JPH10180200A

JPH10180200A - 有機溶剤含有ガス処理装置

Info

Publication number: JPH10180200A
Application number: JP8358735A
Authority: JP
Inventors: Minoru Uchida; 内田　　稔
Original assignee: Chiyoda Chemical Engineering and Construction Co Ltd; Chiyoda Corp
Current assignee: Chiyoda Corp
Priority date: 1996-12-26
Filing date: 1996-12-26
Publication date: 1998-07-07

Abstract

(57)【要約】【課題】有機溶剤で被処理物を洗浄処理し、その被処
理物に付着した有機溶剤を当該被処理物から除去する際
に、設備コストや運転コストを甚だしく増大させずに、
有機溶剤の放出量を大きく低減する。【解決手段】被処理物を有機溶剤で処理する処理槽１
と、処理槽１内を減圧して有機溶剤含有ガスを除去する
減圧手段Ｐ１と、処理槽１内を減圧する際に生じる有機
溶剤含有排ガスを蓄える蓄気手段２と、蓄気手段２に蓄
えられた有機溶剤含有排ガスを、処理槽１の復圧の際に
洗浄槽１に戻す復圧手段Ｐ２とから有機溶剤含有ガス処
理装置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機溶剤で処理さ
れた被処理物に付着した有機溶剤を当該被処理物から除
去する際に使用する有機溶剤含有ガス処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、自動車部品、電子部品、半導
体装置等を製造する際には、パークロロエチレンなどの
有機塩素系溶剤、炭化水素系溶剤、エタノールなどのア
ルコール系溶剤、フロン系溶剤等の有機溶剤を使用する
真空洗浄装置が広く利用されている。

【０００３】図７に、従来の真空洗浄装置の一例の概略
図を示す。この装置は、被処理物（ワーク）を有機溶剤
で洗浄するための洗浄槽７１と、洗浄槽７１の内部を減
圧するための真空ポンプｐ１とを有する。

【０００４】ここで、洗浄槽７１は、ワークを搬入する
ための搬入用扉７１ａとワークを取り出すための取り出
し用扉７１ｂとを有している。また、洗浄槽７１は、そ
の内部を大気圧に復圧させるためのバルブｖ３で大気に
解放可能となっている。また、真空ポンプｐ１は二つの
ガスラインに接続しており、一方は、真空ポンプｐ１の
排気をバルブｖ１を経て大気に放出するものであり、他
方は排気をバルブｖ２を経て、冷媒として水を使用する
有機溶剤回収器７２に導くものである。有機溶剤回収器
７２は、回収した有機溶剤を収容するための有機溶剤貯
蔵タンク７３に接続されている。有機溶剤貯蔵タンク７
３には、それに収容された有機溶剤を洗浄槽７１に送る
ことができるように、洗浄ポンプｐ２が接続されてお
り、更にその洗浄ポンプｐ２には、有機溶剤で被処理物
を洗浄できるようにスプレーノズル７４が接続されてい
る。

【０００５】なお、洗浄槽７１内にスプレーされた有機
溶剤は、回収ライン７５を経て有機溶剤貯蔵タンク７３
に回収されるようになっている。

【０００６】次に、図７に示すような真空洗浄装置を用
いてワークを洗浄する操作〜を説明する。

【０００７】まず、洗浄槽７１の搬入用扉７１ａを
開け、その中に洗浄対象物であるワークを搬入し、その
後で搬入用扉７１ａを閉じる。

【０００８】次に、バルブｖ２とｖ３とを閉めた状
態でバルブｖ１を開け、真空ポンプｐ１を起動させて、
洗浄槽７１内の空気を排気ライン７６を経て大気中に排
気して減圧状態とし、その状態でバルブｖ１を閉じ、真
空ポンプｐ１を停止する。

