JPH10194445A - 無人搬送台車 - Google Patents
無人搬送台車Info
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- JPH10194445A JPH10194445A JP35143196A JP35143196A JPH10194445A JP H10194445 A JPH10194445 A JP H10194445A JP 35143196 A JP35143196 A JP 35143196A JP 35143196 A JP35143196 A JP 35143196A JP H10194445 A JPH10194445 A JP H10194445A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動しながら安全確実且つ高速に作業を実行
することができる無人搬送台車を提供する。 【解決手段】 ウェハカセット１０２の移載時には台車
部１１における当該ウェハカセット１０２の移載側の一
方の開閉柵２４-1、２４-2が昇降手段によって開放され
るとともに他方の開閉柵２４-1、２４-2が閉鎖され、台
車部１１の走行時には両方の開閉柵２４-1、２４-2が閉
鎖される。
することができる無人搬送台車を提供する。 【解決手段】 ウェハカセット１０２の移載時には台車
部１１における当該ウェハカセット１０２の移載側の一
方の開閉柵２４-1、２４-2が昇降手段によって開放され
るとともに他方の開閉柵２４-1、２４-2が閉鎖され、台
車部１１の走行時には両方の開閉柵２４-1、２４-2が閉
鎖される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、マニピュレータ
等を有し、搬送物の搬送ならびに移載を行う無人搬送台
車に関する。
等を有し、搬送物の搬送ならびに移載を行う無人搬送台
車に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、半導体素子の製造工場等ではロボ
ット等の機械と人間とが同時に作業する場合も珍しくな
い。そこで例えば、ウェハカセット等を移載する無人搬
送台車等と人間とが混在する場合、ウェハの大型化や重
量化に伴って安全面の問題がクローズアップされてきて
いる。
ット等の機械と人間とが同時に作業する場合も珍しくな
い。そこで例えば、ウェハカセット等を移載する無人搬
送台車等と人間とが混在する場合、ウェハの大型化や重
量化に伴って安全面の問題がクローズアップされてきて
いる。
【０００３】上述した、ウェハカセットを移載するため
のマニピュレータを搭載した無人搬送台車に対する安全
策としては、一例として、マニピュレータと人間とを隔
離する防護柵を用いるものが挙げられる。
のマニピュレータを搭載した無人搬送台車に対する安全
策としては、一例として、マニピュレータと人間とを隔
離する防護柵を用いるものが挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図６は、従来の無人搬
送台車１００の構成の一例を示す斜視図である。この図
において、１０１は制御部や車輪（図示省略）等を有
し、矢示のＡＡ'方向に走行可能な台車部である。
送台車１００の構成の一例を示す斜視図である。この図
において、１０１は制御部や車輪（図示省略）等を有
し、矢示のＡＡ'方向に走行可能な台車部である。
【０００５】この台車部１０１の上面１０１ａには、複
数のウェハカセット１０２、１０２・・・を載置可能で
あるとともに、多関節アーム様のマニピュレータ１０３
が取り付けられている。
数のウェハカセット１０２、１０２・・・を載置可能で
あるとともに、多関節アーム様のマニピュレータ１０３
が取り付けられている。
【０００６】また、台車部１０１の上面１０１ａにおい
ては、１つの端部（１０１ｂ-1）を除く各端部（１０１
ｂ-2〜１０１ｂ-4）上に防護柵１０４が設けられてい
る。図７は、図６に示す無人搬送台車１００が適用され
る工場の概略構成を示す斜視図である。
ては、１つの端部（１０１ｂ-1）を除く各端部（１０１
ｂ-2〜１０１ｂ-4）上に防護柵１０４が設けられてい
る。図７は、図６に示す無人搬送台車１００が適用され
る工場の概略構成を示す斜視図である。
