内部では均一で、ガラス中ではアルミナ粒子の半
径の２〜３倍のところまで影響を及ぼす。
せた系においては、ガラスの方が熱膨張係数が大きいた
め、アルミナ粒子周辺には圧縮応力（残留応力）が生じ
ることが知られている（香川 豊，八田 博史「セラミ
ックス基複合材料」アグネ承風社，p198）。この圧縮応
力（残留応力）の大きさは、図３に示すように、アルミ
ナ粒子内部では均一で、ガラス中ではアルミナ粒子の半
径の２〜３倍のところまで影響を及ぼす。
【００４３】前記〔ＣｒＯ6〕クラスター５の周辺の圧
縮応力場も、上記と同様、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の
半径の２〜３倍のところまで影響を及ぼすものと考えら
れる。応力はベクトルにより与えられることから、これ
が重なると打ち消し合い、その効果は減少することにな
る。このことから、圧縮応力場の重なり合わない〔Ｃｒ
Ｏ6〕クラスター５の含有量を次のようにして算出する
ことができる。
縮応力場も、上記と同様、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の
半径の２〜３倍のところまで影響を及ぼすものと考えら
れる。応力はベクトルにより与えられることから、これ
が重なると打ち消し合い、その効果は減少することにな
る。このことから、圧縮応力場の重なり合わない〔Ｃｒ
Ｏ6〕クラスター５の含有量を次のようにして算出する
ことができる。
【００４４】ここで、全ての粒子が同じ半径ａを有し、
不均一な分散を示す条件での粒子間距離２ｂは、次の数
１に示す式により表現できることが知られている（A.J.
Ardell, Act.Metal., 20 (1972) p61 ）。
不均一な分散を示す条件での粒子間距離２ｂは、次の数
１に示す式により表現できることが知られている（A.J.
Ardell, Act.Metal., 20 (1972) p61 ）。
【００４５】
【数１】
【００４６】上記の数１の式は、前記〔ＣｒＯ6〕クラ
スター５の半径ａと、〔ＣｒＯ6〕クラスター５間の距
離２ｂの計算に適用することができ、この数１の式から
求めた〔ＣｒＯ6〕クラスター５の含有量Ｖf（ｖｏｌ
％）とａ／ｂの関係を図４に示す。
スター５の半径ａと、〔ＣｒＯ6〕クラスター５間の距
離２ｂの計算に適用することができ、この数１の式から
求めた〔ＣｒＯ6〕クラスター５の含有量Ｖf（ｖｏｌ
％）とａ／ｂの関係を図４に示す。
【００４７】図４から、圧縮応力場の大きさが〔ＣｒＯ
6〕クラスター５の半径の２倍であるとするとその含有
量は１．２ｖｏｌ％、３倍であるとすると０．４ｖｏｌ
％となる。従って、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の含有量
が１．２ｖｏｌ％より大きい場合、圧縮応力場が重なり
合うことになる。なお、Ｃｒ2Ｏ3１体積当り〔Ｃｒ
Ｏ 6〕クラスター５が２体積生成するので、これをｍｏ
ｌで計算すると、Ｃｒ2Ｏ3の固溶量が０．５３ｍｏｌ％
より多い場合に圧縮応力場が重なり合うことになる。逆
に、Ｃｒ2Ｏ3の固溶量が０．５３ｍｏｌ％以下、即ち、
Ａｌ3+に対して置換型固溶されるＣｒ3+の量が０．５３
ａｔ％以下の場合には、〔ＣｒＯ6〕クラスター５が互
いに干渉することなく、圧縮応力ＣＳの影響を受けるよ
うになるものと考えられる。この圧縮応力ＣＳの影響に
より、硬度やヤング率、更には破壊強度が上昇するもの
と考えられる。
6〕クラスター５の半径の２倍であるとするとその含有
量は１．２ｖｏｌ％、３倍であるとすると０．４ｖｏｌ
％となる。従って、〔ＣｒＯ6〕クラスター５の含有量
が１．２ｖｏｌ％より大きい場合、圧縮応力場が重なり
合うことになる。なお、Ｃｒ2Ｏ3１体積当り〔Ｃｒ
Ｏ 6〕クラスター５が２体積生成するので、これをｍｏ
ｌで計算すると、Ｃｒ2Ｏ3の固溶量が０．５３ｍｏｌ％
より多い場合に圧縮応力場が重なり合うことになる。逆
に、Ｃｒ2Ｏ3の固溶量が０．５３ｍｏｌ％以下、即ち、
Ａｌ3+に対して置換型固溶されるＣｒ3+の量が０．５３
ａｔ％以下の場合には、〔ＣｒＯ6〕クラスター５が互
いに干渉することなく、圧縮応力ＣＳの影響を受けるよ
うになるものと考えられる。この圧縮応力ＣＳの影響に
より、硬度やヤング率、更には破壊強度が上昇するもの
と考えられる。
【００４８】以上のことから、前記固溶用固体の固溶さ
れる構成元素の総量は、２ａｔ％以下、好ましくは１ａ
ｔ％以下、より好ましくは０．６ａｔ％以下が望まし
い。前記総量が２ａｔ％より多い場合には、緻密化の阻
害、即ち焼結の進行の遅延、原子間結合力の減少による
ヤング率の低下、あるいはこのヤング率の低下による破
壊靱性の低下等が起こることがあるので望ましくない。
なお、上記では、置換型固溶が起こるＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2
Ｏ3の場合について説明したが、侵入型固溶や、あるい
は侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合でも同様である。
れる構成元素の総量は、２ａｔ％以下、好ましくは１ａ
ｔ％以下、より好ましくは０．６ａｔ％以下が望まし
い。前記総量が２ａｔ％より多い場合には、緻密化の阻
害、即ち焼結の進行の遅延、原子間結合力の減少による
ヤング率の低下、あるいはこのヤング率の低下による破
壊靱性の低下等が起こることがあるので望ましくない。