【０００９】次に、洗浄ポンプｐ２を起動させて、
有機溶剤貯蔵タンク７３内の有機溶剤を洗浄槽７１にま
で搬送し、スプレーノズル７４から噴霧してワークを洗
浄する。下に垂れ落ちた有機溶剤は回収ライン７５を経
て、有機溶剤貯蔵タンクに回収される。

【００１０】ワークの洗浄終了後に、洗浄ポンプｐ
２を停止し、続いてバルブｖ２を開けるとともに真空ポ
ンプｐ１を起動させる。これにより、洗浄槽７１内を排
気して減圧する。それとともにワークに付着している有
機溶剤を蒸発させてワークを乾燥する。排気された有機
溶剤含有ガスは、有機溶剤回収器７２で冷却水で冷却さ
れ、そこで有機溶剤が凝縮し、有機溶剤貯蔵タンク７３
に回収される。一方、有機溶剤が回収された排ガスは排
気ライン７６を経て大気に放出される。

【００１１】次に、バルブｖ３を開いて洗浄槽７１
内に大気を導入して復圧する。

【００１２】最後に、洗浄槽７１の取り出し用扉７
１ｂを開き、中からワークを取り出し、そして扉７１ｂ
を閉じる。

【００１３】しかし、一般的に使用されている有機溶剤
は蒸気圧が高いために、冷却水で冷却しても十分に凝縮
させることができず、高濃度の有機溶剤蒸気が大気に排
出されるという問題がある。

【００１４】そこで、有機溶剤回収器７２の排気ライン
７６に、圧縮深冷回収装置（典型的な回収条件：−３５
℃，６ｋｇ／ｃｍ²（ゲージ圧））や活性炭吸着装置を
備えることが行われている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧縮深
冷回収装置を設けたとしても、塩化メチレン等の非常に
高い蒸気圧を有する有機溶剤を使用した場合には、大気
へ放出する排ガス中の有機溶剤濃度を６０００ｐｐｍ程
度にまでしか低減できず、排出規制値（５０ｐｐｍ）を
大きく上回ってしまうという問題がある。しかも、圧縮
深冷回収装置自体の設置コスト並びに運転コストが非常
に高く、有機溶剤の回収コストが非常に高くなるという
問題もある。

【００１６】また、活性炭吸着装置の場合には、排気中
の有機溶剤濃度が高い場合には、活性炭再生頻度が高く
なり、また、活性炭の寿命も短くなるので、回収コスト
が非常に高くなるという問題がある。

【００１７】また、１９９６年５月に大気汚染防止法が
改正され、その改正法において、特にトリクロロエチレ
ンとテトラクロロエチレンとは重点的に大気汚染の防止
を講ずるべき指定物質に指定され、１９９７年４月には
より厳しい排出規制が実施されることとなっている。こ
のため、これらの有機溶媒を使用する中小零細企業から
大企業に至るまで、それらの有機溶剤を含有する排ガス
の大気汚染対策を早急に講ずることが求められている。

【００１８】本発明は、以上の従来の技術の問題を解決
しようとするものであり、真空洗浄装置等において、有
機溶剤で処理された被処理物に付着した有機溶剤を当該
被処理物から除去する際に、設備コストや運転コストを
甚だしく増大させずに、有機溶剤の放出量を大きく低減
できるようにすることを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明者は、有機溶剤で
被処理物を洗浄処理する洗浄槽や有機溶剤で洗浄処理さ
れた被処理物を乾燥処理する乾燥槽等の処理槽の内部を
減圧してその中の有機溶媒を蒸発させ除去する際に、有
機溶剤を含有するガス（有機溶剤含有ガス）を大気中に
放出せずに、そのガスを加圧タンクなどの蓄気手段に蓄
積しておき、次に洗浄槽の復圧を行うときに、大気中か
らの空気を使用せずに、蓄えたガスを処理槽に戻すこと
により、実質的に有機溶剤含有ガスの放出量をゼロにす
ることが可能となることを見出し、本発明を完成させる
に至った。

