JPH10225610A - 吸着塔の再生方法及び再生装置 - Google Patents
吸着塔の再生方法及び再生装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、空気分離装置に付帯する吸着塔の再
生を従来より効率良く行う吸着塔の再生方法及び再生装
置を提供することを目的としている。 【解決手段】空気分離装置で使用する原料空気中の水分
及び炭酸ガスを吸着する吸着塔の再生工程に、該空気分
離装置で又は別途製造され水分及びＣＯ2 を含まない製
品ガスを使用する。
生を従来より効率良く行う吸着塔の再生方法及び再生装
置を提供することを目的としている。 【解決手段】空気分離装置で使用する原料空気中の水分
及び炭酸ガスを吸着する吸着塔の再生工程に、該空気分
離装置で又は別途製造され水分及びＣＯ2 を含まない製
品ガスを使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気分離装置へ供
給する原料空気の清浄化に使用した吸着塔の再生を合理
的に行い、上記空気分離装置の停止後再運転時に要する
起動時間を短縮することのできる吸着塔の再生方法及び
再生装置に関する。
給する原料空気の清浄化に使用した吸着塔の再生を合理
的に行い、上記空気分離装置の停止後再運転時に要する
起動時間を短縮することのできる吸着塔の再生方法及び
再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、酸素ガスや窒素ガスを大量生産
するには、深冷分離法に基づく空気液化分離装置（以
下、空気分離装置）が使用される。そして、該空気分離
装置の運転に際しては、その寒冷部に水分や二酸化炭素
を持ち込まないように、原料である空気（以下、原料空
気）から水分及び二酸化炭素（以下，ＣＯ2 ）を予め吸
着除去する必要がある。そのため、空気分離装置の前段
には、水分吸着用の活性アルミナからなる吸着剤と、Ｃ
Ｏ2 吸着用のゼオライト（商品名：モレキュラ・シーブ
ス）からなる吸着剤を２層に充填した吸着塔が、設けら
れる。なお、一般に、原料空気は塔の下方より上方へ向
け供給されるので、下層に水分用、上層にＣＯ2 用の吸
着剤が充填される。
するには、深冷分離法に基づく空気液化分離装置（以
下、空気分離装置）が使用される。そして、該空気分離
装置の運転に際しては、その寒冷部に水分や二酸化炭素
を持ち込まないように、原料である空気（以下、原料空
気）から水分及び二酸化炭素（以下，ＣＯ2 ）を予め吸
着除去する必要がある。そのため、空気分離装置の前段
には、水分吸着用の活性アルミナからなる吸着剤と、Ｃ
Ｏ2 吸着用のゼオライト（商品名：モレキュラ・シーブ
ス）からなる吸着剤を２層に充填した吸着塔が、設けら
れる。なお、一般に、原料空気は塔の下方より上方へ向
け供給されるので、下層に水分用、上層にＣＯ2 用の吸
着剤が充填される。
【０００３】これらの吸着剤は、一定時間使用すると、
当然のことながら吸着能力が失われる。そこで、上記吸
着塔は、通常２基設けられ、一定の時間間隔で交互に切
り換えて連続的に使用されるようになっている。つま
り、１基が原料空気を吸着処理している間に、他方の塔
は、吸着剤から吸着された水分及びＣＯ2 を脱着し、所
謂再生を行うのである。
当然のことながら吸着能力が失われる。そこで、上記吸
着塔は、通常２基設けられ、一定の時間間隔で交互に切
り換えて連続的に使用されるようになっている。つま
り、１基が原料空気を吸着処理している間に、他方の塔
は、吸着剤から吸着された水分及びＣＯ2 を脱着し、所
謂再生を行うのである。
【０００４】ところで、この再生は、従来より、空気分
離装置の運転中に行われ、該空気分離装置から水分及び
ＣＯ2 を含有していない廃ガスあるいは低純度窒素ガス
の一部を受け入れ、それを再生用ガスとして使用してい
る。通常、この再生用ガスは、例えば、特開平４−２５
７６８８号公報や特開平６−３３９６１２号公報に開示
されているように、１７０℃（モレキュラ・シーブスの
再生に必要な温度）まで加熱され、前記吸着塔の上方か
