JPH10208205A

JPH10208205A - 磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH10208205A
Application number: JP953397A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Hisamura; 達雄久村
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1997-01-22
Filing date: 1997-01-22
Publication date: 1998-08-07

Abstract

(57)【要約】【課題】アジマス角の大きな磁気ヘッドを生産性良く
製造する磁気ヘッドの製造方法を提案する。【解決手段】本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法
は、所定のアジマス角αを有する磁気ヘッドの製造方法
であって、少なくとも一方の面に磁性薄膜が形成された
基板を複数作製する工程と、複数の基板を、アジマス角
αに相当する角度よりも小さな角度βだけ傾けた状態で
積み重ねて相互に接合し、略平行四辺形状の磁気コア基
板ブロック１１を作製する工程と、この磁気コア基板ブ
ロック１１を、磁性薄膜の膜厚方向にｃ対してアジマス
角αに相当する角度αだけ傾けて切断し、対をなす略対
称な磁気コアハーフブロックを複数作製する工程とを有
し、その後、対をなす磁気コアハーフブロックに対して
所定の加工を施し、磁性薄膜を一対の基板によって挟み
込んでなる一対の磁気コア半体が所定のアジマス角αを
有するように突き合われた磁気ヘッドを作製する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テープ状磁気記録
媒体に対して記録再生を行う磁気ヘッドの製造方法に関
し、詳しくは、一対の磁気コア半体を突き合わせること
によって、所定のアジマス角を有する磁気ギャップが形
成される磁気ヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ビデオ・テープ・レコーダ等の磁
気記録再生装置においては、記録信号の高記録密度化
や、高周波化等が進められている。この高密度化に対応
した磁気記録媒体としては、磁性粉にＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
等の強磁性金属の粉末を用いたいわゆるメタルテープ
や、強磁性金属材料を蒸着法によりベースフィルム上に
被着したいわゆる蒸着テープ等が使用されるようになっ
ている。そして、このような磁気記録媒体が高い残留磁
束密度Ｂｒと高い保磁力Ｈｃを有するために、記録再生
に用いる磁気ヘッドは、ヘッド材料に高い飽和磁束密度
Ｂｓと高い透磁率を有することが要求されている。

【０００３】一方、上述のような磁気記録媒体の高密度
化に伴って、磁気記録媒体に記録される記録トラック幅
の狭小化も進められており、これに対応して磁気ヘッド
としては、トラック幅が極めて狭いものが要求されてい
る。

【０００４】そこで、従来においては、セラミックス材
料等からなる非磁性基板上に磁気コアとなる磁性薄膜を
被着形成し、これをトラック部分としたいわゆる複合型
磁気ヘッドが提案されている。

【０００５】この複合型磁気ヘッドを製造する際は、先
ず、図１６に示すように、非磁性基板３０の片面に磁気
コアとなる磁性薄膜３１を成膜し、この磁性薄膜３１上
に接合膜３２をスパッタリング法等の真空薄膜形成方法
により形成し、磁気コア基板３３を作成する。ここで、
接合膜３２としては、融着用ガラス膜、或いは、低温金
属接合用のＡｕ，Ａｇ，Ｐｄ等が用いられる。

【０００６】次に、非磁性基板３０上に磁性薄膜３１、
接合膜３２を形成してなる磁気コア基板３３を、図１７
に示すように、基準面３４上に磁性薄膜３１の膜厚方向
ａに積み重ね、最後に磁性膜膜３１、接合膜３２が成膜
されていない非磁性基板３０ａを重ねる。そして、図１
７中の矢印で示すように、積み重ねた磁気コア基板３３
の両側面から加圧しながら加熱処理を行い接合一体化す
ることで磁気コア基板ブロック３５を作製する。

【０００７】次に、この磁気コア基板ブロック３５を、
図１８及び図１９に示すように、磁気ヘッドのアジマス
角をαとしたとき、基準面３４から９０゜−αの角度だ
け傾けた切断線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃに沿って切断
し、互いに略対称な一対の磁気コア半体となる磁気コア
ハーフブロックを形成する。