【００２０】即ち、本発明は、有機溶剤で処理された被
処理物を収容する処理槽と、処理槽内を減圧して有機溶
剤含有ガスを除去する減圧手段と、処理槽内から除去し
た有機溶剤含有ガスを蓄える蓄気手段と、蓄気手段から
該有機溶剤含有ガスを処理槽に戻して処理槽を復圧する
復圧手段とを有することを特徴とする有機溶剤含有ガス
処理装置を提供する。

【００２１】なお、複数の被処理物の処理を連続的に行
う場合には、処理槽への搬入時及び取り出し時に処理槽
内の有機溶媒が外部へ露洩しないようにすることが必要
となるが、そのためには処理槽の被処理物搬入側に前室
と、被処理物取り出し側に後室とを設置することが好ま
しい。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の有機溶剤含有ガス
処理装置について図面を参照しながら説明する。

【００２３】図１は、本発明の有機溶剤含有ガス処理装
置の概略図である。この図の装置は、処理槽１と蓄気手
段としての蓄気室２を有する。処理槽１には、バルブＶ
１を介して減圧手段としてポンプＰ１が接続しており、
その排気側は蓄気室２に接続している。

【００２４】また、蓄気室２にはバルブＶ２を介して復
圧手段としてポンプＰ２が接続しており、その排気側は
処理槽１に接続している。また、必要に応じて処理槽１
と蓄気室２との間をバルブＶ３を介して接続してもよ
い。ここで、バルブＶ３を設けることにより、処理槽１
と蓄気室２との間の内圧を、ポンプを使用することなく
均圧にすることができるので好ましい。

【００２５】次に、図１に示した本発明の有機溶剤含有
ガス処理装置の原理的な操作手順｛１ａ）〜１ｄ）｝を
説明する。

【００２６】１ａ）まず、処理槽１の内部が常圧で、
蓄気室２の内部が減圧もしくは真空となるようにする。

【００２７】１ｂ）次に、バルブＶ３を開いて、処理
槽１と蓄気室２との内部の圧力を均圧にする。

【００２８】１ｃ）ついで、バルブＶ３を閉じ、バル
ブＶ１を開き、ポンプＰ１を起動させて、処理槽１内を
排気して高真空状態とし、一方、排気したガスを蓄気室
２に溜める。排気し終わった時点で、バルブＶ１を閉じ
るとともにポンプＰ１を停止する。

【００２９】１ｄ）次に、処理槽１を復圧する。この
場合、まずバルブＶ３を開いて、処理槽１と蓄気室２と
の内部の圧力を均圧にする。そして、バルブＶ３を閉
じ、バルブＶ２を開くとともにポンプＰ２を起動させ、
蓄気室２内に蓄えられたガスを処理槽１に戻す。これに
より、排ガスの大気への放出量を原理的にゼロにするこ
とができる。しかも、処理槽１や蓄気室２、バルブやポ
ンプなども広く一般に使用されているものを利用できる
ので、設備コストや運転コストも低く押さえることもで
きる。

【００３０】なお、図１の態様の場合、操作開始時には
蓄気室２が真空状態としてあるが、蓄気室２の内圧を常
圧としてもよい。このような場合に使用する有機溶剤含
有ガス処理装置の一例を図２に示す。この図の装置は、
処理槽１と蓄気室２とを有する。処理槽１には、バルブ
Ｖ１を介してポンプＰ１が接続しており、その排気側は
蓄気室２に接続している。蓄気室２と処理槽１とはバル
ブＶ２を介して接続されている。このバルブＶ２は、処
理槽１に設けられた圧力スイッチＰＳにより、その開閉
が制御されている。