なお、上記では、置換型固溶が起こるＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2
Ｏ3の場合について説明したが、侵入型固溶や、あるい
は侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合でも同様である。
【００４９】更に、例えば、上記のＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3
やＴｉＢ2−ＺｒＢ2等のように、前記固溶が置換型固溶
のみである場合には、侵入型固溶や、あるいは侵入型固
溶を伴う置換型固溶の場合にみられる結晶自体の脆化や
電気伝導性等の基本物性の変化等が現れにくいという利
点がある。
やＴｉＢ2−ＺｒＢ2等のように、前記固溶が置換型固溶
のみである場合には、侵入型固溶や、あるいは侵入型固
溶を伴う置換型固溶の場合にみられる結晶自体の脆化や
電気伝導性等の基本物性の変化等が現れにくいという利
点がある。
【００５０】また、前記母結晶用セラミックスと固溶用
固体が共に酸化物系セラミックスである場合には、易焼
結性で、しかも高品質で安価な粉末が大量に供給されて
おり、そのため、セラミック焼結体を容易且つ安価に製
造できるという利点がある。
固体が共に酸化物系セラミックスである場合には、易焼
結性で、しかも高品質で安価な粉末が大量に供給されて
おり、そのため、セラミック焼結体を容易且つ安価に製
造できるという利点がある。
【００５１】前記母結晶用セラミックスが酸化物系セラ
ミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化物系セ
ラミックスである場合には、上記の効果に加え、耐熱性
や耐熱衝撃性等を改善できるという利点がある。
ミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化物系セ
ラミックスである場合には、上記の効果に加え、耐熱性
や耐熱衝撃性等を改善できるという利点がある。
【００５２】前記母結晶用セラミックスが非酸化物系セ
ラミックスであると共に、前記固溶用固体が少なくとも
酸化物系セラミックスを含む場合には、耐熱性、耐食
性、硬度、機械的強度等に優れると共に、耐酸化性等を
改善できるという利点がある。
ラミックスであると共に、前記固溶用固体が少なくとも
酸化物系セラミックスを含む場合には、耐熱性、耐食
性、硬度、機械的強度等に優れると共に、耐酸化性等を
改善できるという利点がある。
【００５３】前記母結晶用セラミックスが非酸化物系セ
ラミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化物系
セラミックス及び／又は金属間化合物を含む場合には、
耐熱性、耐食性、硬度、機械的強度等に優れるという利
点がある。
ラミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化物系
セラミックス及び／又は金属間化合物を含む場合には、
耐熱性、耐食性、硬度、機械的強度等に優れるという利
点がある。
【００５４】前記母結晶用セラミックスが組成式Ａｌ2
Ｏ3で表される場合には、高硬度で、しかも耐摩耗性や
耐食性等に優れるという利点がある。この場合、特に前
記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表される場合には、置
換型固溶のみが起こるという利点がある。しかも、Ａｌ
とＣｒの原子価が同じであることから、格子空孔もほと
んど生成せず、そのため母結晶が脆くならないという利
点がある。
Ｏ3で表される場合には、高硬度で、しかも耐摩耗性や
耐食性等に優れるという利点がある。この場合、特に前
記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表される場合には、置
換型固溶のみが起こるという利点がある。しかも、Ａｌ
とＣｒの原子価が同じであることから、格子空孔もほと
んど生成せず、そのため母結晶が脆くならないという利
点がある。
【００５５】次に、当該セラミック焼結体の製造方法に
ついて説明する。この実施形態に係るセラミック焼結体
の製造方法は、母結晶用セラミックスと固溶用固体を所
定の割合で混合した粉末状混合物を焼結し、前記母結晶
用セラミックスに固溶用固体を固溶させるものである。
ついて説明する。この実施形態に係るセラミック焼結体
の製造方法は、母結晶用セラミックスと固溶用固体を所
定の割合で混合した粉末状混合物を焼結し、前記母結晶
用セラミックスに固溶用固体を固溶させるものである。
【００５６】この際、前記固溶用固体の混合割合を、該
固溶用固体の固溶される構成元素の総量が前記母結晶用
セラミックスの所定の構成元素に対して２ａｔ％以下と
なるようにすることによって、母結晶中に互いに干渉し
ない複数のクラスターを形成、分散させる。
固溶用固体の固溶される構成元素の総量が前記母結晶用
セラミックスの所定の構成元素に対して２ａｔ％以下と
なるようにすることによって、母結晶中に互いに干渉し
ない複数のクラスターを形成、分散させる。
【００５７】前記粉末状混合物は、母結晶用セラミック
ス粉末と固溶用固体粉末をメカニカルミリングにより攪
拌、混合等してあらかじめ調製しておく。
ス粉末と固溶用固体粉末をメカニカルミリングにより攪
拌、混合等してあらかじめ調製しておく。
【００５８】そして、この粉末状混合物を、得られるセ
ラミック焼結体の製品用途等に応じて、常圧焼結法、ホ
ットプレス（ＨＰ）法、真空ホットプレス（ＶＨＰ）
法、ホットアイソスタティックプレス（ＨＩＰ）法、射
