JPH1019932A - 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ - Google Patents

液晶表示体テスト用コンタクトプローブ

Info

Publication number
JPH1019932A
JPH1019932A JP16970196A JP16970196A JPH1019932A JP H1019932 A JPH1019932 A JP H1019932A JP 16970196 A JP16970196 A JP 16970196A JP 16970196 A JP16970196 A JP 16970196A JP H1019932 A JPH1019932 A JP H1019932A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
contact probe
film
conductive resin
resin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP16970196A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshinori Ishii
利昇 石井
Naoki Kato
直樹 加藤
Atsushi Matsuda
厚 松田
Mitsuyoshi Ueki
光芳 植木
Hideaki Yoshida
秀昭 吉田
Tadashi Nakamura
忠司 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP16970196A priority Critical patent/JPH1019932A/ja
Priority to TW086108124A priority patent/TW364060B/zh
Priority to US08/880,524 priority patent/US20010040451A1/en
Priority to KR1019970028335A priority patent/KR980003729A/ko
Publication of JPH1019932A publication Critical patent/JPH1019932A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンタクトピン4とコンタクトピン4の間の
間隔変化の少ない液晶表示体テスト用コンタクトプロ−
ブを提供する。 【解決手段】 平行に配列されたコンタクトピン4を非
導電性樹脂フィルム5に対して直交するようにかつコン
タクトピン4の先端部が非導電性樹脂フィルム5から突
出するように非導電性樹脂フィルム5の片面に張り付け
てなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブ10にお
いて、前記非導電性樹脂フィルム5の上に、さらに金属
フィルム21を張り付けてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示体の各
端子に接触させて電気的なテストを行うためのコンタク
トプロ−ブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶表示体の電気的なテストを行
うにはコンタクトプロ−ブが用いられることが知られて
おり、このコンタクトプロ−ブは、図5の斜視図に示さ
れるように、例えばポリイミド樹脂フィルムなどの非導
電性樹脂フィルム5の片面に、NiまたはNi合金にA
uメッキされた金属で構成されている平行に配列された
コンタクトピン4を非導電性樹脂フィルム5の片面に非
導電性樹脂フィルム5の長手方向に直角に張り付けた構
造になっており、非導電性樹脂フィルム5の端部からコ
ンタクトピン4の一部が突出した構成となっている。図
6に図5のコンタクトプロ−ブ10のA−A断面図を示
した。
【0003】このコンタクトプロ−ブ10を用いて液晶
表示体を電気的なテストを行うために、コンタクトプロ
−ブ10をジグにセットする方法を図7〜図10を用い
てさらに具体的に説明する。図7はコンタクトプロ−ブ
10をセットするためのジグの分解斜視図であり、この
ジグはトップクランプ7およびボトムクランプ8からな
り、トップクランプ7はコンタクトピン4の先端側の非
導電性樹脂フィルム5を押さえる第一突起9、TABI
C11側の端子12を押さえる第二突起13、TAB自
体を押さえる第三突起14を有している。また、ボトム
クランプ8は底板17の上に傾斜板15および取り付け
板16が取り付けられている。
【0004】傾斜板15の上にコンタクトプロ−ブ10
を乗せ、さらにTABIC11側の端子12がコンタク
トプロ−ブ10の非導電性樹脂フィルム5と5の間に来
るように乗せたのち、トップクランプ7をトップクラン
プ7の第一突起9がコンタクトピン4の先端側の非導電
性樹脂フィルム5に、第二突起13がTABIC11側
の端子12にそれぞれ接触するように乗せ、図8に示さ
れるようにボルト18により取り付ける。図8はコンタ
クトプロ−ブ10をジグにボルト18により取り付けた
状態を示す斜視図である。
【0005】つぎに、コンタクトプロ−ブ10を取り付
けたジグを、図9に示されるように、額縁形状の枠19
に取り付ける。この時コンタクトプロ−ブ10のコンタ
クトピン4は傾斜状態に保たれているので、コンタクト
プロ−ブ10の先端に突出しているコンタクトピン4は
液晶表示体20の端子(図示せず)に押しつけられる。
【0006】図10はコンタクトプロ−ブ10をジグに
ボルト18´により額縁形状の枠19に取り付けた状態
の図9のB−B断面図を示したもので、コンタクトピン
4の先端を液晶表示体20の端子(図示せず)に接触さ
せた状態で、コンタクトピン4から得られた信号はTA
BIC11を通して外部に伝えることができるようにな
っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のコンタクト
プロ−ブ10は、図5および図6に示されるように、N
iまたはNi合金にAuメッキされた金属で構成されて
いるコンタクトピン4およびポリイミド樹脂からなる非
導電性樹脂フィルム5の片面に張り付けた構造になって
いるが、ポリイミド樹脂からなる非導電性樹脂フィルム
5は水分を吸収して伸びが生じ、そのために従来のコン
タクトプロ−ブ10は、図5のD方向から見た正面図の
図11に示されるように、コンタクトピン4とコンタク
トピン4の間の間隔tが変化し、そのためにコンタクト
ピン4の先端部分が正確に液晶表示体端子の所定の位置
に接触させることができず、正確な電気的なテストを行
うことができないことがあった。
【0008】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
かかる課題を解決すべく研究を行った結果、従来のコン
タクトプロ−ブ10のコンタクトピン4の間の間隔tが
一定間隔を有するコンタクトプロ−ブを得るべく研究を
行った結果、(a)図1の斜視図に示されるように、コ
ンタクトピン4および非導電性樹脂フィルム5からなる
従来の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブの非導電
性樹脂フィルム5側に、さらに金属フィルム21を張り
付けると、得られたコンタクトプロ−ブ10は、湿度が
変化しても、従来のコンタクトプロ−ブ10よりもコン
タクトピン4とコンタクトピン4の間の間隔tの変化が
少なく、もって、正確にコンタクトプロ−ブのコンタク
トピン先端部を液晶表示体に接触させることができる、
(b)この金属フィルムの上にさらに非導電性樹脂フィ
ルムを張り付けてもよい、という知見を得たのである。
【0009】この発明は、かかる知見に基づいてなされ
たものであって、図1および図1のC−C断面図である
図2に示されるように、(1)平行に配列されたコンタ
クトピンを非導電性樹脂フィルムに対して直交するよう
にかつコンタクトピンの先端部が非導電性樹脂フィルム
から突出するように非導電性樹脂フィルムの片面に張り
付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブにお
いて、前記非導電性樹脂フィルム上に、さらに金属フィ
ルムを張り付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプ
ロ−ブ、(2)平行に配列されたコンタクトピンを非導
電性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコンタク
トピンの先端部が非導電性樹脂フィルムから突出するよ
うに非導電性樹脂フィルムの片面に張り付けてなる液晶
表示体テスト用コンタクトプローブにおいて、前記非導
電性樹脂フィルム上に金属フィルムを張り付け、さらに
この金属フィルムの上に非導電性樹脂フィルムを張り付
けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ、に特
徴を有するものである。
【0010】そして、この発明の液晶表示体テスト用コ
ンタクトプロ−ブの非導電性樹脂フィルムはポリイミド
樹脂膜からなり、コンタクトピン4はNiまたはNi合
金にAuメッキされた金属で構成され、金属フィルム2
1はNi、Ni合金、CuまたはCu合金フィルムから
なる。
【0011】
【発明の実施の形態】この発明のコンタクトプロ−ブ1
0の製造方法を図3に示す。まず、ステンレス製の支持
金属板6の上に、Cuのベースメタル層1を形成し、こ
のベースメタル層1上にフォトレジスト層2を形成し
(図3(a))、このフォトレジスト層2に所定のパタ
ーンのマスク3を施して露光し(図3(b))、フォト
レジスト層2を現像してコンタクトピン4となる部分を
除去して残存するフォトレジスト層2に開口部2aを形
成し(図3(c))、この開口部2aにコンタクトピン
4となるNi層をメッキ処理により形成し(図3
(d))、フォトレジスト層2を除去する(図3
(e))。
【0012】次に、Ni層の上に非導電性樹脂フィルム
5および金属フィルム21からなる複合フィルムを接着
剤5aを介して接着し(図3(f))、さらに、非導電
性樹脂フィルム5とコンタクトピン4とベースメタル層
1からなる部分を支持金属板6から分離し(図3
(g))、ついでベースメタル層1を除去することによ
り、コンタクトピン4に非導電性樹脂フィルム5および
金属フィルム21を接着したコンタクトプロ−ブ10を
作製する(図3(h))。
【0013】この発明のコンタクトプロ−ブ10は、図
4の断面図に示されるように、コンタクトピン4の上
に、非導電性樹脂フィルム5、金属フィルム21および
非導電性樹脂フィルム5の順序で接着した複合フィルム
を形成したものであっても良い。そして、この発明のコ
ンタクトプロ−ブの使用方法は、図7〜図10で述べた
従来のコンタクトプロ−ブの使用方法と全く同じであ
る。
【0014】実施例 図3に示される方法で、常温で、ピッチ:100μm、
ピン数:100ピンのNi製コンタクトピンに、厚さ:
50μmのポリイミド樹脂製非導電性樹脂フィルムおよ
び純銅フィルムを張り付けた構造を有する両端のピン間
距離:9.900mmの本発明コンタクトプロ−ブを作
製した。
【0015】一方、比較のために、常温で幅:100μ
m、ピン数:100ピンのNi製コンタクトピンを、厚
さ:50μmのポリイミド樹脂製非導電性樹脂フィルム
を張り付けた構造を有する両端のピン間距離:9.90
0mmの従来コンタクトプロ−ブを作製した。
【0016】これら本発明コンタクトプロ−ブおよび従
来コンタクトプロ−ブを温度:25℃、湿度:70%の
雰囲気に3時間保持した後、本発明コンタクトプロ−ブ
および従来コンタクトプロ−ブの両端のコンタクトピン
間距離を測定した結果、本発明コンタクトプロ−ブの両
端のコンタクトピン間距離は9.8976mmであり、
従来コンタクトプロ−ブの両端のコンタクトピン間距離
は9.8712mmであり、純銅フィルムを張り付けた
構造の両端のピン間距離の変化は少ないことが分かる。
【0017】
【発明の効果】上述のように、この発明のコンタクトプ
ロ−ブは、高温多湿の環境下にあってもコンタクトプロ
−ブの両端のコンタクトピン間距離の変化が少なく、し
たがって、いかなる環境下にあってもコンタクトピンの
先端部を正確に液晶表示体の所定の位置に正確に接触さ
せることができ、液晶表示体の検査のミスが皆無になる
など半導体産業の発展に大いに貢献しうるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のコンタクトプローブの一部の斜視概
略図である。
【図2】図1のC−C断面図である。
【図3】この発明のコンタクトプローブの製造方法を示
す概略説明図である。
【図4】この発明のコンタクトプローブの他の実施例を
示す断面図である。
【図5】従来のコンタクトプローブの斜視概略図であ
る。
【図6】図6のA−A断面図である。
【図7】従来のコンタクトプローブを取り付けるジグの
分解斜視図である。
【図8】従来のコンタクトプローブをジグに取り付ける
た状態の斜視図である。
【図9】従来のコンタクトプローブをジグに取り付け、
これを枠に取り付けた状態を示す概略斜視図である。
【図10】従来のコンタクトプローブをジグに取り付
け、これを枠に取り付けた状態を示す図9のB−B断面
図である。
【図11】図5の従来のコンタクトプローブをD方向か
ら見た正面図である。
【符号の説明】 1 ベースメタル層 2 フォトレジスト層 3 マスク 4 コンタクトピン 5 非導電性樹脂フィルム 6 支持金属板 7 トップクランプ 8 ボトムクランプ 9 第一突起 10 コンタクトプローブ 11 TABIC 12 端子 13 第二突起 14 第三突起 15 傾斜板 16 取り付け板 17 底板 18 ボルト 19 枠 20 液晶表示体 21 金属フィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植木 光芳 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱マ テリアル株式会社三田工場内 (72)発明者 吉田 秀昭 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱マ テリアル株式会社三田工場内 (72)発明者 中村 忠司 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱マ テリアル株式会社三田工場内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】平行に配列されたコンタクトピンを非導電
    性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコンタクト
    ピンの先端部が非導電性樹脂フィルムから突出するよう
    に非導電性樹脂フィルムの片面に張り付けてなる液晶表
    示体テスト用コンタクトプローブにおいて、 前記非導電性樹脂フィルム上に、さらに金属フィルムを
    張り付けてなることを特徴とする液晶表示体テスト用コ
    ンタクトプロ−ブ。
  2. 【請求項2】平行に配列されたコンタクトピンを非導電
    性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコンタクト
    ピンの先端部が非導電性樹脂フィルムから突出するよう
    に非導電性樹脂フィルムの片面に張り付けてなる液晶表
    示体テスト用コンタクトプローブにおいて、 前記非導電性樹脂フィルム上に金属フィルムを張り付
    け、さらにこの金属フィルムの上にさらに非導電性樹脂
    フィルムを張り付けてなることを特徴とする液晶表示体
    テスト用コンタクトプロ−ブ。
  3. 【請求項3】前記コンタクトピンは、NiまたはNi合
    金にAuメッキした構成のコンタクトピンからなること
    を特徴とする請求項1または2記載の液晶表示体テスト
    用コンタクトプロ−ブ。
  4. 【請求項4】前記金属フィルムは、Niフィルム、Ni
    合金フィルム、CuフィルムおよびCu合金フィルムの
    うちの1種からなることを特徴とする請求項1または2
    記載の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ。
  5. 【請求項5】前記コンタクトピンは、NiまたはNi合
    金にAuメッキした構成のコンタクトピンからなり、か
    つ前記金属フィルムは、Niフィルム、Ni合金フィル
    ム、CuフィルムおよびCu合金フィルムのうちの1種
    の金属フィルムからなることを特徴とする請求項1また
    は2記載の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ。
JP16970196A 1996-06-28 1996-06-28 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ Withdrawn JPH1019932A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16970196A JPH1019932A (ja) 1996-06-28 1996-06-28 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ
TW086108124A TW364060B (en) 1996-06-28 1997-06-12 Contact probe for liquid crystal display test and liquid crystal display test device having the same
US08/880,524 US20010040451A1 (en) 1996-06-28 1997-06-23 Contact probe for testing liquid crystal display and liquid crystal display testing device having thereof
KR1019970028335A KR980003729A (ko) 1996-06-28 1997-06-27 액정 표시체 테스트용 콘택트 프로우브 및 이것을 구비한 액정 표시체 테스트 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16970196A JPH1019932A (ja) 1996-06-28 1996-06-28 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1019932A true JPH1019932A (ja) 1998-01-23

Family

ID=15891288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16970196A Withdrawn JPH1019932A (ja) 1996-06-28 1996-06-28 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1019932A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100368075B1 (ko) * 2000-02-07 2003-01-15 마이크로 인스펙션 주식회사 로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및방법
CN107544164A (zh) * 2017-08-24 2018-01-05 蚌埠高华电子股份有限公司 一种基于附加引脚驱动警报的多装金属脚检测的电测板

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100368075B1 (ko) * 2000-02-07 2003-01-15 마이크로 인스펙션 주식회사 로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및방법
CN107544164A (zh) * 2017-08-24 2018-01-05 蚌埠高华电子股份有限公司 一种基于附加引脚驱动警报的多装金属脚检测的电测板

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6937042B2 (en) Contact probe and probe device
JP2000121673A (ja) コンタクタ
JPH1144708A (ja) コンタクトプローブおよびその製造方法
JPH1019932A (ja) 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ
JPH10206464A (ja) プローブ装置
JP3204102B2 (ja) コンタクトプローブ
JP2000162238A (ja) 分割型プローブカード
JP3346279B2 (ja) コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置並びにコンタクトプローブの製造方法
JP4185218B2 (ja) コンタクトプローブとその製造方法、および前記コンタクトプローブを用いたプローブ装置とその製造方法
JPH1019933A (ja) 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ
JP3204146B2 (ja) コンタクトプローブおよびその製造方法、並びにコンタクトプローブを備えたプローブ装置
JPH10185951A (ja) コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置並びにコンタクトプローブの製造方法
JPH11352151A (ja) コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置並びにコンタクトプローブの製造方法
JP3446636B2 (ja) コンタクトプローブ及びプローブ装置
JP3132394B2 (ja) 液晶表示体テスト装置
JP3219008B2 (ja) コンタクトプローブおよびその製造方法と前記コンタクトプローブを備えたプローブ装置
JPH1116961A (ja) 屈曲部を有する金属体およびその成形方法と前記金属体を用いたコンタクトプローブおよびその製造方法
CN116529860B (zh) 电连接装置和电连接装置的制造方法
JP2003057266A (ja) コンタクトプローブ及びその製造方法
JP4185225B2 (ja) コンタクトプローブの検査装置
JPH0357211A (ja) 電子ビーム描画装置用試料ホルダー
JPH09311142A (ja) 半導体チップテスト用コンタクトピン
JP2001330625A5 (ja)
JPH1164383A (ja) 薄膜部を有するメッキ体およびその成形方法と前記メッキ体を用いたコンタクトプローブおよびその製造方法
JP3132389B2 (ja) コンタクトプローブの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20030902