【００３１】なお、図２の態様の場合、バルブＶ２と圧
力スイッチＰＳとが復圧手段として機能している。

【００３２】次に、図２の有機溶剤含有ガス処理装置の
操作手順｛２ａ）〜２ｃ）｝を説明する。

【００３３】２ａ）まず、処理槽１と蓄気室２との内
部がそれぞれ常圧となるようにする。

【００３４】２ｂ）次に、バルブＶ１を開き、ポンプ
Ｐ１を起動させて、処理槽１内を排気して高真空状態と
し、一方、排気したガスを蓄気室２に溜める。排気し終
わった時点で、バルブＶ１を閉じるとともにポンプＰ１
を停止する。このとき蓄気室２の内部は加圧状態とな
る。

【００３５】２ｃ）処理槽１を復圧する場合には、ま
ずバルブＶ２を開いて、処理槽１内に蓄気室２に溜めら
れたガスを戻す。処理槽１の内部圧が所定の圧力となっ
た時点で圧力スイッチＰＳが起動しバルブＶ２が閉じら
れる。これにより、大気への排ガスの放出量を原理的に
ゼロにすることができる。

【００３６】なお、図１あるいは図２の態様の場合に
も、装置の操作中に空気が系内に漏れ込む場合も想定さ
れるので、少量の漏れ込みガスを大気中に放出する機構
を設けることが好ましい。このような機構の例として
は、図３に示すように、蓄気室２に活性炭吸着装置３を
介して排気ライン４を設け、更に活性炭吸着装置３と蓄
気室２との間に圧力調整弁ＰＶを設けた場合を挙げるこ
とができる。このような機構においては、蓄気室２のガ
ス圧が所定圧力以上となったときに、自動的に圧力調整
弁ＰＶが開いて、ガスを活性炭吸着装置３を経て大気中
に放出する。一般に、このような機構において放出する
ガスは非常に少量なので、活性炭吸着装置に対する負荷
も少なく、活性炭の再生頻度も小さくなり、運転コスト
も低く抑えることができる。

【００３７】また、蓄気室２を加圧状態としない図１あ
るいは図３の態様の場合、ポンプを２台使用している
が、図４に示すようにバルブＶ１〜Ｖ４を組み合わせる
と、一つの真空ポンプＰ１のみでも運転することができ
る。この場合、ポンプＰ１とバルブＶ１〜Ｖ４とが復圧
手段としても機能している。

【００３８】表１に、図４の有機溶剤含有ガス処理装置
の操作手順と処理槽１及び蓄気室２のそれぞれの内圧と
の関係を示す。表１において、○はバルブが開いている
状態を示し、又は真空ポンプが起動している状態を示し
ている。また×はバルブが閉じている場合を示し、又は
真空ポンプが停止している状態を示している。

【００３９】

【表１】バルブポンプ圧力(kg/cm²) 手順Ｖ１Ｖ２Ｖ３Ｖ４処理槽蓄気室初期状態 × × × × × １．００．０排気4a) × ○ ○ × × ０．５０．５ 4b) × ○ × ○ ○ ０．０１．０ 4c) × × × × × ０．０１．０復圧4d) × ○ ○ × × ０．５０．５ 4e) ○ × ○ × ○ １．００．０ 4f) × × × × × １．００．０表１に従って、図４の有機溶剤含有ガス処理装置の操作
手順｛４ａ）〜４ｆ）｝を説明する。なお、ワークが入
った状態で処理槽１の内部が１．０ｋｇ／ｃｍ²で、蓄
気室２の内部がほぼ０．０ｋｇ／ｃｍ²となるようにし
ておく。

【００４０】４ａ）まず、バルブＶ２とＶ３とを開い
て、処理槽１と蓄気室２との内部の圧力を共に０．５ｋ
ｇ／ｃｍ²にする。

【００４１】４ｂ）ついで、バルブＶ２を開いたまま
バルブＶ３を閉じ、バルブＶ４を開いてポンプＰ１を起
動させて、処理槽１内を排気し、排気したガスを蓄気室
２に溜める。これにより、処理槽１の内圧はほぼ０．０
ｋｇ／ｃｍ²となり、蓄気室２の内圧は１．０ｋｇ／ｃ
ｍ²となる。

