JPH10199439A - シャドウマスクおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】マスク素材が薄板であっても、孔形状の維持を
図りつつ十分な塑性加工を施すことができ、外部衝撃に
対して十分な強度を有するシャドウマスク、およびその
製造方法を提供することにある。 【解決手段】電子ビーム通過孔の形成されたフラットマ
スクをプレス加工して、所望の曲面形状に成形された有
孔部を有するシャドウマスクを得る。電子ビーム通過孔
の小孔が開口した有効部の凹曲面に対向する凸曲面３６
およびこの凸曲面に設けられた複数の突起４２を有する
第１加工型３４と、電子ビーム通過孔の大孔が開口した
有孔部の凸曲面に対向する円滑な凹曲面４０を有する第
２加工型３８と、の間に、プレス成形されたシャドウマ
スクの有孔部を挟持し、この有孔部を板厚方向に圧縮加
工する。その際、第１加工型の突起により有孔部を局部
的に圧縮して、有効部の凹曲面側に複数の凹所を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー陰極線管に
用いられるシャドウマスク、およびその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】通常、カラー陰極線管は、色選別手段と
して機能するシャドウマスクを備えている。このシャド
ウマスクは、全体として薄い金属板を一体的に加工して
形成され、略球面状の凸曲面に成形されている曲面部
と、この曲面部に略垂直であってこの曲面部全周を取り
囲んで設けられたスカート部と、を有している。また、
曲面部は、多数の電子ビーム通過孔が設けられた有孔部
と、有孔部の外周に位置した無孔の周縁部とで構成され
ている。

【０００３】このようなシャドウマスクは、通常、当初
平坦な薄い金属板に電子ビーム透過孔を形成したフラッ
トマスクをプレス成形して作られる。すなわち、まず、
成形しやすいようにフラットマスクをアニールした後、
プレス成形型を用いて所定形状にプレス形成する。プレ
ス成形後、黒化処理を施してシャドウマスクの表面に酸
化膜を形成し、シャドウマスクが完成する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年、このシャドウマ
スクの板厚は様々な埋由により、例えば0.12〜0.13mm程
度に薄板化してきており、これに伴い、プレス成形後の
シャドウマスク強度が低下し外部衝撃による変形が問題
となっている。

【０００５】従来のプレス成形は、表面に鏡面加工が施
された金型（特にポンチ）を用い、マスク素材を面方向
に沿った引つ張り加工を施すことにより行われている。
そのため、シャドウマスクの有孔部および周縁部に応力
集中が生じ、電子ビーム通過孔に孔伸びと称する孔形状
の崩れが生じやすい。従って、シャドウマスクの塑性加
工量に関して限界が生じている。

【０００６】このようなことから、シャドウマスクの有
孔部全面に亘って均一な加工を施すことが困難であり、
結果として、部分的にシャドウマスクの加工不足部を生
じ、シャドウマスクは部分的にたるんだ状態（通称、辺
落ち）となる。そして、このような成形状態ではシャド
ウマスク全体が塑性領域に達しておらず、成形済みのシ
ャドウマスクに落下衝撃を加えた際に形状を維持できな
くなる。このような現象はシャドウマスクの板厚が薄い
ほど顕著となる。

【０００７】なお、シャドウマスクの板厚を大きくすれ
ば上述した問題を解決可能であるが、シャドウマスクを
薄型化する傾向に反することになり、また、例えば、エ
ッチングによって形成される電子ビーム通過孔を所定の
形状に制御するのが困難になる等の問題を生じる。

【０００８】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、マスク素材が薄板であっても、孔形状
の維持を図りつつ十分な塑性加工を施すことができ、外
部衝撃に対して十分な強度を有するシャドウマスク、お
よびその製造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係るシャドウマスクは、薄い金属板を加
工して形成され曲面形状を有する曲面部と、上記曲面部
の全周を取り囲んで設けられたスカート部と、を備えて
いる。上記曲面部は、多数の電子ビーム通過孔が設けら
れた有孔部と、有孔部の外周に位置した無孔の周縁部と
を有し、上記有孔部は、この有孔部を板厚方向に圧縮す
ることにより有孔部の一方の表面に形成された複数の凹
所を備えている。