【０００８】次に、これらの磁気コアハーフブロックの
うち、いずれか一方の磁気コアハーフブロックに、その
長手方向に沿って巻線溝を形成する。次に、巻線溝が形
成されていない磁気コアハーフブロックの片面と、磁気
コアハーフブロックの巻線溝が形成された面に対して平
滑研磨を施す。

【０００９】次に、これら磁気コアハーフブロックの突
き合わせ面にギャップスペーサーをスパッタリング法等
の真空薄膜形成法により形成した後、各磁気コアハーフ
ブロックにそれぞれ形成された磁性薄膜同士が相対向す
るように、突き合わせて加圧しながら加熱処理を行って
磁気コアブロックを作製する。

【００１０】次に、所定のギャップ深さとなるように、
媒体摺動面となる側からラップすることによって、所定
の曲率を有する媒体摺動面を形成し、磁性薄膜と平行に
チップ切断することで磁気ヘッドを完成する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述した磁気ヘッドの
製造方法においては、図１８及び図１９に示す磁気コア
基板ブロック３５を切断する工程において、切断面を基
準面３４から約９０゜−αの切断角で切断するために、
切り残り部分が生ずる。

【００１２】特に、アジマス角αの大きな磁気ヘッドを
作製する際、磁気コア基板３３に対する切断角９０゜−
αが大きくなってしまうために、この切り残り部分は、
大きくなってしまう。このように、上述した磁気ヘッド
の製造方法において、切り残り部分が大きくなると、磁
気コア基板３３の無駄が生じ、生産性が悪くなってしま
うという問題点がある。

【００１３】また、このような切り残り部分の減少を図
るために、図２０に示すように、予め磁気コア基板ブロ
ック３５をアジマス角に相当する角度αだけ傾けた状態
で重ね合わせ、これを基準面３６に対して図２０中の点
線で示すような切断面、すなわち、基準面３６に対して
垂直方向ａに切断する方法が提案されている。

【００１４】このような磁気ヘッドの製造方法によれ
ば、上述したような切り残り部分が基板の端部の三角形
部分のみとなり、磁気コア基板３３を有効に使え、歩留
まりの点で非常に有利である。

【００１５】しかしながら、このように磁気コア基板ブ
ロック３５を作製する際、積み重ねた磁気コア基板３３
を基準面３６の垂直方向ａに対して両面から加圧させて
作製するので、アジマス角αの大きな磁気ヘッドを製造
する際、それぞれの磁気コア基板３３がずれる方向に圧
力が働いてしまい、ずれてしまう。このようなそれぞれ
の磁気コア基板３３のずれは、アジマス角αの大きな磁
気ヘッドを製造する際に更に顕著となってしまう。した
がって、この磁気ヘッドの製造方法は、アジマス角αの
大きな磁気ヘッドの作製には適用できない。

【００１６】本発明は、上述した実情に鑑みて提案され
たものであり、アジマス角の大きな磁気ヘッドを生産性
良く製造する磁気ヘッドの製造方法を提案することを目
的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明にかかる磁気ヘッドの製造方法は、所定のアジマス
角を有する磁気ヘッドの製造方法であって、少なくとも
一方の面に磁性薄膜が形成された基板を複数作製する工
程と、複数の基板を、アジマス角に相当する角度よりも
小さな角度だけ傾けた状態で積み重ねて相互に接合し、
略平行四辺形状の磁気コア基板ブロックを作製する工程
と、この磁気コア基板ブロックを、磁性薄膜の膜厚方向
に対してアジマス角に相当する角度だけ傾けて切断し、
対をなす略対称な磁気コアハーフブロックを複数作製す
る工程とを有し、その後、対をなす磁気コアハーフブロ
ックに対して所定の加工を施し、磁性薄膜を一対の基板
によって挟み込んでなる一対の磁気コア半体が所定のア
ジマス角を有するように突き合われた磁気ヘッドを作製
することを特徴とする。

【００１８】なお、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、非磁性体から
なるものとしても良い。

【００１９】また、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、非磁性体と磁
性フェライト材からなる基板としても良い。

【００２０】また、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、磁性薄膜を、電気的絶縁膜を介して積層された構
造を有するものとしても良い。