【００４２】４ｃ）排気し終わった時点で、バルブＶ
２を閉じるとともにポンプＰ１を停止する。この時、バ
ルブＶ４も閉じる。この状態では、処理槽１の内圧はほ
ぼ０．０ｋｇ／ｃｍ²、蓄気室２の内圧は１．０ｋｇ／
ｃｍ²にそれぞれ維持されている。

【００４３】４ｄ）次に、処理槽１を復圧する場合に
は、まずバルブＶ２とＶ３とを開いて、処理槽１と蓄気
室２との内部の圧力を共に０．５ｋｇ／ｃｍ²にする。

【００４４】４ｅ）次に、バルブＶ２を閉じるととも
に、バルブＶ１を開き、ポンプＰ１を起動させる。その
結果、処理槽１の内部が１．０ｋｇ／ｃｍ²で、蓄気室
２の内部がほぼ０．０ｋｇ／ｃｍ²となる。

【００４５】４ｆ）最後に、処理槽１の内部を１．０
ｋｇ／ｃｍ²、蓄気室２の内部をほぼ０．０ｋｇ／ｃｍ²
に維持しながら、すべてのバルブを閉じる。そして処理
槽１からワークを取り出し、新たな処理すべきワークを
搬入する。

【００４６】以上説明したように、有機溶剤含有ガス処
理装置を図４に示すように構成すれば、１台の真空ポン
プで図１の装置と同様の処理を行うことができる。

【００４７】なお、本発明において、外部で有機溶剤に
より洗浄等の処理を施された被処理物を処理槽１に搬入
してもよく、処理槽１内部で有機溶剤による洗浄等の処
理を施してもよい。

【００４８】

【実施例】以下、本発明の有機溶剤含有ガス処理装置
を、スプレー洗浄型の真空洗浄装置に適用した具体的な
例を図５及び図６に示す。

【００４９】ここで、図５は、縦型の真空洗浄槽（処理
槽）にワークが上方から搬入される例であり、図６はワ
ークが横型の真空洗浄槽の一側面から搬入され、他側面
から取り出される例を示している。

【００５０】図５の真空洗浄装置は、上扉１０ａとスプ
レーノズル１０ｂとを備えた真空洗浄槽１０、蓄気室
２、活性炭吸着装置３、有機溶剤回収器５及び有機溶剤
貯蔵タンク６とを有する。また、真空洗浄槽１０の上方
には、局所排気ファンＰＦに接続されているフードＦが
配置されており、局所排気ファンＰＦからの排気は活性
炭吸着装置３に導かれるようになっている。更に、ポン
プＰ１〜Ｐ３、バルブＶ１〜Ｖ５、圧力調整弁ＰＶも設
けられている。これらの構成要素の相互関係を、図５の
真空洗浄装置の操作手順を説明しながら明らかにする。

【００５１】まず、蓄気室２の内部をほぼ真空状態にし
ておく。また、バルブや扉類は閉じた状態としておく。

【００５２】５ａ）真空洗浄槽１０の上扉１０ａを開
け、ワークを真空洗浄槽１０内にセットし、上扉１０ａ
を閉じる。

【００５３】５ｂ）ポンプＰ２を起動し、スプレーノ
ズル１０ｂから有機溶剤をスプレーしてワークを洗浄す
る。このとき、真空洗浄槽１０の底部に溜まった有機溶
剤は、バルブＶ５を経て有機溶剤貯蔵タンク６に回収さ
れる。

【００５４】５ｃ）ポンプＰ２を停止し、バルブＶ５
を閉じ、そしてバルブＶ１とＶ４とを開け、ポンプＰ１
を起動させて、真空洗浄槽１０を真空排気する。溶剤蒸
気は、有機溶剤回収器５で凝縮し、有機溶剤貯蔵タンク
６に回収される。有機溶剤が回収された排ガスは、非凝
縮性ガス（空気）と蒸気圧相当分の蒸気とを含み、これ
が蓄気室２に蓄えられる。ワークが乾燥した時点で、バ
ルブＶ１とＶ４とを閉じ、ポンプＰ１を停止する。

