JPH1019932A - 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ - Google Patents
液晶表示体テスト用コンタクトプローブInfo
- Publication number
- JPH1019932A JPH1019932A JP16970196A JP16970196A JPH1019932A JP H1019932 A JPH1019932 A JP H1019932A JP 16970196 A JP16970196 A JP 16970196A JP 16970196 A JP16970196 A JP 16970196A JP H1019932 A JPH1019932 A JP H1019932A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- contact probe
- film
- conductive resin
- resin film
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンタクトピン4とコンタクトピン4の間の
間隔変化の少ない液晶表示体テスト用コンタクトプロ−
ブを提供する。 【解決手段】 平行に配列されたコンタクトピン4を非
導電性樹脂フィルム5に対して直交するようにかつコン
タクトピン4の先端部が非導電性樹脂フィルム5から突
出するように非導電性樹脂フィルム5の片面に張り付け
てなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブ10にお
いて、前記非導電性樹脂フィルム5の上に、さらに金属
フィルム21を張り付けてなることを特徴とする。
間隔変化の少ない液晶表示体テスト用コンタクトプロ−
ブを提供する。 【解決手段】 平行に配列されたコンタクトピン4を非
導電性樹脂フィルム5に対して直交するようにかつコン
タクトピン4の先端部が非導電性樹脂フィルム5から突
出するように非導電性樹脂フィルム5の片面に張り付け
てなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブ10にお
いて、前記非導電性樹脂フィルム5の上に、さらに金属
フィルム21を張り付けてなることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示体の各
端子に接触させて電気的なテストを行うためのコンタク
トプロ−ブに関するものである。
端子に接触させて電気的なテストを行うためのコンタク
トプロ−ブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶表示体の電気的なテストを行
うにはコンタクトプロ−ブが用いられることが知られて
おり、このコンタクトプロ−ブは、図5の斜視図に示さ
れるように、例えばポリイミド樹脂フィルムなどの非導
電性樹脂フィルム5の片面に、NiまたはNi合金にA
uメッキされた金属で構成されている平行に配列された
コンタクトピン4を非導電性樹脂フィルム5の片面に非
導電性樹脂フィルム5の長手方向に直角に張り付けた構
造になっており、非導電性樹脂フィルム5の端部からコ
ンタクトピン4の一部が突出した構成となっている。図
6に図5のコンタクトプロ−ブ10のA−A断面図を示
した。
うにはコンタクトプロ−ブが用いられることが知られて
おり、このコンタクトプロ−ブは、図5の斜視図に示さ
れるように、例えばポリイミド樹脂フィルムなどの非導
電性樹脂フィルム5の片面に、NiまたはNi合金にA
uメッキされた金属で構成されている平行に配列された
コンタクトピン4を非導電性樹脂フィルム5の片面に非
導電性樹脂フィルム5の長手方向に直角に張り付けた構
造になっており、非導電性樹脂フィルム5の端部からコ
ンタクトピン4の一部が突出した構成となっている。図
6に図5のコンタクトプロ−ブ10のA−A断面図を示
した。
【0003】このコンタクトプロ−ブ10を用いて液晶
表示体を電気的なテストを行うために、コンタクトプロ
−ブ10をジグにセットする方法を図7〜図10を用い
てさらに具体的に説明する。図7はコンタクトプロ−ブ
10をセットするためのジグの分解斜視図であり、この
ジグはトップクランプ7およびボトムクランプ8からな
り、トップクランプ7はコンタクトピン4の先端側の非
導電性樹脂フィルム5を押さえる第一突起9、TABI
C11側の端子12を押さえる第二突起13、TAB自
体を押さえる第三突起14を有している。また、ボトム
クランプ8は底板17の上に傾斜板15および取り付け
板16が取り付けられている。
表示体を電気的なテストを行うために、コンタクトプロ