【００１０】上記シャドウマスクにおいて、上記各電子
ビーム通過孔は、上記有孔部の凸曲面側に開口した大孔
と、上記有孔部の凹曲面側に開口した小孔と、を有し、
上記凹所は、上記有孔部の凹曲面に形成されている。

【００１１】また、上記複数の凹所は、上記有孔部のほ
ぼ中心から有孔部周縁まで放射状に延びている。あるい
は、上記複数の凹所は、上記有孔部のほぼ全域に分散し
て設けられ、それぞれほぼ半球状に形成されている。

【００１２】更に、この発明に係るシャドウマスクの製
造方法は、多数の電子ビーム通過孔が設けられた有孔部
を有する薄い金属板からなるフラットマスクを用意し、
上記フラットマスクの有孔部を、プレス加工によって曲
面張出しを行い所定の曲面形状に成形し、上記プレス成
形された金属板の有孔部をその板厚方向に圧縮し、上記
有孔部の一方の表面に複数の凹所を形成することを特徴
としている。

【００１３】上記凹所を形成する工程は、上記有孔部の
表面の内、上記電子ビーム通過孔の小孔が開口した表面
を局部的に圧縮して形成する。また、この発明に係るシ
ャドウマスクの製造方法は、多数の電子ビーム通過孔が
設けられた有孔部を有する薄い金属板からなるフラット
マスクを用意し、上記フラットマスクの有孔部を、所定
形状を有するポンチを用いたプレス加工によって曲面張
出しを行い所定の曲面形状に成形し、同時に、金属板の
有孔部をその板厚方向に圧縮し、上記有孔部の一方の表
面に複数の凹所を形成することを特徴としている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明の実施の形態について詳細に説明する。図１は、シャ
ドウマスクを備えたカラー陰極線管を示している。この
カラー陰極線管は、ガラスからなるフェースパネル３お
よび漏斗状のファンネル４を有する真空外囲器を備えて
いる。フェースパネル３は、ほぼ矩形状の有効部１と、
有効部の周縁部に沿って立設された４つの側壁部２と、
を有し、フェンネル４は側壁部２に連結されている。各
側壁部２の内面中央部には、スタッドピン１４が内方に
向かって突設されている。

【００１５】有効部１の内面には、青、緑、赤に発光す
る３色の蛍光体層からなる蛍光体スクリーン５が形成さ
れている。また、フェースパネル１の内側には、蛍光体
スクリーン５に対向して実質的に矩形状のシャドウマス
ク６が配置されている。色選別機能を有するシャドウマ
スク６は、矩形状のマスクフレーム７に固定され、この
マスクフレームは、複数の弾性ホルダ１５を介してスタ
ッドピン１４に支持されている。

【００１６】一方、ファンネル４のネック７内には、３
電子ビーム８を出射する電子銃９が配設されている。そ
して、電子銃９から出射された３電子ビーム８は、ファ
ンネル４の外側に装着された偏向ヨーク２４によって偏
向され、シャドウマスク６を介して蛍光体スクリーン５
を水平、垂直走査する。それにより、蛍光体スクリーン
にカラー画像が表示される。

【００１７】図１ないし図４（ｂ）に示すように、シャ
ドウマスク６は、例えば、板厚0.10〜0.15mmの薄い金属
板を加工して一体的に形成され、凸曲面状に成形された
曲面部１６と、この曲面部に略垂直であってこの曲面部
全周を取り囲んで設けられたスカート部１７と、を有し
ている。また、曲面部１６は、多数の電子ビーム通過孔
１８が設けられたほぼ矩形状の有孔部２０と、有孔部の
外周に位置した無孔の周縁部２１とで構成されている。

【００１８】各電子ビーム通過孔１８は、曲面部１６の
外面、つまり、凸状曲面１６ａ側に開口した大孔１８ａ
と、曲面部１６の凹状曲面１６ｂ側に開口した小孔１８
ｂとで構成されている。シャドウマスク６をカラー陰極
線管の真空外囲器内に装着した状態において、各電子ビ
ーム１８の大孔１８ａは蛍光体スクリーン５に対向し、
小孔１８ｂは電子銃９に対向する。

【００１９】また、図３および図４（ｂ）に示すよう
に、シャドウマスク６の有孔部２０の内面、つまり、凹
状曲面１６ｂには、シャドウマスクを板厚方向に圧縮す
ることによって形成された複数の凹所２２が設けられて
いる。

【００２０】本実施の形態において、これらの凹所２２
は、複数の細長い溝として構成され、有孔部２０のほぼ
中心から有孔部周縁まで放射状に延びている。各凹所２
２の窪み量は１０μｍ程度に形成されている。

【００２１】次に、上記のように構成されたシャドウマ
スク６の製造方法について説明する。本製造方法におい
ては、まず、多数の電子ビーム通過孔１８が形成された
平板状のフラットマスクを用意し、このフラットマスク
をアニールした後、所定形状にプレス成形する。続い
て、プレス成形されたシャドウマスクを板厚方向に圧縮
加工して複数の凹所２２を形成し、その後、黒化処埋し
てシャドウマスク表面に黒化膜を形成する。

【００２２】プレス成形工程について詳細に述べる。こ
のプレス成形に用いられるプレス装置は、図５に示すよ
うに、ポンチ１０、ノックアウト１１、ブランクホルダ
ー１２、ダイ１３を備え、これらは押圧装置２６および
スライド機構２７、２８、２９により、矢印Ｃ方向に沿
って昇降駆動される。

【００２３】ポンチ１０の下面は、成形しようとするシ
ャドウマスクの曲面部１６の形状にスプリングバックを
加味した凸曲面１０ａに形成され、かつ、鏡面加工が施
されている。ノックアウト１１は、外形がポンチ１０の
外形と一致し、その環状の周縁部だけが全周にわたって
ポンチ１０の凸曲面１０ａと摺り合わせた凹曲面１１ａ
に形成されている。ブランクホルダー１２とダイ１３と
は、互いに向かい合う環状の周縁部１２ａ、１３ａが摺
り合わされた曲面にそれぞれ形成されている。

【００２４】プレス成形を行う場合には、図６（ａ）に
示すように、まず、フラットマスク３０をダイ１３の周
縁部１３ａ上にセットする。次に、図６（ｂ）に示すよ
うに、ブランクホルダー１２を下方に押し下げ、スカー
ト部１７となるべき部分であるスカート予定部３０ａを
ダイ１３の周縁部１３ａとブランクホルダー１２の周縁
部１２ａとの間で挟持する。その後、図６（ｃ）に示す
ように、ポンチ１０を押し下げて、フラットマスク３０
をポンチ１０の凸曲面１０ａに沿うように押し延ばし、
有孔部２０およびこれに続く周縁部２１を所定の曲面に
形成する。次いで、無孔の周縁部２１をポンチ１０の凸
曲面１０ａの周縁部分とノックアウト１１の周縁部の凹
曲面１１ａとの間で堅固に挟持する。

【００２５】更に、図６（ｄ）に示すように、ブランク
ホルダー１２に加えていた押圧力を緩めるとともに、ポ
ンチ１０に一層強い押圧力を加えて下方に押し下げる。
この工程で、ポンチ１０およびノックアウト１１は、フ
ラットマスク３０の周縁部を挟んだまま下方に移動し、
ダイ１３内に押し込まれる。それにより、スカート部１
７が形成される。

【００２６】最後に、ポンチ１０およびブランクホルダ
ー１２の押圧力を解除して、ポンチ１０を上方に引き上
げると、シャドウマスク６のプレス成形が終了する。上
述したプレス成形終了後、シャドウマスク６に圧縮加工
を施す。図７および図８に示すように、圧縮加工に用い
る金型３２は、凸曲面３６を有する第１加工型３４と、
凹曲面４０を有する第２加工型３８とを備えている。第
１加工型３４は、全体として、シャドウマスクをプレス
成形する際のポンチの形状と略同一形状に形成されてい
る。第１加工型３４の凸曲面３６はシャドウマスク６の
曲面部１６の凹曲面１６ｂに対応しているとともに、こ
の凸曲面３６には、放射状に延びる複数の細長い突起４
２が形成されている。各突起４２の高さは３〜５０μｍ
に設定されている。第２加工型３８の凹曲面４０は、シ
ャドウマスク曲面部１６の凸曲面１６ａに対応した滑ら
かな形状に形成され、突起を備えていない。

【００２７】上記の金型３２を用いた圧縮加工工程は次
のようになる。まず、図９（ａ）に示すように、プレス
成形されたシャドウマスク６を、その凹曲面１６ｂが第
１加工型３４の凸曲面３６と対向した状態で、凸曲面３
６上に載置する。そして、その上から第２加工型３８を
その凹曲面４０を下向きにしてシャドウマスク６に重
ね、第１及び第２加工型３４、３８でシャドウマスクを
挟持する。

【００２８】その後、図９（ｂ）に示すように、図示し
ない衝撃力印加装置により、第２加工型３８に上方から
第１加工型３４に向う衝撃力Ｆを加える。衝撃力Ｆを印
加した場合、シャドウマスク６の凸曲面１６ａ側、すな
わち大孔１８ａ側の表面は第２加工型３８の凹曲面４０
と面で接しているため局部的な応力を受けない。

【００２９】一方、シャドウマスク６の凹曲面１６ｂ、
すなわち小孔側の表面は第１加工型３４の突起４２と線
接触しているため、この突起４２との接触部は局部的な
応力が加わり、シャドウマスクの板厚方向に圧縮され
る。これにより、シャドウマスク６の有孔部２０内面に
放射状に延びる複数の凹所２２が形成される。なお、凹
所２２の深さは、１０〜４０μｍに形成されている。

【００３０】このように、本実施の形態ではシャドウマ
スク６の小孔１８ｂ側に位置する第１加工型３４に突起
４２を設けているが、これは次のような理由によるもの
である。

【００３１】すなわち、シャドウマスク６の電子ビーム
通過孔１８は、カラー陰極線管の電子銃側となる小孔１
８ｂと、蛍光体スクリーン側となる大孔１８ａとをエッ
チングによって連接することにより形成されており、シ
ャドウマスク６の大孔１８ａが形成される凸曲面１６ａ
は、小孔１８ｂが形成される凹曲面１６ｂに比較してエ
ッチングされる部分が多い。従って、小孔側の表面、つ
まり、曲面部２０の凹曲面１６ｂの方がエッチングされ
ずに残る部分が多く、突起４２との接触部を多くとれる
ので圧縮加工を行いやすいからである。

【００３２】最後に、従来と同様の方法で黒化処埋を施
してシャドウマスク表面に酸化膜を形成し、シャドウマ
スクが完成する。以上のようにして製造されたシャドウ
マスク６によれば、前述したように、曲面部１６の小孔
１８ｂ側の表面１６ｂには、板厚方向への圧縮により窪
んで硬化した圧痕、つまり、細長い溝状の凹所２２が形
成されている。そして、このような圧縮加工によって圧
痕を設けることにより、シャドウマスク６の機械的強度
が向上する。なお、シャドウマスクの板厚が０．１２ｍ
ｍの場合、凹所２２の窪み量が１０μｍ程度であれば、
電子ビーム通過孔１８の形状を損なうことなく強度向上
を図ることができる。

【００３３】上記方法にて製造されたシャドウマスク６
の強度を測定したところ、従来のシャドウマスクが変形
していた外部衝撃を受けた場合でも、本シャドウマスク
は変形を起こすことがなく、さらに大きな衝撃にも耐え
ることができた。また、本製造方法によれば、従来の製
造方法ではプレス成形後の強度が不十分となり成形が困
難な板厚のシャドウマスクについても、成形可能とな
る。

【００３４】また、上記製造方法においては、プレス成
形後、シャドウマスクに板厚方向の圧縮加工を施すた
め、プレス成形自体は従来と同様の装置をそのまま利用
できるという利点がある。

【００３５】なお、上記実施の形態では、第１加工型を
下にして第２加工型側から衝撃力を加えるようにしてい
るが、第２加工型を下に配置する方法であってもよい。
また、シャドウマスクの小孔側表面に設けられる圧痕、
つまり、凹所２２は、上述した細長い溝状に限らず、必
要に応じて種々変更可能である。例えば、図１０に示す
ように、ほぼ半球形状の凹所２２としてもよい。

【００３６】このようなシャドウマスク６の製造に用い
る金型３２は、図１１ないし図１２（ｂ）に示すよう
に、第１および第２加工型３４、３８を備え、第１加工
型３４の凸曲面３６には、ほぼ全面に亘って多数の金属
球、例えば直径４mmの鋼球が稠密に埋め込まれ、ほぼ半
球状の多数の突起４２を形成している。そして、突起４
２の頂部を結んでできる凸曲面は、シャドウマスク６の
曲面部１６の凹状曲面１６ｂに対応している。また、第
２加工型３８の凹曲面４０は、シャドウマスクの曲面部
１６の凸曲面１６ａに対応した滑らかな形状となってお
り、金属球は埋め込まれておらず表面に突起はない。

【００３７】そして、シャドウマスク６は、前述した方
法と同様にプレス成形された後、上記金型３２を用いて
圧縮加工される。このようなシャドウマスクおよびその
製造方法においても、前述した実施の形態と同様の作用
効果を得ることができる。

【００３８】更に、上記実施の形態においては、プレス
による曲面成形後、金型３２を用いた圧縮加工を行う構
成としたが、プレス装置のポンチ表面に突起を設け、プ
レスによる曲面形成と、金属板の板厚方向の圧縮加工と
を同時に行うようにしてもよい。

【００３９】すなわち、この場合、図５に示すプレス装
置のポンチ１０の凸曲面１０ａを鏡面とせず、この凸曲
面１０ａに、図８あるいは図１２（ｂ）に示すような突
起４２を設ける。あるいは、図１３に示すように、ポン
チ１０の凸曲面１０ａを鏡面加工せず、切削加工による
機械加工跡４６をそのまま残すことにより、凸曲面に機
械加工跡からなる３〜５０μｍ程度の突起を規則的ある
いはランダムに形成し、微細凹凸を有するようにしても
よい。

【００４０】そして、ポンチ１０を用いてシャドウマス
ク６を成形する場合、図６（ａ）ないし６（ｄ）に示す
工程と同様に、まず、フラットマスク３０をダイ１３の
周縁部１３ａ上にセットする。次に、ブランクホルダー
１２を矢印Ｃ方向に押し下げ、スカート部１７となるべ
き部分であるスカート予定部３０ａをダイ１３の周縁部
１３ａとブランクホルダー１２の周縁部１２ａとの間で
挟持する。

【００４１】その後、ポンチ１０を押し下げて、フラッ
トマスク３０をポンチ１０の凸曲面１０ａに沿うように
押し延ばし、有孔部２０およびこれに続く周縁部２１を
所定の曲面に形成する。同時に、凸曲面１０ａの凹凸に
より、フラットマスク３０を板厚方向に圧縮し、凹所２
２を形成する。

【００４２】次いで、無孔の周縁部２１をポンチ１０の
凸曲面１０ａの周縁部分とノックアウト１１の周縁部の
凹曲面１１ａとの間で堅固に挟持する。更に、ブランク
ホルダー１２に加えていた押圧力を緩めるとともに、ポ
ンチ１０に一層強い押圧力を加えて下方に押し下げる。
この工程で、ポンチ１０およびノックアウト１１は、フ
ラットマスク３０の周縁部を挟んだまま下方に移動し、
ダイ１３内に押し込まれる。それにより、スカート部１
７が形成される。

【００４３】最後に、ポンチ１０およびブランクホルダ
ー１２の押圧力を解除して、ポンチ１０を上方に引き上
げると、シャドウマスク６のプレス成形および圧縮加工
が終了する。その後、黒化処埋を施してシャドウマスク
表面に酸化膜を形成することにより、シャドウマスクが
完成する。

【００４４】上記のような製造方法を用いた場合におい
ても、前述した実施の形態と同様に、マスク素材が薄板
であっても、電子ビーム通過孔の形状を維持しつつ充分
な塑性加工を施すことができ、外部衝撃に対して充分な
機械的強度を有するシャドウマスクを得ることができ
る。また、ポンチの凸曲面を鏡面加工仕上げする必要が
なく、金型製造コストの低減を図ることもできる。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、マスク素材が薄板であっても、孔形状の維持を図り
つつ十分な塑性加工を施すことができ、外部衝撃に対し
て十分な強度を有するシャドウマスク、およびその製造
方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態に係るシャドウマスクを
備えたカラー陰極線管の断面図。

【図２】上記シャドウマスクの斜視図。

【図３】上記シャドウマスクの内面側を示す平面図。

【図４】図４（ａ）は、図３の線Ａ−Ａに沿った断面
図、図４（ｂ）は図４（ａ）の部分Ｂを拡大して示す断
面図。

【図５】上記シャドウマスクの製造に用いるプレス装置
の断面図。

【図６】上記プレス装置を用いたシャドウマスクのプレ
ス成形工程をそれぞれ概略的に示す断面図。

【図７】上記シャドウマスクの圧縮加工に用いる金型の
断面図。

【図８】上記金型の第１加工型を示す斜視図。

【図９】上記金型を用いたシャドウマスクの圧縮加工工
程をそれぞれ概略的に示す断面図。

【図１０】この発明の他の実施の形態に係るシャドウマ
スクの一部を拡大して示す断面図。

【図１１】上記他の実施の形態に係るシャドウマスクの
圧縮加工に用いる金型の断面図。

【図１２】図１１に示す金型の第１加工型を示す斜視
図。

【図１３】上記プレス装置に用いるポンチの変形例を示
す斜視図。

【符号の説明】

３…フェースパネル ６…シャドウマスク ９…電子銃 １０…ポンチ １０ａ…凸面 １６…曲面部 １７…スカート部 １８…電子ビーム通過孔 １８ａ…大孔 １８ｂ…小孔 ２０…有孔部 ２１…周縁部 ２２…凹所 ３０…フラットマスク ３２…金型 ３４…第１金型 ３６…凸曲面 ３８…第２金型 ４０…凹曲面 ４２…突起

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】薄い金属板を加工して形成され曲面形状を
   有する曲面部と、 上記曲面部の全周を取り囲んで設けられたスカート部
   と、を備え、 上記曲面部は、多数の電子ビーム通過孔が設けられた有
   孔部と、有孔部の外周に位置した無孔の周縁部とを有
   し、 上記有孔部は、この有孔部を板厚方向に圧縮することに
   より有孔部の一方の表面に形成された複数の凹所を備え
   ていることを特徴とするシャドウマスク。
2. 【請求項２】上記各電子ビーム通過孔は、上記有孔部の
   凸曲面側に開口した大孔と、上記有孔部の凹曲面側に開
   口した小孔と、を有し、 上記凹所は、上記有孔部の凹曲面に形成されていること
   を特徴とする請求項１に記載のシャドウマスク。
3. 【請求項３】上記複数の凹所は、上記有孔部のほぼ中心
   から有孔部周縁まで放射状に延びていることを特徴とす
   る請求項１又は２に記載のシャドウマスク。
4. 【請求項４】上記複数の凹所は、上記有孔部のほぼ全域
   に分散して設けられ、それぞれほぼ半球状に形成されて
   いることを特徴とする請求項１又は２に記載のシャドウ
   マスク。
5. 【請求項５】上記金属板は0.10〜0.15mmの板厚を有し、
   上記各凹所は、 3〜50μｍの深さを有していることを特
   徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のシャ
   ドウマスク。
6. 【請求項６】多数の電子ビーム通過孔が設けられた有孔
   部を有する薄い金属板からなるフラットマスクを用意
   し、上記フラットマスクの有孔部を、プレス加工によっ
   て曲面張出しを行い所定の曲面形状に成形し、上記プレ
   ス成形された金属板の有孔部をその板厚方向に圧縮し、
   上記有孔部の一方の表面に複数の凹所を形成することを
   特徴とするシャドウマスクの製造方法。
7. 【請求項７】上記凹所を形成する工程は、上記有孔部の
   表面の内、上記電子ビーム通過孔の小孔が開口した表面
   を局部的に圧縮して形成することを特徴とする請求項６
   に記載のシャドウマスクの製造方法。
8. 【請求項８】上記凹所を形成する工程は、上記電子ビー
   ム通過孔の小孔が開口した上記有孔部の凹曲面に対向す
   る凸曲面およびこの凸曲面に設けられた複数の突起を有
   する第１型と、上記電子ビーム通過孔の大孔が開口した
   上記有孔部の凸曲面に対向する円滑な凹曲面を有する第
   ２型と、の間に、上記プレス成形された金属板の有孔部
   を挟持して、圧縮加工することを特徴とする請求項６に
   記載のシャドウマスクの製造方法。
9. 【請求項９】上記第１型の複数の突起は、放射状に延び
   る複数の細長い突起で構成され、上記突起により、上記
   有孔部に、この有孔部のほぼ中心から有孔部周縁まで放
   射状に延びる複数の凹所を形成することを特徴とする請
   求項８に記載のシャドウマスクの製造方法。
10. 【請求項１０】上記第１型の突起は、上記凸曲面全体に
    亙って設けられたほぼ半球状の多数の突起により構成さ
    れていることを特徴とする請求項８に記載のシャドウマ
    スクの製造方法。
11. 【請求項１１】上記有孔部の曲面形状に対応した形状を
    有するポンチを用いたプレス加工により上記フラットマ
    スクの有孔部をプレス成形し、上記ポンチとほぼ同一形
    状で表面に複数の突起が設けられた第１型と、上記有孔
    部に対応した曲面形状を有する第２型と、の間に上記プ
    レス成形された有孔部を挟持して、圧縮加工することを
    特徴とする請求項６に記載のシャドウマスクの製造方
    法。
12. 【請求項１２】多数の電子ビーム通過孔が設けられた有
    孔部を有する薄い金属板からなるフラットマスクを用意
    し、上記フラットマスクの有孔部を、所定形状を有する
    ポンチを用いたプレス加工によって曲面張出しを行い所
    定の曲面形状に成形し、同時に、金属板の有孔部をその
    板厚方向に圧縮し、上記有孔部の一方の表面に複数の凹
    所を形成することを特徴とするシャドウマスクの製造方
    法。
13. 【請求項１３】上記ポンチの表面に設けられた複数の突
    起により、上記有効部の一方の表面を局部的に圧縮加工
    して、上記凹所を形成することを特徴とする請求項１２
    に記載のシャドウマスクの製造方法。
14. 【請求項１４】上記ポンチの表面に設けられた高さ３〜
    ５０μｍの複数の突起により、板厚0.10〜0.15mmの上記
    有効部の一方の表面を局部的に圧縮加工して、上記凹所
    を形成することを特徴とする請求項１２に記載のシャド
    ウマスクの製造方法。
15. 【請求項１５】機械加工跡からなる凹凸を有する表面を
    備えたポンチにより、上記有効部の一方の表面を圧縮加
    工して、上記凹所を形成することを特徴とする請求項１
    ２に記載のシャドウマスクの製造方法。