【０００７】図７に示すように、工場には複数の装置１
１０-1、１１０-2・・・（以降、必要に応じて１１０-n
と称する）が設置されている。これら各装置１１０
-nは、特定の面に上述のウェハカセット１０２、１０２
・・・を載置する載置部１１１を有している。（なお１
０２は、ウェハカセットに限定されず、半導体ウェハ自
体や、これを格納した箱等でもよい。）
１０-1、１１０-2・・・（以降、必要に応じて１１０-n
と称する）が設置されている。これら各装置１１０
-nは、特定の面に上述のウェハカセット１０２、１０２
・・・を載置する載置部１１１を有している。（なお１
０２は、ウェハカセットに限定されず、半導体ウェハ自
体や、これを格納した箱等でもよい。）
【０００８】この工場内において無人搬送台車１００
は、各装置１１０-nの載置部１１１を有する面に沿って
自走するが、図中の破線部Ｂに示すように方向転換が必
要な場合もある。
は、各装置１１０-nの載置部１１１を有する面に沿って
自走するが、図中の破線部Ｂに示すように方向転換が必
要な場合もある。
【０００９】しかしながら、上述したようにマニピュレ
ータ１０３が移載作業を実施できるのは、無人搬送台車
１００の上面１０１ａにおいて防護柵１０４が設けられ
ていない１つの端部１０１ｂ-1側のみである。即ち、端
部１０１ｂ-1を常に各装置１１０-n側に向けて走行する
必要がある。
ータ１０３が移載作業を実施できるのは、無人搬送台車
１００の上面１０１ａにおいて防護柵１０４が設けられ
ていない１つの端部１０１ｂ-1側のみである。即ち、端
部１０１ｂ-1を常に各装置１１０-n側に向けて走行する
必要がある。
【００１０】従って破線部Ｂで方向転換する際に、場合
によってはスイッチバック（Ｂ-1）やスピンターン（Ｂ
-2）を余儀なくされていた。こういったスイッチバック
やスピンターンは、走行の制御が複雑であったり、走行
そのものを一時的に停止しなければならないので、移載
作業の高速化の妨げになっていた。さらに、一般に半導
体ウェハ等を扱うクリーンルームは狭い場合が多い反
面、上述のような動作には広い空間を必要としている。
また、無人搬送台車１００が広い場所まで移動する必要
等もあるため、大きな時間の無駄を生じる原因にもなっ
ていた。
によってはスイッチバック（Ｂ-1）やスピンターン（Ｂ
-2）を余儀なくされていた。こういったスイッチバック
やスピンターンは、走行の制御が複雑であったり、走行
そのものを一時的に停止しなければならないので、移載
作業の高速化の妨げになっていた。さらに、一般に半導
体ウェハ等を扱うクリーンルームは狭い場合が多い反
面、上述のような動作には広い空間を必要としている。
また、無人搬送台車１００が広い場所まで移動する必要
等もあるため、大きな時間の無駄を生じる原因にもなっ
ていた。
【００１１】この発明は、このような背景の下になされ
たもので、移動しながら安全確実且つ高速に作業を実行
することができる無人搬送台車を提供することを目的と
している。
たもので、移動しながら安全確実且つ高速に作業を実行
することができる無人搬送台車を提供することを目的と
している。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１に記載の発明にあっては、走行手段を
有し、１つ以上の搬送物を載置して搬送する搬送手段
と、前記搬送手段に設けられ前記搬送物を移載する移載
手段と、前記搬送手段において、その走行方向に対する
両側部の各々に設けられ、前記搬送物ならびに前記移載
手段と外周とを隔離する隔離手段と、前記隔離手段の各
々を昇降させる昇降手段とを具備することを特徴とす
る。また、請求項２に記載の発明に合っては、請求項１
に記載の無人搬送台車では、前記隔離手段は、前記搬送
物の移載時には前記搬送手段における当該搬送物の移載
側の一方が昇降手段によって開放されるとともに他方が
閉鎖され、前記搬送手段の走行時には両方が閉鎖される
ことを特徴とする。また、請求項３に記載の発明にあっ
ては、請求項１または請求項２の何れかに記載の無人搬
送台車では、前記搬送手段上に支持手段を介して設けら
れた上部隔離手段を有し、前記昇降手段は前記上部隔離
手段に取り付けられていることを特徴とする。また、請
求項４に記載の発明にあっては、請求項３に記載の無人
搬送台車では、前記上部隔離手段は、前記搬送物への塵