−ブ10をジグにセットする方法を図7〜図10を用い
てさらに具体的に説明する。図7はコンタクトプロ−ブ
10をセットするためのジグの分解斜視図であり、この
ジグはトップクランプ7およびボトムクランプ8からな
り、トップクランプ7はコンタクトピン4の先端側の非
導電性樹脂フィルム5を押さえる第一突起9、TABI
C11側の端子12を押さえる第二突起13、TAB自
体を押さえる第三突起14を有している。また、ボトム
クランプ8は底板17の上に傾斜板15および取り付け
板16が取り付けられている。
【0004】傾斜板15の上にコンタクトプロ−ブ10
を乗せ、さらにTABIC11側の端子12がコンタク
トプロ−ブ10の非導電性樹脂フィルム5と5の間に来
るように乗せたのち、トップクランプ7をトップクラン
プ7の第一突起9がコンタクトピン4の先端側の非導電
性樹脂フィルム5に、第二突起13がTABIC11側
の端子12にそれぞれ接触するように乗せ、図8に示さ
れるようにボルト18により取り付ける。図8はコンタ
クトプロ−ブ10をジグにボルト18により取り付けた
状態を示す斜視図である。
を乗せ、さらにTABIC11側の端子12がコンタク
トプロ−ブ10の非導電性樹脂フィルム5と5の間に来
るように乗せたのち、トップクランプ7をトップクラン
プ7の第一突起9がコンタクトピン4の先端側の非導電
性樹脂フィルム5に、第二突起13がTABIC11側
の端子12にそれぞれ接触するように乗せ、図8に示さ
れるようにボルト18により取り付ける。図8はコンタ
クトプロ−ブ10をジグにボルト18により取り付けた
状態を示す斜視図である。
【0005】つぎに、コンタクトプロ−ブ10を取り付
けたジグを、図9に示されるように、額縁形状の枠19
に取り付ける。この時コンタクトプロ−ブ10のコンタ
クトピン4は傾斜状態に保たれているので、コンタクト
プロ−ブ10の先端に突出しているコンタクトピン4は
液晶表示体20の端子(図示せず)に押しつけられる。
けたジグを、図9に示されるように、額縁形状の枠19
に取り付ける。この時コンタクトプロ−ブ10のコンタ
クトピン4は傾斜状態に保たれているので、コンタクト
プロ−ブ10の先端に突出しているコンタクトピン4は
液晶表示体20の端子(図示せず)に押しつけられる。
【0006】図10はコンタクトプロ−ブ10をジグに
ボルト18´により額縁形状の枠19に取り付けた状態
の図9のB−B断面図を示したもので、コンタクトピン
4の先端を液晶表示体20の端子(図示せず)に接触さ
せた状態で、コンタクトピン4から得られた信号はTA
BIC11を通して外部に伝えることができるようにな
っている。
ボルト18´により額縁形状の枠19に取り付けた状態
の図9のB−B断面図を示したもので、コンタクトピン
4の先端を液晶表示体20の端子(図示せず)に接触さ
せた状態で、コンタクトピン4から得られた信号はTA
BIC11を通して外部に伝えることができるようにな
っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のコンタクト
プロ−ブ10は、図5および図6に示されるように、N
iまたはNi合金にAuメッキされた金属で構成されて
いるコンタクトピン4およびポリイミド樹脂からなる非
導電性樹脂フィルム5の片面に張り付けた構造になって
いるが、ポリイミド樹脂からなる非導電性樹脂フィルム
5は水分を吸収して伸びが生じ、そのために従来のコン
タクトプロ−ブ10は、図5のD方向から見た正面図の
図11に示されるように、コンタクトピン4とコンタク
トピン4の間の間隔tが変化し、そのためにコンタクト
ピン4の先端部分が正確に液晶表示体端子の所定の位置
に接触させることができず、正確な電気的なテストを行
うことができないことがあった。
プロ−ブ10は、図5および図6に示されるように、N
iまたはNi合金にAuメッキされた金属で構成されて
いるコンタクトピン4およびポリイミド樹脂からなる非
導電性樹脂フィルム5の片面に張り付けた構造になって
いるが、ポリイミド樹脂からなる非導電性樹脂フィルム
5は水分を吸収して伸びが生じ、そのために従来のコン
タクトプロ−ブ10は、図5のD方向から見た正面図の
図11に示されるように、コンタクトピン4とコンタク
トピン4の間の間隔tが変化し、そのためにコンタクト
ピン4の先端部分が正確に液晶表示体端子の所定の位置
に接触させることができず、正確な電気的なテストを行
うことができないことがあった。
【0008】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
かかる課題を解決すべく研究を行った結果、従来のコン