ら下方に向けて一定時間流され、系外に排出される。そ
れによって、吸着物は、脱着除去されるので、その後、
低温の窒素ガスに切り換えて該吸着剤を冷却し、吸着塔
として再使用できるようになる。
離装置の運転中に行われ、該空気分離装置から水分及び
ＣＯ2 を含有していない廃ガスあるいは低純度窒素ガス
の一部を受け入れ、それを再生用ガスとして使用してい
る。通常、この再生用ガスは、例えば、特開平４−２５
７６８８号公報や特開平６−３３９６１２号公報に開示
されているように、１７０℃（モレキュラ・シーブスの
再生に必要な温度）まで加熱され、前記吸着塔の上方か
ら下方に向けて一定時間流され、系外に排出される。そ
れによって、吸着物は、脱着除去されるので、その後、
低温の窒素ガスに切り換えて該吸着剤を冷却し、吸着塔
として再使用できるようになる。
【０００５】ところで、前記空気分離装置は、エネルギ
ーの使用効率等の装置特性の観点から、通常は２４時間
運転を原則としている。しかしながら、空気分離装置と
いえども機械であるので損耗や故障があり、定期的ある
いは突発的に停止をする場合がある。また、酸素及び窒
素ガスの大量使用先でプラントの突発休止や定期休止の
影響で、休止させられる場合もある。さらには、ガス製
造メーカが、空気分離装置を電力費の安価な夜間のみ運
転する場合もある。かかる空気分離装置の運転休止があ
ると、前記した吸着塔の再生方法は、不都合な問題を抱
えていたのである。すなわち、２基の吸着塔のうち、ど
ちらか一方の塔が完全に再生を完了しない時点で空気分
離装置を停止しておくと、再起動の際に、どちらの塔も
吸着塔として正常に働かないことがある。
ーの使用効率等の装置特性の観点から、通常は２４時間
運転を原則としている。しかしながら、空気分離装置と
いえども機械であるので損耗や故障があり、定期的ある
いは突発的に停止をする場合がある。また、酸素及び窒
素ガスの大量使用先でプラントの突発休止や定期休止の
影響で、休止させられる場合もある。さらには、ガス製
造メーカが、空気分離装置を電力費の安価な夜間のみ運
転する場合もある。かかる空気分離装置の運転休止があ
ると、前記した吸着塔の再生方法は、不都合な問題を抱
えていたのである。すなわち、２基の吸着塔のうち、ど
ちらか一方の塔が完全に再生を完了しない時点で空気分
離装置を停止しておくと、再起動の際に、どちらの塔も
吸着塔として正常に働かないことがある。
【０００６】そこで、実際の操業では、空気分離装置を
再起動する際には、例えば一方の吸着塔（停止前には、
吸着側で使用）に、原料空気総量の１／５のみを再生用
ガスとして流し、その状態で旧再生側の塔を完全に再生
し直してから立ち上げるか、あるいはどちらか一方の塔
が完全に再生したタイミングで、空気分離装置を停める
ようにしていた。しかしながら、かかる対策では、起動
に数時間（２〜８時間）を要し、また、空気分離装置の
停止時のチャンスロス（いつでも停止できないための待
ち時間 、例えば３時間）が発生するという問題があ
り、吸着塔の再生が、空気分離装置の円滑、且つ安定運
転の障害になっていた。
再起動する際には、例えば一方の吸着塔（停止前には、
吸着側で使用）に、原料空気総量の１／５のみを再生用
ガスとして流し、その状態で旧再生側の塔を完全に再生
し直してから立ち上げるか、あるいはどちらか一方の塔
が完全に再生したタイミングで、空気分離装置を停める
ようにしていた。しかしながら、かかる対策では、起動
に数時間（２〜８時間）を要し、また、空気分離装置の
停止時のチャンスロス（いつでも停止できないための待
ち時間 、例えば３時間）が発生するという問題があ
り、吸着塔の再生が、空気分離装置の円滑、且つ安定運
転の障害になっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる事情
に鑑み、空気分離装置に付帯する吸着塔の再生を従来よ
り効率良く行う吸着塔の再生方法及び再生装置を提供す
ることを目的としている。
に鑑み、空気分離装置に付帯する吸着塔の再生を従来よ
り効率良く行う吸着塔の再生方法及び再生装置を提供す
ることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】発明者は、上記目的を達
成するため、吸着塔の再生を、空気分離装置から循環さ
れてくる廃ガスを利用しないでも可能とすることに着眼
して鋭意研究を行った。そして、空気分離装置の運転中
に、該空気分離装置から供給される再生用ガスが規定量
に達しない時、あるいは該空気分離装置の停止時に、別
ルートの再生用ガスを有効利用するようにすると共に、
再生用ガスの切り換えや、加熱あるいは冷却の判断を自
動化するようにして、本発明を完成した。
成するため、吸着塔の再生を、空気分離装置から循環さ
れてくる廃ガスを利用しないでも可能とすることに着眼
して鋭意研究を行った。そして、空気分離装置の運転中
に、該空気分離装置から供給される再生用ガスが規定量
に達しない時、あるいは該空気分離装置の停止時に、別
ルートの再生用ガスを有効利用するようにすると共に、
再生用ガスの切り換えや、加熱あるいは冷却の判断を自
動化するようにして、本発明を完成した。
【０００９】すなわち、本発明は、空気分離装置で使用
する原料空気中の水分及び炭酸ガスを吸着する吸着塔の
再生工程に、該空気分離装置で又は別途製造され水分及
びＣＯ2 を含まない製品ガスを使用することを特徴とす
る吸着塔の再生方法である。また、本発明は、前記製品
ガスを、空気分離装置の運転休止後再開前に、前記吸着
塔に流したり、あるいは前記製品ガスを、窒素ガスとす
ることを特徴とする吸着塔の再生方法である。
する原料空気中の水分及び炭酸ガスを吸着する吸着塔の
再生工程に、該空気分離装置で又は別途製造され水分及
びＣＯ2 を含まない製品ガスを使用することを特徴とす
る吸着塔の再生方法である。また、本発明は、前記製品
ガスを、空気分離装置の運転休止後再開前に、前記吸着
塔に流したり、あるいは前記製品ガスを、窒素ガスとす
ることを特徴とする吸着塔の再生方法である。
【００１０】さらに、本発明は、空気分離装置の休止後
の経過時間に応じて、前記製品ガスを加熱するか冷却す
るかを判断し、該判断に基づいて該製品ガスを加熱ある
いは冷却して流すことを特徴とする吸着塔の再生方法で
ある。加えて、本発明は、空気分離装置に付帯し、吸着
剤が充填され、原料空気中の水分及び炭酸ガスの吸着と
脱着再生を交互に切り換えて使用する複数の吸着塔と、
該吸着塔に流す上記空気分離装置からの再生用ガスを供
給する配管と、該再生用ガスを加熱する加熱器とを備え
た吸着塔の再生装置において、上記再生用ガスの配管に
連設され、前記製品ガスを別途供給するガス導入管と、
上記吸着塔の使用を吸着あるいは再生に切り換える切換
装置と、空気分離装置の運転停止情報及び上記切換装置
からの切り換え情報を受け、上記配管及びガス導入管に
備えた流量調整弁の開閉を指示する演算制御装置とを有
することを特徴とする吸着塔の再生装置である。
の経過時間に応じて、前記製品ガスを加熱するか冷却す
るかを判断し、該判断に基づいて該製品ガスを加熱ある
いは冷却して流すことを特徴とする吸着塔の再生方法で
ある。加えて、本発明は、空気分離装置に付帯し、吸着
剤が充填され、原料空気中の水分及び炭酸ガスの吸着と
脱着再生を交互に切り換えて使用する複数の吸着塔と、
該吸着塔に流す上記空気分離装置からの再生用ガスを供
給する配管と、該再生用ガスを加熱する加熱器とを備え
た吸着塔の再生装置において、上記再生用ガスの配管に
連設され、前記製品ガスを別途供給するガス導入管と、
上記吸着塔の使用を吸着あるいは再生に切り換える切換
装置と、空気分離装置の運転停止情報及び上記切換装置
からの切り換え情報を受け、上記配管及びガス導入管に
備えた流量調整弁の開閉を指示する演算制御装置とを有
することを特徴とする吸着塔の再生装置である。
【００１１】本発明では、空気分離装置の吸着塔の再生
方法及び再生装置を、上記のような構成にしたので、空
気分離装置の運転停止後再開前にも再生ができるように
なり、再起動に際して従来のような吸着塔の再生を行う
必要がなくなる。その結果、起動時間の短縮が図れるよ