埃の堆積を防止する防塵手段を有することを特徴とす
る。
ために、請求項１に記載の発明にあっては、走行手段を
有し、１つ以上の搬送物を載置して搬送する搬送手段
と、前記搬送手段に設けられ前記搬送物を移載する移載
手段と、前記搬送手段において、その走行方向に対する
両側部の各々に設けられ、前記搬送物ならびに前記移載
手段と外周とを隔離する隔離手段と、前記隔離手段の各
々を昇降させる昇降手段とを具備することを特徴とす
る。また、請求項２に記載の発明に合っては、請求項１
に記載の無人搬送台車では、前記隔離手段は、前記搬送
物の移載時には前記搬送手段における当該搬送物の移載
側の一方が昇降手段によって開放されるとともに他方が
閉鎖され、前記搬送手段の走行時には両方が閉鎖される
ことを特徴とする。また、請求項３に記載の発明にあっ
ては、請求項１または請求項２の何れかに記載の無人搬
送台車では、前記搬送手段上に支持手段を介して設けら
れた上部隔離手段を有し、前記昇降手段は前記上部隔離
手段に取り付けられていることを特徴とする。また、請
求項４に記載の発明にあっては、請求項３に記載の無人
搬送台車では、前記上部隔離手段は、前記搬送物への塵
埃の堆積を防止する防塵手段を有することを特徴とす
る。
【００１３】この発明によれば、搬送物の移載時には搬
送手段における当該搬送物の移載側の一方の隔離手段が
昇降手段によって開放されるとともに他方の隔離手段が
閉鎖され、搬送手段の走行時には両方の隔離手段が閉鎖
される。
送手段における当該搬送物の移載側の一方の隔離手段が
昇降手段によって開放されるとともに他方の隔離手段が
閉鎖され、搬送手段の走行時には両方の隔離手段が閉鎖
される。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明について説明す
る。図１は、本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台
車１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工
場内の概略を示す斜視図である。なお図１において、図
６あるいは図７に示す各部と対応する部分には同一の符
号を付し、その詳細な説明は省略する。
る。図１は、本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台
車１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工
場内の概略を示す斜視図である。なお図１において、図
６あるいは図７に示す各部と対応する部分には同一の符
号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１５】図１において、１１は無人搬送台車１０の
台車部である。この台車部１１は、モータ等によって回
転駆動される車輪や操舵装置、ならびにこれらを含む各
部の動作を制御する制御装置（何れも図示省略）等を有
し、矢示のＣＣ'方向に走行可能である。(なお、図１で
は無人搬送台車１０はＣＣ'方向に走行することを示し
ているが、ＣＣ'以外の斜め方向や横方向に方向可能な
ものであってよい。）
台車部である。この台車部１１は、モータ等によって回
転駆動される車輪や操舵装置、ならびにこれらを含む各
部の動作を制御する制御装置（何れも図示省略）等を有
し、矢示のＣＣ'方向に走行可能である。(なお、図１で
は無人搬送台車１０はＣＣ'方向に走行することを示し
ているが、ＣＣ'以外の斜め方向や横方向に方向可能な
ものであってよい。）
【００１６】台車部１１の上面１１ａにはには、複数の
ウェハカセット１０２、１０２・・・を載置可能である
とともに、多関節アーム様のマニピュレータ１０３が取
り付けられている。
ウェハカセット１０２、１０２・・・を載置可能である
とともに、多関節アーム様のマニピュレータ１０３が取
り付けられている。
【００１７】台車部１１の上面１１ａにおいて、走行方
向ＣＣ'側の各々端部１１ｂ-4、１１ｂ-2には、その上
方に支持部材を兼ねた防護柵１４、１４が取り付けられ
ている。また防護柵１４、１４を介して台車部１１の上
方には、後述する上部ユニット２０が取り付けられてい
る。
向ＣＣ'側の各々端部１１ｂ-4、１１ｂ-2には、その上
方に支持部材を兼ねた防護柵１４、１４が取り付けられ