タクトプロ−ブ10のコンタクトピン4の間の間隔tが
一定間隔を有するコンタクトプロ−ブを得るべく研究を
行った結果、(a)図1の斜視図に示されるように、コ
ンタクトピン4および非導電性樹脂フィルム5からなる
従来の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブの非導電
性樹脂フィルム5側に、さらに金属フィルム21を張り
付けると、得られたコンタクトプロ−ブ10は、湿度が
変化しても、従来のコンタクトプロ−ブ10よりもコン
タクトピン4とコンタクトピン4の間の間隔tの変化が
少なく、もって、正確にコンタクトプロ−ブのコンタク
トピン先端部を液晶表示体に接触させることができる、
(b)この金属フィルムの上にさらに非導電性樹脂フィ
ルムを張り付けてもよい、という知見を得たのである。
かかる課題を解決すべく研究を行った結果、従来のコン
タクトプロ−ブ10のコンタクトピン4の間の間隔tが
一定間隔を有するコンタクトプロ−ブを得るべく研究を
行った結果、(a)図1の斜視図に示されるように、コ
ンタクトピン4および非導電性樹脂フィルム5からなる
従来の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブの非導電
性樹脂フィルム5側に、さらに金属フィルム21を張り
付けると、得られたコンタクトプロ−ブ10は、湿度が
変化しても、従来のコンタクトプロ−ブ10よりもコン
タクトピン4とコンタクトピン4の間の間隔tの変化が
少なく、もって、正確にコンタクトプロ−ブのコンタク
トピン先端部を液晶表示体に接触させることができる、
(b)この金属フィルムの上にさらに非導電性樹脂フィ
ルムを張り付けてもよい、という知見を得たのである。
【0009】この発明は、かかる知見に基づいてなされ
たものであって、図1および図1のC−C断面図である
図2に示されるように、(1)平行に配列されたコンタ
クトピンを非導電性樹脂フィルムに対して直交するよう
にかつコンタクトピンの先端部が非導電性樹脂フィルム
から突出するように非導電性樹脂フィルムの片面に張り
付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブにお
いて、前記非導電性樹脂フィルム上に、さらに金属フィ
ルムを張り付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプ
ロ−ブ、(2)平行に配列されたコンタクトピンを非導
電性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコンタク
トピンの先端部が非導電性樹脂フィルムから突出するよ
うに非導電性樹脂フィルムの片面に張り付けてなる液晶
表示体テスト用コンタクトプローブにおいて、前記非導
電性樹脂フィルム上に金属フィルムを張り付け、さらに
この金属フィルムの上に非導電性樹脂フィルムを張り付
けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ、に特
徴を有するものである。
たものであって、図1および図1のC−C断面図である
図2に示されるように、(1)平行に配列されたコンタ
クトピンを非導電性樹脂フィルムに対して直交するよう
にかつコンタクトピンの先端部が非導電性樹脂フィルム
から突出するように非導電性樹脂フィルムの片面に張り
付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブにお
いて、前記非導電性樹脂フィルム上に、さらに金属フィ
ルムを張り付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプ
ロ−ブ、(2)平行に配列されたコンタクトピンを非導
電性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコンタク
トピンの先端部が非導電性樹脂フィルムから突出するよ
うに非導電性樹脂フィルムの片面に張り付けてなる液晶
表示体テスト用コンタクトプローブにおいて、前記非導
電性樹脂フィルム上に金属フィルムを張り付け、さらに
この金属フィルムの上に非導電性樹脂フィルムを張り付
けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ、に特
徴を有するものである。
【0010】そして、この発明の液晶表示体テスト用コ
ンタクトプロ−ブの非導電性樹脂フィルムはポリイミド
樹脂膜からなり、コンタクトピン4はNiまたはNi合
金にAuメッキされた金属で構成され、金属フィルム2
1はNi、Ni合金、CuまたはCu合金フィルムから
なる。
ンタクトプロ−ブの非導電性樹脂フィルムはポリイミド