【００２１】また、上記の磁気ヘッドの製造方法におい
ては、基板を傾ける角度が、５度〜２０度の範囲内であ
ることが望ましい。

【００２２】このような磁気ヘッドの製造方法は、複数
の基板を、アジマス角に相当する角度よりも小さな角度
だけ傾けた状態で積み重ねて相互に接合し、略平行四辺
形状の磁気コア基板ブロックを作製する工程と、磁気コ
ア基板ブロックを、磁性薄膜の膜厚方向に対してアジマ
ス角に相当する角度だけ傾けて切断し、対をなす略対称
な磁気コアハーフブロックを複数作製するので、アジマ
ス角の大きな磁気ヘッドを製造する際においても、従来
のように、切り残し部分が大きくなってしまうようなこ
とがなく、かつ、接合したそれぞれの基板がずれて、各
々の基板間の接合力が弱くなってしまうようなことがな
い。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる磁気ヘッド
の製造方法について図面を参照しながら詳細に説明す
る。

【００２４】本実施の形態にかかる磁気ヘッドの製造方
法によって製造される磁気ヘッド１は、図１に示すよう
に、磁気コアとなる磁性薄膜２ａを、その膜厚方向から
一対の非磁性基板３ａ，４ａによって挟み込んでなる磁
気コア半体５ａと、磁気コアとなる磁性薄膜２ｂを、そ
の膜厚方向から一対の非磁性基板３ｂ，４ｂによって挟
み込んでなる磁気コア半体５ｂとが、突き合わせ面に呈
する磁性薄膜２ａ，２ｂの端面同士を突き合わせてその
突き合わせ面に所定のアジマス角αを有する磁気ギャッ
プｇを形成してなる磁気ヘッドである。

【００２５】このような磁気ヘッド１を製造する際にお
いては、先ず、図２に示すように、例えばセラミック材
料からなる基板６の一方面に磁気コアとなる磁性薄膜７
を形成し、更に、この磁性薄膜７上に接合膜８を形成す
ることによって、磁気コア基板９を作製する。なお、こ
の磁性薄膜７及び接合膜８は、例えばスパッタリング法
等の真空薄膜形成法によって形成する。

【００２６】この磁性薄膜７としては、例えばＦｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓ
ｉ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ等、及びそれらに８原子％以下の
Ｃｏ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｒｕ，Ａｕ，Ｐ
ｄ，Ｎ，Ｃ，Ｏ等を一種又は数種添加した結晶質材料、
又はＣｏを主としてＺｒ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｍｏ，Ｎ
ｂの一種又は数種添加して構成されたアモルファス材
料、或いはＣｏ，Ｆｅに主としてＺｒ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｈ
ｆ，Ｍｏ，Ｎｂ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｂの一種又は数種とＮ，
Ｃ，Ｏの一種又は数種を添加して構成された微結晶材
料、等が選ばれる。また、接合膜８としては、融着用ガ
ラス膜、或いは、低温金属接合用のＡｕ，Ａｇ，Ｐｄ等
が用いられる。

【００２７】次に、図３及び図４に示すように、上述の
工程で磁性薄膜７及び接合膜８が形成された磁気コア基
板９を第１の基準面１０の方向ａに対して角度βだけ傾
けて積み重ねる。このとき、相互に積み重ねた磁気コア
基板９は、所定量ｔだけずれるようにして積み重ねられ
る。そして、最後に磁性薄膜７及び接合膜８が形成され
ていない基板６ａを積み重ねることによって、略平行四
辺形状とする。そして、このように積み重ねた磁気コア
基板９に対して磁性薄膜７の積層方向ｃに加圧しながら
加熱処理を行い、磁気コア基板ブロック１１を作製す
る。

【００２８】本実施の形態において、磁気コア基板９を
傾ける角度βは、完成された磁気ヘッドが有するアジマ
ス角αよりも小さくしている。これは、上記角度βを、
あまり大きくすると、接合時において積層方向ｃに加圧
することにより、加圧力がそれぞれの磁気コア基板９の
長軸方向ｂに働いて磁気コア基板９がずれてしまう虞が
あり、各磁気コア基板９相互の接合力が不十分となるか
らである。したがって、具体的には、例えば、アジマス
角αが２５゜程度の磁気ヘッドを作製する際は、この磁
気コア基板９を傾ける角度βは、５゜〜２０゜の範囲内
であることが望ましい。

【００２９】次に、この磁気コア基板ブロック１１を、
図４及び図５に示すように、積層方向ｃに平行な第２の
基準面１２に対して磁気ヘッド１のアジマス角αに相当
する角度αだけ傾けた切断線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃの
線に沿って切断し、図６に示すような互いに略対称な一
対の磁気コアハーフブロック１３を形成する。なお、第
２の基準面１２は、磁気コア基板９の膜厚方向と平行な
仮想面である。すなわち、磁気コア基板ブロック１１の
積層方向ｃに対してαの角度で斜めに切断することとな
る。

【００３０】次に、図７に示すように、いずれか一方の
磁気コアハーフブロック１３に対してコイルが巻回され
る巻線溝１４を磁気コアハーフブロック１３の長軸方向
に沿って形成する。そして、この巻線溝１４が形成され
た一方の磁気コアハーフブロック１３の接合面及び他方
の磁気コアハーフブロック１３の接合面に対して平滑研
磨を行う。

【００３１】次に、図８に示すように、上述の工程によ
り平滑研磨が施された面に対してギャップスペーサー１
５をスパッタリング法等の真空薄膜形成法により形成
し、双方の磁気コアハーフブロック１３をギャップスペ
ーサー１５を介してそれぞれの磁性薄膜７が対向するよ
うに突き合わせる。そして、突き合わせ方向よりこれら
磁気コアハーフブロック１３を加圧しながら加熱を行
う。その結果、これら磁気コアハーフブロック１３を、
接合一体化させ、磁気コアブロック１６とする。このよ
うに作製された磁気コアブロック１６は、各磁気コアハ
ーフブロック１３にそれぞれ形成された磁性薄膜７の突
き合わせ面間に、所定のアジマス角αを有する記録再生
ギャップとして機能する磁気ギャップｇが形成される。

【００３２】次に、接合一体化された磁気コアブロック
１６に対し、所定のギャップ深さとなるように、媒体摺
動面側から図８中の一点鎖線に至るまでラップを施すこ
とによって、所定の曲率を有する媒体摺動面を形成す
る。次に、この媒体摺動面が形成された磁気コアブロッ
ク１６に対して切断線Ｄ−Ｄ、Ｅ−Ｅに沿って切断する
ことによって磁気ヘッド１を完成させる。

【００３３】このような磁気ヘッドの製造方法では、磁
気コア基板ブロック１１を作製する際に、上述の工程で
磁性薄膜７が形成された磁気コア基板９を第１の基準面
１０に対してアジマス角αよりも小さな角度βで傾けて
積み重ねる。このとき、角度βが小さいので、磁気コア
基板ブロック１１を作製する際にも各磁気コア基板９に
ずれが生ずるようなことはない。また、磁気コア基板９
の積層方向Ｃに対して斜めに、すなわち、積層方向ｃか
ら磁気ヘッド１のアジマス角αに相当する角度だけ傾け
た切断面Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃに沿って切断してい
る。したがって、磁気コア基板９の切り残り部分が少な
くて済む。したがって、この磁気ヘッドの製造方法によ
れば、アジマス角αが大きな、例えばアジマス角が約２
０゜以上の磁気ヘッドを製造する際においても、磁気コ
ア基板９の無駄となる部分を少なくすることができ、生
産性を向上させることが可能である。

【００３４】ここで、長軸方向の長さが約３０ｍｍ、短
軸方向の長さが約１ｍｍの非磁性基板を３０枚積み重ね
て磁気コア基板を作製し、アジマス角αが約２５゜の磁
気ヘッドを製造した場合、従来の磁気ヘッドの製造方法
により、１つの磁気コア基板ブロック１１から得られる
磁気コアハーフブロックの数が６本となる。一方、本実
施の形態にかかる磁気ヘッドの製造方法によれば、製造
する磁気ヘッドのアジマス角αを２５゜とし、非磁性基
板を傾ける角度βを約２０゜とした場合、１つの磁気コ
ア基板ブロック１１から得られる磁気コアハーフブロッ
クの数が１０本となる。このように、本実施の形態にか
かる磁気ヘッドの製造方法によれば、磁気コア基板のほ
ぼ全てを磁気ヘッドとして使用することができるので、
生産性を向上させることが可能である。