ている。また防護柵１４、１４を介して台車部１１の上
方には、後述する上部ユニット２０が取り付けられてい
る。
【００１８】また、上面１１ａにおける走行方向ＣＣ'
に対する側方の端部１１ｂ-1、１１ｂ -3には、各々開閉
柵２４-1、２４-2が取り付けられている。なおこの図１
では、各装置１１０-nが有する載置部１１１と対向して
いる開閉柵２４-1は“開（開放）”となっており、載置
部１１１と対向していない開閉柵２４-2は“閉（閉
鎖）”となっている。
に対する側方の端部１１ｂ-1、１１ｂ -3には、各々開閉
柵２４-1、２４-2が取り付けられている。なおこの図１
では、各装置１１０-nが有する載置部１１１と対向して
いる開閉柵２４-1は“開（開放）”となっており、載置
部１１１と対向していない開閉柵２４-2は“閉（閉
鎖）”となっている。
【００１９】図１に示す構成の無人搬送台車１０は、走
行時には開閉柵２４-1および２４-2を、何れも閉鎖す
る。従って、マニピュレータ１０３やウェハカセット１
０２、１０２・・・が、周囲の人間や他の無人搬送台車
あるいはマニピュレータ等に接触することはない。
行時には開閉柵２４-1および２４-2を、何れも閉鎖す
る。従って、マニピュレータ１０３やウェハカセット１
０２、１０２・・・が、周囲の人間や他の無人搬送台車
あるいはマニピュレータ等に接触することはない。
【００２０】この無人搬送台車１０がウェハカセット１
０２、１０２・・・の移載を行うときは、目的の装置１
１０-nが有する載置部１１１の前面に停止した後、この
載置部１１１と対向する開閉柵２４-1あるいは２４-2の
何れかを開放する。
０２、１０２・・・の移載を行うときは、目的の装置１
１０-nが有する載置部１１１の前面に停止した後、この
載置部１１１と対向する開閉柵２４-1あるいは２４-2の
何れかを開放する。
【００２１】しかる後、マニピュレータ１０３によっ
て、台車部１１の上面１１ａにおける開放された端部１
１ｂ-1あるいは１１ｂ-3を介して、ウェハカセット１０
２、１０２・・・の移載を行う。
て、台車部１１の上面１１ａにおける開放された端部１
１ｂ-1あるいは１１ｂ-3を介して、ウェハカセット１０
２、１０２・・・の移載を行う。
【００２２】ウェハカセット１０２、１０２・・・の移
載が終了した後、先般開放した開閉柵２４-1あるいは２
４-2を閉鎖し、次の目的たる装置１１０-nが有する載置
部１１１の正面に向けて走行する。
載が終了した後、先般開放した開閉柵２４-1あるいは２
４-2を閉鎖し、次の目的たる装置１１０-nが有する載置
部１１１の正面に向けて走行する。
【００２３】図２は、開閉柵を有する無人搬送台車の詳
細な構成の一例を示す斜視図である。図２に示す構成に
よれば、台車部１１の上面部１１ａにおいて、台車部１
１の走行方向（図２では左右方向）に対する側端部には
スリット１１ｃが形成されている。開閉柵２４は、この
スリット１１ｃを介して昇降自在に取り付けられてい
る。開閉柵２４の一側端部には、上端から下端に亙るラ
ック（ラックギア）２５が取り付けられている。
細な構成の一例を示す斜視図である。図２に示す構成に
よれば、台車部１１の上面部１１ａにおいて、台車部１
１の走行方向（図２では左右方向）に対する側端部には
スリット１１ｃが形成されている。開閉柵２４は、この
スリット１１ｃを介して昇降自在に取り付けられてい
る。開閉柵２４の一側端部には、上端から下端に亙るラ
ック（ラックギア）２５が取り付けられている。
【００２４】一方、台車１１内にはモータ（例えばステ
ッピングモータ）２６が取り付けられており、このモー
タ２６の出力シャフト（図示省略）にはピニオン（ピニ
オンギア）２７が取り付けられている。これらラック２
５とピニオン２７とは歯合しており、ピニオン２７をモ
ータ２によって回転駆動することにより、開閉柵２４が
昇降する構成となっている。
ッピングモータ）２６が取り付けられており、このモー
タ２６の出力シャフト（図示省略）にはピニオン（ピニ
オンギア）２７が取り付けられている。これらラック２
５とピニオン２７とは歯合しており、ピニオン２７をモ
ータ２によって回転駆動することにより、開閉柵２４が
昇降する構成となっている。
【００２５】図３は、開閉柵を有する無人搬送台車の別
の構成の例を示す斜視図である。図３において、図１あ