樹脂膜からなり、コンタクトピン4はNiまたはNi合
金にAuメッキされた金属で構成され、金属フィルム2
1はNi、Ni合金、CuまたはCu合金フィルムから
なる。
【0011】
【発明の実施の形態】この発明のコンタクトプロ−ブ1
0の製造方法を図3に示す。まず、ステンレス製の支持
金属板6の上に、Cuのベースメタル層1を形成し、こ
のベースメタル層1上にフォトレジスト層2を形成し
(図3(a))、このフォトレジスト層2に所定のパタ
ーンのマスク3を施して露光し(図3(b))、フォト
レジスト層2を現像してコンタクトピン4となる部分を
除去して残存するフォトレジスト層2に開口部2aを形
成し(図3(c))、この開口部2aにコンタクトピン
4となるNi層をメッキ処理により形成し(図3
(d))、フォトレジスト層2を除去する(図3
(e))。
0の製造方法を図3に示す。まず、ステンレス製の支持
金属板6の上に、Cuのベースメタル層1を形成し、こ
のベースメタル層1上にフォトレジスト層2を形成し
(図3(a))、このフォトレジスト層2に所定のパタ
ーンのマスク3を施して露光し(図3(b))、フォト
レジスト層2を現像してコンタクトピン4となる部分を
除去して残存するフォトレジスト層2に開口部2aを形
成し(図3(c))、この開口部2aにコンタクトピン
4となるNi層をメッキ処理により形成し(図3
(d))、フォトレジスト層2を除去する(図3
(e))。
【0012】次に、Ni層の上に非導電性樹脂フィルム
5および金属フィルム21からなる複合フィルムを接着
剤5aを介して接着し(図3(f))、さらに、非導電
性樹脂フィルム5とコンタクトピン4とベースメタル層
1からなる部分を支持金属板6から分離し(図3
(g))、ついでベースメタル層1を除去することによ
り、コンタクトピン4に非導電性樹脂フィルム5および
金属フィルム21を接着したコンタクトプロ−ブ10を
作製する(図3(h))。
5および金属フィルム21からなる複合フィルムを接着
剤5aを介して接着し(図3(f))、さらに、非導電
性樹脂フィルム5とコンタクトピン4とベースメタル層
1からなる部分を支持金属板6から分離し(図3
(g))、ついでベースメタル層1を除去することによ
り、コンタクトピン4に非導電性樹脂フィルム5および
金属フィルム21を接着したコンタクトプロ−ブ10を
作製する(図3(h))。
【0013】この発明のコンタクトプロ−ブ10は、図
4の断面図に示されるように、コンタクトピン4の上
に、非導電性樹脂フィルム5、金属フィルム21および
非導電性樹脂フィルム5の順序で接着した複合フィルム
を形成したものであっても良い。そして、この発明のコ
ンタクトプロ−ブの使用方法は、図7〜図10で述べた
従来のコンタクトプロ−ブの使用方法と全く同じであ
る。
4の断面図に示されるように、コンタクトピン4の上
に、非導電性樹脂フィルム5、金属フィルム21および
非導電性樹脂フィルム5の順序で接着した複合フィルム
を形成したものであっても良い。そして、この発明のコ
ンタクトプロ−ブの使用方法は、図7〜図10で述べた
従来のコンタクトプロ−ブの使用方法と全く同じであ
る。
【0014】実施例 図3に示される方法で、常温で、ピッチ:100μm、
ピン数:100ピンのNi製コンタクトピンに、厚さ:
50μmのポリイミド樹脂製非導電性樹脂フィルムおよ
び純銅フィルムを張り付けた構造を有する両端のピン間
距離:9.900mmの本発明コンタクトプロ−ブを作
製した。
ピン数:100ピンのNi製コンタクトピンに、厚さ:
50μmのポリイミド樹脂製非導電性樹脂フィルムおよ
び純銅フィルムを張り付けた構造を有する両端のピン間
距離:9.900mmの本発明コンタクトプロ−ブを作
製した。
【0015】一方、比較のために、常温で幅:100μ
m、ピン数:100ピンのNi製コンタクトピンを、厚
さ:50μmのポリイミド樹脂製非導電性樹脂フィルム
を張り付けた構造を有する両端のピン間距離:9.90
0mmの従来コンタクトプロ−ブを作製した。
m、ピン数:100ピンのNi製コンタクトピンを、厚
さ:50μmのポリイミド樹脂製非導電性樹脂フィルム
を張り付けた構造を有する両端のピン間距離:9.90
0mmの従来コンタクトプロ−ブを作製した。
【0016】これら本発明コンタクトプロ−ブおよび従
来コンタクトプロ−ブを温度:25℃、湿度:70%の
雰囲気に3時間保持した後、本発明コンタクトプロ−ブ
および従来コンタクトプロ−ブの両端のコンタクトピン
間距離を測定した結果、本発明コンタクトプロ−ブの両
端のコンタクトピン間距離は9.8976mmであり、
従来コンタクトプロ−ブの両端のコンタクトピン間距離
は9.8712mmであり、純銅フィルムを張り付けた