【００５５】５ｄ）バルブＶ２を開いて、真空洗浄槽
１０と蓄気室２とを等圧にし、バルブＶ２を閉じる。

【００５６】５ｅ）そしてバルブＶ３を開き、ポンプ
Ｐ３を起動して、真空洗浄槽１０を復圧する。

【００５７】５ｆ）上扉１０ａを開き、ワークを取り
出し、次に処理すべきワークを真空洗浄槽１０内にいれ
る。

【００５８】なお、蓄気室２の内圧が所定圧以上となっ
た場合には、圧力調整弁ＰＶが開き、余分の排ガスを活
性炭吸着装置３に導き、有機溶剤を活性炭に吸着させた
後に、排気ライン４から大気中に放出する。また、真空
洗浄槽１０の上扉１０ａを開けたときに有機溶剤が漏れ
出す可能性がないとはいえず、そのために上扉１０ａを
開けたとき等に、局所排気ファンＰＦを起動してフード
の周辺の空気を吸引し、活性炭吸着装置に導くことが好
ましい。

【００５９】図６の真空洗浄装置は、基本的には、図５
の真空洗浄装置に、更に真空洗浄槽１０の搬入側に前室
１１と被処理物取り出し側に後室１２とが設置された例
であり、ワークの処理を自動ライン化する場合に適した
例である。以下に、その操作手順を説明する。

【００６０】まず、真空洗浄槽１０及び後室１２の内部
をほぼ真空状態にしておく。また、バルブや扉類は閉じ
た状態としておく。蓄気室２には、有機溶剤含有ガスを
溜めておく。

【００６１】（ワーク搬入）６ａ）先ず前室１１の扉Ｔ１を開け、ワークを前室１
１に入れ、扉Ｔ１を閉じる。

【００６２】６ｂ）バルブＶ２を開いて、前室１１と
後室１２とを等圧にし、バルブＶ２を閉じる。バルブＶ
１を開き、ポンプＰ１を起動して、前室１１を真空排気
する。排気は後室１２に溜める。

【００６３】６ｃ）扉Ｔ２を開き、ワークを前室１１
から真空洗浄槽１０に移し、扉Ｔ２を閉じる。

【００６４】６ｄ）バルブＶ２を開いて、前室１１と
後室１２とを等圧にし、バルブＶ２を閉じる。バルブＶ
３を開き、ポンプＰ２を起動させて後室１２を真空排気
し、排気は前室１１に溜める。この状態では、前室１１
は常圧の空気で満たされており、後室１２内及び真空洗
浄槽１０内はほぼ真空であり、蓄気室２内は有機溶剤を
含有する常圧の空気で満たされている。

【００６５】（洗浄）６ｅ）バルブ６を開き、蓄気室２と真空洗浄槽１０と
を等圧にし、バルブＶ６を閉じる。バルブＶ７及びＶ８
を開き、ポンプＰ４を起動させ、蓄気室２を真空排気
し、排気は真空洗浄槽１０に送り、真空洗浄槽１０を復
圧させる。

【００６６】６ｆ）ポンプＰ５を起動し、スプレーノ
ズル１０ｂから有機溶剤をスプレーしてワークを洗浄す
る。このとき、真空洗浄槽１０の底部に溜まった有機溶
剤は、バルブＶ９を経て有機溶剤貯蔵タンク６に回収さ
れる。