【００３５】つぎに、本実施の形態にかかる磁気ヘッド
の製造方法の第２の実施の形態について説明する。

【００３６】なお、後述する第２の実施の形態におい
て、上述した実施の形態と同一部分については、同一名
称または同一符号を付することによってその詳細な説明
を省略する。

【００３７】第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドの製
造方法によって製造される磁気ヘッドは、図９に示すよ
うに、磁気コアとなる磁性薄膜２ａを、その膜厚方向か
ら一対の非磁性基板３ａ₁，４ａ₁及び磁性フェライト基
板３ａ₂，４ａ₂によって挟み込んでなる磁気コア半体５
ａと、磁気コアとなる磁性薄膜２ｂを、その膜厚方向か
ら一対の非磁性基板３ｂ₁，４ｂ₁及び磁性フェライト基
板３ｂ₂，４ｂ₂によって挟み込んでなる磁気コア半体５
ｂとが、突き合わせ面に呈する磁性薄膜２ａ，２ｂの端
面同士を突き合わせてその突き合わせ面に所定のアジマ
ス角αを有する磁気ギャップｇを形成してなる磁気ヘッ
ドである。すなわち、この磁気ヘッドは、媒体摺動面１
ａ側の基板３ａ₁，４ａ₁，３ｂ₁，４ｂ₁を非磁性材料か
らなるものとし、バックギャップ側の基板３ａ₂，４
ａ₂，４ｂ₂の材料を磁性フェライトからなるものを接合
した複合基板を用いて構成されている。なお、この磁気
ヘッドは、磁気コアを構成する磁性薄膜２ａ，２ｂとし
て非磁性薄膜を介して積層された構造となっている。

【００３８】このような磁気ヘッドの製造方法は、先
ず、非磁性基板１７と磁性フェライト基板１８とを接合
することによって複合基板を作製する。次に、この複合
基板１９の片面上に磁性薄膜と電気的絶縁膜とを交互に
スパッタし、その積層膜上に接合膜を形成することによ
って磁気コア基板１９を作製する。

【００３９】次に、図１０に示すように、上述の工程で
磁性薄膜、電気的絶縁膜及び接合膜が形成された磁気コ
ア基板１９を第１の基準面１０の方向ａに対して角度β
だけ傾けて積み重ねる。このとき、相互に積み重ねた磁
気コア基板１７は、所定量ｔだけずれるようにして積み
重ねられる。そして、最後に磁性薄膜、電気的絶縁膜及
び接合膜が形成されていない基板１９ａを積み重ねるこ
とによって、略平行四辺形状とする。そして、このよう
に積み重ねた磁気コア基板１９に対して磁性薄膜、電気
的絶縁膜の積層方向ｃに加圧しながら加熱処理を行い、
磁気コア基板ブロック２０を作製する。

【００４０】本実施の形態において、磁気コア基板１９
を傾ける角度βは、完成された磁気ヘッドが有するアジ
マス角αよりも小さくしている。これは、上記角度β
を、あまり大きくすると、接合時において積層方向ｃに
加圧することにより、加圧力がそれぞれの磁気コア基板
１９の長軸方向Ｂに働いて磁気コア基板１９がずれてし
まう虞があり、各磁気コア基板１９相互の接合力が不十
分となるからである。したがって、具体的には、例え
ば、アジマス角αが２５゜程度の磁気ヘッドを作製する
際は、この磁気コア基板１９を傾ける角度βは、５゜〜
２０゜の範囲内であることが望ましい。

【００４１】次に、この磁気コア基板ブロック２０を、
図１１に示すように、積層方向ｃに平行な第２の基準面
２１に対して磁気ヘッド１のアジマス角αに相当する角
度αだけ傾けた切断線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃの線に沿
って切断し、図１２に示すような互いに略対称な一対の
磁気コアハーフブロック２２を形成する。なお、第２の
基準面２１は、磁気コア基板１９の膜厚方向と平行な仮
想面である。すなわち、磁気コア基板ブロック２２の積
層方向ｃに対してαの角度で斜めに切断することとな
る。

【００４２】次に、図１３に示すように、いずれか一方
の磁気コアハーフブロック１３に対してコイルが巻回さ
れる巻線溝１４を磁気コアハーフブロック２２の長軸方
向に沿って形成する。そして、この巻線溝１４が形成さ
れた一方の磁気コアハーフブロック２２の接合面及び他
方の磁気コアハーフブロック２２の接合面に対して平滑
研磨を行う。

【００４３】次に、図１４に示すように、上述の工程に
より平滑研磨が施された面に対してギャップスペーサー
１５をスパッタリング法等の真空薄膜形成法により形成
し、双方の磁気コアハーフブロック１３をギャップスペ
ーサー１５を介してそれぞれの磁性薄膜７が対向するよ
うに突き合わせる。そして、突き合わせ方向よりこれら
磁気コアハーフブロック２２を加圧しながら加熱を行
う。その結果、これら磁気コアハーフブロック２を、接
合一体化させ、磁気コアブロック２３とする。このよう
に作製された磁気コアブロック２３は、各磁気コアハー
フブロック２２にそれぞれ形成された磁性薄膜の突き合
わせ面間に、所定のアジマス角αを有する記録再生ギャ
ップとして機能する磁気ギャップｇが形成される。

【００４４】次に、接合一体化された磁気コアブロック
２３に対し、所定のギャップ深さとなるように、媒体摺
動面側から図１４中の一点鎖線に至るまでラップを施す
ことによって、所定の曲率を有する媒体摺動面を形成す
る。次に、この媒体摺動面が形成された磁気コアブロッ
ク２３に対して切断線Ｄ−Ｄ、Ｅ−Ｅに沿って切断する
ことによって磁気ヘッドを完成させる。

【００４５】ここで、上記の非磁性基板は、磁気ヘッド
の媒体摺動面が磁気記録媒体と摺接することによる耐摩
耗性の向上を図り、媒体摺動面側に設けられる。一方、
磁性フェライトは、磁気ヘッドの媒体摺動面を除くよう
に設けられ、磁気回路の一部として機能するようになっ
ている。

【００４６】また、一対の基板に挟み込まれる磁性薄膜
２ａ，２ｂは、上述の単層構造となっているものに限ら
れず、図１５に示すように、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃
Ｏ₄等の酸化物や窒化物等のような電気的絶縁性膜を介
して膜厚の薄い磁性薄膜２ａ，２ｂを何層にも積層させ
た構造のものとしても良い。このように、磁性薄膜２
ａ，２ｂを、電気的絶縁性膜２４を介して何層にも積層
した積層膜とすることで、高周波数帯域での渦電流損を
大幅に低減させることができる。

【００４７】また、このように製造された磁気ヘッド
は、基板によってその膜厚方向より挟み込まれてなる磁
性薄膜の膜厚が、磁気ギャップｇのトラック幅Ｔ_wとな
っている。したがって、この磁気ヘッドは、上記磁性薄
膜の膜厚を変化させることにより容易に狭トラック化を
図ることができ、磁気記録媒体の高記録密度化に容易に
対処することができる。

【００４８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる磁気ヘッドの製造方法は、アジマス角に相当する角
度よりも小さな角度だけ傾けた状態で積み重ねて相互に
接合し、磁性薄膜の膜厚方向に対してアジマス角に相当
する角度だけ傾けて切断するので、基板を切断する際に
各基板がずれてしまうようなことがなく磁気ヘッドを製
造することができるとともに、各基板の切り残り部分を
少なくすることが可能である。したがって、この磁気ヘ
ッドの製造方法によれば、アジマス角の大きな磁気ヘッ
ドを製造する際においても、切り残り部分が多くなって
しまうようなことがなく、生産性を向上させることが可
能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。