構造の両端のピン間距離の変化は少ないことが分かる。
来コンタクトプロ−ブを温度:25℃、湿度:70%の
雰囲気に3時間保持した後、本発明コンタクトプロ−ブ
および従来コンタクトプロ−ブの両端のコンタクトピン
間距離を測定した結果、本発明コンタクトプロ−ブの両
端のコンタクトピン間距離は9.8976mmであり、
従来コンタクトプロ−ブの両端のコンタクトピン間距離
は9.8712mmであり、純銅フィルムを張り付けた
構造の両端のピン間距離の変化は少ないことが分かる。
【0017】
【発明の効果】上述のように、この発明のコンタクトプ
ロ−ブは、高温多湿の環境下にあってもコンタクトプロ
−ブの両端のコンタクトピン間距離の変化が少なく、し
たがって、いかなる環境下にあってもコンタクトピンの
先端部を正確に液晶表示体の所定の位置に正確に接触さ
せることができ、液晶表示体の検査のミスが皆無になる
など半導体産業の発展に大いに貢献しうるものである。
ロ−ブは、高温多湿の環境下にあってもコンタクトプロ
−ブの両端のコンタクトピン間距離の変化が少なく、し
たがって、いかなる環境下にあってもコンタクトピンの
先端部を正確に液晶表示体の所定の位置に正確に接触さ
せることができ、液晶表示体の検査のミスが皆無になる
など半導体産業の発展に大いに貢献しうるものである。
【図1】この発明のコンタクトプローブの一部の斜視概
略図である。
略図である。
【図2】図1のC−C断面図である。
【図3】この発明のコンタクトプローブの製造方法を示
す概略説明図である。
す概略説明図である。
【図4】この発明のコンタクトプローブの他の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図5】従来のコンタクトプローブの斜視概略図であ
る。
る。
【図6】図6のA−A断面図である。
【図7】従来のコンタクトプローブを取り付けるジグの
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図8】従来のコンタクトプローブをジグに取り付ける
た状態の斜視図である。
た状態の斜視図である。
【図9】従来のコンタクトプローブをジグに取り付け、
これを枠に取り付けた状態を示す概略斜視図である。
これを枠に取り付けた状態を示す概略斜視図である。
【図10】従来のコンタクトプローブをジグに取り付
け、これを枠に取り付けた状態を示す図9のB−B断面
図である。
け、これを枠に取り付けた状態を示す図9のB−B断面
図である。
【図11】図5の従来のコンタクトプローブをD方向か
ら見た正面図である。
ら見た正面図である。
【符号の説明】 1 ベースメタル層 2 フォトレジスト層 3 マスク 4 コンタクトピン 5 非導電性樹脂フィルム 6 支持金属板 7 トップクランプ 8 ボトムクランプ 9 第一突起 10 コンタクトプローブ 11 TABIC 12 端子 13 第二突起 14 第三突起 15 傾斜板 16 取り付け板 17 底板 18 ボルト 19 枠 20 液晶表示体 21 金属フィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植木 光芳 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱マ テリアル株式会社三田工場内 (72)発明者 吉田 秀昭 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱マ テリアル株式会社三田工場内 (72)発明者 中村 忠司 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱マ テリアル株式会社三田工場内
Claims (5)
- 【請求項1】平行に配列されたコンタクトピンを非導電
性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコンタクト
ピンの先端部が非導電性樹脂フィルムから突出するよう
に非導電性樹脂フィルムの片面に張り付けてなる液晶表
示体テスト用コンタクトプローブにおいて、 前記非導電性樹脂フィルム上に、さらに金属フィルムを
張り付けてなることを特徴とする液晶表示体テスト用コ
ンタクトプロ−ブ。 - 【請求項2】平行に配列されたコンタクトピンを非導電
性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコンタクト
ピンの先端部が非導電性樹脂フィルムから突出するよう
に非導電性樹脂フィルムの片面に張り付けてなる液晶表
示体テスト用コンタクトプローブにおいて、 前記非導電性樹脂フィルム上に金属フィルムを張り付