出成形法等の中から適宜の焼結法を選択して焼結する。
この際、粉末状混合物をあらかじめ所望の製品形状に成
形してから焼結してもよいし、あるいは成形と焼結を同
時に行う等してもよい。
ラミック焼結体の製品用途等に応じて、常圧焼結法、ホ
ットプレス（ＨＰ）法、真空ホットプレス（ＶＨＰ）
法、ホットアイソスタティックプレス（ＨＩＰ）法、射
出成形法等の中から適宜の焼結法を選択して焼結する。
この際、粉末状混合物をあらかじめ所望の製品形状に成
形してから焼結してもよいし、あるいは成形と焼結を同
時に行う等してもよい。
【００５９】前記固溶用固体の混合割合は、例えば、Ａ
ｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3の場合では、ＡｌとＣｒの原子比が
１：１であり、置換型固溶されるＣｒ3+がＡｌ3+に対し
て２ａｔ％以下となるようにすればよいので、Ａｌ2Ｏ3
に２ｍｏｌ％以下のＣｒ2Ｏ3を混合すればよい。
ｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3の場合では、ＡｌとＣｒの原子比が
１：１であり、置換型固溶されるＣｒ3+がＡｌ3+に対し
て２ａｔ％以下となるようにすればよいので、Ａｌ2Ｏ3
に２ｍｏｌ％以下のＣｒ2Ｏ3を混合すればよい。
【００６０】また、Ｙ2Ｏ3−ＺｒＯ2の場合には、既述
したように、Ｙ3+がＺｒ4+で置換されると共に、母結晶
の格子間にＯ2-が侵入するが、Ｙ3+１個がＺｒ4+で置換
されるにつき電気的中性を保持するためにＯ2-が１／２
個侵入するので、Ｙ3+１個につき固溶用固体の構成元素
が合計１．５個固溶されることになる。更に、ＹとＺｒ
の原子比が２：１であるので、ＺｒＯ2の固溶される構
成元素の総量をＹ3+に対して２ａｔ％以下とするために
は、 ４÷３／２＝４×２／３＝８／３（ｍｏｌ％） 即ち、約２．６７ｍｏｌ％以下のＺｒＯ2を混合すれば
よい。
したように、Ｙ3+がＺｒ4+で置換されると共に、母結晶
の格子間にＯ2-が侵入するが、Ｙ3+１個がＺｒ4+で置換
されるにつき電気的中性を保持するためにＯ2-が１／２
個侵入するので、Ｙ3+１個につき固溶用固体の構成元素
が合計１．５個固溶されることになる。更に、ＹとＺｒ
の原子比が２：１であるので、ＺｒＯ2の固溶される構
成元素の総量をＹ3+に対して２ａｔ％以下とするために
は、 ４÷３／２＝４×２／３＝８／３（ｍｏｌ％） 即ち、約２．６７ｍｏｌ％以下のＺｒＯ2を混合すれば
よい。
【００６１】同様に、ＭｏＳｉ2−（ＷＳｉ2，ＭｏＡｌ
2）の場合には、ＭｏサイトがＷで、ＳｉサイトがＡｌ
でそれぞれ置換され、ＭｏとＷの原子比及びＳｉとＡｌ
の原子比がいずれも１：１であるので、ＷＳｉ2とＭｏ
Ａｌ2を含む固溶用固体の固溶される構成元素の総量を
Ｍｏに対して２ａｔ％とするためには、ＷＳｉ2とＭｏ
Ａｌ2を合わせて２ｍｏｌ％以下となるように混合すれ
ばよい。
2）の場合には、ＭｏサイトがＷで、ＳｉサイトがＡｌ
でそれぞれ置換され、ＭｏとＷの原子比及びＳｉとＡｌ
の原子比がいずれも１：１であるので、ＷＳｉ2とＭｏ
Ａｌ2を含む固溶用固体の固溶される構成元素の総量を
Ｍｏに対して２ａｔ％とするためには、ＷＳｉ2とＭｏ
Ａｌ2を合わせて２ｍｏｌ％以下となるように混合すれ
ばよい。
【００６２】このように、固溶用固体は、母結晶用セラ
ミックスとの組合せにより、適宜の量を混合して粉末状
混合物を調製すればよい。
ミックスとの組合せにより、適宜の量を混合して粉末状
混合物を調製すればよい。
【００６３】ここで、母結晶用セラミックス粉末と固溶
用固体粉末をメカニカルミリングにより攪拌、混合して
粉末状混合物を調製する場合には、母結晶用セラミック
ス粉末と固溶用固体粉末を均一に混合できると共に、充
分に微細化できるという利点がある。
用固体粉末をメカニカルミリングにより攪拌、混合して
粉末状混合物を調製する場合には、母結晶用セラミック
ス粉末と固溶用固体粉末を均一に混合できると共に、充
分に微細化できるという利点がある。
【００６４】前記メカニカルミリングは、ボールミル、
振動ミル、アトライタ等の適宜のミリング装置で数時間
〜数十時間程度行えばよい。
振動ミル、アトライタ等の適宜のミリング装置で数時間
〜数十時間程度行えばよい。
【００６５】上記のメカニカルミリングにおいて、固溶
用固体ゾルを用いる場合には、より均一に混合できると
いう利点がある。
用固体ゾルを用いる場合には、より均一に混合できると
いう利点がある。
【００６６】また、ゾル・ゲル法、共沈法や、あるい
は、母結晶用セラミックスに固溶用固体の硝酸塩溶液等
を塗布して母結晶用セラミックス表面に固溶用固体をコ
ーティングする等して、母結晶用セラミックス粉末の調
製途中で固溶用固体をあらかじめ混合しておく場合に
は、より均一に混合できると共に、より微細化できると
いう利点がある。
は、母結晶用セラミックスに固溶用固体の硝酸塩溶液等
を塗布して母結晶用セラミックス表面に固溶用固体をコ
ーティングする等して、母結晶用セラミックス粉末の調
製途中で固溶用固体をあらかじめ混合しておく場合に
は、より均一に混合できると共に、より微細化できると
いう利点がある。
【００６７】次いで、母結晶用セラミックスと固溶用固
体を上記のような割合で混合した粉末状混合物を焼結す
れば、既述したように、母結晶中に互いに干渉しない複
数のクラスターを形成、分散させることができる。
体を上記のような割合で混合した粉末状混合物を焼結す
れば、既述したように、母結晶中に互いに干渉しない複