るいは図２に示す各部と対応する部分には同一の符号を
付し、その説明は省略する。
の構成の例を示す斜視図である。図３において、図１あ
るいは図２に示す各部と対応する部分には同一の符号を
付し、その説明は省略する。
【００２６】図３において、３０は台車部１１に取り付
けられた圧力シリンダである。この圧力シリンダは、空
気圧シリンダや油圧シリンダ、あるいは電動シリンダ
等、何れのものであってもよい。
けられた圧力シリンダである。この圧力シリンダは、空
気圧シリンダや油圧シリンダ、あるいは電動シリンダ
等、何れのものであってもよい。
【００２７】上述した圧力シリンダ３０は、ロッド３１
によって開閉柵２４を押し上げ、および下げる構成とな
っている。従って、図示しない制御装置によって圧力シ
リンダ３０に加える圧力を変えることにより、開閉柵２
４が昇降する。
によって開閉柵２４を押し上げ、および下げる構成とな
っている。従って、図示しない制御装置によって圧力シ
リンダ３０に加える圧力を変えることにより、開閉柵２
４が昇降する。
【００２８】また図３において、３５ａは複数の投光素
子３６、３６・・・を有するエリアセンサ（投光側）で
あり、３５ｂは複数の受光素子３７、３７・・・を有す
るエリアセンサ（受光側）である。
子３６、３６・・・を有するエリアセンサ（投光側）で
あり、３５ｂは複数の受光素子３７、３７・・・を有す
るエリアセンサ（受光側）である。
【００２９】これらエリアセンサ３５ａおよびエリアセ
ンサ３５ｂは、投光素子３６、３６・・・から投光さ
れ、受光素子３７、３７・・・に受光する光線が遮られ
たか否かによって、これらエリアセンサ３５ａとエリア
センサ３５ｂとの間の開口部にウェハカセットや人間、
あるいはマニピュレータ等が存在しないことを確認す
る。これによって、開閉柵２４によってウエハカセット
等の移載物や人間、あるいはマニピュレータ等を挟み込
むといった事故を事前に防ぐことが可能になる。
ンサ３５ｂは、投光素子３６、３６・・・から投光さ
れ、受光素子３７、３７・・・に受光する光線が遮られ
たか否かによって、これらエリアセンサ３５ａとエリア
センサ３５ｂとの間の開口部にウェハカセットや人間、
あるいはマニピュレータ等が存在しないことを確認す
る。これによって、開閉柵２４によってウエハカセット
等の移載物や人間、あるいはマニピュレータ等を挟み込
むといった事故を事前に防ぐことが可能になる。
【００３０】図４は、開閉柵を有する無人搬送台車のさ
らに別の構成の例を示す斜視図である。この図４に示す
構成では、上部ユニット２０にスリット２０ｃが形成さ
れている。開閉柵２４は、このスリット２０ｃを介して
昇降自在に取り付けられている。
らに別の構成の例を示す斜視図である。この図４に示す
構成では、上部ユニット２０にスリット２０ｃが形成さ
れている。開閉柵２４は、このスリット２０ｃを介して
昇降自在に取り付けられている。
【００３１】従って図４に示す構成では、ウェハカセッ
トの移載時には開閉柵２４を上昇させて開放し、走行時
には開閉柵２４を下降させて閉鎖する。なお、ここに示
した例において開閉柵を昇降させる構成は、図２に示し
たようなモータとラック／ピニオンとによるものや図３
に示したような圧力シリンダによるもの等、何れであっ
てもよい。
トの移載時には開閉柵２４を上昇させて開放し、走行時
には開閉柵２４を下降させて閉鎖する。なお、ここに示
した例において開閉柵を昇降させる構成は、図２に示し
たようなモータとラック／ピニオンとによるものや図３
に示したような圧力シリンダによるもの等、何れであっ
てもよい。
【００３２】図５は、本発明の無人搬送台車の応用例の
構成を示す斜視図である。この図５に示す構成では、上
部ユニット２０にはＨＥＰＡフィルタ（Ｈigh Ｅfficie
ncyＰarticulate Ａir-filter)やＵＬＰＡフィルタ（Ｕ
ltra Ｌow Ｐenetration Ａir-filter)等のフィルタ３
０とファンユニット３１（詳細の図示は省略する）が取
り付けられている。
構成を示す斜視図である。この図５に示す構成では、上
部ユニット２０にはＨＥＰＡフィルタ（Ｈigh Ｅfficie
ncyＰarticulate Ａir-filter)やＵＬＰＡフィルタ（Ｕ
ltra Ｌow Ｐenetration Ａir-filter)等のフィルタ３
０とファンユニット３１（詳細の図示は省略する）が取
り付けられている。
【００３３】言うまでもなく、工場内において搬送車や
人間等が動作すると塵埃が発生し、またこれが舞い上が
る可能性がある。一方、こうした工場内で製造される半
導体ウェハは、塵埃等を極度に嫌う。
人間等が動作すると塵埃が発生し、またこれが舞い上が
る可能性がある。一方、こうした工場内で製造される半
導体ウェハは、塵埃等を極度に嫌う。
【００３４】そこで、図５に示すようにフィルタ３０と
ファンユニット３１を設けることによって、半導体ウェ
ハを格納するウェハカセットの清浄度を確保することが
できる。
ファンユニット３１を設けることによって、半導体ウェ
ハを格納するウェハカセットの清浄度を確保することが
できる。
【００３５】なお上述したように、本発明では、ウェハ
カセットを搬送するものの他、半導体ウェハ自体や、こ
れを格納した箱を搬送するもの等にあっても、適用可能
である。
カセットを搬送するものの他、半導体ウェハ自体や、こ
れを格納した箱を搬送するもの等にあっても、適用可能
である。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、搬送物の移載時には搬送手段における当該搬送物の
移載側の一方の隔離手段が昇降手段によって開放される
とともに他方の隔離手段が閉鎖され、搬送手段の走行時
には両方の隔離手段が閉鎖されるので、移動しながら安
全確実且つ高速に作業を実行することができる無人搬送
台車が実現可能であるという効果が得られる。
ば、搬送物の移載時には搬送手段における当該搬送物の
移載側の一方の隔離手段が昇降手段によって開放される
とともに他方の隔離手段が閉鎖され、搬送手段の走行時
には両方の隔離手段が閉鎖されるので、移動しながら安
全確実且つ高速に作業を実行することができる無人搬送
台車が実現可能であるという効果が得られる。
【００３７】即ち、開閉柵が昇降するため、台車部の両
側で移載作業が可能である。従って台車部の走行の制約
がなくなり、搬送時間を大幅に短縮することができる。
また、これに伴って台車部の運行制御も簡単になる。
側で移載作業が可能である。従って台車部の走行の制約
がなくなり、搬送時間を大幅に短縮することができる。
また、これに伴って台車部の運行制御も簡単になる。
【００３８】さらに、本発明では移載を行わない場合、
あるいは走行時等には両側の開閉柵を閉鎖しておくこと
ができるので、周囲の人間や搬送物、あるいはマニピュ
レータ等が接触することがなくなり、安全性が増す。
あるいは走行時等には両側の開閉柵を閉鎖しておくこと
ができるので、周囲の人間や搬送物、あるいはマニピュ
レータ等が接触することがなくなり、安全性が増す。
【図１】 本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台車
１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工場
内の概略を示す斜視図である。
１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工場
内の概略を示す斜視図である。
【図２】 本発明にかかる開閉柵を有する無人搬送台車
の詳細な構成の一例を示す斜視図である。
の詳細な構成の一例を示す斜視図である。
【図３】 本発明にかかる開閉柵を有する無人搬送台車
の別の構成の例を示す斜視図である。
の別の構成の例を示す斜視図である。
【図４】 本発明にかかる開閉柵を有する無人搬送台車
のさらに別の構成の例を示す斜視図である。
のさらに別の構成の例を示す斜視図である。
【図５】 本発明の無人搬送台車の応用例の構成を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図６】 従来の無人搬送台車１００の構成の一例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図７】 図６に示す無人搬送台車１００が適用される
工場の概略構成を示す斜視図である。
工場の概略構成を示す斜視図である。
１１ 台車部（搬送手段） １４ 防護柵（支持手段） ２０ 上部ユニット（上部隔離手段） ２４-1、２４-2 開閉柵（隔離手段） １０２ ウェハカセット（搬送物） １０３ マニピュレータ（移載手段）