うになり、空気分離装置の円滑で安定な運転が可能にな
った。
方法及び再生装置を、上記のような構成にしたので、空
気分離装置の運転停止後再開前にも再生ができるように
なり、再起動に際して従来のような吸着塔の再生を行う
必要がなくなる。その結果、起動時間の短縮が図れるよ
うになり、空気分離装置の円滑で安定な運転が可能にな
った。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る吸着塔の再
生方法を実施するための装置例を模式的に示したもので
あり、本発明の実施に関係のある弁や機器のみを表示
し、無関係なものは省略してある。まず、従来の再生方
法を説明すると、空気分離装置（図示せず）の運転中、
圧縮機（図示せず）を介して供給される原料空気１は、
図１中に記載した各種の弁２の操作により２つの吸着塔
３の一方（ここでは、仮にＮｏ．１とする）に下方から
導入され、最初に、水分、次にＣＯ2 が順次に吸着、除
去される。清浄になった原料空気１は、同じく弁２の操
作で次工程（図示していない空気分離装置の寒冷部）へ
と流れて行く。他方のＮｏ．２吸着塔３には、空気分離
装置からの廃ガス４が、ブロア５を介し再生用ガスとし
てＮｏ．２吸着塔３の上方より下方へ向け送りこまれ、
該塔３内の吸着剤にすでに吸着されているＣＯ2 及び水
分をこの順で脱着除去して、該塔３を再度吸着塔として
働くように再生する。その際、該再生ガスは、通常１７
０℃程度に電熱ヒータ等の加熱器６で一定時間加熱さ
れ、脱着終了と判断された後には、該加熱器６の電源を
切って冷却さるようになる。
生方法を実施するための装置例を模式的に示したもので
あり、本発明の実施に関係のある弁や機器のみを表示
し、無関係なものは省略してある。まず、従来の再生方
法を説明すると、空気分離装置（図示せず）の運転中、
圧縮機（図示せず）を介して供給される原料空気１は、
図１中に記載した各種の弁２の操作により２つの吸着塔
３の一方（ここでは、仮にＮｏ．１とする）に下方から
導入され、最初に、水分、次にＣＯ2 が順次に吸着、除
去される。清浄になった原料空気１は、同じく弁２の操
作で次工程（図示していない空気分離装置の寒冷部）へ
と流れて行く。他方のＮｏ．２吸着塔３には、空気分離
装置からの廃ガス４が、ブロア５を介し再生用ガスとし
てＮｏ．２吸着塔３の上方より下方へ向け送りこまれ、
該塔３内の吸着剤にすでに吸着されているＣＯ2 及び水
分をこの順で脱着除去して、該塔３を再度吸着塔として
働くように再生する。その際、該再生ガスは、通常１７
０℃程度に電熱ヒータ等の加熱器６で一定時間加熱さ
れ、脱着終了と判断された後には、該加熱器６の電源を
切って冷却さるようになる。
【００１３】これに対して、本発明では、上記ブロア５
の２次側（下流）の再生用ガス配管７に、少なくとも該
ブロア５の運転圧力以上に加圧した製品ガス１１を導入
できるよう、図１に破線で囲んだガス導入管８を別途設
けたことに特徴がある。かかる導入管８があると、空気
分離装置の停止があっても、あるいは再生用の廃ガス４
が不足した時でも、空気分離装置の運転停止と無関係な
製品ガス１１が再生ガスとして利用できるようになる。
導入ガスとしては、既に該空気分離装置で製造され、製
品としてホルダ（図示せず）に蓄積されている酸素や窒
素ガス、あるいはそれらの混合ガス、他の空気分離装置
で製造され、余剰となっている窒素や酸素ガス、あるい
はそれらの混合ガス、また除湿処理された空気、さらに
は別途購入した市販ガスが利用できる。いずれにして
も、用途上、水分及びＣＯ2 が除去されていることが、
条件である。また、図１では、新たなガス導入管８をブ
ロア５の２次側に接続したが、ブロア５の１次側（上
流）にすることも可能で、その場合、製品ガスは昇圧が
不要となり、一層経済的である。
の２次側（下流）の再生用ガス配管７に、少なくとも該
ブロア５の運転圧力以上に加圧した製品ガス１１を導入
できるよう、図１に破線で囲んだガス導入管８を別途設
けたことに特徴がある。かかる導入管８があると、空気
分離装置の停止があっても、あるいは再生用の廃ガス４
が不足した時でも、空気分離装置の運転停止と無関係な
製品ガス１１が再生ガスとして利用できるようになる。
導入ガスとしては、既に該空気分離装置で製造され、製
品としてホルダ（図示せず）に蓄積されている酸素や窒
素ガス、あるいはそれらの混合ガス、他の空気分離装置
で製造され、余剰となっている窒素や酸素ガス、あるい
はそれらの混合ガス、また除湿処理された空気、さらに
は別途購入した市販ガスが利用できる。いずれにして
も、用途上、水分及びＣＯ2 が除去されていることが、
条件である。また、図１では、新たなガス導入管８をブ
ロア５の２次側に接続したが、ブロア５の１次側（上
流）にすることも可能で、その場合、製品ガスは昇圧が
不要となり、一層経済的である。
【００１４】次に、かかる基本的な構造に、本発明で
は、再生の迅速化、安定化を目的として改良を加え、図
２に示す装置を考えた。つまり、従来の吸着塔３の再生
装置において、前記製品ガス１１を別途供給するガス導
入管８の他に、上記吸着塔３の使用を吸着あるいは再生
に切り換える切換装置９と、空気分離装置の運転停止情
報及び上記切換装置からの切り換え情報を受け、上記配
管７及びガス導入管８に備えた流量調整弁２の開閉を指
示する演算制御装置１０とを設け、再生の自動化を図っ
たのである。
は、再生の迅速化、安定化を目的として改良を加え、図
２に示す装置を考えた。つまり、従来の吸着塔３の再生
装置において、前記製品ガス１１を別途供給するガス導
入管８の他に、上記吸着塔３の使用を吸着あるいは再生
に切り換える切換装置９と、空気分離装置の運転停止情
報及び上記切換装置からの切り換え情報を受け、上記配
管７及びガス導入管８に備えた流量調整弁２の開閉を指
示する演算制御装置１０とを設け、再生の自動化を図っ
たのである。
【００１５】かかる装置を使用すると、２基の吸着塔３
のうち、どちらか一方の塔３が完全に再生を完了しない
時点で空気分離装置が停止されてあっても、再起動の際
に、非常に円滑に吸着塔３の再生ができるようになる。
この装置の運転方法、つまり本発明に係る再生方法の１
つを、図３に流れ図で示す。図３には、再生ガスの加熱
及び冷却判断まで組み込まれており、空気分離装置の停
止時に吸着塔３の再生状態がいかなる状況にあっても、
運転再開時には迅速且つ円滑に対応できることが明らか
である。なお、図３は、原料空気１の処理能力が１３
０、０００Ｎｍ3 ／ｈｒ、吸着塔３の相互の切替時間が
２時間半のプラントでの再生シーケンスである。これに
よれば、プラント停止から４時間以内であれば、再生の
残りを行えば再生完了するので、再生処理を行う時間を
短くすることができる。
のうち、どちらか一方の塔３が完全に再生を完了しない
時点で空気分離装置が停止されてあっても、再起動の際
に、非常に円滑に吸着塔３の再生ができるようになる。
この装置の運転方法、つまり本発明に係る再生方法の１
つを、図３に流れ図で示す。図３には、再生ガスの加熱
及び冷却判断まで組み込まれており、空気分離装置の停
止時に吸着塔３の再生状態がいかなる状況にあっても、
運転再開時には迅速且つ円滑に対応できることが明らか
である。なお、図３は、原料空気１の処理能力が１３
０、０００Ｎｍ3 ／ｈｒ、吸着塔３の相互の切替時間が
２時間半のプラントでの再生シーケンスである。これに
よれば、プラント停止から４時間以内であれば、再生の
残りを行えば再生完了するので、再生処理を行う時間を
短くすることができる。
【００１６】なお、空気分離装置の停止後再開前の再生
に際し、再生用ガスの加熱（つまり、脱着）から始める
か、冷却（脱着は終了）から初めるかの判断基準を、図
３では、停止後４時間以内とした。その理由は、以下の
通りである。再生を途中で停止すると、再生用ガスの供
給が絶たれるので、熱や脱着したＣＯ2 は再生が完了し
た部分に拡散する。従って、停止後ある一定時間が経過
すると、吸着剤の温度が再生に必要な温度以下に低下
し、再開時には再生を始めからやり直す必要がある。発
明者の研究によれば、この場合、４時間であった。しか
し、この時間は、空気分離装置の仕様や運転条件によっ
て異なるので、その都度定めれば良い。また、本実施例
では、再生用ガスとして純粋な製品窒素ガスを使用した
が、本発明はこれに限るものではない。
に際し、再生用ガスの加熱（つまり、脱着）から始める
か、冷却（脱着は終了）から初めるかの判断基準を、図
３では、停止後４時間以内とした。その理由は、以下の
通りである。再生を途中で停止すると、再生用ガスの供
給が絶たれるので、熱や脱着したＣＯ2 は再生が完了し
た部分に拡散する。従って、停止後ある一定時間が経過
すると、吸着剤の温度が再生に必要な温度以下に低下
し、再開時には再生を始めからやり直す必要がある。発
明者の研究によれば、この場合、４時間であった。しか
し、この時間は、空気分離装置の仕様や運転条件によっ
て異なるので、その都度定めれば良い。また、本実施例
では、再生用ガスとして純粋な製品窒素ガスを使用した
が、本発明はこれに限るものではない。
【００１７】
【実施例】本発明に係る図３の方法と従来法とを用いた
吸着塔の再生を行い、結果を図４にタイム・スケジュー
ルで比較した。図４より、空気分離装置の再起動に要す
る時間が大幅に短縮され、本発明に係る吸着塔の再生方
法及び装置の有効なことが確認できる。
吸着塔の再生を行い、結果を図４にタイム・スケジュー
ルで比較した。図４より、空気分離装置の再起動に要す
る時間が大幅に短縮され、本発明に係る吸着塔の再生方
法及び装置の有効なことが確認できる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明により、空気
分離装置が停止して再生用廃ガスがない時でも、吸着塔
の再生が行えるようになった。また、再起動の時に完全
に再生が完了した吸着塔を用意できるので、再起動時間
を短縮できるようになった。
分離装置が停止して再生用廃ガスがない時でも、吸着塔
の再生が行えるようになった。また、再起動の時に完全
に再生が完了した吸着塔を用意できるので、再起動時間
を短縮できるようになった。
【図１】本発明に係る吸着塔の再生装置の基本構成を示
す模式図である。
す模式図である。
【図２】図１の装置に、本発明に係る再生方法を実施す
るための制御手段を設けた図である。
るための制御手段を設けた図である。
【図３】本発明に係る再生方法を、空気分離装置の停止
からの時間を用いてシーケンス表示した図である。
からの時間を用いてシーケンス表示した図である。
【図４】本発明による再生と従来法による再生とを比較
したタイム・スケジュールを示す図である。
したタイム・スケジュールを示す図である。
１ 原料空気 ２ 弁 ３ 吸着塔（Ｍ／Ｓ槽） ４ 廃ガス ５ ブロア ６ 加熱器（電熱ヒータ） ７ 配管 ８ ガス導入管 ９ 切換装置 １０ 演算制御装置 １１ 製品ガス
Claims (5)
- 【請求項１】 空気分離装置で使用する原料空気中の水
分及び炭酸ガスを吸着する吸着塔の再生工程に、該空気
分離装置で又は別途製造され水分及びＣＯ2を含まない
製品ガスを使用することを特徴とする吸着塔の再生方
法。 - 【請求項２】 前記製品ガスを、空気分離装置の運転休
止後再開前に、前記吸着塔に流すことを特徴とする請求
項１記載の吸着塔の再生方法。 - 【請求項３】 前記製品ガスを、窒素ガスとすることを
特徴とする請求項１又は２記載の吸着塔の再生方法。 - 【請求項４】 空気分離装置の休止後の経過時間に応じ
て、前記製品ガスを加熱するか冷却するかを判断し、該
判断に基づいて該製品ガスを加熱あるいは冷却して流す
ことを特徴とする請求項２又は３記載の吸着塔の再生方
法。 - 【請求項５】 空気分離装置に付帯し、吸着剤が充填さ
れ、原料空気中の水分及び炭酸ガスの吸着と脱着再生を
交互に切り換えて使用する複数の吸着塔と、該吸着塔に
流す上記空気分離装置からの再生用ガスを供給する配管
と、該再生用ガスを加熱する加熱器とを備えた吸着塔の
再生装置において、 上記再生用ガスの配管に連設され、前記製品ガスを別途
供給するガス導入管と、上記吸着塔の使用を吸着あるい
は再生に切り換える切換装置と、空気分離装置の運転停
止情報及び上記切換装置からの切り換え情報を受け、上
記配管及びガス導入管に備えた流量調整弁の開閉を指示
する演算制御装置とを有することを特徴とする吸着塔の
再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9032093A JPH10225610A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 吸着塔の再生方法及び再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9032093A JPH10225610A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 吸着塔の再生方法及び再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10225610A true JPH10225610A (ja) | 1998-08-25 |
Family
ID=12349279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9032093A Pending JPH10225610A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 吸着塔の再生方法及び再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10225610A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005094970A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Taiyo Nippon Sanso Corporation | 原料空気精製装置の再起動方法 |
| JP2006258302A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 空気液化分離装置における原料空気の精製方法 |
| CN100398181C (zh) * | 2005-10-14 | 2008-07-02 | 浙江大学 | 用于空分系统的纯化装置 |
| CN100453145C (zh) * | 2004-03-31 | 2009-01-21 | 大阳日酸株式会社 | 原料空气精制装置的再起动方法 |
| JP2009074724A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Tohoku Univ | 基板熱処理炉 |
| JP2010538234A (ja) * | 2007-06-14 | 2010-12-09 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | メタンリッチ流の極低温分離方法及び装置 |
| KR102679792B1 (ko) * | 2023-05-22 | 2024-06-28 | 주식회사 태윤 | 반도체 제조장비의 듀얼 타입 습도조절장치 |
| CN118978232A (zh) * | 2024-09-10 | 2024-11-19 | 惠州市东江环保技术有限公司 | 一种硫酸铜生产废水处理装置 |
| DE102024112495A1 (de) * | 2024-05-03 | 2025-11-06 | Everllence Se | Verfahren zur Steuerung einer Anlage zur Abtrennung von Kohlenstoffdioxid aus der Umgebungsluft sowie Anlage |
-
1997
- 1997-02-17 JP JP9032093A patent/JPH10225610A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040907 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050111 |