【００６７】（乾燥）６ｇ）ポンプＰ５を停止し、バルブＶ９を閉じ、そし
てバルブＶ４´とＶ５とを開けて、真空洗浄槽１０と蓄
気室２とを等圧とする。バルブＶ４´を閉じ、バルブＶ
４を開き、そしてポンプＰ３を起動させて、真空洗浄槽
１０を真空排気する。溶剤蒸気は、有機溶剤回収器５で
凝縮し、有機溶剤貯蔵タンク６に回収される。有機溶剤
が回収された排ガスは、非凝縮性ガス（空気）と蒸気圧
相当分の蒸気とを含み、これが蓄気室２に蓄えられる。
ワークが乾燥した時点で、バルブＶ４とＶ５とを閉じ、
ポンプＰ３を停止する。

【００６８】（ワーク取り出し）６ｈ）扉Ｔ３を開き、ワークを後室１２に移動し、扉
Ｔ３を閉じる。

【００６９】６ｉ）バルブＶ２を開いて、前室１１と
後室１２とを等圧にし、バルブＶ２を閉じる。バルブＶ
１を開き、ポンプＰ１を起動して、前室１１を真空排気
する。排気は後室１２に溜める。

【００７０】６ｊ）扉Ｔ４を開き、後室１２からワー
クを取り出し、扉Ｔ４を閉じる。

【００７１】６ｋ）バルブＶ２を開いて、前室１１と
後室１２とを等圧にし、バルブＶ２を閉じる。バルブＶ
３を開き、ポンプＰ２を起動させて後室１２を真空排気
し、排気は前室１１に溜める。この状態では、前室１１
には常圧の空気で満たされており、後室１２内及び真空
洗浄槽１０内はほぼ真空であり、蓄気室２内は有機溶剤
を含有する常圧の空気で満たされている。

【００７２】なお、蓄気室２の内圧が所定圧以上となっ
た場合には、圧力調整弁ＰＶが開き、余分の排ガスを活
性炭吸着装置３に導き、有機溶剤を活性炭に吸着させた
後に、排気ライン４から大気中に放出する。

【００７３】以上、本発明の有機溶剤含有ガス処理装置
を、有機溶剤スプレー式真空洗浄装置に適用した例を具
体的に説明したが、有機溶剤蒸気洗浄タイプの真空洗浄
装置にも適用可能である。また、有機溶剤を除去あるい
は乾燥する工程を含む種々の装置にも適用可能である。

【００７４】

【発明の効果】本発明の有機溶剤含有ガス処理装置によ
れば、有機溶剤で処理された被処理物に付着した有機溶
剤を当該被処理物から除去する際に、設備コストや運転
コストを著しく増大させずに、有機溶剤の放出量を大き
く低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の有機溶剤含有ガス処理装置の概略図で
ある。

【図２】本発明の有機溶剤含有ガス処理装置の概略図で
ある。

【図３】本発明の有機溶剤含有ガス処理装置の概略図で
ある。

【図４】本発明の有機溶剤含有ガス処理装置の概略図で
ある。

【図５】本発明の有機溶剤含有ガス処理装置装置を適用
した真空洗浄装置の概略図である。

【図６】本発明の有機溶剤含有ガス処理装置装置を適用
した真空洗浄装置の概略図である。

【図７】従来の真空洗浄装置の概略図である。

【符号の説明】

１処理槽２蓄気室３活性炭吸着装置４排気ライン５有機溶剤回収器６有機溶剤貯蔵タンク１０真空洗浄槽１１前室１２後室Ｐ１〜Ｐ５ポンプＶ１〜Ｖ８バルブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】有機溶剤で処理された被処理物を処理す
る処理槽と、処理槽内を減圧して有機溶剤含有ガスを除
去する減圧手段と、処理槽内から除去した有機溶剤含有
ガスを蓄える蓄気手段と、該蓄気手段から該有機溶剤含
有ガスを処理槽に戻して処理槽を復圧する復圧手段とを
有することを特徴とする有機溶剤含有ガス処理装置。
【請求項２】処理槽の被処理物搬入側に前室と、被処
理物取り出し側に後室とが設置されている請求項１記載
の有機溶剤含有ガス処理装置。