Claims (4)
- 【請求項１】 走行手段を有し、１つ以上の搬送物（１
０２）を載置して搬送する搬送手段（１１）と、 前記搬送手段に設けられ前記搬送物を移載する移載手段
（１０３）と、 前記搬送手段において、その走行方向に対する両側部の
各々に設けられ、前記搬送物ならびに前記移載手段と外
周とを隔離する隔離手段（２４-1、２４-2）と、 前記隔離手段の各々を昇降させる昇降手段とを具備する
ことを特徴とする無人搬送台車。 - 【請求項２】 前記隔離手段は、 前記搬送物の移載時には前記搬送手段における当該搬送
物の移載側の一方が昇降手段によって開放されるととも
に他方が閉鎖され、 前記搬送手段の走行時には両方が閉鎖されることを特徴
とする請求項１に記載の無人搬送台車。 - 【請求項３】 前記搬送手段上に支持手段（１４）を介
して設けられた上部隔離手段（２０）を有し、 前記昇降手段は前記上部隔離手段に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１または請求項２の何れかに記
載の無人搬送台車。 - 【請求項４】 前記上部隔離手段は、 前記搬送物への塵埃の堆積を防止する防塵手段を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の無人搬送台車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35143196A JP3621793B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 無人搬送台車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35143196A JP3621793B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 無人搬送台車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10194445A true JPH10194445A (ja) | 1998-07-28 |
| JP3621793B2 JP3621793B2 (ja) | 2005-02-16 |
Family
ID=18417244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35143196A Expired - Fee Related JP3621793B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 無人搬送台車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3621793B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009060534A1 (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-14 | Idec Corporation | 電子機器の取付構造及びこれを備えた産業機械システム |
-
1996
- 1996-12-27 JP JP35143196A patent/JP3621793B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009060534A1 (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-14 | Idec Corporation | 電子機器の取付構造及びこれを備えた産業機械システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3621793B2 (ja) | 2005-02-16 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| R371 | Transfer withdrawn |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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