け、さらにこの金属フィルムの上にさらに非導電性樹脂
フィルムを張り付けてなることを特徴とする液晶表示体
テスト用コンタクトプロ−ブ。 - 【請求項3】前記コンタクトピンは、NiまたはNi合
金にAuメッキした構成のコンタクトピンからなること
を特徴とする請求項1または2記載の液晶表示体テスト
用コンタクトプロ−ブ。 - 【請求項4】前記金属フィルムは、Niフィルム、Ni
合金フィルム、CuフィルムおよびCu合金フィルムの
うちの1種からなることを特徴とする請求項1または2
記載の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ。 - 【請求項5】前記コンタクトピンは、NiまたはNi合
金にAuメッキした構成のコンタクトピンからなり、か
つ前記金属フィルムは、Niフィルム、Ni合金フィル
ム、CuフィルムおよびCu合金フィルムのうちの1種
の金属フィルムからなることを特徴とする請求項1また
は2記載の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16970196A JPH1019932A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ |
| TW086108124A TW364060B (en) | 1996-06-28 | 1997-06-12 | Contact probe for liquid crystal display test and liquid crystal display test device having the same |
| US08/880,524 US20010040451A1 (en) | 1996-06-28 | 1997-06-23 | Contact probe for testing liquid crystal display and liquid crystal display testing device having thereof |
| KR1019970028335A KR980003729A (ko) | 1996-06-28 | 1997-06-27 | 액정 표시체 테스트용 콘택트 프로우브 및 이것을 구비한 액정 표시체 테스트 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16970196A JPH1019932A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1019932A true JPH1019932A (ja) | 1998-01-23 |
Family
ID=15891288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16970196A Withdrawn JPH1019932A (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1019932A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100368075B1 (ko) * | 2000-02-07 | 2003-01-15 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및방법 |
| CN107544164A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-01-05 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 一种基于附加引脚驱动警报的多装金属脚检测的电测板 |
-
1996
- 1996-06-28 JP JP16970196A patent/JPH1019932A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100368075B1 (ko) * | 2000-02-07 | 2003-01-15 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및방법 |
| CN107544164A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-01-05 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 一种基于附加引脚驱动警报的多装金属脚检测的电测板 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |