JPS63214907A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS63214907A JPS63214907A JP4942387A JP4942387A JPS63214907A JP S63214907 A JPS63214907 A JP S63214907A JP 4942387 A JP4942387 A JP 4942387A JP 4942387 A JP4942387 A JP 4942387A JP S63214907 A JPS63214907 A JP S63214907A
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- Japan
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- magnetic
- glass
- welding
- films
- film
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は高密度磁気記録に適した磁気ヘッドに係り、
時に高保磁力媒体に数十ＭＨｓｇ程度の高周波数で記録
再生することに適した性能を有するＶ’Ｉ’Ｒ用の磁気
ヘッドの製造方法に関するものである。
時に高保磁力媒体に数十ＭＨｓｇ程度の高周波数で記録
再生することに適した性能を有するＶ’Ｉ’Ｒ用の磁気
ヘッドの製造方法に関するものである。
近年磁気記録の高密度化に伴いメタルテープ等の高保磁
力媒体に十分記録するためには、磁気ヘッド材料として
はフェライトでは不十分で飽和磁束密度の大きい金属磁
性体（センダスト、アモルファス、パーマロイ）を用い
る必要がある。
力媒体に十分記録するためには、磁気ヘッド材料として
はフェライトでは不十分で飽和磁束密度の大きい金属磁
性体（センダスト、アモルファス、パーマロイ）を用い
る必要がある。
この金属磁性体を用いた磁気ヘッドは各種提案されてい
る。例えば第１０図に示す特開昭６０−３２１０７号で
は強磁性醸化物コア半体（１４ａ。
る。例えば第１０図に示す特開昭６０−３２１０７号で
は強磁性醸化物コア半体（１４ａ。
１４ｂ）上に金属磁性体膜と絶縁体膜とを交互に形成し
く２３）、コア半体（１４ａ）、（１４ｂ）をギャップ
材（１ｇ）を挾んで突き合わせ非磁柱材（１３）で溶着
する。
く２３）、コア半体（１４ａ）、（１４ｂ）をギャップ
材（１ｇ）を挾んで突き合わせ非磁柱材（１３）で溶着
する。
また第１１図に示す磁気ヘッドは非磁性基板（ｌａ）、
（ｌｂ）に金属磁性体膜と絶縁体膜とを交互に積層（２
３１Ｌ、ギャップ材（ｇｌを挾んで突き合わせたもので
ある。
（ｌｂ）に金属磁性体膜と絶縁体膜とを交互に積層（２
３１Ｌ、ギャップ材（ｇｌを挾んで突き合わせたもので
ある。
更に第１２図は第１１図のものに更に非磁性コア（３１
）を貼り合わせたものである。
）を貼り合わせたものである。
しかし第１０図に示す磁気ヘッドでは使用最高周波数が
５〜６ ＭＨｚ程度であれば、あまり渦電流損の影響が
出ないため使用に耐えるが、渦電流損は厚さの二乗と周
波数の二乗に比例し抵抗率に反比例するので、金属磁性
体膜が磁路に対して大きく傾き、見掛は上の厚さが増大
しているこの磁気ヘッド（第１０図）では、数十ＭＨｚ
という高周波数において渦電流損が急激に増加し使用に
耐えない。また積層した絶縁体膜が疑似ギャップとして
働き、周波数特性が波打ついわゆるコンタ−効果が発生
する。また第１１図の磁気ヘッドでは金属磁性体膜が磁
路に対して平行なため上記欠点は発生しないがギャップ
（ｇｌがヘッド中央になく端に寄っておりテープとの当
たりが悪くなり、電磁変換特性を劣化させ実用に向かな
い。これを回避するため第１２図に示す磁気ヘッドが考
えられる。これは第１１図の金属磁性体膜側に非磁性材
コア（３１）を貼り合わせたものである。しかし、これ
はヘッドチップ一枚ずつに貼り合わせるために量産性に
欠け、また貼り合わせのための接着は有機接着剤で行な
われこの有機接着剤は経年変化し信頼ある接着が得られ
ず非磁性材コア（３１）と積層膜（２３）の間Ｋ［間が
生じ、テープ走行時にテープのバインダーが詰まるなど
信頼性にも欠ける。
５〜６ ＭＨｚ程度であれば、あまり渦電流損の影響が
出ないため使用に耐えるが、渦電流損は厚さの二乗と周
波数の二乗に比例し抵抗率に反比例するので、金属磁性
体膜が磁路に対して大きく傾き、見掛は上の厚さが増大
しているこの磁気ヘッド（第１０図）では、数十ＭＨｚ
という高周波数において渦電流損が急激に増加し使用に
耐えない。また積層した絶縁体膜が疑似ギャップとして
働き、周波数特性が波打ついわゆるコンタ−効果が発生
する。また第１１図の磁気ヘッドでは金属磁性体膜が磁
路に対して平行なため上記欠点は発生しないがギャップ
（ｇｌがヘッド中央になく端に寄っておりテープとの当
たりが悪くなり、電磁変換特性を劣化させ実用に向かな
い。これを回避するため第１２図に示す磁気ヘッドが考
えられる。これは第１１図の金属磁性体膜側に非磁性材
コア（３１）を貼り合わせたものである。しかし、これ
はヘッドチップ一枚ずつに貼り合わせるために量産性に
欠け、また貼り合わせのための接着は有機接着剤で行な
われこの有機接着剤は経年変化し信頼ある接着が得られ
ず非磁性材コア（３１）と積層膜（２３）の間Ｋ［間が
生じ、テープ走行時にテープのバインダーが詰まるなど
信頼性にも欠ける。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、使用周波数が数十ＭＨｚで十分使用に耐える
ために、金属磁性体膜あるいはそれと絶縁体膜による積
層膜と磁路とが平行な構造で量産効果に富みしかも信頼
性の高い磁気ヘッドを得るための製造方法を提供するこ
とを目的とする。
たもので、使用周波数が数十ＭＨｚで十分使用に耐える
ために、金属磁性体膜あるいはそれと絶縁体膜による積
層膜と磁路とが平行な構造で量産効果に富みしかも信頼
性の高い磁気ヘッドを得るための製造方法を提供するこ
とを目的とする。
この発明は係る製造方法は、まず非磁性基板に金属磁性
体膜あるいはそれと絶縁体膜による積層膜を形成し、そ
の上にさらに溶着用のガラスを蒸着し、もう一枚の非磁
性基板を更にその上に置き、高温溶着する。
体膜あるいはそれと絶縁体膜による積層膜を形成し、そ
の上にさらに溶着用のガラスを蒸着し、もう一枚の非磁
性基板を更にその上に置き、高温溶着する。
この発明においては、ヘッドチップ一枚一枚に非磁性材
コア（３１）を貼り合わす必要もなく、またガラス溶着
によりコアが接合されるので、非磁性材コアと金属磁性
体膜の間に隙間が出来ることなく、信頼性の高い磁気ヘ
ッドが得られる。
コア（３１）を貼り合わす必要もなく、またガラス溶着
によりコアが接合されるので、非磁性材コアと金属磁性
体膜の間に隙間が出来ることなく、信頼性の高い磁気ヘ
ッドが得られる。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図であり、（ｌ
ａ）、（ｌｂ）は非磁性基板である。
ａ）、（ｌｂ）は非磁性基板である。
第２図は非磁性基板（１ａ）上に金属磁性体膜（２）と
絶縁体膜（３１による積層膜（２３）をスパッタなどの
方法で積んだ図である。積層膜（２３）の膜厚はトラッ
ク幅（４）に相当する。
絶縁体膜（３１による積層膜（２３）をスパッタなどの
方法で積んだ図である。積層膜（２３）の膜厚はトラッ
ク幅（４）に相当する。
更に第３因のように積層膜（２３）上と基板（１ｂ）に
溶着ガラス（５）をスパッタなどの方法で積む。
溶着ガラス（５）をスパッタなどの方法で積む。
そして第４図に示す如くは基板（ｌａ）。
（１ｂ）を積層膜を間にして溶着ガラス（５）で高温溶
着する。
着する。
これを第５図に示す如く所定の寸法に切断して複数個の
コア半体にする。
コア半体にする。
かかるコア半体を複数個第６図に示す如くＬ字状の台（
６）に並べ、ギャップ面（９）を研磨し、この面にギャ
ップ材（１２）を積む（第８図参照）。
６）に並べ、ギャップ面（９）を研磨し、この面にギャ
ップ材（１２）を積む（第８図参照）。
他方で第７図に示す如く巻線溝（７）、ガラス用切り溝
（８）を切り込み形成したものを作る。
（８）を切り込み形成したものを作る。
第６図で形成したものと第７図で形成したものとを、第
８図に示す如く突き合わせ、低融点溶着ガラス（１０）
を配置して、加重（１１）を掛けて高温溶着する。その
後、Ｌ字状の台（６）をはずしガラスで接合された部分
を切断して所定寸法に切断すれば磁気ヘッドが出来る。
８図に示す如く突き合わせ、低融点溶着ガラス（１０）
を配置して、加重（１１）を掛けて高温溶着する。その
後、Ｌ字状の台（６）をはずしガラスで接合された部分
を切断して所定寸法に切断すれば磁気ヘッドが出来る。
第９図ｔａｒは得られた磁気ヘッドの斜視図であり、第
９図（ｂｌはそのギャップ近傍を拡大して示す図である
。いうまでもないが、切断時にアジマス角相当分角度を
付けて切断したり、あるいは傾斜新暦すれば、アジマス
角の付いた磁気ヘッドが出来るのは当然のことである。
９図（ｂｌはそのギャップ近傍を拡大して示す図である
。いうまでもないが、切断時にアジマス角相当分角度を
付けて切断したり、あるいは傾斜新暦すれば、アジマス
角の付いた磁気ヘッドが出来るのは当然のことである。
このような製造方法で得られた磁気ヘッドは、高保磁力
媒体に記録再生が可能で数十ＭＨ２というデジタルＶＴ
Ｒに対応する周波数でも十分に高い記録再生特性を持つ
という性能を満足Ｔるだけでなく、一つ一つ非磁性材を
貼り合わせるという非量産性的な工程を有さす、更に、
接合は総て溶着ガラスで行なっているので信頼性も高い
。
媒体に記録再生が可能で数十ＭＨ２というデジタルＶＴ
Ｒに対応する周波数でも十分に高い記録再生特性を持つ
という性能を満足Ｔるだけでなく、一つ一つ非磁性材を
貼り合わせるという非量産性的な工程を有さす、更に、
接合は総て溶着ガラスで行なっているので信頼性も高い
。
なお、上記実施例では積層膜について述べたがトラック
幅がきわめて狭い場合や、使用周波数が数ＭＨｚである
場合などは、金属磁性体膜単層であっても良い。
幅がきわめて狭い場合や、使用周波数が数ＭＨｚである
場合などは、金属磁性体膜単層であっても良い。
才た、Ｗｉ６図から第８図に示した態様は一例であって
他の量産性ある態様を採用出来ることはいうまでもない
。
他の量産性ある態様を採用出来ることはいうまでもない
。
また、第２図、第３図に招いて積層膜を片方の基板のみ
に積んだが、両方の基板に等分あるいは他の割合で金属
磁性体膜あるいはその積層膜を積んでも良い。ただし、
その合計の膜厚がトラック幅になることは当然である。
に積んだが、両方の基板に等分あるいは他の割合で金属
磁性体膜あるいはその積層膜を積んでも良い。ただし、
その合計の膜厚がトラック幅になることは当然である。
更に、積層膜の成膜あるいは溶着ガラスの成膜について
は、いろいろな方法、例えばスパッタ、０ＶＩ）（ケミ
カル ヴエイパー デポジション）、プラズマＯＶＤ、
光Ｃ！ＶＤ 、電子ビーム蒸着などあり、その装置、方
法に対してはいかなる制限を付けるものではない。
は、いろいろな方法、例えばスパッタ、０ＶＩ）（ケミ
カル ヴエイパー デポジション）、プラズマＯＶＤ、
光Ｃ！ＶＤ 、電子ビーム蒸着などあり、その装置、方
法に対してはいかなる制限を付けるものではない。
この発明は以上説明したとおり、金属磁性体膜を間に挾
み溶着ガラスで二枚の非磁性基板を接合するので、高保
磁力媒体、高周波数に対応する磁気ヘッドが、高信頼性
を持ちかつ量産性に優れた方法に適用出来るという効果
がある。
み溶着ガラスで二枚の非磁性基板を接合するので、高保
磁力媒体、高周波数に対応する磁気ヘッドが、高信頼性
を持ちかつ量産性に優れた方法に適用出来るという効果
がある。
第１図乃至第９図はこの発明の一実施例を示す図であり
、製造工程を順次追って並べており、第１図は二枚の非
磁性基板の斜視図、第２図は一方の非磁性基板に金属磁
性体膜と絶縁体膜との積層膜を形成した図、第３図（ａ
）は積層膜を有する非磁性基板に溶着ガラスの膜を積ん
だ図、８３図（ｔ）ｌは積層膜を有しない非磁性基板に
溶着ガラスの膜を積んだ図、第４図は第３図（ＩＬ）で
得られたものと第３図（１）ｌで得られたものを溶着ガ
ラスの膜により高温溶着した図、第５図は第４図のもの
を切断する態様を示す図、第６図は第５図で切断して得
られたものを並べ変える態様を示す凶、第７図は第６図
と並行した工程であり巻線溝を形成したものを示す図、
第８図は第６図で得られたものと第７図で得られたもの
とを突き合わせて溶着ガラスで高温溶着する態様を示す
図、第９図（ａｔは第８図で得られたものを更に切断し
て得た磁気ヘッドを示す図、第９図（１）１は第９図（
ａｔのギャップ部を拡大して示す図である。 嘆１０（支）は＃キのｍ便ヘッｙル云す暮Ｊ「ヅである
。 第１１図は別の従来例の磁気ヘッドを示す斜視図である
。 第１２図は更に別の従来例の磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。 図において（ｌａ）、（ｌｂ）は非磁性基板、（２）は
金属磁性体膜、（３）は絶縁体膜、（４）はトラック幅
、（２３）は金属磁性体膜と絶縁体膜とによる積層膜、
（５）は溶着ガラス、（６）は５字状の台、（７）は巻
線溝、（８）はガラス用切り溝、（９）はギャップｍ、
（１０）は低融点ガラス、（１１）は加重、（１２）は
ギャップ材、（ｇ）はギャップ、（１３）は非磁性膜、
（１４ａ）、（１４ｂ）は磁気コア半体、（３１）は非
磁性材コアである。 なお、各図面中同−符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄第１図 第２図 第５図 第６図 Ｎ噂偽 ５に５
、製造工程を順次追って並べており、第１図は二枚の非
磁性基板の斜視図、第２図は一方の非磁性基板に金属磁
性体膜と絶縁体膜との積層膜を形成した図、第３図（ａ
）は積層膜を有する非磁性基板に溶着ガラスの膜を積ん
だ図、８３図（ｔ）ｌは積層膜を有しない非磁性基板に
溶着ガラスの膜を積んだ図、第４図は第３図（ＩＬ）で
得られたものと第３図（１）ｌで得られたものを溶着ガ
ラスの膜により高温溶着した図、第５図は第４図のもの
を切断する態様を示す図、第６図は第５図で切断して得
られたものを並べ変える態様を示す凶、第７図は第６図
と並行した工程であり巻線溝を形成したものを示す図、
第８図は第６図で得られたものと第７図で得られたもの
とを突き合わせて溶着ガラスで高温溶着する態様を示す
図、第９図（ａｔは第８図で得られたものを更に切断し
て得た磁気ヘッドを示す図、第９図（１）１は第９図（
ａｔのギャップ部を拡大して示す図である。 嘆１０（支）は＃キのｍ便ヘッｙル云す暮Ｊ「ヅである
。 第１１図は別の従来例の磁気ヘッドを示す斜視図である
。 第１２図は更に別の従来例の磁気ヘッドを示す斜視図で
ある。 図において（ｌａ）、（ｌｂ）は非磁性基板、（２）は
金属磁性体膜、（３）は絶縁体膜、（４）はトラック幅
、（２３）は金属磁性体膜と絶縁体膜とによる積層膜、
（５）は溶着ガラス、（６）は５字状の台、（７）は巻
線溝、（８）はガラス用切り溝、（９）はギャップｍ、
（１０）は低融点ガラス、（１１）は加重、（１２）は
ギャップ材、（ｇ）はギャップ、（１３）は非磁性膜、
（１４ａ）、（１４ｂ）は磁気コア半体、（３１）は非
磁性材コアである。 なお、各図面中同−符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄第１図 第２図 第５図 第６図 Ｎ噂偽 ５に５
Claims (3)
- （１）二枚の非磁性基板の片方あるいは両方に物理的あ
るいは化学的蒸着法を用いて金属磁性体膜をトラック幅
に相当する膜厚まで形成する工程、更にその基板の片方
あるいは両方に溶着のためのガラス膜を物理的あるいは
化学的蒸着法を用いて形成する工程、その二枚の基板を
金属磁性体膜を挾んで前工程で形成したガラスで溶着す
る工程からなるコア半体の製造過程を含むことを特徴と
する磁気ヘッドの製造方法。 - （２）金属磁性体膜が渦電流損を迎えるために、金属磁
性体膜と絶縁体膜を交互に積んだいわゆる積層膜である
特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方法。 - （３）非磁性基板が大面積で溶着後に切断により大量に
コア半体を得る特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4942387A JPS63214907A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4942387A JPS63214907A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63214907A true JPS63214907A (ja) | 1988-09-07 |
Family
ID=12830671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4942387A Pending JPS63214907A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63214907A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5079664A (en) * | 1989-01-31 | 1992-01-07 | Pioneer Electronic Corporation | Magnetic head with a laminated magnetic film thicker than a track width |
-
1987
- 1987-03-03 JP JP4942387A patent/JPS63214907A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5079664A (en) * | 1989-01-31 | 1992-01-07 | Pioneer Electronic Corporation | Magnetic head with a laminated magnetic film thicker than a track width |
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