【図２】基板上に磁性薄膜と接合膜とが形成された状態
の一例を示す斜視図である。

【図３】磁気コア基板を重ね合わせた状態で接合させ、
それぞれの基板を第１の基準面に対してβだけ傾けた状
態の一例を示す斜視図である。

【図４】基板を重ね合わせた状態で接合させ、それぞれ
の磁気コア基板を第１の基準面に対してβだけ傾けた状
態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の膜厚方
向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断する様子
を示す平面図である。

【図５】磁気コア基板を重ね合わせた状態で接合させ、
それぞれの磁気コア基板を基準面に対してβだけ傾けた
状態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の膜厚
方向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断する様
子を示す斜視図である。

【図６】一対の磁気コアハーフブロックの一例を示す斜
視図である。

【図７】いずれか一方の磁気コアハーフブロックに対し
て巻線溝を形成した状態の一例を示す斜視図である。

【図８】一対の磁気コアハーフブロックを接合した状態
の一例を示す斜視図である。

【図９】磁気ヘッドの他の一例を示す斜視図である。

【図１０】基板を重ね合わせた状態で接合させ、それぞ
れの磁気コア基板を第１の基準面に対してβだけ傾けた
状態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の膜厚
方向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断する様
子を示す斜視図である。

【図１１】磁気コア基板を重ね合わせた状態で接合さ
せ、それぞれの磁気コア基板を基準面に対してβだけ傾
けた状態で、磁気コア基板に形成されている磁性薄膜の
膜厚方向からαだけ傾けた位置で磁気コア基板を切断す
る様子を示す斜視図である。

【図１２】一対の磁気コアハーフブロックの一例を示す
斜視図である。

【図１３】いずれか一方の磁気コアハーフブロックに対
して巻線溝を形成した状態の一例を示す斜視図である。

【図１４】一対の磁気コアハーフブロックを接合した状
態の一例を示す斜視図である。

【図１５】磁気コア部分として、非磁性材料を介して磁
性薄膜を形成したものを使用した磁気ヘッドの一例を示
す斜視図である。

【図１６】基板上に磁性薄膜と接合膜とが形成された状
態を示す斜視図である。

【図１７】従来の磁気ヘッドの製造方法において、上面
に磁性薄膜と接合膜とが形成された基板を重ね合わせた
様子の一例を示す斜視図である。

【図１８】従来の磁気ヘッドの製造方法において、基準
面から９０゜−αの位置で各基板を切断する様子の一例
を示す斜視図である。

【図１９】従来の磁気ヘッドの製造方法において、基準
面から９０゜−αの位置で各基板を切断する様子を示す
平面図である。

【図２０】従来の磁気ヘッドの製造方法において、重ね
合わせた基板を基準面からαだけ傾けた状態で基準面と
垂直方向に切断する様子を示す平面図である。

【符号の説明】

１磁気ヘッド、２磁性薄膜、３基板、４基板、
５磁気コア半体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定のアジマス角を有する磁気ヘッドの
製造方法であって、少なくとも一方の面に磁性薄膜が形成された基板を複数
作製する工程と、上記複数の基板を、上記アジマス角に相当する角度より
も小さな角度だけ傾けた状態で積み重ねて相互に接合
し、略平行四辺形状の磁気コア基板ブロックを作製する
工程と、上記磁気コア基板ブロックを、磁性薄膜の膜厚方向に対
して上記アジマス角に相当する角度だけ傾けて切断し、
対をなす略対称な磁気コアハーフブロックを複数作製す
る工程とを有し、上記対をなす磁気コアハーフブロックに対して所定の加
工を施し、磁性薄膜を一対の基板によって挟み込んでな
る一対の磁気コア半体が、所定のアジマス角を有するよ
うに突き合わせた磁気ヘッドを作製することを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】上記磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、
非磁性体からなるものとしたことを特徴とする請求項１
記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】上記磁性薄膜を挟み込む一対の基板を、
非磁性体と磁性フェライト材からなるものとしたことを
特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】上記磁性薄膜を、電気的絶縁膜を介して
積層された構造を有するように形成したことを特徴とす
る請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】上記磁気コア基板ブロックを作製する際
に、上記基板を傾ける角度を、５度〜２０度の範囲内と
したことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造
方法。