数のクラスターを形成、分散させることができる。
【００６８】
【実施例】次に、実施例を挙げてこの発明を更に詳細に
説明するが、この発明は係る実施例に限定されるもので
はない。
説明するが、この発明は係る実施例に限定されるもので
はない。
【００６９】実施例１（Ａｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3） 母結晶用セラミックスとしてＡｌ2Ｏ3を、固溶用固体と
してＣｒ2Ｏ3を選択した。出発原料として、住友化学工
業社製のα−Ａｌ2Ｏ3（ＡＫＰ−３０，＜０．４μｍ，
純度９９．９９％）と高純度化学研究所製のＣｒ2Ｏ
3（９８７７８Ｃ，３μｍ，純度９９．９８％）を用い
た。これら原料粉末の化学組成は、次の表１の通りであ
る。
してＣｒ2Ｏ3を選択した。出発原料として、住友化学工
業社製のα−Ａｌ2Ｏ3（ＡＫＰ−３０，＜０．４μｍ，
純度９９．９９％）と高純度化学研究所製のＣｒ2Ｏ
3（９８７７８Ｃ，３μｍ，純度９９．９８％）を用い
た。これら原料粉末の化学組成は、次の表１の通りであ
る。
【００７０】
【表１】
【００７１】Ｃｒ2Ｏ3の混合割合が０．２６、０．４
３、０．８８ｍｏｌ％（固溶総量，ａｔ％）となるよう
にそれぞれ秤量し、図５に示す工程でセラミック焼結体
の試料片を作製した。即ち、エタノール中で直径０．５
ｃｍのアルミナボールにより２４時間湿式ボールミル混
合を行った。これをマイクロ波で乾燥後、直径１ｃｍの
アルミナボールを使用して２４時間乾式ボールミル混合
を行い、充分に粉砕して粉末状混合物を調製した。得ら
れた粉末状混合物を、カーボンダイスを用いてアルゴン
雰囲気下、１４００〜１６００℃、３０ＭＰａの条件で
１時間ホットプレス焼結を行った。得られたセラミック
焼結体をダイヤモンドカッターで切断後、ダイヤモンド
スラリー（９、３、１／２μｍ）を用いて鏡面研磨し、
３×４×３６ｍｍの試料片を１０本程度作製した。な
お、同様の操作でＡｌ2Ｏ3単相の試料片も作製した。
３、０．８８ｍｏｌ％（固溶総量，ａｔ％）となるよう
にそれぞれ秤量し、図５に示す工程でセラミック焼結体
の試料片を作製した。即ち、エタノール中で直径０．５
ｃｍのアルミナボールにより２４時間湿式ボールミル混
合を行った。これをマイクロ波で乾燥後、直径１ｃｍの
アルミナボールを使用して２４時間乾式ボールミル混合
を行い、充分に粉砕して粉末状混合物を調製した。得ら
れた粉末状混合物を、カーボンダイスを用いてアルゴン
雰囲気下、１４００〜１６００℃、３０ＭＰａの条件で
１時間ホットプレス焼結を行った。得られたセラミック
焼結体をダイヤモンドカッターで切断後、ダイヤモンド
スラリー（９、３、１／２μｍ）を用いて鏡面研磨し、
３×４×３６ｍｍの試料片を１０本程度作製した。な
お、同様の操作でＡｌ2Ｏ3単相の試料片も作製した。
【００７２】得られた試料片を用い、１４００℃及び１
５００℃で焼結したものについて、硬度（ビッカース硬
度）、ヤング率（共振法）、破壊靱性（微小圧子圧入破
壊法（ＩＦ法））、破壊強度（大気中，三点曲げ試験，
スパン＝３０ｍｍ，クロスヘッドスピード＝０．５ｍｍ
／ｍｉｎ）をそれぞれ測定した。これらの結果をそれぞ
れ図６乃至図９に示す。
５００℃で焼結したものについて、硬度（ビッカース硬
度）、ヤング率（共振法）、破壊靱性（微小圧子圧入破
壊法（ＩＦ法））、破壊強度（大気中，三点曲げ試験，
スパン＝３０ｍｍ，クロスヘッドスピード＝０．５ｍｍ
／ｍｉｎ）をそれぞれ測定した。これらの結果をそれぞ
れ図６乃至図９に示す。
【００７３】図６乃至図９から、Ａｌ2Ｏ3に微量のＣｒ
2Ｏ3を固溶させることにより、硬度、ヤング率、及び破
壊強度がそれぞれ上昇した。また、破壊靱性はＡｌ2Ｏ3
単相とほぼ同じであった。
2Ｏ3を固溶させることにより、硬度、ヤング率、及び破
壊強度がそれぞれ上昇した。また、破壊靱性はＡｌ2Ｏ3
単相とほぼ同じであった。
【００７４】なお、１４００℃で焼結したものについて
同条件で熱エッチングを行い、その表面をＳＥＭ（走査
型電子顕微鏡）により観察した結果、図１０に示すよう
に、母結晶粒子の平均粒径に差はほとんど認められず、
また粒子の形状や粒度分布もほとんど同じであった。更
に、１５００℃で焼結したものも同様の傾向であった。
同条件で熱エッチングを行い、その表面をＳＥＭ（走査
型電子顕微鏡）により観察した結果、図１０に示すよう
に、母結晶粒子の平均粒径に差はほとんど認められず、
また粒子の形状や粒度分布もほとんど同じであった。更
に、１５００℃で焼結したものも同様の傾向であった。
【００７５】また、破壊強度測定後の試料片の破断面を
ＳＥＭにより観察した結果、Ａｌ2Ｏ3単相では粒界破壊
と粒内破壊が共存していたが、Ｃｒ2Ｏ3の混合量が増加
するにつれて破壊モードが粒内破壊へと変化した。
ＳＥＭにより観察した結果、Ａｌ2Ｏ3単相では粒界破壊
と粒内破壊が共存していたが、Ｃｒ2Ｏ3の混合量が増加
するにつれて破壊モードが粒内破壊へと変化した。
【００７６】実施例２（Ａｌ2Ｏ3−ＡｌＮ） 母結晶用セラミックスとしてＡｌ2Ｏ3を、固溶用固体と
してＡｌＮを選択し、実施例１と同様にしてセラミック
焼結体を作製した。
してＡｌＮを選択し、実施例１と同様にしてセラミック
焼結体を作製した。
【００７７】実施例３（Ｓｉ3Ｎ4−ＳｉＯ2） 母結晶用セラミックスとしてＳｉ3Ｎ4を、固溶用固体と
してＳｉＯ2を選択し、実施例１と同様にしてセラミッ
ク焼結体を作製した。
してＳｉＯ2を選択し、実施例１と同様にしてセラミッ
ク焼結体を作製した。
【００７８】実施例４（ＭｏＳｉ2−ＷＳｉ2） 母結晶用セラミックスとしてＭｏＳｉ2を、固溶用固体
としてＷＳｉ2を選択し、実施例１と同様にしてセラミ
ック焼結体を作製した。
としてＷＳｉ2を選択し、実施例１と同様にしてセラミ
ック焼結体を作製した。
【００７９】比較例１〜６（Ａｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3） 母結晶用セラミックスとしてＡｌ2Ｏ3を、固溶用固体と
してＣｒ2Ｏ3を選択し、Ｃｒ2Ｏ3をそれぞれ４．４ｍｏ
ｌ％（比較例１）、８．９ｍｏｌ％（比較例２）、１
８．０ｍｏｌ％（比較例３）、２７．３ｍｏｌ％（比較
例４）、３６．９ｍｏｌ％（比較例５）、４６．７ｍｏ
ｌ％（比較例６）混合した以外は実施例１と同様にして
セラミック焼結体を作製した。
してＣｒ2Ｏ3を選択し、Ｃｒ2Ｏ3をそれぞれ４．４ｍｏ
ｌ％（比較例１）、８．９ｍｏｌ％（比較例２）、１
８．０ｍｏｌ％（比較例３）、２７．３ｍｏｌ％（比較
例４）、３６．９ｍｏｌ％（比較例５）、４６．７ｍｏ
ｌ％（比較例６）混合した以外は実施例１と同様にして
セラミック焼結体を作製した。
【００８０】上記実施例２〜４において、１５００℃で
焼結した固溶総量が０．４３ａｔ％のものについて、実
施例１と同様にして硬度、ヤング率、破壊靱性、及び破
壊強度を測定した。その結果を実施例１及び比較例１〜
６の結果と合わせて次の表２に示す。
焼結した固溶総量が０．４３ａｔ％のものについて、実
施例１と同様にして硬度、ヤング率、破壊靱性、及び破
壊強度を測定した。その結果を実施例１及び比較例１〜
６の結果と合わせて次の表２に示す。
【００８１】
【表２】
【００８２】なお、比較例１〜６において、１５００℃
で焼結したものについて実施例１と同様にして熱エッチ
ングを行い、その表面をＳＥＭにより観察した結果、図
１１に示すように、母結晶粒子の平均粒径はＣｒ2Ｏ3の
混合量が増加するにつれて減少した。このことから、Ｃ
ｒ2Ｏ3の混合量が多い領域で破壊強度が上昇したのは、
母結晶粒子の平均粒径の減少によって、破壊源寸法も減
少したことに起因するものと考えられる。また、硬度も
上昇しているが、これは母結晶粒子の平均粒径の減少に
加え、Ｃｒ2Ｏ3の固溶により転位の移動が抑えられるた
めであると考えられる。これに対し、ヤング率は、Ｃｒ
2Ｏ3の混合量が増加するにつれて低下した。これは、Ａ
ｌ2Ｏ3格子中のＡｌ3+がイオン半径のより大きいＣｒ3+
で置換され、平均原子間距離が増大して原子間の結合力
が弱くなったことに起因するものと考えられる。また、
このヤング率の低下により、破壊靱性も低下したものと
考えられる。
で焼結したものについて実施例１と同様にして熱エッチ
ングを行い、その表面をＳＥＭにより観察した結果、図
１１に示すように、母結晶粒子の平均粒径はＣｒ2Ｏ3の
混合量が増加するにつれて減少した。このことから、Ｃ
ｒ2Ｏ3の混合量が多い領域で破壊強度が上昇したのは、
母結晶粒子の平均粒径の減少によって、破壊源寸法も減
少したことに起因するものと考えられる。また、硬度も
上昇しているが、これは母結晶粒子の平均粒径の減少に
加え、Ｃｒ2Ｏ3の固溶により転位の移動が抑えられるた
めであると考えられる。これに対し、ヤング率は、Ｃｒ
2Ｏ3の混合量が増加するにつれて低下した。これは、Ａ
ｌ2Ｏ3格子中のＡｌ3+がイオン半径のより大きいＣｒ3+
で置換され、平均原子間距離が増大して原子間の結合力
が弱くなったことに起因するものと考えられる。また、
このヤング率の低下により、破壊靱性も低下したものと
考えられる。
【００８３】
【発明の効果】以上のように、請求項１及び請求項９の
発明によれば、母結晶用セラミックスに固溶用固体が固
溶されたセラミック焼結体において、前記固溶用固体の
固溶される構成元素の総量を、前記母結晶用セラミック
スの所定の構成元素に対して２ａｔ％以下とすることに
よって、母結晶中に互いに干渉しない複数のクラスター
を形成、分散させているので、前記母結晶用セラミック
スのいずれかの構成元素を不規則に置換した固溶用固体
の構成元素を含む所定範囲や、母結晶の格子間に不規則
に侵入した固溶用固体の構成元素を含む所定範囲を、互
いに干渉しないクラスターとすることができる。そのた
め、セラミック焼結体の硬度に加えてヤング率や破壊強
度も上昇させることができると共に、破壊靱性の減少も
ないことから、当該セラミック焼結体の構造材料等とし
ての応用範囲を広くできるという利点がある。
発明によれば、母結晶用セラミックスに固溶用固体が固
溶されたセラミック焼結体において、前記固溶用固体の
固溶される構成元素の総量を、前記母結晶用セラミック
スの所定の構成元素に対して２ａｔ％以下とすることに
よって、母結晶中に互いに干渉しない複数のクラスター
を形成、分散させているので、前記母結晶用セラミック
スのいずれかの構成元素を不規則に置換した固溶用固体
の構成元素を含む所定範囲や、母結晶の格子間に不規則
に侵入した固溶用固体の構成元素を含む所定範囲を、互
いに干渉しないクラスターとすることができる。そのた
め、セラミック焼結体の硬度に加えてヤング率や破壊強
度も上昇させることができると共に、破壊靱性の減少も
ないことから、当該セラミック焼結体の構造材料等とし
ての応用範囲を広くできるという利点がある。
【００８４】請求項２及び請求項１３の発明によれば、
前記固溶が置換型固溶のみであるので、侵入型固溶や、
あるいは侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合にみられる
結晶自体の脆化や電気伝導性等の基本物性の変化等が現
れることがないという利点がある。
前記固溶が置換型固溶のみであるので、侵入型固溶や、
あるいは侵入型固溶を伴う置換型固溶の場合にみられる
結晶自体の脆化や電気伝導性等の基本物性の変化等が現
れることがないという利点がある。
【００８５】請求項３及び請求項１４の発明によれば、
前記母結晶用セラミックスと固溶用固体が共に酸化物系
セラミックスであるので、易焼結性で、しかも高品質で
安価な粉末が大量に供給されており、そのため、セラミ
ック焼結体を容易且つ安価に製造できるという利点があ
る。
前記母結晶用セラミックスと固溶用固体が共に酸化物系
セラミックスであるので、易焼結性で、しかも高品質で
安価な粉末が大量に供給されており、そのため、セラミ
ック焼結体を容易且つ安価に製造できるという利点があ
る。
【００８６】請求項４及び請求項１５の発明によれば、
前記母結晶用セラミックスが酸化物系セラミックスであ
ると共に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックスで
あるので、上記請求項３及び１４の効果に加え、耐熱性
や耐熱衝撃性等を改善できるという利点がある。
前記母結晶用セラミックスが酸化物系セラミックスであ
ると共に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックスで
あるので、上記請求項３及び１４の効果に加え、耐熱性
や耐熱衝撃性等を改善できるという利点がある。
【００８７】請求項５及び請求項１６の発明によれば、
前記母結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスで
あると共に、前記固溶用固体が少なくとも酸化物系セラ
ミックスを含むので、耐熱性、耐食性、硬度、機械的強
度等に優れると共に、耐酸化性等を改善できるという利
点がある。
前記母結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスで
あると共に、前記固溶用固体が少なくとも酸化物系セラ
ミックスを含むので、耐熱性、耐食性、硬度、機械的強
度等に優れると共に、耐酸化性等を改善できるという利
点がある。
【００８８】請求項６及び請求項１７の発明によれば、
前記母結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスで
あると共に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックス
及び／又は金属間化合物を含むので、耐熱性、耐食性、
硬度、機械的強度等に優れるという利点がある。
前記母結晶用セラミックスが非酸化物系セラミックスで
あると共に、前記固溶用固体が非酸化物系セラミックス
及び／又は金属間化合物を含むので、耐熱性、耐食性、
硬度、機械的強度等に優れるという利点がある。
【００８９】請求項７及び請求項１８の発明によれば、
前記母結晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表される
ので、高硬度で、しかも耐摩耗性や耐食性等に優れると
いう利点がある。
前記母結晶用セラミックスが組成式Ａｌ2Ｏ3で表される
ので、高硬度で、しかも耐摩耗性や耐食性等に優れると
いう利点がある。
【００９０】請求項８及び請求項１９の発明によれば、
前記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表されるので、母結
晶用セラミックスがＡｌ2Ｏ3である場合には、置換型固
溶のみが起こるという利点がある。しかも、ＡｌとＣｒ
の原子価が同じであることから、格子空孔もほとんど生
成せず、そのため母結晶が脆くならないという利点があ
る。
前記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表されるので、母結
晶用セラミックスがＡｌ2Ｏ3である場合には、置換型固
溶のみが起こるという利点がある。しかも、ＡｌとＣｒ
の原子価が同じであることから、格子空孔もほとんど生
成せず、そのため母結晶が脆くならないという利点があ
る。
【００９１】請求項１０の発明によれば、前記粉末状混
合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体粉末を
メカニカルミリングにより攪拌、混合したものであるの
で、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体粉末を均一
に混合できると共に、充分に微細化できるという利点が
ある。
合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体粉末を
メカニカルミリングにより攪拌、混合したものであるの
で、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体粉末を均一
に混合できると共に、充分に微細化できるという利点が
ある。
【００９２】請求項１１の発明によれば、前記粉末状混
合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体ゾルを
メカニカルミリングにより攪拌、混合したものであるの
で、上記請求項１０の場合と比較してより均一に混合で
きるという利点がある。
合物が、母結晶用セラミックス粉末と固溶用固体ゾルを
メカニカルミリングにより攪拌、混合したものであるの
で、上記請求項１０の場合と比較してより均一に混合で
きるという利点がある。
【００９３】請求項１２の発明によれば、前記粉末状混
合物が、母結晶用セラミックス粉末の調製途中で固溶用
固体をあらかじめ混合したものであるので、上記請求項
１０及び１１の場合と比較してより効果的に均一に混合
できると共に、より微細化できるという利点がある。
合物が、母結晶用セラミックス粉末の調製途中で固溶用
固体をあらかじめ混合したものであるので、上記請求項
１０及び１１の場合と比較してより効果的に均一に混合
できると共に、より微細化できるという利点がある。
【図１】Ａｌ3+及びＣｒ3+の配位状態を示すモデル図。
【図２】クラスターの置換により生じる圧縮応力のモデ
ル図。
ル図。
【図３】ガラス中にアルミナ粒子を分散させて生じた圧
縮応力（残留応力）のグラフ。
縮応力（残留応力）のグラフ。
【図４】〔ＣｒＯ6〕クラスター含有量と隣接する〔Ｃ
ｒＯ6〕クラスター間の距離の関係を示すグラフ。
ｒＯ6〕クラスター間の距離の関係を示すグラフ。
【図５】実施例１の工程図。
【図６】得られたＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3セラミック焼結体
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と硬度の関係を示すグラフ。
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と硬度の関係を示すグラフ。
【図７】得られたＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3セラミック焼結体
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量とヤング率の関係を示すグラ
フ。
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量とヤング率の関係を示すグラ
フ。
【図８】得られたＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3セラミック焼結体
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と破壊靱性の関係を示すグラ
フ。
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と破壊靱性の関係を示すグラ
フ。
【図９】得られたＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3セラミック焼結体
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と破壊強度の関係を示すグラ
フ。
におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と破壊強度の関係を示すグラ
フ。
【図１０】得られたＡｌ2Ｏ3−Ｃｒ2Ｏ3セラミック焼結
体におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と平均粒径の関係を示すグ
ラフ。
体におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と平均粒径の関係を示すグ
ラフ。
【図１１】比較例１〜６において、得られたＡｌ2Ｏ3−
Ｃｒ2Ｏ3セラミック焼結体におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と
平均粒径の関係を示すグラフ。
Ｃｒ2Ｏ3セラミック焼結体におけるＣｒ2Ｏ3の混合量と
平均粒径の関係を示すグラフ。
１ Ａｌ3+ ２ Ｃｒ3+ ３ Ｏ2- ４ 〔ＡｌＯ6〕クラスター ５ 〔ＣｒＯ6〕クラスター
Claims (19)
- 【請求項１】 母結晶用セラミックスに固溶用固体が固
溶されたセラミック焼結体において、 前記固溶用固体の固溶される構成元素の総量を、前記母
結晶用セラミックスの所定の構成元素に対して２ａｔ％
以下とすることによって、母結晶中に互いに干渉しない
複数のクラスターを形成、分散させたことを特徴とする
セラミック焼結体。 - 【請求項２】 前記固溶が置換型固溶のみであることを
特徴とする請求項１記載のセラミック焼結体。 - 【請求項３】 前記母結晶用セラミックスと固溶用固体
が共に酸化物系セラミックスであることを特徴とする請
求項１又は２記載のセラミック焼結体。 - 【請求項４】 前記母結晶用セラミックスが酸化物系セ
ラミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化物系
セラミックスであることを特徴とする請求項１又は２記
載のセラミック焼結体。 - 【請求項５】 前記母結晶用セラミックスが非酸化物系
セラミックスであると共に、前記固溶用固体が少なくと
も酸化物系セラミックスを含むことを特徴とする請求項
１又は２記載のセラミック焼結体。 - 【請求項６】 前記母結晶用セラミックスが非酸化物系
セラミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化物
系セラミックス及び／又は金属間化合物を含むことを特
徴とする請求項１又は２記載のセラミック焼結体。 - 【請求項７】 前記母結晶用セラミックスが組成式Ａｌ
2Ｏ3で表されることを特徴とする請求項１乃至４のいず
れか記載のセラミック焼結体。 - 【請求項８】 前記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表さ
れることを特徴とする請求項７記載のセラミック焼結
体。 - 【請求項９】 母結晶用セラミックスと固溶用固体を所
定の割合で混合した粉末状混合物を焼結し、前記母結晶
用セラミックスに固溶用固体を固溶させるセラミック焼
結体の製造方法において、 前記固溶用固体の混合割合を、該固溶用固体の固溶され
る構成元素の総量が前記母結晶用セラミックスの所定の
構成元素に対して２ａｔ％以下となるようにすることに
よって、母結晶中に互いに干渉しない複数のクラスター
を形成、分散させることを特徴とするセラミック焼結体
の製造方法。 - 【請求項１０】 前記粉末状混合物が、母結晶用セラミ
ックス粉末と固溶用固体粉末をメカニカルミリングによ
り攪拌、混合したものであることを特徴とする請求項９
記載のセラミック焼結体の製造方法。 - 【請求項１１】 前記粉末状混合物が、母結晶用セラミ
ックス粉末と固溶用固体ゾルをメカニカルミリングによ
り攪拌、混合したものであることを特徴とする請求項９
記載のセラミック焼結体の製造方法。 - 【請求項１２】 前記粉末状混合物が、母結晶用セラミ
ックス粉末の調製途中で固溶用固体をあらかじめ混合し
たものであることを特徴とする請求項９記載のセラミッ
ク焼結体の製造方法。 - 【請求項１３】 前記固溶が置換型固溶のみであること
を特徴とする請求項９乃至１２のいずれか記載のセラミ
ック焼結体の製造方法。 - 【請求項１４】 前記母結晶用セラミックスと固溶用固
体が共に酸化物系セラミックスであることを特徴とする
請求項９乃至１３のいずれか記載のセラミック焼結体の
製造方法。 - 【請求項１５】 前記母結晶用セラミックスが酸化物系
セラミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化物
系セラミックスであることを特徴とする請求項９乃至１
３のいずれか記載のセラミック焼結体の製造方法。 - 【請求項１６】 前記母結晶用セラミックスが非酸化物
系セラミックスであると共に、前記固溶用固体が少なく
とも酸化物系セラミックスを含むことを特徴とする請求
項９乃至１３のいずれか記載のセラミック焼結体の製造
方法。 - 【請求項１７】 前記母結晶用セラミックスが非酸化物
系セラミックスであると共に、前記固溶用固体が非酸化
物系セラミックス及び／又は金属間化合物を含むことを
特徴とする請求項９乃至１３のいずれか記載のセラミッ
ク焼結体の製造方法。 - 【請求項１８】 前記母結晶用セラミックスが組成式Ａ
ｌ2Ｏ3で表されることを特徴とする請求項９乃至１５の
いずれか記載のセラミック焼結体の製造方法。 - 【請求項１９】 前記固溶用固体が組成式Ｃｒ2Ｏ3で表
されることを特徴とする請求項１８記載のセラミック焼
結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8326758A JPH10167802A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | セラミック焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8326758A JPH10167802A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | セラミック焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10167802A true JPH10167802A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18191367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8326758A Pending JPH10167802A (ja) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | セラミック焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10167802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110698190A (zh) * | 2019-10-12 | 2020-01-17 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 单相置换固溶体氧化物陶瓷涂层及其制备方法 |
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1996
- 1996-12-06 JP JP8326758A patent/JPH10167802A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110698190A (zh) * | 2019-10-12 | 2020-01-17 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 单相置换固溶体氧化物陶瓷涂层及其制备方法 |
| CN110698190B (zh) * | 2019-10-12 | 2021-06-15 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 单相置换固溶体氧化物陶瓷涂层及其制备方法 |
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